JP2001277504A - インクジェットヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】溝へ安定してインクを供給し、精度良くインク
液滴を吐出して、高精度、高画質の印刷が可能なインク
ジェットヘッドを提供する。 【解決手段】前端３ａと後端壁３ｂを有し互いに平行に
配列され、後端３ｂが封止された複数の溝３を具備する
第一の基板２と、前端壁４ａ、５ａと後端壁４ｂ、５ｂ
を有し複数の溝３にインクを導入するインク溜部４と、
インク溜部４内にインクを供給するインク導入路５を有
する第二の基板６が、溝３の封止部Ａ付近でインク溜部
４と連結するように積層一体化されてなるインクジェッ
トヘッド１にて、第二の基板６におけるインク導入路５
がインク溜部４の最後端側に設けられ、かつインク溜部
４が溝３の最後端側に設けられるとともに、インク導入
路５、インク溜部４および溝３の後端壁５ｂ、４ｂ、３
ｂを第一の基板２と第二の基板６との積層面Ｂに対して
垂直に配設、または後端側に傾斜させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、微細なノズル孔か
らインク滴を吐出して印字、画像を形成するインクジェ
ットヘッドおよびその製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来技術】近年、マルチメディアの浸透に伴い、印版
が不要で少量多品種の用途に適した小型軽量の各種情報
の印刷用インターフェイスとして、従来のインパクト方
式の印字装置に代わってノンインパクト方式の各種印刷
装置が開発され、中でも、インクジェットヘッドは、多
階調化やカラー化が容易で、ランニングコストが低いこ
とから急速に普及している。

【０００３】前記インクジェットヘッドは、溝を有する
基板の該溝開口面に他の基板を接着、固定し、ノズル孔
が形成されたノズル板を前記溝の一端面に形成して、前
記溝内にインクを充填し前記ノズル孔からインクの液滴
を吐出するものである。

【０００４】かかるインクジェットヘッドの具体的な構
造の一例は、その一部切り欠き斜視図である図４および
その概略断面図である図５に示すとおり、インクジェッ
トヘッド３０は互いに平行に配列された複数の溝３１を
有する第一の基板３２と、インクタンクからインクを溝
３１へ導くために設けられたインク導入路３４およびイ
ンク溜部３５とを備えた第二の基板３３とを、第一の基
板３２の溝３１が第二の基板３３に設けられたインク溜
部３５と連通するように配設して積層した構成からな
り、溝３１内にインクを充填し溝３１の壁面を変形させ
て溝３１の容積を減ずるか、または溝３１近傍に配設し
たヒータ等によって溝３１内のインクを加熱、発泡して
体積膨張を生ぜしめることによって溝３１内に内圧を発
生させて、溝３１の一端に設けられたノズル板３６のノ
ズル孔３７を通してインク液滴を吐出するものである。

【０００５】なお、図４においては、溝３１を形成する
隔壁３８を圧電体セラミックスによって形成し、該圧電
体セラミックスの側面における所定の位置に形成した正
極および負極をなす一対の電極３９に電位差を付与して
前記圧電体セラミックスに剪断モードの変形を生ぜしめ
る構造となっており、これによれば、単純構造で高密度
化でき、インクの種類を限定することなく、応答性に優
れる高速印刷が可能なインクジェットヘッドを作製でき
ることが提案されている。

【０００６】一方、上記インクジェットヘッド３０をプ
リンタ等に組み込む場合には、第一の基板３２と第二の
基板３３との後端が鉛直上方となるように配置して組み
込まれるものであるが、従来、かかるインクジェットヘ
ッド３０においては、図４および図５に示すように溝３
１の一部がインク溜部３５よりも後端側に突出して形成
されるか、またはインク溜部３５の一部がインク導入路
３４よりも後端側に形成されるものであった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成からなるインクジェットヘッド３０では、インクジェ
ットヘッド３０の溝３１とインク溜部３５との境界部す
なわち積層部、またはインク溜部３５とインク導入路３
４との境界部で溝３１またはインク溜部３５が突出して
いるために、インク液滴の吐出過程またはノズル孔をク
リーニングする際等に、ノズル孔から溝３１中のインク
内に気泡が混入した場合には、該気泡が溝３１またはイ
ンク溜部３５の前記後端側の突出部に滞留して、インク
の流路抵抗が変化し、安定したインクの供給が困難にな
る結果、吐出される液滴の大きさが変化してしまい印刷
ムラが生じてしまうという問題があった。

【０００８】また、インク液滴を吐出するため溝３１内
のインクに圧縮力を付与したりインクを加熱するような
駆動力を付与する場合にも、前記突出部に滞留する気泡
の体積変化によって前記インク液滴を吐出するための駆
動力を吸収してしまう結果、精度良くインク液滴を吐出
することができないという問題があった。

【０００９】本発明は前記課題に対してなされたもので
あり、その目的は、溝やインク溜部での気泡の滞留を防
止して、溝へ安定してインクを供給することができると
ともに、精度良くインク液滴を吐出して、色ムラや画質
の乱れのない高精度、高画質の印刷が可能なインクジェ
ットヘッドを提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、前記課題
に対し、溝、インク溜部およびインク導入路の配置につ
いて検討した結果、インク導入路−インク溜部溝の後端
壁に突出部が生じない構成とすることにより、例えイン
ク内に気泡が発生しても該気泡が溝やインク溜部内に滞
留することなく容易にインクタンク側に抜けるために、
溝へ安定してインクを供給することができるとともに、
精度良くインク液滴を吐出して、色ムラや画質の乱れの
ない高精度、高画質の印刷が可能なインクジェットヘッ
ドとなることを見いだし、本発明に至った。

【００１１】即ち、本発明のインクジェットヘッドは、
所定の基板表面に前端と後端を有して互いに平行に配列
され、前記後端が封止された複数の溝を具備する第一の
基板と、該第一の基板における前記複数の溝にインクを
導入するために所定の基板内に設けられ、前端壁と後端
壁を有するインク溜部と、該インク溜部内にインクを供
給するためのインク導入路とを有する第二の基板とを有
し、前記第一の基板における前記溝の封止された後端付
近と、前記第二の基板における前記インク溜部の開口部
とが連結するように第一および第二の基板を積層一体化
されてなるものであって、前記第二の基板における前記
インク導入路が前記インク溜部の最後端壁側に設けら
れ、かつ前記インク溜部が前記溝の最後端側に設けられ
るとともに、前記インク導入路、インク溜部および溝の
後端壁は前記第一の基板と前記第二の基板との積層面に
対して垂直に配設されるか、または後端側に傾斜してい
ることを特徴とするものである。

【００１２】ここで、前記第一の基板において、隣接す
る前記溝間に位置する隔壁が圧電体セラミックスからな
ることが望ましい。

【００１３】また、前記第二の基板において、前記イン
ク溜部の前端壁が前記第一の基板と前記第二の基板との
接合面に対して垂直に配設されるか、または後端側に傾
斜していることが望ましい。

【００１４】さらに、本発明のインクジェットヘッドの
製造方法は、（ａ）第一の基板表面に前端と後端を有
し、該溝の後端が封止された複数の溝を互いに平行に形
成する工程と、（ｂ）第二の基板内の前端壁と後端壁と
開口部を有するインク溜部と、該インク溜部内にインク
を供給するためのインク導入路を形成する工程と、
（ｃ）前記（ａ）工程で得られた前記第一の基板におけ
る前記溝開口面に、前記（ｂ）工程で得られた前記第二
の基板を前記溝の封止された後端付近と前記第二の基板
における前記インク溜部の開口部が連結するように前記
第一の基板と前記第二の基板を接着する工程とを備えた
ものであって、前記第二の基板における前記インク導入
路が前記インク溜部の最後端壁側に設けられ、かつ前記
インク溜部が前記溝の最後端側に設けられるとともに、
前記インク導入路、インク溜部および溝の後端壁は前記
第一の基板と前記第二の基板との接合面に対して垂直に
形成するか、または後端側に傾斜して形成することを特
徴とするものである。

【００１５】ここで、隣接する前記溝間に位置する隔壁
が圧電体セラミックスからなることが望ましい。

【００１６】また、前記インク溜部の前端壁が前記第一
の基板と前記第二の基板との接合面に対して、垂直また
は後端側に傾斜していることが望ましい。

【００１７】さらに、前記（ａ）工程において回転ディ
スクを用いて前記溝を形成することが望ましい。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明のインクジェットヘッドの
一例について、その一部切り欠き斜視図を図１に、概略
断面図を図２に示す。図１、２のインクジェットヘッド
１においては、第一の基板２の表面には互いに平行に配
列された複数の溝３が形成され、かつ溝３は長手方向に
前端３ａと後端壁３ｂを有するとともに、後端壁３ｂが
封止されている。

【００１９】また、第一の基板２の溝３形成面には、溝
３にインクを導入するためのインク溜部（いわゆるマニ
ホールド）４と、該インク溜部４内にインクを供給する
ためのインク導入路５が形成されており、この第二の基
板６は溝３の後端壁３ｂの封止部Ａ付近でインク溜部４
の開口部と連結するように積層一体化されている。な
お、インク溜部４とインク導入路５はそれぞれ前端壁４
ａ、５ａと後端壁４ｂ、５ｂを有している。なお、イン
ク溜部４はインク導入路５から溝３に供給されるインク
の流れを層流状態に保つ働きがある。

【００２０】また、インクジェットヘッド１は、第一の
基板２並びに第二の基板６の後端壁が鉛直上方となるよ
うにしてプリンタ等の印刷装置に取りつけられる。

【００２１】第一の基板２は、アルミナ、ジルコニア、
ムライト、コージェライト、窒化ケイ素、窒化アルミニ
ウム、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛、チタン酸バ
リウム、タングステンブロンズ等のセラミックス、ホウ
ケイ酸ガラス、ソーダガラス等のガラスおよびシリコン
等の金属の群から選ばれる少なくとも１種からなる。

【００２２】中でも、第一の基板２の隣接する溝３、３
間に位置する隔壁８をチタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸
鉛、チタン酸バリウム、タングステンブロンズ等の圧電
体セラミックス、特に、チタン酸ジルコン酸鉛を主体と
し、所望により圧電性を高めるための公知の添加物、例
えば、Ｂａ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｎｂ等を添加したものである
ことが望ましく、圧電体セラミックスからなる隔壁８の
壁面の所定の位置に電極９を被着形成して、前記圧電体
セラミックスに電圧を付与し剪断モードの変形を生ぜし
めることによって素速くインク液滴を吐出でき、かつ単
純構造で溝間隔の小さい高密度な溝を形成できる。また
かかるインクジェットヘッドによれば、インクの種類を
限定することなく作動可能となる。

【００２３】電極９は、例えば、金、銀、銅、白金、ニ
ッケル、タングステン、クロム、アルミニウムの少なく
とも１種等の導電材料からなり、厚み０．５〜１０μｍ
であることが望ましい。

【００２４】また、図１、２によれば、隔壁８の両側壁
面には、隔壁８の所定の高さ、例えば隔壁のほぼ半分の
高さに電極９が形成されており、例えば、電極９を第一
の基板２における溝３の封止部Ａにおける所定の位置に
取り出し電極１０を形成し、さらに別途形成したチップ
素子（図示せず。）と取り出し電極１０とをリード端
子、配線回路等を介して接続して、電極９に印加する電
圧を制御することにより隔壁８の圧電体セラミックスに
所定の変形を生ぜしめることができる。また、隔壁８の
圧電体セラミックスを反対の２方向に分極されたものを
用いてもよい。

【００２５】また、第一の基板２の形状は、例えば、幅
８〜３５０ｍｍ×長さ１〜２００ｍｍ×高さ０．５〜５
ｍｍであり、また、第一の基板２に形成される溝３の形
状は、幅３０〜２５０μｍ×高さ２００〜４５０μｍで
あり、さらに溝３間の隔壁８の幅は１００μｍ以下、特
に７０μｍ以下にて構成される。また、第一の基板２の
後端には所定の長さにわたって溝３が形成されないか、
または浅い溝が形成された溝３の封止部Ａが形成されて
いる。さらに、溝３の底面は後端３ｂ側に位置する開口
端に向かって連続的に、特に円弧状に形成されているこ
とが溝３内に充填されるインク内に発生した気泡を除去
する点で望ましい。

【００２６】一方、第二の基板６はセラミックス、ガラ
ス、プラスチック等の絶縁材料からなり、その形状は高
さ０．４〜４ｍｍで、第一の基板２の前端から封止部Ａ
の所定の位置にわたって形成されることが望ましく、ま
た第二の基板６の幅は第一の基板２と同じであることが
望ましい。

【００２７】また、第二の基板６におけるインク溜部４
の形状は、長さ０．４〜８０ｍｍ×厚さ０．２〜３ｍｍ
程度で、第一の基板２におけるそれぞれの溝３と連通し
ている。さらに、インク導入路５はインク溜部４から第
二の基板６におけるインク溜部４の開口面と反対側の表
面、またはインク溜部４の後端壁４ｂから第二の基板６
の後側面６Ｃ間を貫通して形成され、インク導入路５の
断面は直径０．２〜２ｍｍの円形またはインク溜部４と
同じ幅で長さ０．３〜８０ｍｍ程度の概略長方形である
ことが望ましい。

【００２８】本発明によれば、第二の基板６におけるイ
ンク導入路５がインク溜部４の最後端壁４ｂ側に設けら
れ、かつインク溜部４が溝３の最後端３ｂ側に設けられ
るとともに、インク導入路５、インク溜部４および溝３
の後端壁５ｂ、４ｂ、３ｂが第一の基板２と第二の基板
６との積層面Ｂに対して垂直に配設されるか、または図
３に示すように後端側に傾斜していることが大きな特徴
であり、これによって、例えインク溜部４および溝３内
のインク中に気泡が発生しても該気泡が溝３やインク溜
部４内の後端付近に滞留することなく容易にインク導入
路５からインクタンク側に抜けるために、溝３へ安定し
てインクを供給することができるとともに、精度良くイ
ンク液滴を吐出して、色ムラや画質の乱れのない高精
度、高画質の印刷が可能となる。

【００２９】なお、第一の基板２と第二の基板６との間
を接着剤にて貼り合わせて一体化する場合には、溝３の
後端壁頂部７がインク溜部４の開口部内に１ｍｍ以下、
特に０．５ｍｍ以下の長さｘ突出して形成されることが
望ましく、これによって第一の基板２と第二の基板６と
の貼り合わせ面端部に接着剤がはみ出して形成されるこ
となく、溝３の後端壁３ｂおよびインク溜部４の後端壁
４ｂ間にインク溜部４内にはみ出した接着剤に気泡が滞
留したり、該はみ出した接着剤によってインクの流れを
阻害したりすることを防止できる。

【００３０】ここで、本発明によれば、上記のとおり溝
３およびインク溜部４に気泡が滞留することなく溝３へ
安定してインクを供給できることから、上述した溝３内
に大量のインクを安定して供給する必要がある図１、２
の剪断モード型のインクジェットヘッド１、すなわち隔
壁８を圧電性セラミックスにて構成したものに対して特
に有効である。さらに、このタイプのインクジェットヘ
ッド１では、後述するノズル孔１２を塞いだ状態で圧電
体セラミックスを振動させることによって気泡をインク
タンク側にさらに抜けやすくすることができる。

【００３１】また、図３に示す本発明のインクジェット
の他の一例についての概略断面図に示すように、インク
溜部４の前端壁４ａが後端側に連続的または段階的に角
度θにて傾斜して形成されていてもよく、これによれ
ば、溝３内に流入されるインクの流れを層流状態に保ち
やすく流路抵抗を低減することができる結果、溝３内に
安定してインクを供給することができる。なお、図３に
よれば、インク溜部４前端側の角部４ｃにテーパーを設
けたり、該角部４ｃをＲ形状としてもよい。

【００３２】一方、溝３の前端３ａにはノズル孔１２を
備えたノズル板１３が接着形成されており、前述した隔
壁８によって容積が減ずるように溝３を変形させること
によりインク液滴をノズル孔１２から吐出することがで
きる。

【００３３】ノズル板１３は、プラスチック、金属、セ
ラミックス等が使用することができ、例えば、ポリエチ
レンテレフタレートやポリイミド、ポリエーテルイミ
ド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリ
カーボネイト、酢酸セルロース等のプラスチック、ある
いはステンレス鋼やクロムモリブデン鋼、アルミニウム
等の金属、もしくはアルミナやジルコニア、チタン酸ジ
ルコン酸鉛、コージェライト等のセラミックスが挙げら
れるが、特に、加工のし易さからは、ポリエチレンテレ
フタレートやポリイミドから成るプラスチック板が好適
に使用できる。

【００３４】さらに、ノズル孔１２を形成したノズル板
１３と溝３との間にはノズル孔１２より大きな空隙を有
する絶縁体からなるスペーサ（図示せず。）を介在させ
ることもでき、このスペーサによって数１０μｍの薄い
ノズル板１３を補強することができ、インクジェットヘ
ッドの耐久信頼性を高めることができる。

【００３５】また、上記のインクとしては、顔料又は／
及び染料と、水やアルコール等の水系の溶剤、あるいは
ヘキサンやトルエン等の非水系の溶剤を主成分としたも
の等が適用可能である。

【００３６】なお、図１乃至３では、ノズル板１３が第
一の基板２における溝３の前端３ａ側に設けられるもの
であったが、本発明はこれに限られるものではなく、溝
３の底面側にノズル板を配設することも可能である。こ
の場合には、第一の基板２における溝３の前端３ａは必
ずしも開口する必要はなく、封止されていてもよい。

【００３７】次に、本発明のインクジェットヘッドを製
造する方法の一例について、上述の図１乃至３の隔壁８
を圧電体セラミックスにて形成した場合について説明す
る。先ず、上述の圧電体セラミック材料からなる基板に
対して、その上下面に分極処理を施すための導体層を形
成し、これに電圧を印加することによって板状体の厚み
方向に分極処理を行う。

【００３８】次に、ダイシングソーなどを用いた公知の
切削加工等により分極された基板表面に複数の溝を並列
に形成して隔壁を形成する。その際、回転ディスク等を
用いて溝加工を行えば、図１乃至３のように溝の後端壁
を円弧状とすることができる。また、溝を形成する他の
方法としては、溝の後端に封止材を埋め込んでもよい。

【００３９】そして、隔壁の側面、すなわち溝の両側壁
面に電極を形成する。具体的には、前記隔壁の壁面にお
ける所定の位置に、例えば、金、銀、銅、白金、ニッケ
ル、タングステン、クロム、アルミニウムの少なくとも
１種等の導電材料からなる厚み０．５〜１０μｍの電極
を形成する。電極を形成する手段は、例えば、スパッタ
リング法、蒸着法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法
等の気相法やめっき法等により隔壁の先端面を含む隔壁
壁面に電極を被着形成した後、隔壁の先端面に形成され
た電極部分を隔壁の長手方向に研磨するか、レーザーを
照射する方法等で一部を除去して両壁面の電極が短絡す
ることを防止する。また、電極を形成する前に隔壁先端
部にマスキングを施し、電極を被着形成した後、マスキ
ングを除去することもできる。

【００４０】ここで、上述の分極処理により隔壁が一方
向に分極されたものについては、隔壁を効率よく駆動さ
せるために、電極は隔壁の壁面の上端部、特に、隔壁先
端から溝の半分の深さまで形成されることが望ましい。
また、第一の基板の封止部Ａにも前記電極形成時に連続
して導体層を形成し、該導体層について中央部分のみを
隔壁の長手方向に除去、絶縁することによって一対の取
出し電極を形成することができる。

【００４１】また、隔壁端面に形成された取出し電極
は、外部に形成された配線パターンまたはワイヤ、リー
ド、ＴＡＢ等によってチップ素子（図示せず。）に接続
する。

【００４２】一方、所定の板形状からなる第二の基板を
準備し、切削加工またはレーザー加工等によって、イン
ク溜部の後端壁およびインク導入路の後端壁が、第一の
基板と第二の基板との積層、接着面に対して垂直または
後端側に傾斜するとともに、前記インク導入路が前記イ
ンク溜部の最後端壁側に位置するようにして、インク溜
部およびインク流入路を形成する。

【００４３】そして、前記第一の基板の溝を形成した表
面にスクリーン印刷、グラビア印刷、バーコータ法等の
公知の印刷法によりエポキシ樹脂等の接着剤を塗布した
後、前記インク溜部が前記インク導入路の最後端側に位
置するようにして、上記第二の基板を前記第一の基板の
表面に接着、固定する。

【００４４】さらに、レーザー加工等によって直径１０
〜３０μｍのノズル孔を穿孔したノズル板を上記貼り合
わせた第一の基板および第二の基板の前端壁、または第
一の基板の溝底面に貼り合わせ、固定する。なお、ノズ
ル孔はノズル板を貼り合わせた後、穿孔することもでき
る。

【００４５】なお、本発明によれば、図１乃至３の剪断
モード型のインクジェットヘッドに限定されるものでは
なく、例えば、カイザー型のインクジェットヘッドやサ
ーマルジェット型のインクジェットヘッドであってもよ
い。

【００４６】

【実施例】（実施例）まず、平均粒径０．５μｍのチタ
ン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）粉末に対して、有機バイン
ダおよび溶剤を添加してスラリーを作製した後、ドクタ
ーブレード法にてシート状の成形し、カットし、１１５
０℃にて焼成して外辺寸法で厚み２ｍｍ、長さ４０ｍ
ｍ、幅２５ｍｍの板状のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺ
Ｔ）質焼結体を作製した。この板状の焼結体の両面に導
体層を塗布して電圧を印加することによって、厚み方向
分極した圧電体セラミックスを得た。

【００４７】次に、該圧電体セラミックスの表面をラッ
プ加工によって導体層および圧電体セラミックスの一部
について所定の厚みまで研磨した後、この表面全体にレ
ジスト液をスピンコータによって塗布し、硬化してレジ
ストマスクを形成した。

【００４８】そして、厚み７５μｍのダイヤモンドブレ
ードを備えたスライサ用いて、上記圧電体セラミックス
のレジストマスクを被着形成した面から１４１．１μｍ
ピッチで基板幅方向に回転ディスクを用いてスライシン
グ加工を行い、幅７５μｍ、高さ３００μｍ、長さ２０
ｍｍの溝、および幅６６μｍの隔壁を２５９本作製して
第一の基板とした。

【００４９】次に、前記溝を形成した基板に蒸着法によ
って隔壁壁面それぞれの所定の高さに金電極を被着形成
した後、レジストマスクを除去して隔壁の両壁面それぞ
れに電極を被着形成した。

【００５０】次に、厚み０．７ｍｍのガラスからなる基
板にエンドミル加工にて、幅２．５ｍｍ×長さ３７ｍｍ
×高さ０．３ｍｍの概略直方体形状のインク溜部と、該
インク溜部の最後端側に長さ３７ｍｍ×高さ０．４ｍｍ
の概略直方体形状のインク導入路を形成した。なお、イ
ンク溜部の後端壁とインク導入路の後端壁は同一平面と
し、かつ基板表面（第一の基板との接合面）に対して直
交するように形成した。

【００５１】そして、前記第一の基板の溝開口面側の表
面にスクリーン印刷法にてエポキシ系接着剤を塗布した
後、前記第二の基板を前記インク溜部の開口部が前記溝
の最後端側に位置するようにして前記第一の基板の溝開
口面に接着した。なお、その際、前記溝の後端壁頂部が
インク溜部の後端壁からインク導入路の開口面内に０．
４ｍｍ突出するように配置した。

【００５２】一方、第一の基板の前端面には厚み５０μ
ｍのポリイミド製のノズル板をエポキシ系接着剤にて貼
り合わせた後、ノズル板の溝の前端にレーザー加工にて
直径２０μｍのノズル孔を穿孔してインクジェットヘッ
ドを作製した。

【００５３】得られたインクジェットヘッドを後端が鉛
直上方となるように固定した状態で、該インクジェット
ヘッドの溝、インク溜部およびインク導入路内にインク
を充填した後、ノズル孔から溝内に気泡を混入させて５
分間以上放置し、溝およびインク溜部に気泡が滞留した
か、否かをガラス基板上部から目視により確認した結
果、気泡の滞留は見られず、溝へ安定してインクを供給
することができるとともに、精度良くインク液滴を吐出
して、色ムラや画質の乱れのない高精度、高画質の印刷
が可能なインクジェットヘッドであることが示唆され
た。

【００５４】（比較例）実施例の第一の基板と第二の基
板とを貼り合わせる際に、図５のように前記第一の基板
の溝開口端４０が前記第二の基板のインク溜部の後端に
位置する壁面から後端側への突出量ｙが１ｍｍとなるよ
うにして配置する以外は実施例と同様にインクジェット
ヘッドを作製し、同様に評価した結果、溝およびインク
溜部の後端、すなわち上端部に気泡が滞留していること
が確認された。

【００５５】

【発明の効果】以上、詳述したのように、本発明のイン
クジェットヘッドでは、インク導入路−インク溜部溝の
後端壁に突出部が生じない構成とすることにより、例え
インク内に気泡が発生しても該気泡が溝やインク溜部内
に滞留することなく容易にインクタンク側に抜けるため
に、溝へ安定してインクを供給することができるととも
に、精度良くインク液滴を吐出して、色ムラや画質の乱
れのない高精度、高画質の印刷が可能なインクジェット
ヘッドとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のインクジェットヘッドの一例を示す一
部切り欠き斜視図である。

【図２】図１のインクジェットヘッドの概略断面図であ
る。

【図３】本発明のインクジェットヘッドの他の一例を示
す概略断面図である。

【図４】従来のインクジェットヘッドの一例を示す一部
切り欠き斜視図である。

【図５】図４のインクジェットヘッドの概略断面図であ
る。

【符号の説明】

１ インクジェットヘッド ２ 第一の基板 ３ 溝 ４ インク溜部 ５ インク導入路 ６ 第二の基板 ７ 溝３の後端壁頂部 ８ 隔壁 ９ 電極 １０ 取り出し電極 １２ ノズル孔 １３ ノズル板 Ａ 封止部 Ｂ 積層面 Ｃ 第二の基板の後端壁面

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】所定の基板表面に前端と後端を有して互い
   に平行に配列され、前記後端が封止された複数の溝を具
   備する第一の基板と、 該第一の基板における前記複数の溝にインクを導入する
   ために所定の基板内に設けられ、前端壁と後端壁を有す
   るインク溜部と、該インク溜部内にインクを供給するた
   めのインク導入路とを有する第二の基板とを有し、 前記第一の基板における前記溝の封止された後端付近
   と、前記第二の基板における前記インク溜部の開口部と
   が連結するように第一および第二の基板を積層一体化さ
   れてなるインクジェットヘッドにおいて、 前記第二の基板における前記インク導入路が前記インク
   溜部の最後端壁側に設けられ、かつ前記インク溜部が前
   記溝の最後端側に設けられるとともに、前記インク導入
   路、インク溜部および溝の後端壁は前記第一の基板と前
   記第二の基板との積層面に対して垂直に配設されるか、
   または後端側に傾斜していることを特徴とするインクジ
   ェットヘッド。
2. 【請求項２】前記第一の基板において、隣接する前記溝
   間に位置する隔壁が圧電体セラミックスからなることを
   特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
3. 【請求項３】前記第二の基板において、前記インク溜部
   の前端壁が前記第一の基板と前記第二の基板との接合面
   に対して垂直に配設されるか、または後端側に傾斜して
   いることを特徴とする請求項１または２記載のインクジ
   ェットヘッド。
4. 【請求項４】（ａ）第一の基板表面に前端と後端を有
   し、該溝の後端が封止された複数の溝を互いに平行に形
   成する工程と、（ｂ）第二の基板内の前端壁と後端壁と
   開口部を有するインク溜部と、該インク溜部内にインク
   を供給するためのインク導入路を形成する工程と、
   （ｃ）前記（ａ）工程で得られた前記第一の基板におけ
   る前記溝開口面に、前記（ｂ）工程で得られた前記第二
   の基板を前記溝の封止された後端付近と前記第二の基板
   における前記インク溜部の開口部が連結するように前記
   第一の基板と前記第二の基板を接着する工程とを備えた
   インクジェットヘッドの製造方法において、前記第二の
   基板における前記インク導入路が前記インク溜部の最後
   端壁側に設けられ、かつ前記インク溜部が前記溝の最後
   端側に設けられるとともに、前記インク導入路、インク
   溜部および溝の後端壁は前記第一の基板と前記第二の基
   板との接合面に対して垂直に形成するか、または後端側
   に傾斜して形成することを特徴とするインクジェットヘ
   ッドの製造方法。
5. 【請求項５】隣接する前記溝間に位置する隔壁が圧電体
   セラミックスからなることを特徴とする請求項４記載の
   インクジェットヘッドの製造方法。
6. 【請求項６】前記インク溜部の前端壁が前記第一の基板
   と前記第二の基板との接合面に対して、垂直または後端
   側に傾斜していることを特徴とする請求項４または５記
   載のインクジェットヘッドの製造方法。
7. 【請求項７】前記（ａ）工程において回転ディスクを用
   いて前記溝を形成することを特徴とする請求項４乃至６
   のいずれか記載のインクジェットヘッドの製造方法。