JPH0957964A

JPH0957964A - インクジェットヘッド

Info

Publication number: JPH0957964A
Application number: JP21440595A
Authority: JP
Inventors: Chisato Yoshimura; 千里吉村
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 1995-08-23
Filing date: 1995-08-23
Publication date: 1997-03-04

Abstract

(57)【要約】【課題】ノズルを高集積化し、印字品質を向上するこ
と。【解決手段】ノズルプレートの材料であるアラミド樹
脂の線熱膨張係数は、ＰＺＴにより製作されたアクチュ
エータ部材との線熱膨張係数と類似しているが、従来の
ノズルプレート材料であるポリサルホン、ポリイミド等
の線熱膨張係数は、ＰＺＴの熱膨張係数と大きく異な
る。このため、従来のノズルプレートように、剥離や変
形が生じることがなく、生産性を向上することができ
る。また、接着剤の選定幅が広がる為、接着時の加熱温
度を従来よりも高温に設定することができ、短時間で接
着剤を硬化させ生産性を大幅に向上することができる。
また、射出成形では流動抵抗が大きくなり成形困難であ
るが、アラミドで作製されたノズルプレートを採れば、
より高集積化されたインクジェットヘッドに対応するこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクが充填され
るインク室を有するアクチュエータ部材と、インクが噴
射されるノズルが形成され、該ノズルが前記インク室に
連通するように前記アクチュエータ部材に接合されたノ
ズルプレートとを有するインクジェットヘッドに関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】今日、これまでのインパクト方式の印字
装置にとってかわり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の印字装置のなかで、原理が最も単
純で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとし
て、インクジェット方式の印字装置が上げられる。なか
でも印字に使用するインク滴のみを噴射するドロップ・
オン・デマンド型が、噴射効率の良さ、ランニングコス
トの安さなどから急速に普及している。

【０００３】ドロップ・オン・デマンド型として提案さ
れているものとしては、特開昭６３−２４７０５１号公
報に開示されているせん断モード型がある。

【０００４】図１１に示すように、上記せん断モード型
のインク噴射装置６００は、底壁６０１、天壁６０２及
びその間のせん断モードアクチュエータ壁６０３からな
る。そのアクチュエータ壁６０３は、底壁６０１に接着
され、且つ矢印６１１方向に分極された下部壁６０７
と、天壁６０２に接着され、且つ矢印６０９方向に分極
された上部壁６０５とからなっている。アクチュエータ
壁６０３は一対となってその間にインク流路６１３を形
成し、且つ次の一対のアクチュエータ壁６０３の間に
は、インク流路６１３よりも狭い空間６１５を形成して
いる。尚、アクチュエータ壁６０３はチタン酸ジルコン
酸鉛（ＰＺＴ）で形成されている。

【０００５】各インク流路６１３の一端には、ノズル６
１８を有するノズルプレート６１７が固着され、各アク
チュエータ壁６０３の両側面には電極６１９、６２１が
金属化層として設けられている。各電極６１９、６２１
はインクと絶縁するための絶縁層（図示せず）で覆われ
ている。そして、空間６１５に面している電極６１９、
６２１はアース６２３に接続され、インク流路６１３内
に設けられている電極６１９、６２１は、アクチュエー
タ駆動回路を与えるシリコン・チップ６２５に接続され
ている。

【０００６】次に、このインク噴射装置６００の製造方
法を説明する。まず、矢印６１１方向に分極された圧電
セラミックス層を底壁６０１に接着し、矢印６０９方向
に分極された圧電セラミックス層を天壁６０２に接着す
る。各圧電セラミックス層の厚みは、下部壁６０７、上
部壁６０５の高さに等しい。次に、圧電セラミックス層
に、平行な溝をダイヤモンドカッティング円板の回転等
によって形成して、下部壁６０７、上部壁６０５を形成
する。そして、真空蒸着によって下部壁６０７の側面に
電極６１９を形成し、その電極６１９上に前記絶縁層を
設ける。同様にして上部壁６０５の側面に電極６２１、
前記絶縁層を設ける。

【０００７】上部壁６０５の天頂部と下部壁６０７の天
頂部とを接着してインク流路６１３と空間６１５とを形
成する。次に、ノズル６１８が穿孔されているノズルプ
レート６１７を、ノズル６１８がインク流路６１３と対
応するように、インク流路６１３及び空間６１５の一端
に接着し、インク流路６１３と空間６１５との他端をシ
リコン・チップ６２５とアース６２３とに接続する。

【０００８】そして、各インク流路６１３の電極６１
９、６２１にシリコン・チップ６２５が電圧を印加する
ことによって、各アクチュエータ壁６０３がインク流路
６１３の容積を増加する方向に圧電厚みすべり変形し
て、所定時間後電圧印加が停止されてインク流路６１３
の容積が増加状態から自然状態となってインク流路６１
３内のインクに圧力が加えられ、インク滴がノズル６１
８から噴射される。

【０００９】従来、複数のノズルを有するノズルプレー
トは、ポリイミド樹脂のフィルムにエキシマレーザービ
ームを照射して形成する方法や、ポリサルホンのほか、
ポリエーテルサルホン、ポリフェニルサルホン、ポリエ
ーテルイミド、液晶ポリマー、ポリフェニレンサルファ
イド、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリフェニ
レンオキサイドなどの樹脂材料を用いて射出成形によっ
て形成する手法が知られている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】この種のインクジェッ
トヘッドにおいてはノズルの高集積化が望まれている
が、ノズルプレートの製造方法として用いられる射出成
形では、ノズルが高集積化されると、流動抵抗が大きく
なり、成形が難しくなるといった問題があった。

【００１１】そして、ノズルの高集積化に対応する為に
は、ポリイミドのフィルムにノズルを形成する方法が好
ましいが、インクジェットヘッドのノズルプレートとし
ては、ポリイミドの特性から特に優れてはいなかった。

【００１２】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、印字品質に優れ、高集積化され
たノズルを有するインクジェットヘッドを提供すること
を目的とするものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１では、インクが充填されるインク室
を有するアクチュエータ部材と、インクが噴射されるノ
ズルが形成され、該ノズルが前記インク室に連通するよ
うに前記アクチュエータ部材に接合されたノズルプレー
トとを有するインクジェットヘッドにおいて、前記ノズ
ルプレートをアラミドで作製することによって、ノズル
プレートの剛性が高くなり、ノズルプレートがアクチュ
エータ部材にうねりがなく接着される。また、ノズルプ
レートとアクチュエータ部材との接着強度が高くなる。
更に、ノズルを高集積化して形成することが可能とな
る。

【００１４】請求項２のインクジェットヘッドでは、前
記ノズルプレートのノズルは、エキシマレーザービーム
の照射によって、高集積に形成される。

【００１５】請求項３のインクジェットヘッドでは、前
記アクチュエータ部材は、前記ノズルプレートとの接合
部分に圧電セラミックスを有している。圧電セラミック
スとアラミドとの線熱膨張係数が類似しているため、ノ
ズルプレートが、アクチュエータ部材に剥離や変形なく
接合される。

【００１６】請求項４のインクジェットヘッドでは、前
記アクチュエータ部材は、圧電セラミックスで形成さ
れ、且つ複数の溝が形成されたアクチュエータプレート
と、圧電セラミックスで形成され、且つ前記アクチュエ
ータプレートの前記溝を塞いで前記インク室を形成する
カバープレートとからなり、各溝を隔てる圧電セラミッ
クスの隔壁の圧電変形によって、インク室の容積が変化
されてインクが噴射される。

【００１７】請求項５のインクジェットヘッドでは、前
記ノズルプレートは、前記アクチュエータ部材に加熱硬
化型接着剤によって接着されることによって、ノズルプ
レートがアクチュエータ部材に強固に接着される。

【００１８】請求項６のインクジェットヘッドでは、前
記ノズルプレートに撥水性を有する膜が形成されている
ことによって、ノズル付近でのインク溜りが防止され
る。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面を
参照して説明する。

【００２０】図１に示すように、インクジェットヘッド
１は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）製の圧電セラミ
ックスプレート２とＰＺＴ製のカバープレート３とアラ
ミド樹脂製のノズルプレート３１と基板４１とから構成
されている。

【００２１】その圧電セラミックスプレート２には、薄
い円板状のダイヤモンドブレード等を用いた切削加工に
より、複数の溝８が形成されている。また、その溝８の
側面となる側壁１１は矢印５の方向に分極されている。
それらの溝８は同じ深さであり、かつ平行である。それ
ら溝８の深さは圧電セラミックスプレート２の一端面１
５に近づくにつれて徐々に浅くなっており、一端面１５
付近には浅溝１６が形成されている。そして、溝８の内
面には、その両側面の上半分に金属電極１３がスパッタ
リング等によって形成されている。また、浅溝１６の内
面には、その側面及び底面に金属電極９がスパッタリン
グ等によって形成されている。これにより、溝８の両側
面に形成された金属電極１３は浅溝１６に形成された金
属電極９によって連結されている。

【００２２】次に、カバープレート３には、研削または
切削加工等によって、インク導入口２１及びマニホール
ド２２が形成されている。そして、圧電セラミックスプ
レート２の溝８加工側の面とカバープレート３のマニホ
ールド２２加工側の面とがエポキシ系接着剤等によって
接着される。従って、インクジェットヘッド１には、溝
８の上面が覆われて横方向に互いに間隔を有する複数の
インク室１２（図３）が構成される。そして、全てのイ
ンク室１２内には、インクが充填される。

【００２３】圧電セラミックスプレート２及びカバープ
レート３の端面に、各インク室１２の位置に対応してノ
ズル３２が接続されるように、ノズルプレート３１が接
着剤４により接着されている。以後、圧電セラミックス
プレート２とカバープレート３とを合わせてアクチュエ
ータ部材２５と呼ぶ。

【００２４】図２にインクジェットヘッド１のノズル３
２付近の断面図を示す。このノズルプレート３１のノズ
ル３２は、インク通路３５及びオリフィス部３４から成
り、各オリフィス部３４の口径及びピッチがインクジェ
ットヘッド１の印字品質を決定する。ノズル３２の形状
としては、図２（ａ）のようにインク室１２からオリフ
ィス部３４までテーパとなったインク通路３５を有する
ものや、図２（ｂ）のようにインク室１２から、オリフ
ィス部３４に至る途中までテーパとなったインク通路３
５を有するもの等がある。ノズル３２の形状として、前
述した形状に限られるものではない。

【００２５】このノズルプレート３１は、アラミドを材
料としたフィルムで作製されている。アラミドのフィル
ムの市販品の例を商品名で示せば、アラミカ５０Ｒ、３
８Ｒ（以上、旭化成社製品）等が有る。

【００２６】そして、図１に示すように、圧電セラミッ
クスプレート２の溝８の加工側に対して反対側の面に
は、基板４１が、エポキシ系接着剤等によって接着され
ている。その基板４１には各インク室１２の位置に対応
した位置に導電層のパターン４２が形成されている。そ
の導電層のパターン４２と浅溝１６の底面の金属電極９
とは、ワイヤボンディングによって導線４３で接続され
ている。

【００２７】次に、制御部のブロック図を示す図５によ
って、制御部の構成を説明する。基板４１に形成された
導電層のパターン４２は各々個々にＬＳＩチップ５１に
接続されている。また、クロックライン５２、データラ
イン５３、電圧ライン５４及びアースライン５５もＬＳ
Ｉチップ５１に接続されている。ＬＳＩチップ５１は、
クロックライン５２から供給される連続したクロックパ
ルスに基づいて、データライン５３上に現れるデータに
応じて、どのノズル３２からインク液滴の噴射を行うべ
きかを判断する。そして、駆動するインク室１２内の金
属電極１３に導通する導電層のパターン４２に、電圧ラ
イン５４の電圧Ｖを印加する。また、駆動するインク室
１２以外の金属電極１３に導通する導電層のパターン４
２にはアースライン５５の電圧０Ｖを印加する。

【００２８】次に、図３，図４によって、インクジェッ
トプリンタヘッド１の動作を説明する。ＬＳＩチップ５
１が、所要のデータに従って、インクジェットプリンタ
ヘッド１のインク室１２ｂからインクの噴出を行なうと
判断する。すると、金属電極１３ｅと１３ｆとに正の駆
動電圧Ｖが印加され、金属電極１３ｄと１３ｇとが接地
される。図４に示すように、側壁１１ｂには矢印１４ｂ
の方向の駆動電界が発生し、側壁１１ｃには矢印１４ｃ
の方向の駆動電界が発生する。すると、駆動電界方向１
４ｂ及び１４ｃは分極方向４とが直交しているため、側
壁１１ｂ及び１１ｃは、圧電厚みすべり効果により、こ
の場合、インク室１２ｂの内部方向に急速に変形する。
この変形によってインク室１２ｂの容積が減少してイン
ク圧力が急速に増大し、圧力波が発生して、インク室１
２ｂに連通するノズル３２（図１）からインク液が噴射
される。また、駆動電圧Ｖの印加が停止されると、側壁
１１ｂ及び１１ｃが変形前の位置（図３参照）に徐々に
戻るためインク室１２ｂ内のインク圧力が徐々に低下す
る。すると、インク供給口２１（図１）からマニホール
ド２２（図１）を通してインク室１２ｂ内にインクが供
給される。

【００２９】次に、ノズルプレート３１を作製するため
の製造方法について説明をする。市販されているアラミ
ドフィルム、例えば、上記アラミカ５０Ｒで作製された
プレート５９（図６）を所定の位置に配置する。図６に
示すように、エキシマレーザ装置６１より発振されたエ
キシマレーザビーム６４は光学レンズ系６６を介して銅
製のマスク６２に照射される。マスク６２にはノズルプ
レート３１の所定のノズルパターンの拡大相似形のパタ
ーンが形成されている。マスク６２を介したエキシマレ
ーザービーム６４は、更にレンズ６７によってプレート
５９上に集光され、プレート５９の所定位置に微細なイ
ンク通路３５及びオリフィス部３４を形成する。このよ
うにして、プレート５９上の所定位置に所定形状のノズ
ル３２を多数個形成することにより、ノズルプレート３
１が作製される。このようにエキシマレーザービーム６
４を用いてノズル３２を加工すれば、ノズル３２を高集
積化することができる。

【００３０】そして、アクチュエータ部材２５の端面に
ノズルプレート３１が接着される。この接着の際、従来
ならば、生産性の良好な加熱硬化型の接着剤において硬
化時間を短縮して生産性を向上する為に、硬化温度を高
温に設定し、接着を行なうと、接着後に温度が常温に低
下する時、アクチュエータ部材２５とノズルプレート３
１との線熱膨張係数の違いから、剥離や変形が生じる可
能性が高かった。

【００３１】それは、従来例で説明したノズルプレート
の材料となるポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポ
リフェニルサルホン、ポリエーテルイミド、液晶ポリマ
ー、ポリフェニレンサルファイド、ポリカーボネート、
ポリアセタール、ポリフェニレンオキサイド、ポリイミ
ドの線熱膨張係数が、図７に示すように、ＰＺＴの熱膨
張係数と大きく異なる為であった。

【００３２】しかし、本実施例のノズルプレート３１は
アラミド樹脂により製作されており、アラミド樹脂の線
熱膨張係数は、図７に示すように、ＰＺＴにより製作さ
れたアクチュエータ部材２５との線熱膨張係数と類似し
ているので、従来のノズルプレート材料ように、剥離や
変形が生じることがなく、生産性を向上することができ
た。また、接着剤４の選定幅が広がる為、接着時の加熱
温度を従来よりも高温に設定することができ、短時間で
接着剤を硬化させ生産性を大幅に向上することができ、
結果としてインクジェットヘッド１の生産コストを安価
にすることができる。

【００３３】また、この種のインクジェットヘッド１に
おいてはノズル３２の高集積化が望まれており、射出成
形では流動抵抗が大きくなり成形困難であるが、上述の
ノズルプレート３１を採れば、より高集積されたインク
ジェットヘッド１に対応することができる。

【００３４】ここで、本実施例のノズルプレート３１に
用いられたアラミドと、従来のノズルプレートにおいて
高集積化に優れたポリイミドとを比較する。

【００３５】図８に示す、アラミドとポリイミドとの曲
げ剛性グラフから明らかなように、フィルムの厚みによ
らず、アラミドの方がポリイミドより曲げ剛性が高い。
このことから、アラミドのノズルプレート方がポリイミ
ドのノズルプレートより、うねりがなく接着することが
できるので、アラミドのノズルプレート３１を有するイ
ンクジェットヘッド１では、インク滴の飛翔方向の曲が
りがなく着弾精度が良好であり、印字品質が向上する。
また、剛性が高いノズルプレート３１は、製造工程で取
り扱い易く、生産性が向上する。

【００３６】図９に示す、アラミドとポリイミドとの銅
箔剥離強度の表から明らかなように、アラミドの方がポ
リイミドより銅貼後及び室温多湿後の剥離強度が高い。
つまり、アラミドの方がポリイミドより接着強度が高い
ので、ノズルプレートが剥がれにくい。従って、ノズル
面に付着したインクなどを取り除くために行なわれるワ
イピング動作などによって、ノズルプレートが剥がれる
ことなく、インクジェットヘッドの耐久性が向上する。

【００３７】図１０に示すアラミドとポリイミドとの撥
水（撥インク）膜の撥水（撥インク）効果の持続性につ
いて説明する。

【００３８】前記アラミカ５０Ｒと、比較例としてＰＩ
であるカプトン５００Ｖ（デュポン社製）の各フィルム
に４フッ化エチレン−６フッ化プロピレン共重合樹脂を
コーティング後、加熱処理を行い、各フィルムの表面に
１μｍ程度の撥水（撥インク）膜を形成した。そして、
耐インク性が良好なゴム製のクリーニングブレードを、
一定の圧力でノズルプレートに押しつけながらノズルプ
レートが一定の速度で移動し、インクが一定間隔でノズ
ルプレート上に滴下する、擦り耐久試験機にかけ、試験
前後の後退接触角を測定した。

【００３９】図１０の表から明らかなように、同一手法
で同一材料の撥水（撥インク）膜をノズルプレートにコ
ーティングした場合、撥水（撥インク）膜の耐久性を比
較すると、アラミドの方がポリイミドよりも撥水（撥イ
ンク）膜の撥水効果の持続性は高い。

【００４０】高速度プリントの場合、単位時間当たりに
吐出されるインクの量が多くなる為、オリフィス部のイ
ンク吐出口周辺にインクが付着しやすくなり、付着した
インクが残存すると、インクの吐出方向や吐出速度がば
らついて印字品質を低下させるので、それを防ぐ手段と
して、インク吐出口周辺に撥水（撥インク）処理を施す
方法が知られている。吐出面に付着したインク滴は、外
力を加えて掻き出す等を行わなければ吐出面から除去す
ることは難しいので、吐出面をクリーニングブレードに
よって拭う、いわばワイピング動作が行われる。クリー
ニングブレードの圧接力は、吐出面に残存するインクの
粘度に起因し、インクの粘度が高くなれば高い圧接力が
必要となるが、圧接力が高くなるほど撥水膜がノズルプ
レートから剥離し易くなる為、撥水膜とノズルプレート
との密着力は高いほど好ましい。撥水効果を持続させれ
ば、安定した吐出機能を長期に渡って維持できることに
なり、インクジェットヘッドの印字品質の耐久性が向上
する。

【００４１】尚、本発明は上記の実施例に限定されるも
のではなく、いわゆるサーマルジェットタイプ等の様々
なインクジェット方式のヘッドのノズルプレートにも適
用可能である。

【００４２】また、本実施例においては、まず駆動電圧
をインク室の容積が減少するように印加してインク室１
２内のインクをインク液滴として噴射してから、駆動電
圧の印加を停止して、インク室１２の容積を前記減少状
態から自然状態へと増加させ、インク室１２にインクを
供給していたが、まず、駆動電圧をインク室１２の容積
が増加する方向に印加してインク室１２にインクを供給
し、次に駆動電圧の印加を停止しインク室１２の容積を
自然状態に減少しインク液滴を噴射してもよい。

【００４３】また、本実施例においては、側壁１１の上
側のみの圧電変形を利用してインク室１２の容積を変化
させていたが、従来例の特開昭６３−２４７０５１号公
報に開示されているような側壁の上半分及び下半分が圧
電変形する構成のものであってもよい。更に、インク室
のとなりに空気室を設けてたものであってもよい。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように本発
明の請求項１のインクジェットヘッドによれば、前記ノ
ズルプレートをアラミドで作製するので、ノズルを高集
積化することができる。また、ノズルプレートの剛性が
高くなるので、ノズルプレートをうねりがなく接着する
ことができ、インク滴の飛翔方向の曲がりがなく着弾精
度が良好であり、印字品質を向上することができる。ま
た、ノズルプレートの剛性が高いと製造工程で取り扱い
易くなり、生産性を向上することができる。更に、ノズ
ルプレートとアクチュエータ部材との接着強度が高くな
るので、ノズルプレートが剥がれにくくなり、インクジ
ェットヘッドの耐久性が向上する。

【００４５】請求項２のインクジェットヘッドでによれ
ば、前記ノズルプレートのノズルは、エキシマレーザー
ビームの照射によって形成するので、高集積化すること
ができ、高品位の記録を行なうことができる。

【００４６】請求項３のインクジェットヘッドによれ
ば、前記アクチュエータ部材は、前記ノズルプレートと
の接合部分に圧電セラミックスを有しているが、圧電セ
ラミックスとアラミドとの線熱膨張係数が類似している
ため、ノズルプレートが、アクチュエータ部材に剥離や
変形なく、良好に接合することができる。

【００４７】請求項４のインクジェットヘッドによれ
ば、前記アクチュエータ部材は、圧電セラミックスで形
成され、且つ複数の溝が形成されたアクチュエータプレ
ートと、圧電セラミックスで形成され、且つ前記アクチ
ュエータプレートの前記溝を塞いで前記インク室を形成
するカバープレートとからなり、各溝を隔てる圧電セラ
ミックスの隔壁の圧電変形によって、インク室の容積が
変化されてインクが噴射される。そして、圧電セラミッ
クスとアラミドとの線熱膨張係数が類似しているため、
ノズルプレートが、アクチュエータ部材に剥離や変形な
く、良好に接合することができる。

【００４８】請求項５のインクジェットヘッドによれ
ば、前記ノズルプレートは、前記アクチュエータ部材に
加熱硬化型接着剤によって接着されるので、ノズルプレ
ートをアクチュエータ部材に強固に接着することがで
き、しかも生産性がよい。

【００４９】請求項６のインクジェットヘッドによれ
ば、前記ノズルプレートに撥水性を有する膜が形成され
ていることによって、ノズル付近でのインク溜りが防止
され、良好にインクを噴射することができ、高品位の記
録を行なうことができる。また、撥水膜が、アラミド上
に形成されているので、従来よりも撥水膜とノズルプレ
ートの密着性が良く、長期にわたって撥水効果を持続す
ることができ、インクジェットヘッドの耐久性が向上す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のインクジェットヘッドの概
略構成図である。

【図２】前記実施例のインクジェットヘッドのノズル付
近の断面図である。

【図３】前記実施例のインクジェットヘッドの断面図で
ある。

【図４】前記実施例のインクジェットヘッドの作動状態
を示す説明図である。

【図５】前記実施例のインクジェットヘッドの駆動を制
御する制御部を示す説明図である。

【図６】前記実施例のインクジェットヘッドのノズル加
工工程を示す説明図である。

【図７】ノズルプレートの各材料及び圧電セラミックス
の線熱膨張係数を示す説明図である。

【図８】アラミドとポリイミドとの曲げ剛性を示す説明
図である。

【図９】アラミドとポリイミドとの銅箔剥離強度を示す
説明図である。

【図１０】アラミドとポリイミドとの撥水（撥インク）
膜の撥水効果の持続性を示す説明図である。

【図１１】従来例のインクジェットヘッドを示す説明図
である。

【符号の説明】

１インクジェットヘッド２圧電セラミックスプレート３カバープレート４接着剤１２インク室２５アクチュエータ部材３１ノズルプレート３２ノズル

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インクが充填されるインク室を有するア
クチュエータ部材と、インクが噴射されるノズルが形成
され、該ノズルが前記インク室に連通するように前記ア
クチュエータ部材に接合されたノズルプレートとを有す
るインクジェットヘッドにおいて、前記ノズルプレートはアラミドにより作製されたことを
特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】前記ノズルプレートのノズルは、エキシ
マレーザービームの照射により形成されることを特徴と
する請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】前記アクチュエータ部材は、前記ノズル
プレートとの接合部分に圧電セラミックスを有している
ことを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェ
ットヘッド。
【請求項４】前記アクチュエータ部材は、圧電セラミ
ックスで形成され、且つ複数の溝が形成されたアクチュ
エータプレートと、圧電セラミックスで形成され、且つ
前記アクチュエータプレートの前記溝を塞いで前記イン
ク室を形成するカバープレートとからなることを特徴と
する請求項３に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】前記ノズルプレートは、前記アクチュエ
ータ部材に加熱硬化型接着剤によって接着されているこ
とを特徴とする請求項１〜４に記載のインクジェットヘ
ッド。
【請求項６】前記ノズルプレートには、撥水性を有す
る膜が形成されていることを特徴とする請求項１〜５に
記載のインクジェットヘッド。