JPH04336255A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
- Publication number
- JPH04336255A JPH04336255A JP10750091A JP10750091A JPH04336255A JP H04336255 A JPH04336255 A JP H04336255A JP 10750091 A JP10750091 A JP 10750091A JP 10750091 A JP10750091 A JP 10750091A JP H04336255 A JPH04336255 A JP H04336255A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diameter
- ink
- dried
- burnt
- present
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims abstract 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 8
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 abstract description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 abstract description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 abstract description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 2
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 abstract description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910019704 Nb2O Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットヘッド
、詳しくはいわゆる、インクジェット記録方式用に用い
る記録用インク小滴を発生する為のインクジェットヘッ
ドに関する。
、詳しくはいわゆる、インクジェット記録方式用に用い
る記録用インク小滴を発生する為のインクジェットヘッ
ドに関する。
【0002】
【従来の技術】インクジェット記録方式に適用されるイ
ンクジェットヘッドは、一般に微細なインク吐出口(オ
リフィス)、インク流路及びこのインク通路の1部にも
うけられるインク吐出圧発生部を備えている。従来、こ
のようなインクジェットヘッドを作成する方法として、
例えばガラスや金属板に切削やフォトリソグラフィ等に
より、微細な溝や気泡発生素子を形成した後、この溝や
素子を形成した板を他の適当な板と接合してインク通路
の形成を行なう方法が知られていた。
ンクジェットヘッドは、一般に微細なインク吐出口(オ
リフィス)、インク流路及びこのインク通路の1部にも
うけられるインク吐出圧発生部を備えている。従来、こ
のようなインクジェットヘッドを作成する方法として、
例えばガラスや金属板に切削やフォトリソグラフィ等に
より、微細な溝や気泡発生素子を形成した後、この溝や
素子を形成した板を他の適当な板と接合してインク通路
の形成を行なう方法が知られていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、かかる従来法
によって作成されるヘッドでは、切削加工されるインク
流路内壁面の荒れが大き過ぎたり、エッチング等の差か
らインク流路が得難く、製作後のインクジェットヘッド
のインク吐出特性にバラツキが出易く、また、製造歩留
りが悪いと言う欠点もある。
によって作成されるヘッドでは、切削加工されるインク
流路内壁面の荒れが大き過ぎたり、エッチング等の差か
らインク流路が得難く、製作後のインクジェットヘッド
のインク吐出特性にバラツキが出易く、また、製造歩留
りが悪いと言う欠点もある。
【0004】そして、フォトリソグラフィを行なう場合
は、製造工程が多く、製造コストの上昇をまねくと言う
不利がある。
は、製造工程が多く、製造コストの上昇をまねくと言う
不利がある。
【0005】薄膜積層構造のインクジェットヘッドでは
、蒸着、スパッタ、CVD等の真空装置を使用し、製造
工程が多く、製造コストの上昇をまねく、更に、上記し
た従来法に共通する欠点としては、サイクルタイムが長
く生産性の低下を余儀なくされてきた。
、蒸着、スパッタ、CVD等の真空装置を使用し、製造
工程が多く、製造コストの上昇をまねく、更に、上記し
た従来法に共通する欠点としては、サイクルタイムが長
く生産性の低下を余儀なくされてきた。
【0006】吐出エネルギーとして気泡の繰り返し発生
を利用するインクジェットヘッドは、インク吐出エネル
ギー発生素子上に設けられた金属薄膜の腐食により使用
可能なインク組成に制約があり、カラー化に障害となる
、またその耐久性の無さから、ヘッドの交換を前提とし
た使用に限られ信頼性が不十分である。
を利用するインクジェットヘッドは、インク吐出エネル
ギー発生素子上に設けられた金属薄膜の腐食により使用
可能なインク組成に制約があり、カラー化に障害となる
、またその耐久性の無さから、ヘッドの交換を前提とし
た使用に限られ信頼性が不十分である。
【0007】したがって、これらの欠点が解決される構
成を有するインクジェットヘッドの開発が切望されてい
る。
成を有するインクジェットヘッドの開発が切望されてい
る。
【0008】本発明は、上記欠点に鑑み成されたもので
、精密であり、しかも信頼性の高いインクジェットヘッ
ドを提供する事を目的とする。
、精密であり、しかも信頼性の高いインクジェットヘッ
ドを提供する事を目的とする。
【0009】また、インク流路の構造がインクの組成に
影響されない構成を有するインクジェットヘッドを提供
することも本発明の目的である。
影響されない構成を有するインクジェットヘッドを提供
することも本発明の目的である。
【0010】更に、簡略な構造により歩留り良く製造す
ることができ、しかも使用耐久性・インク吐出スピード
性に優れたインクジェットヘッドを提供することも本発
明の他の目的である。
ることができ、しかも使用耐久性・インク吐出スピード
性に優れたインクジェットヘッドを提供することも本発
明の他の目的である。
【0011】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明のインクジェットヘッドは、金属系ペ
ーストを介しながら、複数個の円筒状のを組み立て、あ
るいは平板状を多角錐、または多角柱に組み立て成形し
たPZT素子をインク吐出エネルギー発生素子としたイ
ンクジェットヘッドにおいて、前記インク吐出エネルギ
ー発生素子の内壁が凹状の曲面形態または、突起部付与
をしたことを特徴とする。
るために、本発明のインクジェットヘッドは、金属系ペ
ーストを介しながら、複数個の円筒状のを組み立て、あ
るいは平板状を多角錐、または多角柱に組み立て成形し
たPZT素子をインク吐出エネルギー発生素子としたイ
ンクジェットヘッドにおいて、前記インク吐出エネルギ
ー発生素子の内壁が凹状の曲面形態または、突起部付与
をしたことを特徴とする。
【0012】
(実施例1)以下、実施例に基づき本発明を詳細に説明
する。図1から図8に示した作成工程に従って、本発明
の実施例を説明する。
する。図1から図8に示した作成工程に従って、本発明
の実施例を説明する。
【0013】化学的純度98%以上の原料を用い、Pb
O 54モル、TiO2 23モル、ZrO2
20モル、Nb2O53モルの組成になるように秤量し
、ライカイ機で30分均一になるように混合し、摂氏8
50度で3時間仮焼する。次いでボールミルにて5時間
湿式粉砕し乾燥する。そしてポリビニールアルコールを
適当量加えた混合し造粒したものを、径0.05×3m
m、径0.15×3mm、径0.25×3mmの寸法の
円柱に成るよう成形する。インク流路の一部に突起部を
2カ所付与する加工を加えた。図1から図3のように相
互に填め合い出来るテーパーをつけた。この成形品を耐
火物焼成箱にいれて摂氏1200度で3時間焼成する。 次いで前記3試料を順次銀ペーストを塗布しながら挿入
しつつ組立、焼き付けて電極とし、図4のように信号入
力用電極6をつけた。そしてシリコンオイル中で35K
Vの直流電界を1時間印加して分極する。イミド系接着
剤で組立、ヘッド特性を評価した。かかる各材料の発生
変位、発生力、共振周波数、インク吐出スピードについ
て測定した結果を表1に示す。
O 54モル、TiO2 23モル、ZrO2
20モル、Nb2O53モルの組成になるように秤量し
、ライカイ機で30分均一になるように混合し、摂氏8
50度で3時間仮焼する。次いでボールミルにて5時間
湿式粉砕し乾燥する。そしてポリビニールアルコールを
適当量加えた混合し造粒したものを、径0.05×3m
m、径0.15×3mm、径0.25×3mmの寸法の
円柱に成るよう成形する。インク流路の一部に突起部を
2カ所付与する加工を加えた。図1から図3のように相
互に填め合い出来るテーパーをつけた。この成形品を耐
火物焼成箱にいれて摂氏1200度で3時間焼成する。 次いで前記3試料を順次銀ペーストを塗布しながら挿入
しつつ組立、焼き付けて電極とし、図4のように信号入
力用電極6をつけた。そしてシリコンオイル中で35K
Vの直流電界を1時間印加して分極する。イミド系接着
剤で組立、ヘッド特性を評価した。かかる各材料の発生
変位、発生力、共振周波数、インク吐出スピードについ
て測定した結果を表1に示す。
【0014】(実施例2)主成分と添加物である化学的
純度98%以上の原料を前記実施例1の一定のモル組成
になるように秤量し、ポットミルで湿式混合した。混合
後に、脱水、乾燥し、摂氏850から1100度で2時
間仮焼した。次いで仮焼粉末を有機結合材とともに粉砕
、混合し、さらに乾燥、造粒を行なった。このようにし
て得られた造粒粉末を約1000Kg/cm2 の圧力
で相互に填め合い可能な板材、厚さ0.030mmと厚
さ0.020mmの成形した。図5のようにインク流路
の一部に凹状の曲面形態の加工を加えた。なお、凹状の
曲面加工を加えない円筒状のインク流路を図9のように
比較例とした。図6にろう型で成形したインク流路のA
A’断面図をしめす。図7と図8にAA’面から見た側
面図を示す。成形板材を摂氏1150から1300度で
2時間焼成して磁器を得た。得られた2つの磁器の内、
小さい磁器の外面に厚さ約0.005mmほど研磨した
後に銀蒸着により電極を形成し、図4のように信号入力
用電極6をつけた。そしてそれぞれ摂氏130度、4K
V/mm、10分間程度の条件で分極処理を行なった。 イミド系接着剤で組立、ヘッド特性を評価した。かかる
各材料の発生変位、発生力、共振周波数、インク吐出ス
ピードについて表1に示す。
純度98%以上の原料を前記実施例1の一定のモル組成
になるように秤量し、ポットミルで湿式混合した。混合
後に、脱水、乾燥し、摂氏850から1100度で2時
間仮焼した。次いで仮焼粉末を有機結合材とともに粉砕
、混合し、さらに乾燥、造粒を行なった。このようにし
て得られた造粒粉末を約1000Kg/cm2 の圧力
で相互に填め合い可能な板材、厚さ0.030mmと厚
さ0.020mmの成形した。図5のようにインク流路
の一部に凹状の曲面形態の加工を加えた。なお、凹状の
曲面加工を加えない円筒状のインク流路を図9のように
比較例とした。図6にろう型で成形したインク流路のA
A’断面図をしめす。図7と図8にAA’面から見た側
面図を示す。成形板材を摂氏1150から1300度で
2時間焼成して磁器を得た。得られた2つの磁器の内、
小さい磁器の外面に厚さ約0.005mmほど研磨した
後に銀蒸着により電極を形成し、図4のように信号入力
用電極6をつけた。そしてそれぞれ摂氏130度、4K
V/mm、10分間程度の条件で分極処理を行なった。 イミド系接着剤で組立、ヘッド特性を評価した。かかる
各材料の発生変位、発生力、共振周波数、インク吐出ス
ピードについて表1に示す。
【0015】
【表1】
【0016】
【発明の効果】以上述べたように本発明の効果としては
、次の通り種々列挙する事が出来る。■ヘッド製作の主
要工程が、いわゆるピエゾ素子焼成技術に因るため、所
望の形状でヘッド細密部の形成が極めて簡単に行える。 しかも、同構成のヘッドを多数、加工することもできる
。
、次の通り種々列挙する事が出来る。■ヘッド製作の主
要工程が、いわゆるピエゾ素子焼成技術に因るため、所
望の形状でヘッド細密部の形成が極めて簡単に行える。 しかも、同構成のヘッドを多数、加工することもできる
。
【0017】■製造工程が比較的少ないので、生産性が
良好である。
良好である。
【0018】■主要構成部材の点数が少なく、容易にし
て確実に寸法精度の高いヘッドが歩留り良く得られる。
て確実に寸法精度の高いヘッドが歩留り良く得られる。
【0019】■連続且つ、大量生産が可能である。
【0020】■構成部材の剥離や変形または、位置ズレ
が発生せず、得られたインクジェットヘッドの耐久性が
極めて良好である。
が発生せず、得られたインクジェットヘッドの耐久性が
極めて良好である。
【図1】本発明の実施例1の斜視図である。
【図2】本発明の実施例1の斜視図である。
【図3】本発明の実施例1の斜視図である。
【図4】本発明の実施例1の斜視図である。
【図5】本発明の実施例2の斜視図である。
【図6】本発明の実施例2のAA’断面図である。
【図7】本発明の実施例2のAA’側面図である。
【図8】本発明の実施例2のAA’側面図である。
【図9】本発明の比較例のAA’断面図である。
1 ピエゾ素子(直径0.25×3mm)2
実施例1のインク流路 2 銀ペースト 3 ピエゾ素子(直径0.15×3mm)4
ピエゾ素子(直径0.05×3mm)5
インク流路 6 信号入力用電極 7 実施例2のインク流路 8 実施例2のインク流路
実施例1のインク流路 2 銀ペースト 3 ピエゾ素子(直径0.15×3mm)4
ピエゾ素子(直径0.05×3mm)5
インク流路 6 信号入力用電極 7 実施例2のインク流路 8 実施例2のインク流路
Claims (1)
- 【請求項1】 金属系ペーストを介しながら、複数個
の円筒状のを組み立て、あるいは平板状を多角錐、また
は多角柱に組み立て成形したPZT素子をインク吐出エ
ネルギー発生素子としたインクジェットヘッドにおいて
、前記インク吐出エネルギー発生素子の内壁が凹状の曲
面形態または、突起部付与をしたことを特徴とするイン
クジェットヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10750091A JPH04336255A (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10750091A JPH04336255A (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04336255A true JPH04336255A (ja) | 1992-11-24 |
Family
ID=14460786
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10750091A Pending JPH04336255A (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04336255A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0740536A (ja) * | 1993-07-30 | 1995-02-10 | Nec Corp | インクジェット記録装置の記録ヘッド |
-
1991
- 1991-05-13 JP JP10750091A patent/JPH04336255A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0740536A (ja) * | 1993-07-30 | 1995-02-10 | Nec Corp | インクジェット記録装置の記録ヘッド |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6198203B1 (en) | Piezoelectric vibrating member and its producing process | |
KR100715406B1 (ko) | 압전 구조체, 액체 토출 헤드 및 그 제조 방법 | |
US6552474B2 (en) | Ceramic diaphragm structure and method for producing the same | |
KR20000016488A (ko) | 잉크제트헤드 | |
JPH04336255A (ja) | インクジェットヘッド | |
KR100532773B1 (ko) | 압전 박막 및 그 제조방법, 압전 박막을 구비한 압전소자, 압전 소자를 이용한 잉크 제트 헤드, 및 잉크 제트헤드를 구비한 잉크 제트식 기록 장치 | |
CN110759718B (zh) | 拱形片状介电材料的制备方法、挠曲电压电复合材料 | |
JPH04325258A (ja) | インクジェットヘッド | |
US4392970A (en) | Piezoelectric ceramics | |
JPH08336967A (ja) | 圧電素子およびその製造方法 | |
JPH0292644A (ja) | インクジェットヘッド | |
JPH05309841A (ja) | インクジェットプリンタヘッドの製作方法 | |
JP3646626B2 (ja) | 圧電/電歪アクチュエータの製造方法 | |
CN106601902A (zh) | 新型压电片结构 | |
JP3642671B2 (ja) | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 | |
SU1428744A1 (ru) | Пьезоэлектрический керамический материал | |
SU1305144A1 (ru) | Пьезоэлектрический керамический материал | |
US3454459A (en) | Manufacture of ferroelectric parts,more particularly of transducers | |
JPH04262581A (ja) | 積層型圧電素子 | |
SU1717590A1 (ru) | Пьезоэлектрический керамический материал | |
KR100282662B1 (ko) | 프린트헤드의 엑츄에이터 제조방법 | |
JP2862086B2 (ja) | アクチュエータ用圧電性磁器組成物 | |
JPS6048115B2 (ja) | 圧電セラミック基板の製造方法 | |
JPH03256382A (ja) | 圧電セラミック | |
JP2512570B2 (ja) | 異方導電性セラミックス複合体の製造方法 |