JP2003507213A - 小滴堆積装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 効率的に精度よくオンデマンド射出圧電プリントヘッド用部材をつくる。 【解決手段】 オンデマンド射出圧電プリントヘッド用部材が、圧電物質のブロック（１００）および基板（８６）から形成される。圧電物質のブロックはその下面（６８１）に形成された溝を有し、圧電物質内に刻み込まれた溝に接着剤が入るように十分な量付けられる接着剤（６７０）を使って基板に付けられる。上部溝（７）は射出チャンネルを形成するために接着剤で満たされた下部チャンネル（６８１）まで圧電物質内に刻み込まれ、その壁（１３）は接着剤フィレ（６８０）によって互いに分離される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】

本発明は小滴堆積装置に関し、特にインクジェット・プリントヘッド、その部
材および該部材の製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術とその課題】

インクジェット・プリンターの実用形状は、たとえばディスク切削によって形
成されたインク・チャンネルをもつ圧電物質ボデーからなる。電極が圧電物質面
に向いたチャンネル上に設けられて、隣接チャンネルとの間に区切られた圧電「
壁」に電界が加えられる。適切に極性を有して、この壁は選択インク・チャンネ
ル内へ、あるいはそこから出るように動かせることができ、圧力パルスを生じて
チャンネル・ノズルからインク小滴を噴出させる。このような構造は、たとえば
ＥＰ−Ａ−０３６４１３６に開示されている。

【０００３】 比較的広い範囲、おそらく全ページ幅のプリントヘッドに渡る正確な表示を有
する高密度インクチャンネルを提供することは、頻繁に必要になる。この目的に
有用な構造がＷＯ９８／５２７６３に開示されている。それは必要な処理と制御
機能を行う集積回路とともに、圧電物質を支持するフラットなベースプレートも
含んでいる。

【０００４】 このような構造は、特に製造に関して幾つかの長所を有する。ベースプレート
はプリントヘッドの「バックボーン」として作用し、製造の間圧電物質と集積回
路を支持する。この支持機能は、圧電物質を多数シート一緒に突いて連続する頁
幅のインクチャンネル・アレイを形成するプロセスの間、特に重要である。比較
的大きなサイズのベースプレートも、ハンドリングを簡単化させる。

【０００５】 インクジェット印刷に使われるために作られたメッキ、および特に無電解メッ
キ法によって作られたメッキは、化学手段によってプリントヘッドに付けられず
、付着点を与えるための表面形状に依存する。インクジェット・プリンターに代
表的に使われる接着剤は、その表面が平滑になりやすいので、電極を保持するた
めの良好な面を与えない。これにより接着剤と電極金属との間に良好な結合が得
られず、使用している間あるいは製造する間のいずれかに、金属が持ち上がった
り剥がれたりすることになる。これらの問題により操作が減り、短絡のような他
の欠点も引き起こす。本発明は、改良された結合強度のための主要な点を与える
粒子を含有する接着剤を使うことによって、この問題の解決を図る。

【０００６】 圧電物質ボデーと基板との間に均一な結合を信頼性高く効率よく確立するとい
う問題が残っている。特に、不十分に形成された接着層はチャンネル壁の動きに
変動をもたらし、それは次に小滴の偏位をもたらして印刷品質を下げる。圧電物
質のベースを通じての隣接チャンネル間の電気的および機能的双方の混信も、本
発明が解決しなければならない問題である。

【０００７】 基板から要求される高レベルの平坦性も問題である。不十分に仕上げられた基
板はヘッド幅に渡ってチャンネルの動きに変動をもたらし、基板物質はしばしば
圧電物質よりも硬いのでチャンネルを均一深さに刻もうとするとき、その工具（
鋸）をダメにする。 本発明はこれらの問題を処理する改良された装置と方法を提供するものである
。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

本発明の１つの面によれば、頂面とベースに付けられた底面を有し、頂面から
圧電ボデー内に伸びる複数の上部チャンネルとボデーの底面から圧電ボデー内に
伸びる対応する複数の下部チャンネルをもつ圧電物質ボデーからなり、該チャン
ネルが少なくとも１つの上部チャンネルとそれに対応する下部チャンネルとの間
を接続するだけの深さを有することを特徴とする小滴堆積装置に用いられるのに
適当な部材が提供される。

【０００９】 本発明の第２の面は、接着剤の硬度よりも大きな硬度をもつ粒子を含む接着剤
を用いてボデーをベースに付け、ボデー内にチャンネルを刻むステップから方法
がなり、圧電物質ボデーとベースから形成される、小滴堆積装置に用いられるの
に適当な部材に見出される。

【００１０】 本発明の第３の面は、頂面と底面をもつ圧電物質のボデーとベースを与え、ボ
デーの底面に下部チャンネルを刻み、接着層によってボデーの底面をベースに接
着結合させ、およびボデー内に伸びるボデーの頂面に上部チャンネルを刻むステ
ップからなり、上部チャンネルがボデーを通して接着層内に伸びることを特徴と
する、小滴堆積装置に用いられる部材の形成方法にある。

【００１１】 従来技術で公知なように、圧電ボデーは一方向に極性をもつ圧電物質の単一ブ
ロック、あるいは対向方向に極性をもつ２つのブロックの積層からなる。そのよ
うに接続された接着圧電積層のチャンネルに可動電極を適用すると、しばしば結
合に渡って形成されないことに発明者は気づいた。本発明はこの問題を解決する
ことにある。

【００１２】 本発明の第４の面において、２以上の圧電物質シートが与えられ、１以上の圧
電物質シートに接着剤が付けられて積層され、該接着剤がその硬度よりも大きな
硬度をもつ粒子を含むことを特徴とする方法によって、異なる極性方向をもつ２
以上のシートの積層から圧電物質ボデーが形成される。 本発明のこの面の１実施態様において、圧電シートは対向方向に極性をもつ。
他の実施態様では、極性は１以上のシートの厚み方向に対して直交する。さらに
他の実施態様では１以上のシートが極性をもつとき、他のシートは極性をもたず
、極性を外され、あるいは非圧電物質から形成される。

【００１３】 本発明の第５の面は、ベース（８６）、および頂面と底面を有する圧電物質ボ
デー（１００）を供給し、ボデーの底面内に複数の下部チャンネル（６３０）を
刻み、ボデーの底面を接着剤（７１０）によってベースに結合させ、および複数
の上部チャンネル（７）をボデーの頂面内に刻むステップからなり、少なくとも
１つの上部チャンネルがボデーを通って対応する下部チャンネルまで伸びる深さ
まで刻まれることを特徴とする、小滴堆積装置に用いられるための部材の形成方
法である。

【００１４】 本発明の諸面は上記方法を使って形成される部材にも見出される。小滴堆積装
置に用いられるのに適切な部材は、頂面と、ベースに付けられる底面を有し、頂
面から圧電ボデー内に伸びる複数の上部チャンネルおよびボデーの底面から圧電
ボデー内に伸びる対応する複数の下部チャンネルを有する圧電物質ボデーからな
り、少なくとも１つの上部チャンネルがボデーを通って対応する下部チャンネル
まで伸びる深さをもつことによりそれらのチャンネルの間に接続が形成されるこ
とを特徴とする。

【００１５】

【発明の実施の形態】

以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。 まず、従来技術の例についていくらか詳しく説明することが本発明を理解する
のに役立つであろう。 図１に、ＷＯ９１／１７０５１に開示されたような従来技術によるインクジェ
ット・プリントヘッド１を示す。同ヘッドは頂面が開いたインクチャンネル７の
アレイを有して頂面に形成された、たとえばチタン酸ジルコニウム鉛（ＰＺＴ）
のような圧電物質シート３からなる。図１のＡ−Ａ矢視断面図である図２から明
らかなように、アレイの連続チャンネルは、（矢印Ｐで示すように）シート３の
厚み方向に分極された圧電物質からなる側壁１３によって分けられている。

【００１６】 対向するチャンネルに面する面１７上に、電極が設けられ、接続３４を経て電
圧が印加される。たとえばＥＰ−Ａ−０３６４１３６から公知なように、壁のど
ちらかの側で電極間に電解を印加することにより、壁の剪断モード偏位が１つの
側面に立つチャンネル内に生じ、これは図２の破線によって誇張表示されている
が、次にそのチャンネルに圧力パルスを生じる。

【００１７】 チャンネルはカバー２５によって閉じられ、それぞれがその中間点で各チャン
ネルと通じているノズル２７がその中に形成される。ノズルからの小滴噴射は、
当業界で周知であるが、上記圧力パルスに応じて生じる。図２の矢印Ｓで示す小
滴流体のチャンネルへの供給は、チャンネル７の対向端でそれぞれ通じる深さま
でシート３の底面３５内に刻まれた２つのダクト３３を通じて行われる。このよ
うなチャンネル構造は二重終端サイドシューター配列と呼ばれる。ダクトを閉じ
るために、カバープレート３７が底面３５に結合されている。

【００１８】 図３・４は「頁幅」配置における図１・２の二重終端サイドシューター概念を
採用したプリントヘッドのそれぞれ一部破断斜視図と断面図である。このような
プリントヘッドはＷＯ９８／５２７６３に開示されている。メディア供給方向に
互いに相対的に間隔を有する２列のチャンネルが、メディア供給方向Ｐと直交す
る頁幅方向Ｗに伸びる各列を有して用いられる。

【００１９】 方向Ｗに直交する断面図４に示すように、前の例のような頂面にではなく、底
面に形成された各チャンネルを有する２つの圧電シート８２ａ・８２ｂと上記電
極が、平坦に伸びたベース８６によって（再び、頂面ではなく底面上に）閉じら
れ、ベース内に小滴噴射用開口部９６ａ・９６ｂが形成されている。ベース８６
も、たとえばＷＯ９２／２２４２９に開示されているようにハンダ付けによって
各チャンネル電極に電気的に接続され、駆動回路（集積回路８４ａ・８６ｂ）が
位置するベース端部に伸びる導電トラック（図示せず）とともに形成されている
。

【００２０】 このような構造は幾つかの利点を、特に製造に関して有している。まず、ベー
ス８６がプリントヘッドに対する「バックボーン」として機能し、製造の間圧電
シート８２ａ・８２ｂおよび集積回路８４ａ・８４ｂを支持する。この支持機能
は図３の８２ａ・８２ｂに示すように、多数シートを一緒に突いて単一の隣接頁
幅チャンネルアレイを形成するプロセスの間、特に重要である。カバーの大きさ
もハンドリングを簡単化する。

【００２１】 もう一つの利点は、その上で導電トラックが形成されるベース面が平坦である
こと、すなわち実質的に不連続がないことである。したがって、電子産業で他の
ところで用いられている定評ある技術、たとえば導電トラックのフォトリソグラ
フィーによるパターニングや集積回路用「フリップフロップ」などを用いて、製
造ステップの多くを遂行させる。フォトリソグラフィー・パターニングは、フォ
トリソグラフ・フィルムに適用するのに使われるスピン法に結びついた問題のた
め、表面が角度的に急変するところでは特に不適切である。平坦な面はまた、プ
ロセスの容易さ、測定、精度および利用しやすさの観点から利点を有する。

【００２２】 したがって、ベース用材料を選ぶときに重要なのは、不連続性から免れる表面
をもつ形に容易に形成できるかどうかである。第２の要件は、プリントヘッドの
他の所に使われる圧電物質と同様の熱膨張特性を有することである。さいごの要
件は、さまざまな製造プロセスによく耐えるように強いことである。窒化アルミ
ニウム・アルミナ・ＩＮＶＡＲあるいは特殊ガラスＡＦ４５はすべて適切な候補
材料である。

【００２３】 開口部９６ａ・９６ｂは、図１のようにそれ自身テーパを有して形成されるか
、あるいは開口部の上に装着されたノズルプレート９８内にテーパ形状が形成さ
れる。このようなノズルプレートは、従来からこのために用いられているポリイ
ミド、ポリカーボネートおよびポリエステルのような容易に除去できる物質から
なる。さらに、ノズルはプリントヘッドの残りの部分の完成状態とは無関係に作
ることができる。ノズルは、圧電シート８２ａをベース８６に組み立てる前に後
部から、あるいは圧電シートが適切な位置にある前部から除去することによって
形成される。これら双方の技術とも公知である。前者の方法は、ノズルプレート
が交換でき、あるいは全体のアセンブリーが組立の早い段階に拒否されることに
より、拒否された部材の価値を最小化するという利点がある。後者の方法は、ベ
ース上に組み立てるときチャンネルとともにノズルの表示を容易にする。

【００２４】 圧電シート８２ａ・８２ｂと集積回路８４ａ・８４ｂを装着し、かつ、たとえ
ばＥＰ−Ａ−０３７６６０６に開示されているような試験を施した後、ボデーが
付けられる。これこ幾つかの機能を有し、その最も重要な機能はベース８６と協
同して、それぞれ２列の圧電シート８２ａ・８２ｂの間に分岐チャンバ９０・８
８・９２を区画することである。さらにボデー８０が、インクがプリントヘッド
の外側から各チャンバへ供給される導管９０’・８８’・９２’を伴って形成さ
れる。これにより、チャンネルを通ってボデー内へ、およびチャンバ８８・９２
を通ってボデー外へインクが共通のチャンバ９０から循環するコンパクトな構造
が得られる。ボデー８０はまた、完成したプリントヘッドをプリンター内に位置
させるための部材を付けるための面を支え、インク収納チャンバ８８・９０・９
２から封印され、その中に集積回路８４ａ・８４ｂが置かれるチャンバ９４ａ・
９４ｂを区画する。

【００２５】 図５のプリントヘッドは、「頁幅」のベース８６からなり、その上に２列の集
積回路８４が載っている。ベース内に形成された１列のチャンネル８２がその間
にあり、各小滴チャンネルは小滴射出のための２つの離れたノズル９６ａ・９６
ｂ、およびインク供給と循環のため各サイドにノズル９６ａ・９６ｂの間に配列
されたマニホールド８８・９２・９０とつながっている。

【００２６】 チャンネル壁用圧電物質は２つの細片１１０ａ・１１０ｂからなる層１００内
にある。図４のように、これらの細片は頁幅方向Ｗにともに端をつながれ、各細
片は約５〜１０ｃｍ伸びている（これがウエハの代表的なサイズである）。チャ
ンネル形成前に、ベース８６の連続平面１２０に各細片が結合され、次にチャン
ネルが両細片およびベースを通って伸びるように刻まれる。図６にチャンネルを
通る断面でアクチュエータ壁とノズルを示す。このようなアクチュエータ壁の構
造はたとえばＥＰ−Ａ−０５０５０６５から公知なので、これ以上詳述しない。
同様に、隣接細片間の接合および各細片とベースの間のチャンネルの双方を除去
する技術が、それぞれＵＳ５，１９３，２５６およびＷＯ９５／０４６５８から
公知である。

【００２７】 導電物質の連続層は次にチャンネル壁とベースに付けられる。これは図６の圧
電壁１３に電界を加えるための電極１９０’・１９０”・１９０”’、および図
７の電極に電圧を供給するための導電トラック１９２を形成するばかりでなく、
図７の１９４に示す２つの部材間の電気的接続も形成する。

【００２８】 適当な電極物質と形成方法は当業界で公知である。銅、ニッケル、金単体やそ
の組合せ、およびパラジウム触媒を使って電極を形成することにより、必要な強
度、圧電物質への接着性、耐腐食性および公知の窒化ケイ素を使うベースを与え
る。他の形成法、たとえばスパッタリング、電子ビーム法などの公知の方法も同
様に適切である。

【００２９】 たとえばＥＰ−Ａ−０３６４１３６などから公知であるが、各壁１３の対向電
極は電界がそれらの間に確立され、壁の圧電物質を横切って確立されるように、
互いに絶縁されていなければならない。これを図２と図６の配列に示す。各電圧
源を有する電極をつなぐ対応する導電トラックも、同様に絶縁されなければなら
ない。

【００３０】 電極１９０’・１９０”を分離させるため、各圧電壁１３の頂面１３’から導
電物質を除くことに加え、各電極１９０’，１９０”に対してそれぞれ導電トラ
ック１９７・１９２”を形成するように導電物質をベース８６の表面から除かね
ばならない。圧電物質１００とベース８６の間の変移において、圧電物質１０の
端面が１９５のように面取りを施される。公知のように、図７の矢印１９６のよ
うにレーザービームを当てることにより一般に３００μｍの厚みのセラミックと
ガラスで形成された直角カットよりも、この面取りは強い。面取り角度は４５°
が適当であることがわかった。

【００３１】 図５・６から、活性部１４０ａと結合した電極と導電トラックは、ノズル列が
独立に操作できるように、活性部１４０ｂと結合したそれらとは離れていなけれ
ばならないことがわかる。２つの圧電細片の間に伸びるベース８６の面に沿って
レーザー「カット」によって絶縁できるけれども、電極形成の間マスクを使うこ
とにより、あるいは放電加工によってもっと簡単に絶縁できる。

【００３２】 図９のように、壁の頂面から電極物質を除くプロセスによって、ＰＺＴの小さ
な部分を除くことになり、溝１３”を作ることになることがわかった。これは結
合を覆うＰＺＴの剛性を損ない、プリントヘッドの活動を減らし、それだけ要求
電圧を高める。

【００３３】 本発明の一面によれば、接着剤よりも固い粒子を含有する接着剤を使うことに
より、壁とカバーとの間の結合を固く維持し、壁の動きを損なわない。ＰＺＴを
カバーに結合する代わりに、粒子含有接着剤を溝に付け、従来の粒子非含有接着
剤を使ってＰＺＴとカバーを結合させる前に、固くすることができる。

【００３４】 図６のカバー１３０は導電性なので、当然、電極１９０”とカバーの間の短絡
が防がれなければならない。結合部でのより厚い接着層によって、短絡が防がれ
るが、結合の固さを下げ、壁の動きを減らす。上記のように、粒子含有接着剤に
よって固い結合が維持される。

【００３５】 粒子含有接着剤を使う際、粒子の大きさをきちんと制御することが利点をもた
らし、最適の粒子サイズはとりわけ壁の高さ・カバー物質・剛性の関数であるこ
とがわかった。典型的な粒子サイズは１〜１０μｍで、３〜７μｍがより好まし
い。好ましい実施態様において、平均粒子サイズは５±１μｍである。結合に一
貫して高強度を与えるのは、狭い範囲の粒子サイズである。

【００３６】 当業界で公知のように、各チャンネルのベース内にインク射出穴９６ａ・９６
ｂを作るため、次のステップでレーザー加工が行われる。この穴は直接、インク
射出ノズルとして使える。あるいは、穴９６ａ・９６ｂとつながり、より高品質
なノズルをもつ別のプレート（図示せず）をベース８６の下面に付けてもよい。
適当な技術が特にＷＯ９３／１５９１１から公知で、それはノズル・プレートを
つけることにより各チャンネルを有する各ノズルの配置を簡単化するノズル形成
技術を開示している。

【００３７】 このカバー１３０はいくつかの機能を満たす。まず、圧電物質を動かして壁を
偏位させチャンネル内に圧力波を生じさせ各開口部から小滴を射出するため、壁
が圧電物質と結合した部分１４０ａ・１４０ｂに沿って各チャンネルを閉じる。
次にカバーとベースは、活性部１４０ａ・１４０ｂのいずれかに沿って伸びそこ
からインクを供給するダクト１５０ａ・１５０ｂ・１５０ｃをそれらの間に形成
する。またカバーは、ダクト１５０ａ〜１５０ｃとつながったポート８８・９０
・９２とともに形成される。射出したインクを補充することに加え、公知のシス
テムによって除熱しゴミと気泡を除くため、チャンネルを通ってインクを循環さ
せる。カバーのさいごの機能は、プリントヘッドのインク収納部を外界特に集積
回路８４からシールすることである。これはベース８６とカバーリブ１３２の間
を接着することにより満足に達成されることがわかった。あるいは、カバーリブ
の代りに適当な形状のガスケットを用いてもよい。

【００３８】 図５のプリントヘッドは、連続平面をもつ第１層、該連続平面に結合された圧
電物質の第２層、結合された第１・第２層を通って伸びる少なくとも１つのチャ
ンネル、該チャンネルの長手に沿って離れた第１・第２部分を第２層が有し、お
よび該第２層の第１・第２部分によって形成されたチャンネルのチャンネル部の
軸に平行に伸びる全側面を閉じる第３層からなる。 比較的高価な圧電物質の使用をチャンネルの「活性」部に限定することは、有
効である。圧電物質に伴う容量も最小化され、駆動回路のコストを減らす。

【００３９】 図５・６・７のプリントヘッドは、壁の一部のみが電界に応じて偏位する「片
持ち梁」タイプのアクチュエータ壁を用いているが、図１０のプリントヘッドは
全体が山形に変形する。このような「山形」アクチュエータは、対向分極（矢印
）をもつ上部壁２５０と下部壁２６０、および壁全体に一方向の電界を加えるた
めの電極１９０’・１９０”を対向面に有する。図１０の右側に破線２７０で誇
張して電界印加時の壁の変形状態を示す。

【００４０】 「山形」アクチュエータ壁のさまざまな製造法がたとえばＥＰ−Ａ−０２７７
７０３、ＥＰ−Ａ−０３２６９７３やＷＯ９２／０９４３６などから公知である
。図１５・１６のプリントヘッドに対し、２シートの圧電物質が互いにその分極
方向が逆になるように配列される。次にシートは積層され、細片に切られ、図５
ですでに説明したように不活性なベース８６に付けられる。

【００４１】 図１１は、接着層８００によって互いに結合された２シートの圧電物質２５０
・２６０で形成された「山形」壁を示している。壁は刻みプロセスによって生じ
た混入異物を除くため、プラズマ・クリーニングを受ける。結合点で圧電物質を
わずかにオーバーハングさせるようにプラズマ・クリーニングによって接着層が
エッチングされるのは、接着剤の自然の性質であることがわかった。

【００４２】 効率を最大にするため、「山形」壁は壁の両側の全面にわたって形成されたそ
れぞれの電極を要する。接着剤のエッチングにより、特にスパッタリングや電子
ビーム法を使って電極が形成されたとき、結合点で電極の形成を不十分にするこ
とがわかった。最悪の場合、壁の全長に沿って図１２の点８０１に形成された電
極物質を何も残さずに、圧電に頂部と底部に電極を完全に分離してしまうことに
なる。

【００４３】 電極物質を接着剤に付けることはときに難しいことがあり、さらにクリーニン
グやパッシベーションなどの処理を受けるとき、その接着が剥がれたりする。 従来技術によって作られたプリントヘッドの活性を図１４に示す。点８０２は
、壁の両側に接着剤によって壊れた電極がある状態を示している。半分の壁だけ
が動くので、活性は下がっている。点８０３で、壁の片側は電極が壊れているが
、壁の他方の側は十分に作用する電極を有している。図１４のグラフの他のすべ
ての点で、壁の両側の電極は十分に形成されている。

【００４４】 本発明の他の面により、粒子含有接着剤を使うことで電極の不十分な形成とい
う問題を解決することができる。図１１のＡ部の拡大図である図１３のように、
接着剤８００は粒子８０４を含み、チャンネルを刻んだ後のプラズマ・エッチン
グによって接着剤８００が除かれ粒子８０４が露出する。これにより、電極物質
に対するキーポイントの品質が向上し、積層の全面にプレーティングが伸びるよ
うにオーバーハングを減らす。接着剤よりも固い粒子によって、より厚い接着結
合を用いても壁のコンプライアンスは損なわれない。接着剤は最大粒子の大きさ
と同等の厚みをもつ。すなわち、圧電物質の頂シートと底シートに分離された単
一層の粒子しか存在しない。粒子のサイズを５〜２０μｍ、さらに好ましくは５
〜１０μｍに制御することにより、接着剤は実質的に自己充填している。

【００４５】 接着剤への粒子の加え方は、特に接着剤がエポキシのような２液混合反応の場
合には、注意深く制御して混合しなくてはならない。セラミックは接着剤の粘度
を増し、高充填では粒子の分散が難しくなる。接着剤を揮発性溶媒と混ぜること
により、混合物が厚くなりすぎる前に混合に使える時間をふやせることがわかっ
た。適切な溶媒はアセトンである。他の混合法は、接着剤の次の部分に加える前
に、接着剤混合物の一部に粒子を加えることである。

【００４６】 さらに、導電粒子を加えてもよい。これは異なる分極構造をもつ側壁剪断モー
ド・アクチュエータに適用でき、該粒子は電極物質として潜在的に作用する。 チャンネル形成後、導電物質が加えられ電極／導電トラックが形成される。圧
電細片１１０ａ・１１０ｂは面取りされてレーザー・パタニングを容易にする。
ノズル穴９６１・９６ｂも各チャンネルに沿う２点でベース内に形成されている
。

【００４７】 最後にカバー１３０がチャンネル壁の頂に結合されて、小滴射出に必要な閉じ
た「活性」チャンネル長さを生じる。図１５のプリントヘッドで、チャンネル列
に沿ってインクを運ぶのに必要なギャップ１５０ａ・１５０ｂ・１５０ｃがカバ
ー１３０の下面３４０と溝３００の面３４５の間に作られているので、カバーは
ただインク供給ポート８８・９０・９２とともに形成された単一面部材からなる
。チャンネルのシーリングは、下面３４０とベース上面との間の接着層（図示せ
ず）によって３３０で行われる。

【００４８】 図１６で、溝３００なしのベース８６の簡単さが、インク供給ダクト１５０ａ
〜１５０ｃを形成するためカバー１３０内に（たとえば突出リブ３６０によって
形成された）溝状構造３５０を形成する必要によって相殺される。 図１７では、簡単なベース８６と複雑なカバー１３０との組合せを採用し、カ
バーはスペーサ４１０および平面部材４２０からなっている。しかし、前の実施
例と違って、インク供給ポート８８・９０・９２とともに形成されているのはカ
バーではなくベースであり、かつ、小滴射出用の穴９６とともに形成されている
のはベースではなくカバー１３０である。穴は平面部材４２０に付けられたノズ
ルプレート４３０内に作られたノズルとつながっている。

【００４９】 図１８は、図１７のプリントヘッドをカバー側から見た一部破断斜視図である
。「山形」分極圧電積層の細片１１０ａ・１１０ｂは、ベース８６に結合され、
刻まれてチャンネルを形成する。次に、導電物質の連続層が細片の上に堆積され
、本発明によってベースの一部と電極、導電トラックが形成される。図７で説明
したように、細片は一方の側（１９５）で面取りされて、この遷移地域でレーザ
ー・パタニングを助ける。

【００５０】 図１９は、導電トラック１９２を詳細に見せるため、図１８からスペーサ４１
０を取り除いた拡大図である。明解にするため図示していないが、導電トラック
はチャンネルのようにプリントヘッドの全幅にわたって伸びている。ベース隣接
細片域（細片１１０ｂに関しては矢印５００で示す）において、導電トラックは
各チャンネルの対向壁上の電極（図示せず）に関して連続である。これにより有
効な電気的接触が得られる。

【００５１】 しかし、ベースの他の場所 − ５１０で示す − で、たとえばフォトリソ
グラフィのようなさらに伝統的な技術を使って、チャンネル電極から集積回路８
４に伸びるトラック１９２ばかりでなく、集積回路に電力・データ・他の信号を
送るための他のトラック５２０も形成し得る。このような技術はコスト効率がよ
く、特にインク供給ポート９２の回りに導電トラックがそらされている所ではそ
うであり、さもなければ複雑なレーザーの位置制御を要する。トラックは、イン
ク供給ポート８８・９０・９２が（レーザーなどによって）穿たれ、圧電細片１
１０ａ・１１０ｂが付けられ、面取りされ、刻まれる前に、アルミナベース上に
形成されることが好ましい。細片のすぐ近くに導電物質を堆積した後、レーザー
を使って各トラックを各チャンネル電極に対してのみ接続させる。

【００５２】 その後で、たとえばＷＯ９５／０７８２０に沿って置かれた窒化硅素を使って
電極とトラック双方に保護膜を付ける必要がある。それにより、電界とインクと
の結合効果による腐食に対する保護を与えるばかりでなく、各壁の対向側にある
電極が平面部材４３０によって短絡するのを防ぐ。カバーとスペーサ双方は、モ
リブデンあるいはニッケル合金のＮｙｌｏ（レイノルズ社の製品の商標）からな
ることが好ましく、アルミナと類似した熱膨張特性をもつことに加え、エッチン
グやレーザー加工などによって高精度に容易に加工できる。このことは小滴射出
用の穴９６にとって、および気泡をトラップして避けるスペーサ４１０の内部プ
ロフィール４３０にとって、特に重要である。気泡トラップはさらに各インクポ
ート９２の端と一列に、あるいは重なるようにトラフ４４０を配列することによ
って避けられる。波状プロフィールのクレスト４５０は隣接する細片１１０ａ・
１１０ｂの端から３ｍｍ − 各細片の幅の約１．５倍 − 離れて置かれるよ
うな大きさで、チャンネル内へのインク流れを妨げることなく、気泡の発生を避
けさせる。

【００５３】 スペーサ４１０は次に、接着層によってベース８６の上面に固定される。その
固定機能に加え、接着層はベース上の導電トラック間の絶縁も支縁する。ノッチ
４４０のような表示形状により、正確な配列が確保される。 接着されるさいごの２つの部材は、平面部材４２０とノズルプレート４３０で
ある。ノズルとチャンネルの間の正確な表示を確保するため、光学部材が用いら
れる。あるいは、ＷＯ９３／１５９１１から公知のようにノズルプレートが元の
位置にあるとき、ノズルが形成される。

【００５４】 図７の１９４付近の詳細である図２０に、本発明に従って粒子含有接着剤を使
うことのさらなる利点を示す。圧電層１００とベース８６の間に接合を作る間、
接着剤が絞り出されて生じたフィレ５５０が、面取り１９５が層の端面に作られ
るとき、有利に残る。この接着フィレ内の粒子は、クリーニング（プラズマ・エ
ッチングなど）されるとき露出され、粒子がなければ強固な結合を与えられない
箇所において電極物質１９０に対する良好なキーとなる。

【００５５】 図２１〜２６に、本発明の他の面を示す。図２１は、ベースに付ける準備をし
ている１ブロックの圧電物質を示している。圧電物質の「頁幅」細片１１０ａと
１１０ｂが、多くの突き出た部材から形成されている。細片とベースの結合の均
一さは、細片６１０の下面に形成された接着性流れ解放チャンネル６３０を使う
ことによって確保される。半幅チャンネル６４０の傍の細片間にある突出し接合
６５０で、別の解放チャンネルが形成される。図２１の矢印６６０沿った断面図
である図２２のように、解放チャンネル６３０と６４０を完全に埋めるように接
着剤６７０が好ましく用いられる。

【００５６】 上部インク射出チャンネル７とつながる位置で解放チャンネルを刻むと、予想
外の利点が得られることがわかった。接着剤６７０が固化した後、インクチャン
ネル７が圧電層の頂面内に作られる。図２３に、チャンネルがどのように位置し
、破線６８１で示すように解放チャンネル内の接着剤をいくらか取り去ってさえ
、解放チャンネル６３０の接着剤とつながる深さまで刻み込まれる様子を示す。
同様に、突出し接合６５０に作られたインクチャンネルは、半チャンネル６４０
から作られた解放チャンネルとつながる。その結果、各壁１３は接着剤６７０に
よってのみ隣接部とつながり、そうでなければ圧電物質を通して生じるクロスト
ーク（混線）を減らす。インクチャンネル７’とアレイに沿うすべての点でのチ
ャンネルは、外観と活性が実質的に同一であることが好ましい。

【００５７】 プリントヘッドのさまざまな点で「粒子含有」接着剤を使うことが好ましいこ
とがわかった。「粒子含有」接着剤は非含有接着剤よりも固いので、圧電物質の
固さにより近い。そのような点の一つは圧電物質細片１１０ａ・１１０ｂとベー
ス８６の面の間にある結合における点である。これは次に、たとえばＥＰ−Ａ−
０２７７７０３から原理が公知のアクチュエータ効率を向上させる。酸化アルミ
ニウム、炭化硅素あるいはＥｐｏｔｅｋ（商標）やＡｂｌｅｂｏｎｄ（商標）の
ようなエポキシ含有シリカ粉末（３０〜５０％ ｗ／ｗ）のようなセラミック粒
子は、単体あるいは混合物の一部として有効であることがわかった。接着剤より
も固い他の粒子も、金属やプラスチック（ポリマ、熱可塑性、熱硬化性）を含め
て使い得る。

【００５８】 この構造の利点は、活性を減らすことなく、クロストークを減らすことである
。粒子含有接着剤は圧電物質の固さに近いので、上部チャンネルを対応する下部
チャンネルに正確に合わせる必要がなくプリントヘッド製造を容易にする。 さらに、この技術により、図２４に示すようにたとえば点６９０・６９１は固
い接着剤のフィレ６８０によって支えられるので、下に深く伸びるチャンネル壁
１３のいずれの部分も確保される。接合ステップの注意深い制御によって、細片
とヘッドを横切る他の場所の間の接合部に、壁底部での接合の固さが均一に確保
される。チャンネル間の射出速度の均一性における重要な因子は公知である。

【００５９】 接着剤を完全に除くことが好ましい場所で、本発明の方法を用いて他の利点が
得られる。上記のように、壁底部接合の固さは重要であり、粒子非含有接着剤を
使う接合においては必要な固さを得るため薄くする必要がある。粒子を用いるこ
とにより、より厚い層の接着剤を使って、同一の固さが得られる。また、ベース
が圧電物質よりも固い場合には、余り深く刻んでベース内まで進むことによって
損なうことがないように、きちんとした刻み制御が必要である。粒子を含有した
より厚い接着層によって、プリントヘッドの製造がより簡単になり、刻み刃の寿
命が長くなる。

【００６０】 図２１を用いて、さらに説明する。チャンネル壁用圧電物質は、チャンネルの
ワイド・アレイに必要な方向Ｗにおける他の細片と突き出した２つの細片１１０
ａ・１１０ｂからなる層１００内に結合している。アクチュエータが「片持ち梁
」か「山形」のタイプかに依存して、圧電層は一方向あるいは（対向する）二方
向に分極し、後者の場合には６００および６１０のように積層された２シートか
らなる。相対配置を容易にするため、細片１１０ａ・１１０ｂはブリッジ６２０
によって接続され、層１００とベース８６が接着剤で接合されると、面取りの際
にブリッジ６２０は取り去られる。

【００６１】 粒子含有接着剤を使うことによって生じる改善された固さによって、得られる
さらなる利点を、図２５・２６で説明する。図２５は、一定厚みの接着層７１０
による（スロープ７００をもつ）斜面を有するベース８６に付けられたチャンネ
ル壁１３ａ・１３を示す。たとえば、公知であるがディスク・カッターを用いて
切ることによってチャンネルを作る前に、圧電細片の頂面７２０が平面にされる
結果、チャンネルも一定深さｄを有する。「ｄ」は壁の「活性高さ」である、す
なわち電界がかかったとき偏位する部分の壁である。しかし、壁１３ａの活性高
さの底における接合は、底とベース８６との距離７３０ａが壁１３ｂのそれ７３
０ｂよりも大きいため、壁１３ｂの活性高さの底よりも柔軟性があることに注意
すべきである。

【００６２】 図２６は、本発明の技術を用いたときの対照的な状況を示す。接着層６７０の
フィレ６８０は、ベース８６の形状に無関係に、壁の活性高さ「ｄ」の底に伸び
ている。したがって、底の接合固さは、壁１３ａ・１３ｂおよび一般のプリント
ヘッドのすべての壁の双方に対して、同一である。したがって、均一性が少なく
ともこの点において、確保される。

【００６３】 図２７に、粒子含有接着剤を使う場合のさらなる利点を示す。ベースの物質は
ＰＺＴに合うように、注意深く選択されねばならない。しかし、ある条件下では
ＰＺＴよりも大きな固さをもつ物質を使うことが好ましい。ＰＺＴとベースとの
間の接合は固くなければならず、従来の粒子非含有接着剤を使う場所では、接着
剤７１０の薄層を用いてその固さが得られる。チャンネル７が刻み込まれるとき
、破線７９９で示すようにベース内へのカッティングを避けることがしばしば困
難である。ベースが固い物質からなるこの場合、カッティングによりしばしば刻
み刃を損ない、刃の寿命を短くするばかりか、修理コストも上げる。また、いく
つかの例では製造される部材を損なうこともある。

【００６４】 本発明は粒子含有接着剤を用いて、この問題を解決しようとするものである。
接着剤の固さは、粒子の存在によって増し、受け入れられる固さは、粒子非含有
接着剤を使う場合の等価固さの１０倍まで厚い接着層を用いて得られる。これは
、活性を実質的に損なうことなく、壁の活性高さｄおよびチャンネルのベース幅
ｂ（図２８）の一部を接着層が形成するように、接着層内にチャンネルの刻み込
みが伸びることを意味している。刻み込みの許容度もゆるめられる。

【００６５】 以上、図を用いて本発明を説明してきたが、本発明はこれらの実施例に限定さ
れるものではない。特に、本発明の技術はさまざまな幅や解像度をもつプリント
ヘッドに適用可能で、頁幅二重列配列は多くの適切な配列の一つにすぎない。た
とえば、２列以上の列をもつプリントヘッドは電子産業の他の分野で公知のよう
な多重層において使われるトラックを用いて、容易に実現できる。 全書類、特に本特許出願明細書において引用されたものは、本特許出願の参考
文献として用いられる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 従来技術のプリントヘッドの長手方向断面図。

【図２】 図１のＡ−Ａ矢視断面図。

【図３】 従来技術のプリントヘッドの一部破断斜視図。

【図４】 図３のプリントヘッドの長手方向断面図。

【図５】 本発明のプリントヘッドの長手方向断面図。

【図６】 図５のプリントヘッドのチャンネル軸に直交する断面図。

【図７】 図５のプリントヘッドのチャンネル軸に平行な断面図。

【図８】 図５のプリントヘッドの部分拡大図。

【図９】 図８の配列に関して生じる問題を説明するための部分拡大断面図。

【図１０】 本発明の他の実施例よりなるプリントヘッドの断面図。

【図１１】 単一「山形」壁の断面図。

【図１２】 単一「山形」壁の断面図。

【図１３】 単一「山形」壁の断面図。

【図１４】 チャンネルの活性を示すグラフ。

【図１５】 変形構造を示すプリントヘッドの断面図。

【図１６】 変形構造を示すプリントヘッドの断面図。

【図１７】 変形構造を示すプリントヘッドの断面図。

【図１８】 図１７のプリントヘッドの一部破断斜視図。

【図１９】 図１７のプリントヘッドの詳細な一部破断斜視図。

【図２０】 図７の１９４で示す領域の拡大断面図。

【図２１】 図１７のようなプリントヘッドの製造ステップを示す斜視図。

【図２２】 図２１の矢印６６０方向から見た断面図。

【図２３】 本発明の変形からなるプリントヘッドの断面図。

【図２４】 本発明の変形からなるプリントヘッドの断面図。

【図２５】 本発明の変形からなるプリントヘッドの断面図。

【図２６】 本発明の変形からなるプリントヘッドの断面図。

【図２７】 本発明の変形からなるプリントヘッドの断面図。

【図２８】 本発明の変形からなるプリントヘッドの断面図。

【符号の説明】

７： 上部チャンネル １３： 圧電壁（側壁） ８６： ベース（基板） １００： 圧電層（ボデー） １１０ａ・１１０ｂ： 圧電細片 １３０： カバー １９０’，１９０”，１９０”’： 電極 １９２： 導電トラック １９５： 面取り ６３０： 下部チャンネル ６７０： 接着剤 ８０４： 粒子

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ， ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ， ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＢＺ，Ｃ Ａ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ ，ＤＺ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ， ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，Ｋ Ｅ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ， ＭＷ，ＭＸ，ＭＺ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，Ｒ Ｕ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ， ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ (72)発明者 コンディー，アンガス イギリス国ケンブリッジ シービー５ ０ ジェイエス スワファム プライア ケー ジ ヒル 10 (72)発明者 ザバ，ジャージー マーシン イギリス国ケンブリッジ シービー４ ９ エイチワイ ヒストン メルビン ウェイ 56 Ｆターム(参考） 2C057 AF93 AG12 AG45 AP02 AP14 AP22 AP25 BA03 BA14

Claims (43)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 頂面とベース（８６）に付けられた底面とを有する圧電物質
   のボデー（１００）からなり、該ボデーが頂面から圧電ボデー内に伸びる複数の
   上部チャンネル（７）および底面から圧電ボデー内に伸びる対応する複数の下部
   チャンネル（６３０）を有し、且つ該チャンネルが少なくとも１つの上部チャン
   ネル（７）と対応する下部チャンネルとの間に接続があるような深さをもつこと
   を特徴とする小滴堆積装置内で使用するための部材。
2. 【請求項２】 上部チャンネル（７）が下部チャンネル（６３０）よりも幅
   が広い請求項１の部材。
3. 【請求項３】 接着剤（７１０）がボデー（１００）とベース（８６）の間
   に付与されている請求項１又は２の部材。
4. 【請求項４】 下部チャンネル（６３０）が接着剤（７１０）で満たされて
   いる請求項３の部材。
5. 【請求項５】 接着剤（７１０）が該接着剤自身よりも固い粒子（８０４）
   を含有する請求項３又は４の部材。
6. 【請求項６】 粒子が１〜１０μｍ径をもつ請求項５の部材。
7. 【請求項７】 接着剤（６７０）が必要な接合を達成するのに要求される厚
   さよりも厚い請求項３〜６のいずれか１項の部材。
8. 【請求項８】 接着剤（６７０）の厚さがベース（８６）を横切って変化す
   る請求項７の部材。
9. 【請求項９】 ベース（８６）が実質的に不連続な表面をもち、接着剤が実
   質的に連続した層を与える請求項７又は８の部材。
10. 【請求項１０】 ボデーとベースの間の接着剤が１〜１００μｍの厚さをも
    つ請求項１〜９のいずれか１項の部材。
11. 【請求項１１】 少なくとも１つの下部チャンネル（６３０）が、上部チャ
    ンネルの幅に関して中心を外れた点で対応する上部チャンネル（７）と接続する
    請求項５〜１０のいずれか１項の部材。
12. 【請求項１２】 接着剤（５５０）がベース上でボデー（１００）の端を越
    えて伸びる請求項５〜１０のいずれか１項の部材。
13. 【請求項１３】 少なくとも１つのボデー（１００）の端が面取りされてい
    る請求項１〜１２のいずれか１項の部材。
14. 【請求項１４】 ボデーの面取りされた端がチャンネルの伸びる方向と直交
    している請求項１３の部材。
15. 【請求項１５】 面取りが接着剤（５５０）を通ってボデー（１００）の端
    を越えている請求項１２〜１４のいずれか１項の部材。
16. 【請求項１６】 ボデー（１００）が圧電物質の２以上の層（２５０，２６
    ０）の積層からなる請求項１〜１５のいずれか１項の部材。
17. 【請求項１７】 圧電物質の層が対向方向に分極している請求項１６の部材
    。
18. 【請求項１８】 隣接するチャンネルが介挿された壁によって分離されてい
    る請求項１〜１７のいずれか１項の部材。
19. 【請求項１９】 電極（１９０）が壁の剪断偏位を引き起こすために付与さ
    れている請求項１〜１８のいずれか１項の部材。
20. 【請求項２０】 ベース（８６）、および頂面と底面をもつ圧電物質のボデ
    ー（１００）を用意し、複数の下部チャンネル（６３０）をボデーの底面内に刻
    み込み、 ボデーの底面を接着剤（７１０）によってベースに接合し、 次いで複数の上部チャンネル（７）をボデーの頂面内に刻み込むことからなると
    共に、 少なくとも１つの上部チャンネルがボデーを通って伸び、対応する下部チャンネ
    ルに接続する深さまで刻み込まれることを特徴とする 小滴堆積装置内で用いられる部材の形成方法。
21. 【請求項２１】 十分な接着剤が下部チャンネルを満たすために付与される
    請求項２０の方法。
22. 【請求項２２】 接着剤（６８１）の一部が、上部チャンネルが形成される
    刻み込み工程の間に取り除かれる請求項２０又は２１の方法。
23. 【請求項２３】 ボデー（１００）が、上部チャンネルの形成後、チャンネ
    ルの少なくとも２つの異なったアレイ（１１０ａ・１１０ｂ）に分離される請求
    項２０〜２２のいずれか１項の方法。
24. 【請求項２４】 過剰な接着剤（６７０）がボデーの側面に押し出されて帯
    （５５０）を形成する請求項２０〜２３のいずれか１項の方法。
25. 【請求項２５】 ベース（８６）および頂面と底面をもつ圧電物質のボデー
    （１００）を用意し、下部チャンネル（６３０）をボデーの底面内に刻み込み、
    該底面を接着層（７１０）によってベース接合し、次いで上部チャンネル（７）
    をボデー内に伸びる頂面内に刻み込むことからなると共に上部チャンネルがボデ
    ーを通って接着層（７１０）内に伸びることを特徴とする小滴堆積装置に使用す
    るための部材の形成方法。
26. 【請求項２６】 接着層（７１０）が上部チャンネル（７）に隣接した壁（
    １３）の一部をなす請求項２５の方法によって形成された部材。
27. 【請求項２７】 接着剤が、それ自身よりも固い粒子（８０４）を含有する
    請求項２５の方法によって形成された部材。
28. 【請求項２８】 頂面と底面をもつと共に複数のシートの積層からなる部材
    であって、接着剤自身よりも固い粒子（８０４）を含有する接着層（８００）に
    よって前記シートが互いに接合されていることを特徴とするオンデマンド射出プ
    リントヘッド用部材。
29. 【請求項２９】 複数のシートが１枚の圧電シートを含む請求項２８の部材
    。
30. 【請求項３０】 複数のシートが複数の圧電シートからなる請求項２８の部
    材。
31. 【請求項３１】 接着層が接着剤（８００）に含有された最大粒子（８０４
    ）と実質的に同一の厚さを有する請求項２８〜３０のいずれか１項の部材。
32. 【請求項３２】 粒子（８０４）がセラミックである請求項２８〜３１のい
    ずれか１項の部材。
33. 【請求項３３】 粒子（８０４）が金属である請求項２８〜３１のいずれか
    １項の部材。
34. 【請求項３４】 粒子（８０４）がプラスチックである請求項２８〜３１の
    いずれか１項の部材。
35. 【請求項３５】 部材が圧電シート内に刻み込まれて壁を形成するチャンネ
    ルを有する請求項２８〜３４のいずれか１項の部材。
36. 【請求項３６】 １以上のチャンネルが接着層内に伸びている請求項３５の
    部材。
37. 【請求項３７】 粒子（８０４）が接合後の製造工程において露出されてい
    る請求項２８〜３６のいずれか１項の部材。
38. 【請求項３８】 該製造工程が刻み込みである請求項３７の部材。
39. 【請求項３９】 該製造工程がプラズマ洗浄である請求項３７の部材。
40. 【請求項４０】 電極物質の層（１９０）が露出した粒子の上に形成されて
    いる請求項３７〜３９のいずれか１項の部材。
41. 【請求項４１】 電圧物質のボデー（１００）を接着物質の層（６７０）を
    通してベース（８６）に接合し、次いでチャンネル（７）を圧電物質内に刻み込
    んで圧電側壁（１３）を動き得るようにすることからなると共に、該チャンネル
    が接着物質に露出するように刻み込まれることを特徴とする小滴堆積装置に使用
    するのに適切な部材の形成方法。
42. 【請求項４２】 接着物質（７１０）がそれ自身よりも固い粒子（８０４）
    を含有する請求項４１の方法。
43. 【請求項４３】 さらに、チャンネルと一列に並んだ位置で圧電物質内に解
    放スロット（６３０）を刻み込み、圧電物質（１００）をベース（８６）に接合
    する際解放スロットを満たすために接着物質（７１０）を配合し、次いで接着物
    質を解放スロット内に露出させるようにチャンネルを刻み込むことからなる請求
    項４１又は４２の方法。