JP3159015B2 - インクジェットヘッド - Google Patents

インクジェットヘッド

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、インク液滴を噴射
して印刷するインクジェット式記録装置に用いられる、
圧電素子をアクチュエータとしたインクジェットヘッド
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のインクジェットヘッドと
して、例えば、特公平6−61936号公報に示される
ように、インク液滴を噴射するためのノズルと、ノズル
と連通され噴射されるべき液体を該ノズルに供給する圧
力チャンバーと、圧力チャンバーの側壁を構成する、逆
方向に分極された2種の圧電素子及び側壁に形成され分
極方向と直角方向の電界を印加する電極からなるアクチ
ュエータと、インク液を圧力チャンバー内に補充する給
液手段とから構成され、アクチュエータの電極への電圧
印加により圧電素子の側壁がせん断変形し、それにより
圧力チャンバー内の圧力変化をもたらし、ノズルからイ
ンク液滴を噴射することができるものがある。
【0003】このような構成のインクジェットヘッドの
アクチュエータは、2種の圧電素子を突き合わせて接合
し、該圧電素子に溝を切削して圧力チャンバーの側壁を
形成し、その側壁にメッキ処理により電極を形成するこ
とが知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようにアクチュエータを構成する圧電素子の接合に接着
剤が用いられた場合、接着剤の厚みが大きいと、メッキ
は圧電素子を構成するセラミック等には付き易いが、接
着剤を構成する樹脂材等には付き難いことから、側壁に
メッキ処理により形成される電極の膜厚が不均一にな
り、電極膜厚の被覆率が低下する。その結果、アクチュ
エータの能力が低下し、インク液滴の噴射速度が低下し
たり、あるいは、接合されている2種の圧電素子間に跨
がる電極間の導通が遮断され、インク液滴の噴射が不能
になるといった問題がある。
【0005】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、アクチュエータを構成する圧電
素子の接合に用いられる接着剤の厚みを所定の範囲で制
限することで、アクチュエータの側壁に形成される電極
の被覆率が低下するのを防止し、ひいては、インク液滴
の均質な噴出性能を確保することができるインクジェッ
トヘッドを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項1の発明のインクジェットヘッドは、インク液
を噴射して記録を行うインクジェット式記録装置に用い
られるインクジェットヘッドにおいて、インク液滴を噴
射するためのノズルと、前記ノズルと連通され噴射され
るべき液体を該ノズルに供給する圧力チャンバーと、前
記圧力チャンバーの側壁を構成する、分極方向が異なる
2種の圧電素子及び前記側壁にメッキ処理により形成さ
れ該分極方向と直角方向の電界を印加する電極からなる
アクチュエータと、前記アクチュエータの作動により前
記ノズルから噴射されたインク液を圧力チャンバー内に
補充する給液手段とからなり、前記2種の圧電素子は接
着層を介して接着されており、この接着層の厚みを、
の接着層に形成される電極の被覆率が80%以上に保持
されるように、10μm以下としたものである。
【0007】上記構成においては、圧力チャンバーの側
壁に形成された電極に電圧を印加することにより、アク
チュエータをなす分極方向が異なる2種の圧電素子がせ
ん断変形し、圧力チャンバーの内圧が変化し、その内部
のインク液滴がノズルより噴射される。噴射されるイン
ク液は圧力チャンバー内に給液手段により補充される。
ここに、メッキ処理により側壁に形成される電極のメッ
キは圧電素子部分には付き易く、接着層部分には付き難
いが、接着層を薄くしているので、2種の圧電素子に跨
がる側壁の電極が遮断されるようなことがなく、従っ
て、所望のアクチュエータ特性を確保でき、噴射性能が
低下するようなことがなくなる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化したインク
ジェットヘッドの一実施例について図面を参照して説明
する。ここで説明するインクジェットヘッドは、インク
ジェット式プリンタ等に適用されるものであり、圧力チ
ャンバーの側壁に圧電素子を用いて、同素子によるせん
断変形による圧力チャンバーの内圧変化を用いてインク
液滴を噴出するものである。
【0009】図1はインクジェットヘッドの部分破断斜
視図である。インクジェットヘッドは、圧電素子である
圧電セラミックス基板1に、ダイシング加工等によって
互いに平行な溝加工がなされ、インク室となる圧力チャ
ンバー2が多数形成されている。圧力チャンバー2の一
方の端には、ノズル3aを持つノズルプレート3が接続
されている。圧力チャンバー2を構成する側壁4(圧電
側壁という)は分極方向が異なる2種の圧電素子により
形成されており、圧電側壁4の表面には該分極方向と直
角方向の電界を印加するための電極5が形成されてい
る。また、圧力チャンバー2が形成された圧電セラミッ
クス基板1の上部は、インク供給口(給液手段)6を有
する上部カバー7によって蓋をされている。圧力チャン
バー2は、インク供給口6を経て図示しないインクカー
トリッジに接続されている。このような構成によって、
圧力チャンバー2の断面形状は、圧電側壁4と上部カバ
ー7に囲まれた長方形を呈することになる。
【0010】図2はインクジェットヘッドの縦断面図で
ある。分極方向が異なる2種の圧電側壁4(4a,4
b)とこの圧電側壁に形成された電極5(51,52)
からアクチュエータが構成されている。2種の圧電素子
4a,4bの分極方向を矢印で示している。電極51,
52はメッキ処理により形成される。電極51には+電
位、電極52にはGNDが接続されることで、圧電素子
4a,4bに電界を印加する。圧電素子4a,4bは接
着層10を介して接着されており、この接着層10の厚
みを、後述する理由から、圧電側壁4a,4bに形成さ
れる電極51,52の被覆率が所定値以上に保持される
ように薄くしている。なお、上部カバー7は圧電素子4
bの上端部に接着剤10を介して接着されている。
【0011】上記構成のインクジェットヘッドの印字動
作を説明する。インクジェットヘッドは、図示しないプ
リンタのキャリッジに搭載され、搬入された印刷すべき
用紙に沿って往復移動させ、ホストコンピュータ等から
インターフェースを介して転送された印字データ(ドッ
トデータ)に基づいて電極51,52に印加する電圧を
制御して、アクチュエータを動作させる。これにより、
圧電側壁4a,4bはせん断変形し、それにより圧力チ
ャンバー2の内圧が変化し、インクカートリッジから供
給された同チャンバー2内のインクはノズル3aからイ
ンクジェット式により噴射され、印字動作が行われるこ
とになる。
【0012】次に、圧電側壁4a,4bを接着する接着
層10の厚みの影響について、図3(a)(b)、図4
及び図5を参照して説明する。図3(a)(b)は接着
層10の厚みが大きい場合に、圧電側壁4a,4bにメ
ッキ処理により形成される電極51又は52の被覆が接
着層10の部分で薄くなる様子を示している。電極の被
覆率が低下すると、圧電側壁4a,4bに跨がって形成
されるべき電極の導通が遮断されることがあり、その場
合には、ノズルからのインク噴射速度が低下し、ひいて
は、噴射不能になることがある。図4は、接着層10の
厚さと接着層部のメッキ電極の被覆率との関係を実験に
より求めたグラフである。接着層10の厚さが10μm
を越えると、顕著に被覆率が低下することが分かる。な
お、メッキ電極の厚さは1μmとした。本発明では、接
着層10の厚さを10μm以下とすることで、被覆率は
80%以上に保持されるようにした。
【0013】図5は、接着層10の厚さと噴射される液
滴速度との関係を実験により求めたグラフである。この
場合においても、接着層10の厚さが10μmを越える
と、顕著に液滴速度が低下することが分かる。液滴速度
が適正な速度より10%以上変化すると、印字の外観に
支障を来し、品質が低下する。そこで、接着層10の厚
みは、10μm以下とすることが望ましいことが判明し
た。
【0014】なお、本発明は上記実施例構成に限られず
種々の変形が可能である。例えば、上記実施例では、イ
ンクが供給される圧力チャンバー2が圧電側壁4a,4
bを挟んで隣接したものを示したが、各圧力チャンバー
2の両側にインクが供給されない非噴射領域が配置され
た構成であっても構わない
【0015】
【発明の効果】以上のように請求項1の発明に係るイン
クジェットヘッドによれば、アクチュエータを構成する
2種の圧電素子を接着する接着層の厚みを10μm以下
としたので、アクチュエータの側壁にメッキ処理により
形成される電極の被覆率が高くなり、インク液滴の均質
な噴出性能を確保できる。すなわち、2種の圧電素子に
跨がる側壁の電極が遮断されるようなことがなくなり、
従って、インク液滴の噴射速度が低下したり、噴射不能
に陥るようなことが防止され、高品位の印字動作が得ら
れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例によるインクジェットヘッド
の部分破断斜視図である。
【図2】インクジェットヘッドの縦断面図である。
【図3】(a)(b)は接着層の厚みが大きい場合に圧
電側壁に形成される電極被覆が接着層部分で薄くなる様
子を示した断面図、及び側面図である。
【図4】接着層の厚さと接着層部のメッキ電極の被覆率
との関係を実験により求めた図である。
【図5】接着層の厚さと噴射される液滴速度との関係を
実験により求めた図である。
【符号の説明】
1 圧電セラミックス基板 2 圧力チャンバー 3a ノズル 4,4a,4b 側壁 5,51,52 電極 6 インク供給口(給液手段) 10 接着層

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 インク液を噴射して記録を行うインクジ
    ェット式記録装置に用いられるインクジェットヘッドに
    おいて、 インク液滴を噴射するためのノズルと、 前記ノズルと連通され噴射されるべき液体を該ノズルに
    供給する圧力チャンバーと、 前記圧力チャンバーの側壁を構成する、分極方向が異な
    る2種の圧電素子及び前記側壁にメッキ処理により形成
    され該分極方向と直角方向の電界を印加する電極からな
    るアクチュエータと、 前記アクチュエータの作動により前記ノズルから噴射さ
    れたインク液を圧力チャンバー内に補充する給液手段と
    からなり、 前記2種の圧電素子は接着層を介して接着されており、 この接着層の厚みを、その接着層に形成される電極の被
    覆率が80%以上に保持されるように、10μm以下と
    したことを特徴とするインクジェットヘッド。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3345294B2 (ja) * 1997-02-20 2002-11-18 ブラザー工業株式会社 インクジェット式記録ヘッドの製造方法及びその記録ヘッド
US6352336B1 (en) 2000-08-04 2002-03-05 Illinois Tool Works Inc Electrostatic mechnically actuated fluid micro-metering device
US6474785B1 (en) 2000-09-05 2002-11-05 Hewlett-Packard Company Flextensional transducer and method for fabrication of a flextensional transducer
CN101070005B (zh) * 2002-10-17 2010-06-02 京瓷株式会社 促动器及其制造方法以及打印头
JP4878111B2 (ja) * 2003-10-30 2012-02-15 日本碍子株式会社 セル駆動型圧電/電歪アクチュエータ及びその製造方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4879568A (en) * 1987-01-10 1989-11-07 Am International, Inc. Droplet deposition apparatus
US5400064A (en) * 1991-08-16 1995-03-21 Compaq Computer Corporation High density ink jet printhead with double-U channel actuator
JPH06155738A (ja) * 1992-11-18 1994-06-03 Seiko Epson Corp インクジェットヘッド及びその製造方法
JP3379122B2 (ja) * 1992-12-15 2003-02-17 セイコーエプソン株式会社 インクジェット記録装置
JP3024466B2 (ja) * 1993-02-25 2000-03-21 ブラザー工業株式会社 液滴噴射装置

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