JP2011167846A - インクジェットヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ヘッドチップ10は、複数の第1個別インク溝31、複数の第2個別インク溝32および分離溝14を設けた圧電基板1を含む。このため、圧電基板1上にダイシングマシンにより溝加工を行うだけで、第1個別インク溝31を含む第1ヘッド10aと、第2個別インク溝32を含む第2ヘッド10bとが、1枚の圧電基板1上に形成された構成を得ることができる。
【選択図】図5A
Description
複数の第1個別インク溝、複数の第2個別インク溝および分離溝を設けた圧電基板を含むヘッドチップと、
上記第1個別インク溝、上記第2個別インク溝および上記分離溝を覆うように上記ヘッドチップに配置されると共に、少なくとも一つの上記第1個別インク溝と少なくとも一つの上記第2個別インク溝とに連通するノズル孔を有するノズルプレートと
を備え、
上記複数の第1個別インク溝は、X方向に延在しX方向の両端が開口すると共にX方向に交差するY方向に互いに間隔をあけて配列され、
上記複数の第2個別インク溝は、上記複数の第1個別インク溝のX方向一方側に位置し、X方向に延在しX方向の両端が開口すると共にY方向に互いに間隔をあけて配列され、
上記分離溝は、Y方向に延在すると共に、上記複数の第1個別インク溝と上記複数の第2個別インク溝との間に位置して、上記複数の第1個別インク溝のそれぞれのX方向一方側の開口部と上記複数の第2個別インク溝のそれぞれのX方向他方側の開口部とに連通し、
上記複数の第1個別インク溝のX方向他方側の開口部、上記複数の第2個別インク溝のX方向一方側の開口部、および、上記分離溝は、それぞれ、インク流路に連通していることを特徴としている。
上記ヘッドチップに取り付けられるマニホールド部材を備え、
上記マニホールド部材は、上記複数の第1個別インク溝のX方向他方側の開口部に連通する第1共通インク溝と、上記複数の第2個別インク溝のX方向一方側の開口部に連通する第2共通インク溝とを有する。
上記分離溝は、Y方向の両端が開口し、
上記マニホールド部材は、上記分離溝のY方向一方側の開口部に連通する第3共通インク溝と、上記分離溝のY方向他方側の開口部に連通する第4共通インク溝とを有する。
圧電基板に、X方向に延在しX方向の両端が開口する初期溝を、X方向に交差するY方向に互いに間隔をあけて複数形成する工程と、
上記初期溝の内面に電極としての導電体膜を形成する工程と、
上記圧電基板に、Y方向に延在しY方向の両端が開口する分離溝を、上記初期溝に交差するように上記初期溝よりも深く形成して、上記初期溝を、上記分離溝を中心として、第1個別インク溝と第2個別インク溝とに分離する工程と、
上記第1個別インク溝、上記第2個別インク溝および上記分離溝を覆うように上記圧電基板にノズルプレートを配置して、このノズルプレートのノズル孔を少なくとも一つの上記第1個別インク溝と少なくとも一つの上記第2個別インク溝とに連通する工程と
を備えることを特徴としている。
図1は、この発明のインクジェットヘッドの第1実施形態である斜視図を示す。図2は、インクジェットヘッドのノズルプレートを外した状態の斜視図を示す。このインクジェットヘッドは、例えばプリンタなどに用いられ、例えば液晶生産装置や太陽電池生産装置等の生産装置に利用される。
図11は、この発明のインクジェットヘッドの第2の実施形態を示している。上記第1の実施形態(図5A)と相違する点を説明すると、この第2の実施形態では、第1、第2個別インク溝の分離溝に対する傾きが相違する。なお、この第2の実施形態において、上記第1の実施形態と同一の部分には、同一の参照番号を付して、詳細な説明を省略する。
3 隔壁
4 ヘッド保持部材
5c,6c 供給孔
6d 排出孔
8 電極
81 導出部
8a,8b X方向の端面
9a,9b Y方向の端面
10,10A ヘッドチップ
10a 第1ヘッド
10b 第2ヘッド
11 マニホールド部材
11a 第1部分
11b 第2部分
14 分離溝
20 ノズル孔
21 ノズルプレート
24a,24b 配線基板
25 インクジェットヘッド
30 初期溝
31,31A 第1個別インク溝
32,32A 第2個別インク溝
41 第1共通インク溝
42 第2共通インク溝
43 第3共通インク溝
44 第4共通インク溝
Claims (9)
- 複数の第1個別インク溝、複数の第2個別インク溝および分離溝を設けた圧電基板を含むヘッドチップと、
上記第1個別インク溝、上記第2個別インク溝および上記分離溝を覆うように上記ヘッドチップに配置されると共に、少なくとも一つの上記第1個別インク溝と少なくとも一つの上記第2個別インク溝とに連通するノズル孔を有するノズルプレートと
を備え、
上記複数の第1個別インク溝は、X方向に延在しX方向の両端が開口すると共にX方向に交差するY方向に互いに間隔をあけて配列され、
上記複数の第2個別インク溝は、上記複数の第1個別インク溝のX方向一方側に位置し、X方向に延在しX方向の両端が開口すると共にY方向に互いに間隔をあけて配列され、
上記分離溝は、Y方向に延在すると共に、上記複数の第1個別インク溝と上記複数の第2個別インク溝との間に位置して、上記複数の第1個別インク溝のそれぞれのX方向一方側の開口部と上記複数の第2個別インク溝のそれぞれのX方向他方側の開口部とに連通し、
上記複数の第1個別インク溝のX方向他方側の開口部、上記複数の第2個別インク溝のX方向一方側の開口部、および、上記分離溝は、それぞれ、インク流路に連通していることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項1に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ヘッドチップに取り付けられるマニホールド部材を備え、
上記マニホールド部材は、上記複数の第1個別インク溝のX方向他方側の開口部に連通する第1共通インク溝と、上記複数の第2個別インク溝のX方向一方側の開口部に連通する第2共通インク溝とを有することを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項2に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記分離溝は、Y方向の両端が開口し、
上記マニホールド部材は、上記分離溝のY方向一方側の開口部に連通する第3共通インク溝と、上記分離溝のY方向他方側の開口部に連通する第4共通インク溝とを有することを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項2または3に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ノズルプレートは、上記ヘッドチップと上記マニホールド部材とに跨るように配置され、上記第1個別インク溝、上記第2個別インク溝、上記第1共通インク溝および上記第2共通インク溝を覆って、上記第1個別インク溝と共に第1個別インク室を定義し、上記第2個別インク溝と共に第2個別インク室を定義し、上記第1共通インク溝と共に第1共通インク室を定義し、上記第2共通インク溝と共に第2共通インク室を定義することを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項1から4の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記分離溝の深さは、上記第1個別インク溝の深さおよび上記第2個別インク溝の深さよりも、深いことを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項1から5の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記第1個別インク溝および上記第2個別インク溝の内面に電極が設けられ、この電極は、上記圧電基板のX方向の両端面に導出していることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項6に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記電極における上記圧電基板の両端面に導出している部分に接続される配線基板を有することを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項1から7の何れか一つに記載のインクジェットヘッドにおいて、
X方向およびY方向を含む平面において、上記第1個別インク溝および上記第2個別インク溝が延在するX方向は、上記分離溝が延在するY方向に直交する方向に対して、一定角度傾いていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 圧電基板に、X方向に延在しX方向の両端が開口する初期溝を、X方向に交差するY方向に互いに間隔をあけて複数形成する工程と、
上記初期溝の内面に電極としての導電体膜を形成する工程と、
上記圧電基板に、Y方向に延在しY方向の両端が開口する分離溝を、上記初期溝に交差するように上記初期溝よりも深く形成して、上記初期溝を、上記分離溝を中心として、第1個別インク溝と第2個別インク溝とに分離する工程と、
上記第1個別インク溝、上記第2個別インク溝および上記分離溝を覆うように上記圧電基板にノズルプレートを配置して、このノズルプレートのノズル孔を少なくとも一つの上記第1個別インク溝と少なくとも一つの上記第2個別インク溝とに連通する工程と
を備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
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JP2010030819A JP2011167846A (ja) | 2010-02-16 | 2010-02-16 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
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