JPH0292644A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JPH0292644A JPH0292644A JP24671388A JP24671388A JPH0292644A JP H0292644 A JPH0292644 A JP H0292644A JP 24671388 A JP24671388 A JP 24671388A JP 24671388 A JP24671388 A JP 24671388A JP H0292644 A JPH0292644 A JP H0292644A
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- JP
- Japan
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- inkjet head
- pressure generator
- piezoelectric
- head
- nozzle
- Prior art date
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- Pending
Links
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/161—Production of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
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- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1643—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by plating
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はインクジェット記録に使用される、インクジェ
ットヘッドに関する。
ットヘッドに関する。
インフジエラＩ・記録の技術に関しては、数多くの特許
及び文献が公開されている。これらの資料中で圧力発生
器として圧電セラミックを用いるものも又、数多い。し
かし、加工方式は、セラミック焼成前に圧粉成形により
個々の圧電素子を形成して焼結するか、又はセラミック
焼結後、電極を付Ｉｊ、 して機械的に切断するかの何
れかであった。
及び文献が公開されている。これらの資料中で圧力発生
器として圧電セラミックを用いるものも又、数多い。し
かし、加工方式は、セラミック焼成前に圧粉成形により
個々の圧電素子を形成して焼結するか、又はセラミック
焼結後、電極を付Ｉｊ、 して機械的に切断するかの何
れかであった。
上記の如き従来方式では以下の様な問題点を有していた
。
。
まず圧粉成形方式では
（１）形状バラツキが生じ、高精度で機能がバラツかな
い圧電素子ができない。
い圧電素子ができない。
（２）１個作りの為、性能バラツキが発生し易い。
（３）１個作りの為、ヘッドとして組込む場合集積度が
上らない。
上らない。
次に機械分割方式では
（１）加にに時間がかかり、コスト高になる。
（２）機械加工特有のパリや、クラックが生じ易く性能
劣化につながる。
劣化につながる。
等々の問題点を有していた。
本発明のインクジェットヘッドは、複数個のノズル開口
部を有し、圧力発生器の作動により液滴を吐出するオン
ディマンド型インクンエッ！・ヘッドに於いて、前記ヘ
ッドの圧力発生器は平板状の圧電セラミックを、フォ］
・リソグラフィー法により同時形成して複数の圧７代素
子に分割し、かつ、各々の圧電素子は分離しない構造で
あることを特徴とする。
部を有し、圧力発生器の作動により液滴を吐出するオン
ディマンド型インクンエッ！・ヘッドに於いて、前記ヘ
ッドの圧力発生器は平板状の圧電セラミックを、フォ］
・リソグラフィー法により同時形成して複数の圧７代素
子に分割し、かつ、各々の圧電素子は分離しない構造で
あることを特徴とする。
本発明はかかる問題点を一気に解決するものであり、以
下図面に依り説明する。第１図は本発明の実施例で、１
が圧電セラミック、２が各圧電素子毎の個別電極、３か
共通電極である。素材として、圧電セラミックにはＰＺ
Ｔ、個別及び共通電極にはＮｉを用いている。
下図面に依り説明する。第１図は本発明の実施例で、１
が圧電セラミック、２が各圧電素子毎の個別電極、３か
共通電極である。素材として、圧電セラミックにはＰＺ
Ｔ、個別及び共通電極にはＮｉを用いている。
第２菌量丁て、製造上程を説明する。
第２図は、平板ＰＺＴ上に個別電極及び共通電極を形成
するメツキＮｉである。個別電極側のＮｌは１〜２μ、
共通電極側のＮｉは４０〜５０μの厚さとなっている。
するメツキＮｉである。個別電極側のＮｌは１〜２μ、
共通電極側のＮｉは４０〜５０μの厚さとなっている。
又、ＰＺＴＩは１００μである。このＰＺＴ板上にフォ
トレジストを塗布し、両面を同時露光し現像する。そし
て、上面には個別電極形状を、下面に共通電極形状を形
成する。
トレジストを塗布し、両面を同時露光し現像する。そし
て、上面には個別電極形状を、下面に共通電極形状を形
成する。
第３図は、電極形成後の図である。さらにこの上ド面に
、各素子外形形状にフォ！・レジストを現像し、ＰＺＴ
のエツチングを行なう。ＰＺＴのエツチングは、適当な
濃度の塩酸により行なう。又、この時、上下面から均一
にエツチングが行なわれるよう、温度や撹拌条件を適当
な値とする必要がある。このようにして、一体型同時形
成の圧力発生器が第１図の如くに製造できる。この圧力
発生器をインクジェットヘッドに組み込んだ断面図が第
４図である。図で１か圧力発生器のＰＺＴ板で、上面に
は個別電極が形成されている。３が、Ｎｉによる共通電
極で、根元に段差をつけ、ノズルプレート４とのギャッ
プをコントロールしている。
、各素子外形形状にフォ！・レジストを現像し、ＰＺＴ
のエツチングを行なう。ＰＺＴのエツチングは、適当な
濃度の塩酸により行なう。又、この時、上下面から均一
にエツチングが行なわれるよう、温度や撹拌条件を適当
な値とする必要がある。このようにして、一体型同時形
成の圧力発生器が第１図の如くに製造できる。この圧力
発生器をインクジェットヘッドに組み込んだ断面図が第
４図である。図で１か圧力発生器のＰＺＴ板で、上面に
は個別電極が形成されている。３が、Ｎｉによる共通電
極で、根元に段差をつけ、ノズルプレート４とのギャッ
プをコントロールしている。
ノズルプレー１・中の４ａはノズルである。５はインク
導入口と、インク室を兼ねた部材で６より、インクか供
給される。各電極は、７ａ、７ｂのコネクターによりド
ライバーと接続している。
導入口と、インク室を兼ねた部材で６より、インクか供
給される。各電極は、７ａ、７ｂのコネクターによりド
ライバーと接続している。
このような方法で、圧力発生器を形成すれば、精度よく
、取り扱いが容易で、高集積化した低コストのインクジ
ェットヘッドか製作できる。
、取り扱いが容易で、高集積化した低コストのインクジ
ェットヘッドか製作できる。
第５図に、本発明の別のタイプの実施例を示す。
図で１１が各素子で、片側１．００ ｆｌＡｉ、合羽２
００個の素子が形成されている。製造方式は前述した如
き、フォトリソグラフィ一方式を用いたエッチング力１
目二で良く、かかる複雑かつ高集積な圧力発生器も容易
にその製造か可能となる。ちなみに第５図の如き圧力発
生器を用いて、１５ｒ）ｄｐｉ、２００ノズルのマルチ
ノズルヘッド用の圧力発生器を１２ｍｍＸ３５ｒｎｍの
ＰＺＴ板加」こで製造することができた。しかも図の１
０の様に圧電素子周囲に枠組をつけたことにより、組立
精度に何ら影響を与えず、きわめて低コストで上述の如
き、マルチノズルインクジェットヘッドを実現できた。
００個の素子が形成されている。製造方式は前述した如
き、フォトリソグラフィ一方式を用いたエッチング力１
目二で良く、かかる複雑かつ高集積な圧力発生器も容易
にその製造か可能となる。ちなみに第５図の如き圧力発
生器を用いて、１５ｒ）ｄｐｉ、２００ノズルのマルチ
ノズルヘッド用の圧力発生器を１２ｍｍＸ３５ｒｎｍの
ＰＺＴ板加」こで製造することができた。しかも図の１
０の様に圧電素子周囲に枠組をつけたことにより、組立
精度に何ら影響を与えず、きわめて低コストで上述の如
き、マルチノズルインクジェットヘッドを実現できた。
これは、フォトリソグラフィ一方式を用いて初めて、実
現し得たちのである。
現し得たちのである。
以上説明したように、本発明により、１［３状バラツキ
かなく、高精度の圧力発生器が製作でき、高集積で低コ
ストのインクジェットヘッドが実現できた。
かなく、高精度の圧力発生器が製作でき、高集積で低コ
ストのインクジェットヘッドが実現できた。
第１図は、本発明に於ける圧力発生器の１実施例を示す
図、第２図、第３図はその加工方法の説明図である。第
４図は、インクジェットヘッドの構成断面図、第５図は
、圧力発生器の他の実施例を示す図。 ＰＺＴｌｌｉ７ 個別電極 共通電極 ノズルプレート インク室側壁 インク流路 ＰＣ 圧力発生器外枠 第 図 第３図 第４図 第５図
図、第２図、第３図はその加工方法の説明図である。第
４図は、インクジェットヘッドの構成断面図、第５図は
、圧力発生器の他の実施例を示す図。 ＰＺＴｌｌｉ７ 個別電極 共通電極 ノズルプレート インク室側壁 インク流路 ＰＣ 圧力発生器外枠 第 図 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- 複数個のノズル開口部を有し、圧力発生器の作動により
液滴を吐出するオンディマンド型インクジェットヘッド
に於いて、前記ヘッドの圧力発生器は平板状の圧電セラ
ミックを、フォトリソグラフィー法により同時形成して
複数の圧電素子に分割し、かつ、各々の圧電素子は分離
しない構造であることを特徴とするインクジェットヘッ
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24671388A JPH0292644A (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24671388A JPH0292644A (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0292644A true JPH0292644A (ja) | 1990-04-03 |
Family
ID=17152538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24671388A Pending JPH0292644A (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0292644A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5592203A (en) * | 1992-07-31 | 1997-01-07 | Francotyp-Postalia Gmbh | Ink jet print head |
| EP0695641A3 (de) * | 1994-08-03 | 1997-03-12 | Francotyp Postalia Gmbh | Anordnung für plattenförmige Piezoaktoren und Verfahren zu deren Herstellung |
| US5714078A (en) * | 1992-07-31 | 1998-02-03 | Francotyp Postalia Gmbh | Edge-shooter ink jet print head and method for its manufacture |
| US6637869B2 (en) | 2000-06-26 | 2003-10-28 | Fuji Xerox Co. Ltd | Ink jet type printer head |
-
1988
- 1988-09-30 JP JP24671388A patent/JPH0292644A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5592203A (en) * | 1992-07-31 | 1997-01-07 | Francotyp-Postalia Gmbh | Ink jet print head |
| US5714078A (en) * | 1992-07-31 | 1998-02-03 | Francotyp Postalia Gmbh | Edge-shooter ink jet print head and method for its manufacture |
| EP0695641A3 (de) * | 1994-08-03 | 1997-03-12 | Francotyp Postalia Gmbh | Anordnung für plattenförmige Piezoaktoren und Verfahren zu deren Herstellung |
| US6637869B2 (en) | 2000-06-26 | 2003-10-28 | Fuji Xerox Co. Ltd | Ink jet type printer head |
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