CN110711611B - 一种微流控打印芯片及其设计方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种微流控打印芯片及其设计方法，涉及实验室精密液体体积计量与生化分析仪器领域技术领域。本发明包括弹性层、结构封装层以及封装在弹性层和结构封装层内的封装芯片；封装芯片包括储液腔，储液腔通过带有扩张角的后端微管道连通有撞击腔，撞击腔通过前端微管道连通有喷口。本发明引入了带有扩张角的后端微管道，有效减少打印过程中的空气回吸量，增加打印的稳定性，提高液滴稳定打印的最高频率，实现最高分辨率达到0.1纳升，同时还提高了芯片的使用寿命，储存满液体的芯片一次无需外部供液可以分配上万个均匀体积的液滴；同时连续产生微量体积液滴，定量化获得所需体积液体，且空气回吸少，打印稳定。

Description

一种微流控打印芯片及其设计方法
技术领域
本发明属于实验室精密液体体积计量与生化分析仪器领域技术领域，特别是涉及一种微流控打印芯片及其设计方法。
背景技术
化学、生物等学科的实验中常需要操作溶液来进行定量化加样。对于在微升及亚微升体积的液体的操作，一般通过气动式或打印方式实现。目前产品有：TTP Labtech公司的Mosquito系列，Tecan公司的D300e数字分液器等。传统液滴分配方式主要靠调节喷口大小来调节液滴大小，因此，要想获得更小体积液滴，如纳升到皮升量级，需要采用尺寸非常小的喷口与精密的驱动控制，如夏普株式会社的专利CN200780048206.X。这对喷口的加工，致动器控制提出了更高的要求。微流控打印作为一种新型打印技术，基于微管道设计，来实现微小体积液滴的打印，从而摆脱对精密加工与精密控制的依赖。但对管道的设计原理尚不明确。另一方面，在微流控打印产生液滴的过程中存在空气回吸现象，而空气回吸会影响液滴产生的稳定性，甚至中断液滴打印。不仅如此，空气的回吸还会影响管道重新补充液体的时间，从而降低打印频率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种微流控打印芯片，以解决上述背景技术提出的的问题。
为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：
本发明为一种微流控打印芯片，包括弹性层、结构封装层以及封装在弹性层和结构封装层内的封装芯片；
所述封装芯片包括储液腔，所述储液腔通过带有扩张角的后端微管道连通有撞击腔，所述撞击腔通过前端微管道连通有喷口。
所述喷口为液体喷出管道的通道，液体经由喷口喷出形成液滴；所述带有扩张角的后端微管道自储液腔向撞击腔具有扩张角度，导致流体从撞击腔流向储液腔的收缩流阻与从储液腔流向撞击腔的扩张流阻不等，使得在液滴打印喷射过程中管道前后端流阻比小于回吸时管道前后端流阻比，从而实现减少回吸阶段空气的回吸体积，增加的液滴打印的稳定性，提升液滴打印频率；所述储液腔用于液体的储存，前端流阻指冲撞击腔到喷口之间的流阻，后端流阻指撞击腔与储液腔之间的流阻。
进一步地，所述喷口为收缩形，所述喷口的截面包括圆形和矩形，其等效当量直径通常小于100微米，以防止液滴在重力作用下自流。喷口表面可以进行疏水或疏油改性，避免相应液体粘附。
进一步地，所述撞击腔到喷口之间的流阻为前端流阻，所述撞击腔与储液腔之间的流阻为后端流阻；所述前端流阻和后端流阻的阻比范围为2-18。
进一步地，所述带有扩张角的后端微管道的扩张角度为20-40°，通过扩张角度，导致流体从撞击腔流向储液腔的收缩流阻与从储液腔流向撞击腔的扩张流阻不等，使得在液滴打印喷射过程中管道前后端流阻比小于回吸时管道前后端流阻比，从而实现减少回吸阶段空气的回吸体积，增加的液滴打印的稳定性，提升液滴打印频率。
进一步地，所述带有扩张角的后端微管道的扩张角度为30°。
进一步地，所述弹性层采用可变形、可自我复位的柔性高分子材料，主要起到弹性变形的作用。
进一步地，所述弹性层选自PET和PDMS中的一种；所述结构封装层加工有微管道，可以为高分子材料或无机材料。所述弹性层与结构封装层之间的连接方式选自是粘接、热压、键合中的一种；所述无机材料包括玻璃。
进一步地，储存液体的墨盒区在工作时可以连接压力源，也可以敞口与外界空气连通；当无外界压力源时，撞击腔的变形薄膜的回复所产生负压与拉普拉斯压差使得撞击腔与喷口内的液体自动补充。
进一步地，所述结构封装层包括平板状、三角锥或半圆椎状，有利于芯片装夹时的自定位；同时结构封装层具有支撑芯片和芯片装夹时的定位功能。
进一步地，所述撞击腔的撞击区内表面设有水性修饰层或油性修饰层；所述撞击腔的撞击区内表面在使用水性材料时，可以进行亲水表面修饰；如使用油性试剂时，可以进行亲油表面修饰。用于增加撞击区和管道区打印液体的补充速度。
一种微流控打印芯片的设计方法，包括：
S01、进行数据检测，确定微流控打印液滴体积Vn，所述数据检测包括：外部致动器敲击撞击腔(3)变形时间ΔtM、打印液体密度ρ、打印液体表面张力γ、打印液体的粘度η、打印液体与芯片的接触角σ、喷口的等效直径DN、撞击腔(3)受到外部致动器敲击所产生的体积流量QM、后端微管道4的体积流量QI、喷口(1)体积流量QN、储液腔(5)的流阻RI、后端微管道(4)的流阻RA、喷口(1)的流阻RN、前端管道(2)的流阻RB。
S02、根据数据检测结果通过公式即可获得微流控打印芯片的的结构设计参数；
所述公式为：
Figure BDA0002244678630000041
公式中LA、WA是后端微管道(4)的长度和宽度，LB、WB是前端微管道(2)的长度和宽度，LN、WN是喷口(1)的长度宽度；
S03、根据获得的结构设计参数进行结构设计即可。
本发明具有以下有益效果：
1、本发明引入了带有扩张角的后端微管道，有效减少打印过程中的空气回吸量，增加打印的稳定性，提高液滴稳定打印的最高频率，实现最高分辨率达到0.1纳升，同时还提高了芯片的使用寿命，储存满液体的芯片一次无需外部供液可以分配上万个均匀体积的液滴；同时连续产生微量体积液滴，定量化获得所需体积液体，且空气回吸少，打印稳定。
2、本发明实现通过调节流阻比来调节产生的单个液滴的体积大小。
3、本发明采用高分子材料制作，成本低可更换。有别于其它基于打印的分液器，芯片与致动器分离，无需清洗，没有交叉污染。
4、本发明产生的单个液滴体积小，典型体积在0.1纳升至10纳升。单个液滴体积CV值小于3.6％；通过多次打印进行亚微升体积加样时，平均效应会进一步减小随机误差，且样品的消耗少。
当然，实施本发明的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明公开一实施例微流控打印芯片的结构正视示意图。
图2是本发明公开一实施例微流控打印芯片的结构俯视示意图。
图3是本发明公开一实施例微流控打印芯片中微管道的结构示意图。
图4是本发明公开一实施例微流控打印芯片分配液体的操作流程示意图。
图5是本发明公开一实施例微流控打印芯片微管道等效流路模型图。
图6是本发明公开一实施例去掉储液腔的微管道几何结构示意图。
图7是本发明公开一实施例第1组和第2组喷嘴当量直径与液滴体积的关系图。
图8是本发明公开一实施例流阻比与液滴体积的关系图。
图9(a)是本发明公开一实施例优化管道与未优化管道的示意图。
图9(b)是本发明公开一实施例不同扩张角θ与空气回吸体积Va、液滴体积Vp、液滴喷射速度ν的关系图。
图9(c)是本发明公开一实施例不同扩张角θ对应的喷口液面偏移距离随时间的变化图。
图9(d)是本发明公开一实施例用高速摄影机拍摄的喷口液面偏移距离P随时间的变化图。
图10是本发明公开一实施例优化后芯片与未优化芯片液滴打印最高频率的对比图。
图11是本发明公开一实施例微流控打印芯片三角锥形基底结构层的结构示意图。
图12是本发明公开一实施例微流控打印芯片半圆锥形基底结构层的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-12所示，本发明为一种微流控打印芯片，包括弹性层6、结构封装层7以及封装在弹性层6和结构封装层7内的封装芯片；
封装芯片包括储液腔5，储液腔5通过带有扩张角的后端微管道4连通有撞击腔3，撞击腔3通过前端微管道2连通有喷口1。
喷口1为液体喷出管道的通道，液体经由喷口1喷出形成液滴；带有扩张角的后端微管道4自储液腔5向撞击腔3具有扩张角度，导致流体从撞击腔3流向储液腔5的收缩流阻与从储液腔5流向撞击腔3的扩张流阻不等，使得在液滴打印喷射过程中管道前后端流阻比小于回吸时管道前后端流阻比，从而实现减少回吸阶段空气的回吸体积，增加的液滴打印的稳定性，提升液滴打印频率；储液腔5用于液体的储存，前端流阻指冲撞击腔3到喷口1之间的流阻，后端流阻指撞击腔3与储液腔5之间的流阻。
优选地，喷口1为收缩形，喷口1的截面包括圆形和矩形，其等效当量直径通常小于100微米，以防止液滴在重力作用下自流。喷口表面可以进行疏水或疏油改性，避免相应液体粘附。
优选地，撞击腔3到喷口1之间的流阻为前端流阻，撞击腔3与储液腔5之间的流阻为后端流阻；前端流阻和后端流阻的阻比范围为2-18。
优选地，带有扩张角的后端微管道4的扩张角度为20-40°，通过扩张角度，导致流体从撞击腔3流向储液腔5的收缩流阻与从储液腔流向撞击腔3的扩张流阻不等，使得在液滴打印喷射过程中管道前后端流阻比小于回吸时管道前后端流阻比，从而实现减少回吸阶段空气的回吸体积，增加的液滴打印的稳定性，提升液滴打印频率。
优选地，带有扩张角的后端微管道4的扩张角度为30°。
优选地，弹性层6采用可变形、可自我复位的柔性高分子材料，主要起到弹性变形的作用。
优选地，弹性层6选自PET聚对苯二甲酸乙二醇酯和PDMS聚二甲基硅氧烷中的一种；结构封装层7加工有微管道，可以为高分子材料或无机材料。弹性层6与结构封装层7之间的连接方式选自是粘接、热压、键合中的一种；无机材料包括玻璃。
优选地，储存液体的墨盒区在工作时可以连接压力源，也可以敞口与外界空气连通；当无外界压力源时，撞击腔3的变形薄膜的回复所产生负压与拉普拉斯压差使得撞击腔3与喷口1内的液体自动补充。
优选地，结构封装层7包括平板状、三角锥或半圆椎状，有利于芯片装夹时的自定位；同时结构封装层7具有支撑芯片和芯片装夹时的定位功能。
优选地，撞击腔3的撞击区内表面设有水性修饰层或油性修饰层；撞击腔3的撞击区内表面在使用水性材料时，可以进行亲水表面修饰；如使用油性试剂时，可以进行亲油表面修饰。用于增加撞击区和管道区打印液体的补充速度。
上述使用时利用一外部致动器敲击撞击腔3，将微流控芯片中的液体分配成体积均匀的微液滴；每次敲击产生一个液滴，液滴分配过程中通过控制外部致动器的冲击次数来控制打印出液滴的数量；通过合理分配从撞击腔3到喷口1的流阻和撞击腔3到储液腔5的流阻，可产生体积一致性良好的微液滴。可生成液滴的体积范围在0.1纳升至10纳升之间，液滴体积大小受流阻比控制；同时通过采用带有30°扩张角的后端微管道4，可以提高打印的频率和稳定性。
图3是微流控打印芯片中微管道的结构示意图。
微流控打印芯片的制作过程，先通过光刻显影蚀刻等工艺得到微管道结构的凸模板，然后使用加工好的阳模板通过倒模或热压等工艺得到带有微管道结构的结构封装层7，最后将带有微管道结构的结构封装层7与具有弹性的弹性层6通过热压或键合等工艺连接在一起。最终得到微流控打印芯片的成品(如图1所示)；弹性层6选用薄膜。
使用本发明分配液体的流程如图4所示，第一步现将液体注入微流控打印芯片。第二步，使用外部致动器敲击撞击腔3从而产生液滴。由于单个液滴的体积是不变的(当致动器的驱动电压不变时)，可以通过控制液滴产生的个数来实现不同液体体积的分配。
通过调节微管道前后的流阻比来实现调节液滴体积大小。二是引入了带有扩张角的后端微管道，这能够有效减少打印过程中的空气回吸量，增加打印的稳定性，提高液滴稳定打印的最高频率。
图5是微流控打印芯片微管道等效流路模型图，其中QM是致动器撞击腔3受到外部致动器敲击所产生的体积流量，QI是后端微管道3的体积流量，QN是喷口1的体积流量，RI表示储液腔的流阻，RA是后端微管道的流阻，RB是前端管道的流阻，RN是喷口的流阻。由于储液腔的几何尺寸远大于其他微管道的尺寸，所以RI<<RA,RB,RN。因此，这里微管道前后流阻比指的是(RB+RN)/RA。此时无扩张角，或者扩张角为零。
图6是去掉储液腔的微管道几何结构示意图，其中LA、WA是后端微管道4的长度和宽度，LB、WB是前端微管道2的长度和宽度，LN、WN是喷口1的长度宽度。
通过层流理论，我们推导出了微流控打印芯片打印液滴体积的计算公式如下：
Figure BDA0002244678630000091
本发明通过理论与仿真分析出影响液滴大小的主要因素是流阻比而不是喷口的流阻，并做了对比实验来验证此结论。
其中ΔtM是外部致动器敲击撞击腔3变形时间，ρ是打印液体密度，γ是表面张力，η是打印液体的粘度，σ是液体与芯片的接触角。DN是喷口的等效直径。通过这个公式可以分析出影响打印液滴体积的主要因素是流阻比(RB+RN)/RA。根据公式，可以从理论上指导微流控打印芯片的微管道的结构参数设计，实现微流控打印液滴体积大小的控制，作为一种微流控打印芯片的设计方法。
图7和图8中的理论计算结构即由公式计算所得，可见，与实验和仿真非常接近。进一步的本发明基于该设计方法引入了带有扩张角的后端微管道，这能够有效减少打印过程中的空气回吸量，增加打印的稳定性，提高液滴稳定打印的最高频率
图7中第1组和第2组都改变了喷口宽度，但是第2组还改变了后端管道的长度LA，来保证流阻比(RB+RN)/RA不变。其他的两组几何参数均相同，具体参数见表1。从图7中可以看出第1组液滴体积大小变化明显(随着喷口变大而变大)，而第2组液滴体积变化很小。两组实验的喷口大小变化相同，且第2组的流阻比不变第1组的流阻比在变小，由此可知引起液滴体积变化的主要因素是流阻比的变化而不是喷口流阻的变化。
表1.两组对比实验微流控打印芯片的几何尺寸：
Figure BDA0002244678630000101
进一步的本发明还研究了液滴体积随流阻比变化的关系，实验结果如图8所示。其中变异系数是标准差除以均值，用来衡量单个液滴体积大小的精度。从图8中可以看出液滴体积随着流阻比的增加而减小。
另外本发明还引入了带有扩张角(或者称收缩扩张角)的后端微管道，该结构够有效减少打印过程中的空气回吸量，增加打印的稳定性，提高液滴稳定打印的最高频率。对扩张角进行优化得到最优的角度为30。。优化参数的结果如图9所示，其中Va表示空气回吸体积、Vp表示液滴体积、ν表示液滴喷射速度、P表示喷口液面偏移距离(上为正下为负)。从图9(b)、图9(c)中可以看出当扩张角为30。时，空气回吸体积最小且喷口液面振荡时间最短。另外本发明还做了优化后芯片与未优化芯片液滴打印的最高频率的对比，结果如图10所示。从图10中可以看出优化的芯片能够显著提高液滴打印的最高频率，从原来的65Hz提高到90Hz。
以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (6)

1.一种微流控打印芯片，包括弹性层(6)、结构封装层(7)以及封装在弹性层(6)和结构封装层(7)内的封装芯片；
所述封装芯片包括储液腔(5)，所述储液腔(5)通过带有扩张角的后端微管道(4)连通有撞击腔(3)，所述撞击腔(3)通过前端微管道(2)连通有喷口(1)；其特征在于，
所述带有扩张角的后端微管道(4)的扩张角度为10°-50°；所述撞击腔(3)与喷口(1)之间的流阻为前端流阻，所述撞击腔(3)与储液腔(5)之间的流阻为后端流阻；
所述前端流阻和后端流阻的阻比范围为2-18；
且所述撞击腔(3)的撞击区内表面设有水性修饰层或油性修饰层。
2.根据权利要求1所述的一种微流控打印芯片，其特征在于，所述喷口(1)为收缩形，所述喷口(1)的截面包括圆形和矩形。
3.根据权利要求1所述的一种微流控打印芯片，其特征在于，所述带有扩张角的后端微管道(4)的扩张角度为30°。
4.根据权利要求1所述的一种微流控打印芯片，其特征在于，所述弹性层(6)采用可变形、可自我复位的柔性高分子材料。
5.根据权利要求4所述的一种微流控打印芯片，其特征在于，所述弹性层(6)选自PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)和PDMS(聚二甲基硅氧烷)中的一种。
6.根据权利要求1所述的一种微流控打印芯片，其特征在于，所述结构封装层(7)包括平板状、三角锥状。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113368918B (zh) * 2021-06-21 2022-04-26 合肥瀚海星点生物科技有限公司 一种基于微流控打印的多通道分液装置与分液方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1844681A (zh) * 2005-04-07 2006-10-11 北京大学 微型扩散泵及其制备方法
CN102124259A (zh) * 2008-05-16 2011-07-13 哈佛大学 在包含微流体系统的流体系统中的阀和其它流动控制
JP2011201090A (ja) * 2010-03-24 2011-10-13 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置
CN107605713A (zh) * 2017-10-26 2018-01-19 电子科技大学 一种大流量的无阀微泵
CN107824229A (zh) * 2016-09-23 2018-03-23 中国科学技术大学 电动微流控液滴分配器
CN109661272A (zh) * 2016-08-18 2019-04-19 牛津大学科技创新有限公司 用于制造微流体布置的方法和装置及微流体布置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7470547B2 (en) * 2003-07-31 2008-12-30 Biodot, Inc. Methods and systems for dispensing sub-microfluidic drops
KR100795212B1 (ko) * 1999-08-14 2008-01-16 자아 테크날러쥐 리미티드 미세방울 침전 장치
CN101389200B (zh) * 2007-09-14 2011-08-31 富准精密工业(深圳)有限公司 微型液体冷却系统及其微型流体驱动装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1844681A (zh) * 2005-04-07 2006-10-11 北京大学 微型扩散泵及其制备方法
CN102124259A (zh) * 2008-05-16 2011-07-13 哈佛大学 在包含微流体系统的流体系统中的阀和其它流动控制
JP2011201090A (ja) * 2010-03-24 2011-10-13 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置
CN109661272A (zh) * 2016-08-18 2019-04-19 牛津大学科技创新有限公司 用于制造微流体布置的方法和装置及微流体布置
CN107824229A (zh) * 2016-09-23 2018-03-23 中国科学技术大学 电动微流控液滴分配器
CN107605713A (zh) * 2017-10-26 2018-01-19 电子科技大学 一种大流量的无阀微泵

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