JP3097298B2 - 液滴噴射装置およびその製造方法 - Google Patents
液滴噴射装置およびその製造方法Info
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 20
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 7
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005621 ferroelectricity Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は液滴噴射装置及びその製
造方法に関するものである。
造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】プリンタヘッドに圧電式インクジェット
を利用したものが近年提案されている。これは、圧電ア
クチュエータの寸法変位によってインク室の容積を変化
させることにより、その容積減少時にインク室内のイン
クを噴射し、容積増大時にインク室内にインクを導入す
るようにしたもので、ドロップオンデマンド方式と呼ば
れている。そして、このような噴射装置を多数互いに近
接して配設し、所定の位置の噴射装置からインクを噴射
させることにより、所望する文字や画像を形成するので
ある。
を利用したものが近年提案されている。これは、圧電ア
クチュエータの寸法変位によってインク室の容積を変化
させることにより、その容積減少時にインク室内のイン
クを噴射し、容積増大時にインク室内にインクを導入す
るようにしたもので、ドロップオンデマンド方式と呼ば
れている。そして、このような噴射装置を多数互いに近
接して配設し、所定の位置の噴射装置からインクを噴射
させることにより、所望する文字や画像を形成するので
ある。
【０００３】このような液滴噴射装置としては、例えば
特開昭６３−２４７０５１号公報および特開昭６３−２
５２７５０号公報に記載されているものがある。以下、
該液滴噴射装置をアレイ１の一部の断面図を示す図８に
よって具体的に説明すると、複数の側壁３を有し、かつ
矢印Ｄの方向に分極処理を施した圧電セラミックス板２
とカバー６とを接合することで、横方向に互いに間隔を
有する多数の平行なインク流路４が構成される。インク
流路４は長方形断面の長くて狭いものであり、側壁３は
流路の全長にわたって伸び流路軸に垂直に変形可能で流
路内のインク圧を変化させる。前記側壁３の表面の上半
分（あるいは下半分）の領域には、駆動電界印加用の駆
動電極５が形成してあり、該駆動電極５の表面にはイン
クと駆動電極との絶縁のための絶縁処理が施してある。
インク流路４と該インク流路４の一端に連通する図示し
ないノズルと他端に連通する図示しないインク供給部及
び該インク流路４を形成する圧電変形可能な側壁３とか
ら噴射装置７が構成される。
特開昭６３−２４７０５１号公報および特開昭６３−２
５２７５０号公報に記載されているものがある。以下、
該液滴噴射装置をアレイ１の一部の断面図を示す図８に
よって具体的に説明すると、複数の側壁３を有し、かつ
矢印Ｄの方向に分極処理を施した圧電セラミックス板２
とカバー６とを接合することで、横方向に互いに間隔を
有する多数の平行なインク流路４が構成される。インク
流路４は長方形断面の長くて狭いものであり、側壁３は
流路の全長にわたって伸び流路軸に垂直に変形可能で流
路内のインク圧を変化させる。前記側壁３の表面の上半
分（あるいは下半分）の領域には、駆動電界印加用の駆
動電極５が形成してあり、該駆動電極５の表面にはイン
クと駆動電極との絶縁のための絶縁処理が施してある。
インク流路４と該インク流路４の一端に連通する図示し
ないノズルと他端に連通する図示しないインク供給部及
び該インク流路４を形成する圧電変形可能な側壁３とか
ら噴射装置７が構成される。
【０００４】次に、図９にアレイ１の断面図を用いて、
該液滴噴射装置の駆動回路を示す。アレイ１において、
インク流路４Ａ〜４Ｃは、カバー６と圧電セラミックス
板２及びその側壁３Ａ〜３Ｄにより構成され、前記側壁
３Ａ〜３Ｄの上半分の領域には駆動電極５Ａ〜５Ｈが形
成されている。前記駆動電極５Ａ〜５Ｈは、ＣＰＵ１１
に接続されており、該ＣＰＵ１１は、印字データに従っ
て駆動すべき噴射装置７Ａ〜７Ｃを選択するとともに、
該噴射装置７Ａ〜７Ｃが駆動するように制御する。
該液滴噴射装置の駆動回路を示す。アレイ１において、
インク流路４Ａ〜４Ｃは、カバー６と圧電セラミックス
板２及びその側壁３Ａ〜３Ｄにより構成され、前記側壁
３Ａ〜３Ｄの上半分の領域には駆動電極５Ａ〜５Ｈが形
成されている。前記駆動電極５Ａ〜５Ｈは、ＣＰＵ１１
に接続されており、該ＣＰＵ１１は、印字データに従っ
て駆動すべき噴射装置７Ａ〜７Ｃを選択するとともに、
該噴射装置７Ａ〜７Ｃが駆動するように制御する。
【０００５】例えば所定の印字データに従って噴射装置
７Ｂを選択すると、ＣＰＵ１１は、駆動電極５Ｃ，５Ｄ
と駆動電極５Ｅ，５Ｆの各々の間に駆動電界１０を印加
する。このとき駆動電界の方向１０と分極方向Ｄとが直
交しているため、側壁３Ｂ，３Ｃの該駆動電極５Ｃ，５
Ｄ，５Ｅ，５Ｆを有する部分だけが圧電厚みすべり効果
の変形をする。このため該側壁３Ｂ，３Ｃはインク流路
４Ｂの外部方向にくの字形に変形する。その後、ＣＰＵ
１１により、前記駆動電界１０の印加が遮断されると、
該側壁３Ｂ，３Ｃがもとの位置に戻る。この変形により
インク室４Ｂ内のインク圧が大となり、図示されていな
いノズルからインク液滴が噴射される。次に、図７に該
液滴噴射装置の従来の駆動電極形成方法を示し、該液滴
噴射装置の従来の形成方法を説明する。まず、強誘電性
を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミッ
クス材料であり、分極方向Ｄの方向に分極処理を施した
圧電セラミックス板２に、ダイヤモンドカッティング円
盤の回転等により平行な複数の溝を切りインク流路４を
形成する。そして、側壁３の側面に駆動電極５を蒸着法
により形成するが、このとき、前記圧電セラミックス板
２をターゲットまたは蒸着源に対して傾斜させること
で、側壁３のシャドー効果により側壁３の表面の開口部
側の必要な領域に駆動電極５が形成される。また、側壁
３の端面に形成された電極５１は、後ほどラッピング等
により除去される。
７Ｂを選択すると、ＣＰＵ１１は、駆動電極５Ｃ，５Ｄ
と駆動電極５Ｅ，５Ｆの各々の間に駆動電界１０を印加
する。このとき駆動電界の方向１０と分極方向Ｄとが直
交しているため、側壁３Ｂ，３Ｃの該駆動電極５Ｃ，５
Ｄ，５Ｅ，５Ｆを有する部分だけが圧電厚みすべり効果
の変形をする。このため該側壁３Ｂ，３Ｃはインク流路
４Ｂの外部方向にくの字形に変形する。その後、ＣＰＵ
１１により、前記駆動電界１０の印加が遮断されると、
該側壁３Ｂ，３Ｃがもとの位置に戻る。この変形により
インク室４Ｂ内のインク圧が大となり、図示されていな
いノズルからインク液滴が噴射される。次に、図７に該
液滴噴射装置の従来の駆動電極形成方法を示し、該液滴
噴射装置の従来の形成方法を説明する。まず、強誘電性
を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミッ
クス材料であり、分極方向Ｄの方向に分極処理を施した
圧電セラミックス板２に、ダイヤモンドカッティング円
盤の回転等により平行な複数の溝を切りインク流路４を
形成する。そして、側壁３の側面に駆動電極５を蒸着法
により形成するが、このとき、前記圧電セラミックス板
２をターゲットまたは蒸着源に対して傾斜させること
で、側壁３のシャドー効果により側壁３の表面の開口部
側の必要な領域に駆動電極５が形成される。また、側壁
３の端面に形成された電極５１は、後ほどラッピング等
により除去される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の液滴噴射装置の形成方法では、側壁の片面だけにし
か駆動電極が形成できないため、両面に駆動電極を形成
するためには２回の蒸着の工程が必要となるとともに、
厳密には前記側壁の所望する部分のみに駆動電極を形成
することは困難である。
来の液滴噴射装置の形成方法では、側壁の片面だけにし
か駆動電極が形成できないため、両面に駆動電極を形成
するためには２回の蒸着の工程が必要となるとともに、
厳密には前記側壁の所望する部分のみに駆動電極を形成
することは困難である。
【０００７】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、簡単な工程で、正確に側壁の所
望する部分のみに駆動電極を形成できる液滴噴射装置を
提供することを目的とする。
になされたものであり、簡単な工程で、正確に側壁の所
望する部分のみに駆動電極を形成できる液滴噴射装置を
提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に請求項１に記載の発明は、圧電トランスデューサを用
いてインク流路の容積を変化させることにより、該イン
ク流路のインクを、該インク流路に連通するノズルから
噴射する噴射装置を多数備えた液滴噴射装置において、
前記インク流路を分離するための複数の壁を有する圧電
トランスデューサを備え、前記壁の上部はその下部より
も壁の幅が小さく形成され、その上部または下部には駆
動電極が形成されていることを特徴とする液適噴射装置
にある。
に請求項１に記載の発明は、圧電トランスデューサを用
いてインク流路の容積を変化させることにより、該イン
ク流路のインクを、該インク流路に連通するノズルから
噴射する噴射装置を多数備えた液滴噴射装置において、
前記インク流路を分離するための複数の壁を有する圧電
トランスデューサを備え、前記壁の上部はその下部より
も壁の幅が小さく形成され、その上部または下部には駆
動電極が形成されていることを特徴とする液適噴射装置
にある。
【０００９】また請求項２に記載の発明は、圧電セラミ
ックス板に、ある一定幅でインク流路の上部となる溝を
加工する第１の工程と、前記圧電セラミックス板に前記
溝の内面も含めて駆動電極層を形成する第２の工程と、
前記第２の工程の後、前記インク流路の上部側面に前記
駆動電極層を残すように、前記溝の底面に、前記第１の
工程で形成した溝よりも小さい幅でかつ該溝の深さ方向
に再度溝加工し、前記インク流路を形成する第３の工程
とからなることを特徴とする液滴噴射装置の製造方法に
ある。
ックス板に、ある一定幅でインク流路の上部となる溝を
加工する第１の工程と、前記圧電セラミックス板に前記
溝の内面も含めて駆動電極層を形成する第２の工程と、
前記第２の工程の後、前記インク流路の上部側面に前記
駆動電極層を残すように、前記溝の底面に、前記第１の
工程で形成した溝よりも小さい幅でかつ該溝の深さ方向
に再度溝加工し、前記インク流路を形成する第３の工程
とからなることを特徴とする液滴噴射装置の製造方法に
ある。
【００１０】請求項３に記載の発明は、圧電セラミック
ス板に、ある一定幅でインク流路の下部となる溝を加工
する第１の工程と、前記圧電セラミックス板に前記溝の
内面も含めて駆動電極層を形成する第２の工程と、前記
第２の工程の後、前記インク流路の下部に前記駆動電極
層を残すように、前記溝の上部を、前記第１の工程で形
成した溝よりも大きい幅に、かつ該溝の深さ方向に加工
し、前記インク流路を形成する第３の工程とからなるこ
とを特徴とする液滴噴射装置の製造方法にある。
ス板に、ある一定幅でインク流路の下部となる溝を加工
する第１の工程と、前記圧電セラミックス板に前記溝の
内面も含めて駆動電極層を形成する第２の工程と、前記
第２の工程の後、前記インク流路の下部に前記駆動電極
層を残すように、前記溝の上部を、前記第１の工程で形
成した溝よりも大きい幅に、かつ該溝の深さ方向に加工
し、前記インク流路を形成する第３の工程とからなるこ
とを特徴とする液滴噴射装置の製造方法にある。
【００１１】請求項４に記載の発明は、請求項２または
３において、さらに前記第２の工程の後、前記インク流
路間の側壁の上面の前記駆動電極層を除去する工程を有
することを特徴とする液滴噴射装置の製造方法にある。
３において、さらに前記第２の工程の後、前記インク流
路間の側壁の上面の前記駆動電極層を除去する工程を有
することを特徴とする液滴噴射装置の製造方法にある。
【００１２】
【作用】上記の構成を有する本発明の液滴噴射装置は、
インク流路を分離するための複数の壁は、その上部がそ
の下部よりも壁の幅が小さく、その上部または下部の所
望の位置に駆動電極が容易に形成される。
インク流路を分離するための複数の壁は、その上部がそ
の下部よりも壁の幅が小さく、その上部または下部の所
望の位置に駆動電極が容易に形成される。
【００１３】製造方法にしたがって説明すると、圧電セ
ラミックス板に第１の工程で駆動電極形成に必要な部分
の溝を形成し、第２の工程で該溝に駆動電極を形成後、
第３の工程で第１の工程で加工した溝と異なる幅で駆動
電極形成の不要な部分の溝を加工する。例えば、インク
流路の上部のみに駆動電極が必要な場合、第３の工程で
は、第１の工程で形成した溝よりも小さい幅で、第１の
工程で形成した溝をさらに深くする方向に溝を加工し、
インク流路の上部のみに駆動電極層を残す。また、イン
ク流路の下部のみに駆動電極が必要な場合、第３の工程
では、第１の工程で形成した溝よりも大きい幅で、第１
の工程で形成した溝の上部に溝を加工し、第１の工程で
形成した溝の下部のみに駆動電極層を残す。
ラミックス板に第１の工程で駆動電極形成に必要な部分
の溝を形成し、第２の工程で該溝に駆動電極を形成後、
第３の工程で第１の工程で加工した溝と異なる幅で駆動
電極形成の不要な部分の溝を加工する。例えば、インク
流路の上部のみに駆動電極が必要な場合、第３の工程で
は、第１の工程で形成した溝よりも小さい幅で、第１の
工程で形成した溝をさらに深くする方向に溝を加工し、
インク流路の上部のみに駆動電極層を残す。また、イン
ク流路の下部のみに駆動電極が必要な場合、第３の工程
では、第１の工程で形成した溝よりも大きい幅で、第１
の工程で形成した溝の上部に溝を加工し、第１の工程で
形成した溝の下部のみに駆動電極層を残す。
【００１４】また、インク流路間の側壁の上面の駆動電
極層を除去することで、側壁両側面の両駆動電極層が完
全に分離される。
極層を除去することで、側壁両側面の両駆動電極層が完
全に分離される。
【００１５】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を、図１
〜図５を参照して詳細に説明する。なお都合上、従来例
と同一部位、及び均等部位には同一符合をつけて説明す
る。
〜図５を参照して詳細に説明する。なお都合上、従来例
と同一部位、及び均等部位には同一符合をつけて説明す
る。
【００１６】まず、図１に第１の工程で圧電セラミック
ス板２に溝を加工したものを示す。圧電セラミックス板
２は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺ
Ｔ）系のセラミックス材料で、矢印Ｄの方向に分極処理
を施した厚さ約１ｍｍ程度の板であり、ダイヤモンドカ
ッティング円盤の回転等により平行な複数の、電極形成
に必要な溝を切り、インク流路４１が形成されている。
ス板２に溝を加工したものを示す。圧電セラミックス板
２は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺ
Ｔ）系のセラミックス材料で、矢印Ｄの方向に分極処理
を施した厚さ約１ｍｍ程度の板であり、ダイヤモンドカ
ッティング円盤の回転等により平行な複数の、電極形成
に必要な溝を切り、インク流路４１が形成されている。
【００１７】図２は、第２の工程でインク流路４１の開
口部に、例えばアルミニウム、ニッケル等の金属材料を
用いた蒸着法により駆動電極を形成したものである。駆
動電極５は側壁３１の上面を含む前記インク流路４１の
開口部に形成される。
口部に、例えばアルミニウム、ニッケル等の金属材料を
用いた蒸着法により駆動電極を形成したものである。駆
動電極５は側壁３１の上面を含む前記インク流路４１の
開口部に形成される。
【００１８】図３は、第３の工程で圧電セラミックス板
２に再度溝を加工したものを示し、図４に側壁３２の上
面の不用電極をラッピング等により除去したものを示
す。図３において、図１の第１の工程で加工した溝と同
じピッチで、且つ該溝より小さい幅で再度溝の加工を行
う。ここで、溝の深さを図１の第１の工程で加工した溝
と同じ深さで該溝の底面より再度溝を加工することで、
該溝の底面の駆動電極と圧電セラミックスとが除去さ
れ、図３における第３の工程で形成された側壁３２は、
その上半分の幅が下半分の幅より小さくなり、該側壁３
２の上半分の領域にのみ相互に分離された駆動電極５を
形成することができる。そして、図４に示すように、側
壁３２の上面の不用電極をラッピング等により除去し、
前記圧電セラミックス板２とほぼ同じ線膨張係数をもつ
材料、例えば同じ材料からなるカバー６を接合し、イン
ク流路４の前方に該インク流路４の各々に対応するノズ
ルを有する図示しないオリフィスプレートを接合するこ
とで本実施例液滴噴射装置のアレイ１が完成する。
２に再度溝を加工したものを示し、図４に側壁３２の上
面の不用電極をラッピング等により除去したものを示
す。図３において、図１の第１の工程で加工した溝と同
じピッチで、且つ該溝より小さい幅で再度溝の加工を行
う。ここで、溝の深さを図１の第１の工程で加工した溝
と同じ深さで該溝の底面より再度溝を加工することで、
該溝の底面の駆動電極と圧電セラミックスとが除去さ
れ、図３における第３の工程で形成された側壁３２は、
その上半分の幅が下半分の幅より小さくなり、該側壁３
２の上半分の領域にのみ相互に分離された駆動電極５を
形成することができる。そして、図４に示すように、側
壁３２の上面の不用電極をラッピング等により除去し、
前記圧電セラミックス板２とほぼ同じ線膨張係数をもつ
材料、例えば同じ材料からなるカバー６を接合し、イン
ク流路４の前方に該インク流路４の各々に対応するノズ
ルを有する図示しないオリフィスプレートを接合するこ
とで本実施例液滴噴射装置のアレイ１が完成する。
【００１９】図５及び図６に、本発明の別例を示す。図
５において、まず、第１の工程で圧電セラミックス板２
に複数の溝を加工して側壁３３及びインク流路４３を形
成し、第２の工程で前記溝の開口部に駆動電極５を形成
する。そして、図６における第３の工程で、第１の工程
で加工した溝と同じピッチで、且つ該溝より大きい幅で
再度溝加工を行う。ここで、溝の深さは第１の工程で加
工した溝の半分の深さで図５における側壁３３の上面よ
り再度溝を加工することで、該溝の上部側面の駆動電極
と圧電セラミックスとが除去され、側壁３４及びインク
流路４４が形成される。この後、側壁３４の上面に残さ
れた不用電極をラッピング等で除去し、該側壁３４は、
その上半分の幅が下半分の幅より小さくなり、所望する
ところの下半分の領域にのみ駆動電極５を形成すること
ができる。
５において、まず、第１の工程で圧電セラミックス板２
に複数の溝を加工して側壁３３及びインク流路４３を形
成し、第２の工程で前記溝の開口部に駆動電極５を形成
する。そして、図６における第３の工程で、第１の工程
で加工した溝と同じピッチで、且つ該溝より大きい幅で
再度溝加工を行う。ここで、溝の深さは第１の工程で加
工した溝の半分の深さで図５における側壁３３の上面よ
り再度溝を加工することで、該溝の上部側面の駆動電極
と圧電セラミックスとが除去され、側壁３４及びインク
流路４４が形成される。この後、側壁３４の上面に残さ
れた不用電極をラッピング等で除去し、該側壁３４は、
その上半分の幅が下半分の幅より小さくなり、所望する
ところの下半分の領域にのみ駆動電極５を形成すること
ができる。
【００２０】尚、上述した本実施例においては、側壁３
４の幅の変化する領域及び駆動電極の形成する領域は側
壁の面の上下いずれかの半分と規定したが、本発明にお
いては、前記領域を規定するものではなく任意である。
４の幅の変化する領域及び駆動電極の形成する領域は側
壁の面の上下いずれかの半分と規定したが、本発明にお
いては、前記領域を規定するものではなく任意である。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明の液滴噴射装置は、インク流路を分離するための複
数の壁を有する圧電トランスデューサを備え、壁の上部
はその下部よりも壁の幅が小さいものであり、その上部
または下部の所望する部分のみに駆動電極を容易に形成
できる。
発明の液滴噴射装置は、インク流路を分離するための複
数の壁を有する圧電トランスデューサを備え、壁の上部
はその下部よりも壁の幅が小さいものであり、その上部
または下部の所望する部分のみに駆動電極を容易に形成
できる。
【００２２】特に、圧電セラミックス板にインク流路と
なる溝を加工するとともに、該溝の内面を含めて駆動電
極層を形成し、該溝と異なる幅でインク流路の深さ方向
に、再度溝を加工することにより、簡単な工程で、正確
に、側壁の所望する部分のみに駆動電極を形成できる。
なる溝を加工するとともに、該溝の内面を含めて駆動電
極層を形成し、該溝と異なる幅でインク流路の深さ方向
に、再度溝を加工することにより、簡単な工程で、正確
に、側壁の所望する部分のみに駆動電極を形成できる。
【００２３】また、インク流路間の側壁の上面の駆動電
極層を除去することで、側壁両側面の両駆動電極層を完
全に分離することができる。
極層を除去することで、側壁両側面の両駆動電極層を完
全に分離することができる。
【図１】本実施例の液滴噴射装置の形成方法の第１の工
程を示す説明図である。
程を示す説明図である。
【図２】本実施例の液滴噴射装置の形成方法の第２の工
程を示す説明図である。
程を示す説明図である。
【図３】本実施例の液滴噴射装置の形成方法の第３の工
程を示す説明図である。
程を示す説明図である。
【図４】本実施例の液滴噴射装置のアレイを示す説明図
である。
である。
【図５】本実施例の液滴噴射装置の形成の別例を示す第
１の説明図である。
１の説明図である。
【図６】本実施例の液滴噴射装置の形成の別例を示す第
２の説明図である。
２の説明図である。
【図７】従来の液滴噴射装置の駆動電極形成方法を示す
説明図である。
説明図である。
【図８】従来の液滴噴射装置のアレイを示す説明図であ
る。
る。
【図９】従来の液滴噴射装置の駆動回路を示す説明図で
ある。
ある。
２ 圧電セラミックス板 ３ 側壁 ４ インク流路 ５ 駆動電極 ７ 噴射装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木下 昌彦 名古屋市瑞穂区苗代町15番１号ブラザー 工業株式会社内 (72)発明者 吉村 学 名古屋市瑞穂区苗代町15番１号ブラザー 工業株式会社内 審査官 清水 康司 (56)参考文献 特開 平２−150355（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/055 B41J 2/16
Claims (4)
- 【請求項１】 圧電トランスデューサを用いてインク流
路の容積を変化させることにより、該インク流路のイン
クを、該インク流路に連通するノズルから噴射する噴射
装置を多数備えた液滴噴射装置において、前記インク流
路を分離するための複数の壁を有する圧電トランスデュ
ーサを備え、前記壁の上部はその下部よりも壁の幅が小
さく形成され、その上部または下部には駆動電極が形成
されていることを特徴とする液適噴射装置。 - 【請求項２】 圧電セラミックス板に、ある一定幅でイ
ンク流路の上部となる溝を加工する第１の工程と、 前記圧電セラミックス板に前記溝の内面も含めて駆動電
極層を形成する第２の工程と、前記第２の工程の後、前記インク流路の上部側面に前記
駆動電極層を残すように、前記溝の底面に、 前記第１の
工程で形成した溝よりも小さい幅でかつ該溝の深さ方向
に再度溝加工し、前記インク流路を形成する第３の工程
とからなることを特徴とする液滴噴射装置の製造方法。 - 【請求項３】 圧電セラミックス板に、ある一定幅でイ
ンク流路の下部となる溝を加工する第１の工程と、 前記圧電セラミックス板に前記溝の内面も含めて駆動電
極層を形成する第２の工程と、 前記第２の工程の後、前記インク流路の下部に前記駆動
電極層を残すように、前記溝の上部を、前記第１の工程
で形成した溝よりも大きい幅に、かつ該溝の深さ方向に
加工し、前記インク流路を形成する第３の工程とからな
ることを特徴とする液滴噴射装置の製造方法。 - 【請求項４】 請求項２または３において、さらに前記
第２の工程の後、前記インク流路間の側壁の上面の前記
駆動電極層を除去する工程を有することを特徴とする液
滴噴射装置の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04097928A JP3097298B2 (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | 液滴噴射装置およびその製造方法 |
| US08/022,530 US5421071A (en) | 1992-04-17 | 1993-02-25 | Method of making a piezoelectric liquid-drop ejection device |
| DE69307576T DE69307576T2 (de) | 1992-04-17 | 1993-03-12 | Piezoelektrische Vorrichtung zur Erzeugung eines Flüssigkeitsstrahles |
| EP93301896A EP0566244B1 (en) | 1992-04-17 | 1993-03-12 | Piezoelectric liquid-drop ejection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04097928A JP3097298B2 (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | 液滴噴射装置およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05293957A JPH05293957A (ja) | 1993-11-09 |
| JP3097298B2 true JP3097298B2 (ja) | 2000-10-10 |
Family
ID=14205343
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04097928A Expired - Lifetime JP3097298B2 (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | 液滴噴射装置およびその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5421071A (ja) |
| EP (1) | EP0566244B1 (ja) |
| JP (1) | JP3097298B2 (ja) |
| DE (1) | DE69307576T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US9796180B2 (en) | 2014-05-08 | 2017-10-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Piezoelectric liquid ejection device with electrodes formed on partition wall surfaces |
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| JP3212068B2 (ja) * | 1995-08-30 | 2001-09-25 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッド |
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| WO1997039897A1 (en) * | 1996-04-23 | 1997-10-30 | Xaar Technology Limited | Droplet deposition apparatus |
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| ATE254539T1 (de) * | 1999-08-14 | 2003-12-15 | Xaar Technology Ltd | Tröpfchenaufzeichnungsgerät |
| SE0004594D0 (sv) * | 2000-12-12 | 2000-12-12 | Gyros Ab | Microscale nozzie |
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| DE3630206A1 (de) * | 1985-09-06 | 1987-03-19 | Fuji Electric Co Ltd | Tintenstrahldruckkopf |
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-
1992
- 1992-04-17 JP JP04097928A patent/JP3097298B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-02-25 US US08/022,530 patent/US5421071A/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-03-12 EP EP93301896A patent/EP0566244B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-03-12 DE DE69307576T patent/DE69307576T2/de not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69307576T2 (de) | 1997-07-03 |
| EP0566244B1 (en) | 1997-01-22 |
| EP0566244A2 (en) | 1993-10-20 |
| EP0566244A3 (ja) | 1994-03-09 |
| US5421071A (en) | 1995-06-06 |
| JPH05293957A (ja) | 1993-11-09 |
| DE69307576D1 (de) | 1997-03-06 |
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