JPH0740536A - インクジェット記録装置の記録ヘッド - Google Patents

インクジェット記録装置の記録ヘッド

Info

Publication number
JPH0740536A
JPH0740536A JP5189796A JP18979693A JPH0740536A JP H0740536 A JPH0740536 A JP H0740536A JP 5189796 A JP5189796 A JP 5189796A JP 18979693 A JP18979693 A JP 18979693A JP H0740536 A JPH0740536 A JP H0740536A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric element
ink
hole
recording head
head according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP5189796A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2699813B2 (ja
Inventor
Masatoshi Yasuhara
正俊 安原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP5189796A priority Critical patent/JP2699813B2/ja
Priority to US08/281,836 priority patent/US5867193A/en
Publication of JPH0740536A publication Critical patent/JPH0740536A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2699813B2 publication Critical patent/JP2699813B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14282Structure of print heads with piezoelectric elements of cantilever type
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14209Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14274Structure of print heads with piezoelectric elements of stacked structure type, deformed by compression/extension and disposed on a diaphragm

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】製造性の容易な、安価なインクジェットヘッド
を提供すること。 【構成】貫通穴または非貫通穴が明けられた、単層2層
以上の積層型の圧電素子に、単発またはある程度連続し
たパルス的電圧を加えることにより発生する歪み振動を
圧力源として、前記穴内部のインクを吐出するまたは穴
内部の液体に発生する圧力波を媒介としてインクを吐出
することにより記録を行う記録装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録装
置に関し、特に圧電素子を使用するインクジェット記録
装置の記録ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のインクジェット記録装置
は一般に、図13に示すように記録ヘッド100とイン
ク供給路106とインクタンク107とから構成され
る。インクタンク107に溜っているインク108は、
インク供給路106を介して記録ヘッド100のインク
溜り102に入る。記録ヘッド100は、インク溜り1
02と圧電素子103と圧電室104とノズル105か
ら成る。圧電素子103は複数(図13では7個)の細
い圧力室104の上部に固定され、記録信号によって駆
動されることにより圧力室4内の圧力を高めてノズル5
からインクを出射させる。
【0003】図14(a)〜(e)は、記録ヘッド10
0のインク出射動作を示す断面図である。ただし、図1
4では、図13のノズル105とインク溜り102が省
略されている。
【0004】図14(a)において、圧電素子103は
圧力室104の上部外側に固定されている。圧電素子1
03には電極が形成されるが図では省略している。圧電
素子103に電圧を加えると、図14(b)に示すよう
に圧電素子103の歪や横効果の伸びによって圧力室1
04の壁が下がり、圧力室内の圧力が高められ、インク
滴が出射する。圧電素子103への電圧を切ると図14
(c),(d)に示すように慣性力により圧電素子10
3および圧力室104が電圧印加時と逆方向に歪んだ
後、図14(e)に示すように元の状態にもどる。圧電
素子としては種々のものが使用されるが、圧電素子に積
層圧電セラミックスを使用した例が特開平4−1631
52号公報に開示されている。特開平4−163152
号公報には、積層圧電セラミックスの一表面が圧力室の
壁を介さず圧力室内のインクに直接に接触するインクジ
ェット記録ヘッドが記載されている。また、圧電素子を
圧力室の内部に固定した例が特開昭56−69178号
公報に開示されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
の記録ヘッドでは、インクが流れる圧力室と圧電素子を
別々に製作しなければならず、また圧力室へ圧電素子を
固定しなければならないので、圧力室と圧電素子との位
置合わせが必要となり、製造コストが高くなる。
【0006】本発明の目的は、圧力室と圧電素子が独立
していない構造のインクジェット記録ヘッドを提供する
ことにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、内部に
インクを溜める穴を設けた圧電素子と、この圧電素子の
穴にインクを供給するインク供給部とを含み、圧電素子
に電圧を加えることにより発生する歪みを圧力源とし
て、穴内部のインクを吐出することを特徴とする記録ヘ
ッドが得られる。
【0008】圧電素子は互いに対向する少くとも1対の
面に電極が形成され、電極間に電圧が印加される。圧電
素子は積層構造にすると大きな歪みを発生でき、インク
滴の吐出力が増す。
【0009】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
詳細に説明する。
【0010】図1は本発明のインクジェット記録ヘッド
の圧電素子ヘッド部の第1の実施例を示し、(a)は断
面図,(b)は電圧印加時の断面図,(c)は斜視図で
ある。
【0011】図において、圧電素子ヘッド部は圧電素子
1の中央に直径20〜100μmの貫通穴2を設け、圧
電素子1の両端面に電極3a,3bをコーティングした
もので、貫通穴2にはインク供給部(図示略)から図1
(a)の矢印A方向へインク4が供給される。すなわ
ち、第1の実施例の圧電素子ヘッド部は分極方向に貫通
穴2を設けた単層構造の圧電素子1を使用する。電極3
a,3bの間に駆動回路6から電圧を印加して駆動する
ことにより、圧電素子1に歪みが発生し貫通穴2の中心
軸に平行な方向に伸びる。これによりインク4をインク
が供給される側と反対側の出口へ押し出す圧力波が発生
し、貫通穴4から外へインク滴5が吐出される。したが
って、図1の圧電素子ヘッド部は従来の記録ヘッドの圧
力室を兼ねている。
【0012】図2は本発明のインクジェット記録ヘッド
の圧電素子ヘッド部の第2の実施例を示し、(a)は断
面図,(b)は電圧印加時の断面図,(c)は斜視図で
ある。
【0013】図において、第2の実施例は圧電素子7の
中央に直径20〜100μmの貫通穴8を設け、圧電素
子7の側面に電極9a,9bをコーティングしたもの
で、インク4はインク供給部から矢印A方向へ供給され
る。すなわち、第2の実施例の圧電素子ヘッド部は、分
極方向と直角方向に貫通穴を設けた単層構造の圧電素子
1を使用する。電極9a,9bの間に電圧を印加して駆
動することにより、図1(b)と同じ方向の歪みが圧電
素子1に発生し、貫通穴8の出口からインク滴が吐出す
る。
【0014】以上、説明した第1,第2の実施例で、圧
電素子の端面に電極を設けるか側面に設けるかは、圧電
素子の物理的寸法あるいは材質によって決まるが、いず
れにしても、図1(b),図2(b)のように貫通穴
2,8の中心軸に平行な方向に圧電素子が伸びるような
歪みを発生させる位置に電極を設けることが必要であ
る。
【0015】図3は本発明のインクジェット記録ヘッド
の圧電素子ヘッド部の第3の実施例を示す断面図であ
る。圧電素子10の中央には貫通しない直径20〜10
0μmの穴11が設けられ、圧電素子10の両端面に電
極12a,12bが形成されている。インク4は非貫通
穴11に供給されるがその供給方法については図11を
用いて後述する。駆動回路6から電極12a,12bに
電圧が印加されることにより、図1(b)と同じ方向に
歪みが発生し、非貫通穴11からインク滴5が吐出す
る。
【0016】図4は本発明のインクジェット記録ヘッド
の圧電素子ヘッド部の第4の実施例を示す断面図であ
る。本実施例は圧電素子13に多層電極15a,15b
を形成しさらに中央に貫通穴14を設けた積層形圧電構
造で、インク供給部(図示略)から矢印A方向へインク
が供給される。本実施例は積層形圧電構造の使用によっ
て、図1の単層構造より大きな歪みを発生することがで
き、インク滴5の吐出力が強まる。
【0017】図5は本発明のインクジェット記録ヘッド
の圧電素子ヘッド部の第5の実施例を示す断面図であ
る。本実施例は図1の圧電素子ヘッド部のインク出口側
にノズルプレート16を固定したものである。ノズルプ
レート16は貫通穴2より小径の穴16aを有し、穴1
6aと貫通穴2とが同一軸上に配置される。
【0018】図6,図7はそれぞれ本発明のインクジェ
ット記録ヘッドの圧電素子ヘッド部の第6,第7の実施
例を示す断面図である。図6,図7の圧電素子ヘッド部
はいずれも図1の圧電素子ヘッド部の貫通穴2の形状を
変えたもので、図6では貫通穴17な径がインク供給側
から出口に向かって徐々に減少し、図7では出口側のみ
貫通穴18の直径を小さくしている。いずれもインク滴
の吐出力向上とインク滴の直径を小さくすることを目的
として貫通穴の形状を工夫したものである。
【0019】以上説明した第1から第7の実施例におい
て、圧電素子には貫通穴,非貫通穴を2つ以上設けても
よい。各圧電素子は例えばチタン酸ジルコン酸鉛系セラ
ミックあるいはチタン酸バリウムなどが使用される。
【0020】各実施例はインクを溜める圧力室を貫通穴
又は非貫通穴として設けており、圧力室と圧電素子とが
別々の部品ではないので小型化が容易である。
【0021】図8は図1に示す圧電素子ヘッド部を使用
する本発明のインクジェット記録ヘッドの一実施例を示
す斜視図,図9は図8のB−B断面図である。
【0022】図において、圧電素子ヘッド部20,21
はそれぞれ図1の圧電素子ヘッド部と同じもので、電極
3bは圧電素子1と同じ材質からなるインク供給部23
へ固定されている。インク供給部23の中にはインク溜
り26が形成され、そこには管25を介してインクタン
ク(図示せず)からインクが供給される。インク供給部
23はコの字状断面形状を有し、圧電素子ヘッド部2
0,21の間に切り込み24が設けられている。この切
り込み24は、圧電素子20,21が駆動中に互いに歪
みの影響を及ぼさないようにする目的で設けており、圧
電素子ヘッド部20,21は同時又は別々に駆動され
る。
【0023】図8,図9において、圧電素子ヘッド部2
0,21は図2,図4,図5,図6又は図7に示す圧電
素子ヘッド部に置き換えられる。
【0024】図10は本発明のインクジェット記録ヘッ
ドの他の実施例を示す斜視図である。
【0025】図10のインクジェット記録ヘッドは、圧
電素子ブロック30と内部にインク溜りを有するインク
供給部31とを有する。インク供給部31にはインクタ
ンクからのインクが管39を介して供給される。圧電素
子ブロック30は5層の積層圧電体で、インク出射側の
一部の面33(図10の白ぬきの部分)と図の底面とイ
ンク供給部31に接合する面以外の表面が金属膜でコー
ティングされた後、面33の両側5個所に互い違いに切
り込み38を入れたものである。各切り込み38の間に
は、図4に示す圧電素子ヘッド部と同じ積層形の圧電素
子ヘッド部30a,30b,30c,30dが形成され
る。各圧電素子ヘッド部の貫通穴(直径40μm)は、
インク供給部31の中のインク溜りに接続したインクが
供給されている。
【0026】ところで、圧電素子ブロック30には、対
向する2つの側面P,Sからブロック内の途中まで電極
31,32が形成され、さらに側面P,Sに接触しない
3つの電極33がブロック内に形成されている。したが
って、圧電素子ヘッド部30a,30bを駆動するため
の一方の電極は電極32、他方の電極は電極33とな
り、また、圧電素子ヘッド部30c,30dを駆動する
ための一方の電極は電極31、他方は電極33となる。
このため電極33は各圧電素子ヘッド部33a〜33d
で共通電位となる。電極33は共通電極37に接続され
る。したがって、たとえば圧電素子ヘッド部30cを駆
動する場合、電極31に接続する側面P側の電極と共通
電極37とを駆動回路36に接続して駆動する。
【0027】圧電素子ヘッド部30a,30b,30
c,30dは千鳥状に配置されるので、本インクジェッ
ト記録ヘッドは、高密度記録を実現できる。
【0028】図11は、本発明のインクジェット記録ヘ
ッドのさらに別の実施例を示す断面図である。図11の
インクジェット記録ヘッドは、図3の圧電素子ヘッド部
と同じ形状の圧電素子ヘッド部40と、インク溜り42
とノズル42を有するインク供給部41とを含む。圧電
素子ヘッド部40はノズル42に近接するように固定さ
れている。圧電素子ヘッド部40は全表面が絶縁膜で被
覆されており、非貫通穴11がノズル42の穴に対向し
ている。インクはインク溜り42から圧電素子ヘッド部
40とインク供給部41との間の狭いギャップ43を毛
細管現象で上昇し、非貫通穴11に導かれる。電極12
a,12bの間に電圧を印加することにより、図3と同
様に非貫通穴11内のインクを外へ押し出す力が作用
し、ノズル42からインク滴が吐出される。
【0029】以上、図8〜図11を用いて説明したよう
に、本発明のインクジェット記録ヘッドは、圧電素子内
にインク圧力室、すなわち、貫通穴,非貫通穴を有する
圧電素子ヘッド部が直接インク供給部に接続されるの
で、小型化が容易であり、また従来のように圧電素子を
インク圧力室に位置決めして固定する製造工程が不要な
ので製造コストも低減できる。
【0030】次に、各実施例で使用した圧電素子ヘッド
部を駆動する電圧波形について説明する。図12はその
圧電波形を示す波形図で、(a)は1滴のインク滴を吐
出するのに単一パルスで駆動する場合の波形図、(b)
は同じく1滴のインク滴を吐出するのに複数のパルスで
駆動する場合の波形図である。(b)の波形の場合、パ
ルス周期は圧電素子の固有振動数の整数倍に設定され、
圧電素子の特性に合わせて安定したインク滴の吐出を可
能とする。
【0031】なお、本発明の実施例では圧電素子ヘッド
部の形状が四角柱であったが、円筒状あるいはその他の
立体形状でもよい。また1つの圧電素子ヘッドに形成す
る穴の数は2つ以上でもよい。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、簡
易な構造でインクジェット記録ヘッドを形成でき、製造
コストが安価でしかも小型化も容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるインクジェット記録ヘッドの圧電
素子ヘッド部の第1の実施例を示し、(a)は断面図,
(b)は動作状態を示す断面図,(c)は斜視図であ
る。
【図2】本発明によるインクジェット記録ヘッドの圧電
素子ヘッド部の第2の実施例を示し、(a)は断面図,
(b)は動作状態を示す断面図,(c)は斜視図であ
る。
【図3】本発明によるインクジェット記録ヘッドの圧電
素子ヘッド部の第3の実施例を示す断面図である。
【図4】本発明によるインクジェット記録ヘッドの圧電
素子ヘッド部の第4の実施例を示す断面図である。
【図5】本発明によるインクジェット記録ヘッドの圧電
素子ヘッド部の第5の実施例を示す断面図である。
【図6】本発明によるインクジェット記録ヘッドの圧電
素子ヘッド部の第6の実施例を示す断面図である。
【図7】本発明によるインクジェット記録ヘッドの圧電
素子ヘッド部の第7の実施例を示す断面図である。
【図8】本発明によるインクジェット記録ヘッドの実施
例を示す斜視図である。
【図9】図8のB−B断面図である。
【図10】本発明によるインクジェット記録ヘッドの他
の実施例を示す斜視図である。
【図11】本発明によるインクジェット記録ヘッドのさ
らに他の実施例を示す斜視図である。
【図12】本発明によるインクジェット記録ヘッドの圧
電素子ヘッド部の駆動電圧の波形図である。
【図13】従来のインクジェット記録装置の平面図であ
る。
【図14】従来のインクジェット記録装置の記録ヘッド
の動作を示す断面図である。
【符号の説明】
1,7,10,13 圧電素子 2,8,14,17,18 貫通穴 11 非貫通穴 3a,3b,9a,9b,12a,12b,15a,1
5b 電極 23,31,41 インク供給部

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内部にインクを溜める穴を設けた圧電素
    子と、前記圧電素子の前記穴にインクを供給するインク
    供給部とを含み、前記圧電素子に電圧を加えることによ
    り発生する歪みを圧力源として、前記穴内部のインクを
    吐出することを特徴とする記録ヘッド。
  2. 【請求項2】 前記圧電素子は互いに対向する少くとも
    1対の面に電極が形成され、前記電極間に電圧が印加さ
    れることを特徴とする請求項1に記載された記録ヘッ
    ド。
  3. 【請求項3】 前記穴は貫通穴であることを特徴とする
    請求項2に記載された記録ヘッド。
  4. 【請求項4】 前記穴は非貫通穴であることを特徴とす
    る請求項2に記載された記録ヘッド。
  5. 【請求項5】 前記圧電素子は複数の電極を積み重ねた
    積層圧電素子であることを特徴とする請求項2に記載さ
    れた記録ヘッド。
  6. 【請求項6】 前記貫通穴のインク吐出口にノズルを固
    定したことを特徴とする請求項3に記載された記録ヘッ
    ド。
  7. 【請求項7】 前記貫通穴はインク出口に向かって穴の
    直径が小さくなっていることを特徴とする請求項3に記
    載された記録ヘッド。
  8. 【請求項8】 前記インク供給部は前記穴に供給される
    インクを溜めるインク溜めを有する請求項1に記載され
    た記録ヘッド。
  9. 【請求項9】 前記インク供給部には複数の前記圧電素
    子が千鳥状に配置され固定されたことを特徴とする請求
    項2に記載された記録ヘッド。
JP5189796A 1993-07-30 1993-07-30 インクジェット記録装置の記録ヘッド Expired - Fee Related JP2699813B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5189796A JP2699813B2 (ja) 1993-07-30 1993-07-30 インクジェット記録装置の記録ヘッド
US08/281,836 US5867193A (en) 1993-07-30 1994-07-28 Ink-jet printing head having pieozoelectric blocks with electrodes on ends perpendicular to axial direction of bores

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5189796A JP2699813B2 (ja) 1993-07-30 1993-07-30 インクジェット記録装置の記録ヘッド

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0740536A true JPH0740536A (ja) 1995-02-10
JP2699813B2 JP2699813B2 (ja) 1998-01-19

Family

ID=16247357

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5189796A Expired - Fee Related JP2699813B2 (ja) 1993-07-30 1993-07-30 インクジェット記録装置の記録ヘッド

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5867193A (ja)
JP (1) JP2699813B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7588322B2 (en) 2004-09-30 2009-09-15 Ngk Insulators, Ltd. Liquid drop discharge piezoelectric device
EP3438334A1 (en) 2017-08-02 2019-02-06 Murata Machinery, Ltd. Air spinning machine and display control method

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6299288B1 (en) * 1997-02-21 2001-10-09 Independent Ink, Inc. Method and apparatus for variably controlling size of print head orifice and ink droplet
AUPP702498A0 (en) * 1998-11-09 1998-12-03 Silverbrook Research Pty Ltd Image creation method and apparatus (ART77)
GB0426223D0 (en) * 2004-11-30 2004-12-29 Xaar Technology Ltd Droplet deposition apparatus

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62140851A (ja) * 1985-12-17 1987-06-24 Canon Inc インクジエツト記録ヘツド
JPS6331758A (ja) * 1986-07-28 1988-02-10 Hitachi Ltd 液体噴射装置
JPH04197640A (ja) * 1990-11-28 1992-07-17 Sharp Corp インクジェット記録ヘッド
JPH04336255A (ja) * 1991-05-13 1992-11-24 Seiko Epson Corp インクジェットヘッド

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3211088A (en) * 1962-05-04 1965-10-12 Sperry Rand Corp Exponential horn printer
US3786517A (en) * 1972-09-05 1974-01-15 Ibm Ink jet printer with ink system filter means
JPS5571572A (en) * 1978-11-27 1980-05-29 Ricoh Co Ltd Ink jet head
NL8102227A (nl) * 1981-05-07 1982-12-01 Philips Nv Werkwijze voor het vervaardigen van straalpijpkanalen en inktstraaldrukker met een volgens die werkwijze vervaardigd straalpijpkanaal.
US4455503A (en) * 1982-06-17 1984-06-19 Murata Manufacturing Co., Ltd. Rectangular piezoelectric resonator with a slot in one surface
DE3630206A1 (de) * 1985-09-06 1987-03-19 Fuji Electric Co Ltd Tintenstrahldruckkopf
US5189437A (en) * 1987-09-19 1993-02-23 Xaar Limited Manufacture of nozzles for ink jet printers
JPH02261072A (ja) * 1989-03-30 1990-10-23 Shizuoka Univ 圧電アクチュエータ
JP2957683B2 (ja) * 1990-10-26 1999-10-06 株式会社リコー インクジェット記録装置
JP3139511B2 (ja) * 1990-11-09 2001-03-05 セイコーエプソン株式会社 インクジェット記録ヘッド

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62140851A (ja) * 1985-12-17 1987-06-24 Canon Inc インクジエツト記録ヘツド
JPS6331758A (ja) * 1986-07-28 1988-02-10 Hitachi Ltd 液体噴射装置
JPH04197640A (ja) * 1990-11-28 1992-07-17 Sharp Corp インクジェット記録ヘッド
JPH04336255A (ja) * 1991-05-13 1992-11-24 Seiko Epson Corp インクジェットヘッド

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7588322B2 (en) 2004-09-30 2009-09-15 Ngk Insulators, Ltd. Liquid drop discharge piezoelectric device
EP3438334A1 (en) 2017-08-02 2019-02-06 Murata Machinery, Ltd. Air spinning machine and display control method

Also Published As

Publication number Publication date
JP2699813B2 (ja) 1998-01-19
US5867193A (en) 1999-02-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4609594B2 (ja) 液体噴射ヘッド
KR101363461B1 (ko) 액적 침착 장치
JP3163878B2 (ja) インク噴射装置
JPH05293957A (ja) 液滴噴射装置
JP2699813B2 (ja) インクジェット記録装置の記録ヘッド
JP2008044296A (ja) 液体噴射ヘッド
US7156493B2 (en) Droplet ejecting apparatus that contains an actuator plate having a communication hole
JP2001010040A (ja) インクジェットヘッド
JP2004202849A (ja) 液体噴射ヘッドの製造方法
JP3067535B2 (ja) インク噴射装置及びその製造方法
JP2785715B2 (ja) インクジェットヘッド
JP3298755B2 (ja) インクジェットヘッドの製造方法
JP3024291B2 (ja) 液滴噴射装置
JP2001054946A (ja) インクジェットヘッド
JP3149448B2 (ja) 液滴噴射装置
JP3485014B2 (ja) インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置
JP2000117971A (ja) 積層圧電型駆動体及びその製造方法並びにインクジェットヘッド
JPH04286650A (ja) 液滴噴射装置
JPH1110872A (ja) インクジェットプリンタヘッド
JPH0596725A (ja) 液滴噴射装置
JP2005288697A (ja) 液体吐出装置
JPH10772A (ja) インクジェット記録ヘッド用圧電部材の駆動方法および圧電部材
JP2990887B2 (ja) 液滴噴射装置
JP2003347619A (ja) 圧電素子、電歪アクチュエータ、及び、それらの製造方法
JP2008105426A (ja) 画像記録装置、圧電アクチュエータ、及び、液体噴射ヘッド

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19970826

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees