JPH07276624A - インクジェットプリンタヘッド - Google Patents
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- JPH07276624A JPH07276624A JP6069186A JP6918694A JPH07276624A JP H07276624 A JPH07276624 A JP H07276624A JP 6069186 A JP6069186 A JP 6069186A JP 6918694 A JP6918694 A JP 6918694A JP H07276624 A JPH07276624 A JP H07276624A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧力室を仕切る側壁の歪量を大きくし、か
つ、側壁を急速に動作させてインクの吐出特性を向上さ
せ、消費電力を下げること。 【構成】 板厚方向に分極された圧電部材２１と圧電部
材２１より剛性が低い平板状の低剛性部材２２とを接合
し、低剛性部材２２の表面からこの低剛性部材２２と圧
電部材２１との接合面を越える深さをもって圧力室３４
を形成し、低剛性部材２２の表面に圧力室３４内の電極
２８に通電するための配線パターンを設けて天板３０を
接合する。これにより、圧電部材２１の側壁２４の歪に
対する低剛性部材２２の側壁２４による抵抗力を低減し
て側壁２４の歪量を大きくする。また、誘電率の低い低
剛性部材２２上の配線パターン間の静電容量を小さくす
ることを可能にして電極２８に流れる電流を小さくし、
消費電力を下げるとともに、電極２８への印加電圧が所
定電圧に達するまでの時間を短くして側壁２４を急速に
動作させる。
つ、側壁を急速に動作させてインクの吐出特性を向上さ
せ、消費電力を下げること。 【構成】 板厚方向に分極された圧電部材２１と圧電部
材２１より剛性が低い平板状の低剛性部材２２とを接合
し、低剛性部材２２の表面からこの低剛性部材２２と圧
電部材２１との接合面を越える深さをもって圧力室３４
を形成し、低剛性部材２２の表面に圧力室３４内の電極
２８に通電するための配線パターンを設けて天板３０を
接合する。これにより、圧電部材２１の側壁２４の歪に
対する低剛性部材２２の側壁２４による抵抗力を低減し
て側壁２４の歪量を大きくする。また、誘電率の低い低
剛性部材２２上の配線パターン間の静電容量を小さくす
ることを可能にして電極２８に流れる電流を小さくし、
消費電力を下げるとともに、電極２８への印加電圧が所
定電圧に達するまでの時間を短くして側壁２４を急速に
動作させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、オンディマンド型のイ
ンクジェットプリンタヘッドに関する。
ンクジェットプリンタヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェットプリンタヘッドには特開
平２−１５０３５５号公報（対応米国特許第５，０１
６，０２８号明細書）に開示された発明がある。以下、
図６（ａ）ないし（ｄ）に基づいて説明する。図６
（ａ），（ｂ）は底部シートの断面図を示している。４
０は圧電部材よりなる底部シートであり矢印４１方向に
分極されていて、多数の平行な溝４２とこれらの溝４２
に連続し深さの浅い溝４３及び各溝４２の両側に位置す
る側壁４４を有する。そして、図６（ｃ）に示すよう
に、側壁４４の頂部に頂部シート４５が接着剤５０によ
り接着され、各溝４２の端面にはオリフィス孔４６を有
するプレート４７が固着されている。また、溝４２内の
側壁４４の表面にはその高さの略半分の範囲に電極４８
が、浅い溝４３の内面には電極４８に対する通電用の配
線パターン４９が共に蒸着により形成されている。
平２−１５０３５５号公報（対応米国特許第５，０１
６，０２８号明細書）に開示された発明がある。以下、
図６（ａ）ないし（ｄ）に基づいて説明する。図６
（ａ），（ｂ）は底部シートの断面図を示している。４
０は圧電部材よりなる底部シートであり矢印４１方向に
分極されていて、多数の平行な溝４２とこれらの溝４２
に連続し深さの浅い溝４３及び各溝４２の両側に位置す
る側壁４４を有する。そして、図６（ｃ）に示すよう
に、側壁４４の頂部に頂部シート４５が接着剤５０によ
り接着され、各溝４２の端面にはオリフィス孔４６を有
するプレート４７が固着されている。また、溝４２内の
側壁４４の表面にはその高さの略半分の範囲に電極４８
が、浅い溝４３の内面には電極４８に対する通電用の配
線パターン４９が共に蒸着により形成されている。
【０００３】このようなインクジェットプリンタヘッド
では、図６（ｄ）おいて、中央に位置する圧力室（溝４
２ａ）内の電極４８ａに電圧を加え、両側に位置する圧
力室（溝４２ｂ，４２ｃ）内の電極４８ｂ，４８ｃを接
地すると、側壁４４は点線で示すように剪断歪を起こし
中央の圧力室（溝４２ａ）の容積を圧縮する。そして、
中央の圧力室（溝４２ａ）のインクは圧力が高まりオリ
フィス孔４６からインク滴となり吐出する。
では、図６（ｄ）おいて、中央に位置する圧力室（溝４
２ａ）内の電極４８ａに電圧を加え、両側に位置する圧
力室（溝４２ｂ，４２ｃ）内の電極４８ｂ，４８ｃを接
地すると、側壁４４は点線で示すように剪断歪を起こし
中央の圧力室（溝４２ａ）の容積を圧縮する。そして、
中央の圧力室（溝４２ａ）のインクは圧力が高まりオリ
フィス孔４６からインク滴となり吐出する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】特開平２−１５０３５
５号公報に開示された発明は次の２つの問題点がある。
第１の問題点は、側壁４４の歪量（変位量）を大きくす
ることができないことである。すなわち、側壁４４の一
部（溝４２の深さの略半分）に電極４８を設け、この電
極４８により電界を掛けて側壁４４を撓ませるが、この
ときに、側壁４４は上部（電極４８が形成された部分）
で発生する歪力を下部（電極４８が設けられていない部
分）で受けた状態となる。つまり、側壁４４の下部自体
は歪力を発生せず歪むときの抵抗となる。側壁４４は下
部、上部とも圧電部材であり、その剛性は極めて高いも
のであるので側壁４４の歪量を大きくすることはできな
い。これにより、圧力室（溝４２）の容積変化量も小さ
くなり、インク吐出特性が悪くなる。
５号公報に開示された発明は次の２つの問題点がある。
第１の問題点は、側壁４４の歪量（変位量）を大きくす
ることができないことである。すなわち、側壁４４の一
部（溝４２の深さの略半分）に電極４８を設け、この電
極４８により電界を掛けて側壁４４を撓ませるが、この
ときに、側壁４４は上部（電極４８が形成された部分）
で発生する歪力を下部（電極４８が設けられていない部
分）で受けた状態となる。つまり、側壁４４の下部自体
は歪力を発生せず歪むときの抵抗となる。側壁４４は下
部、上部とも圧電部材であり、その剛性は極めて高いも
のであるので側壁４４の歪量を大きくすることはできな
い。これにより、圧力室（溝４２）の容積変化量も小さ
くなり、インク吐出特性が悪くなる。
【０００５】第２の問題点は、インクジェットプリンタ
ヘッドを駆動するときの消費電力が増え、かつ、インク
を圧縮するときの側壁４４の動作速度を速くすることが
できないことである。この従来技術に開示された構造で
は、比誘電率の高い圧電部材（底部シート４０）の上に
電極４８に対する通電用の配線パターン４９が設けられ
ており、その配線パターン４９間の距離も小さくなって
いる。従って、配線パターン４９部分での静電容量が大
きいものである。静電容量が大きいと、電極４８に電圧
を印加するときの電流が増し、駆動時の消費電力が増え
る。また、電極４８に加える電圧が所定の電圧になるま
での時間が掛かり、インクを圧縮するときの側壁４４の
動作速度を速くすることができない。
ヘッドを駆動するときの消費電力が増え、かつ、インク
を圧縮するときの側壁４４の動作速度を速くすることが
できないことである。この従来技術に開示された構造で
は、比誘電率の高い圧電部材（底部シート４０）の上に
電極４８に対する通電用の配線パターン４９が設けられ
ており、その配線パターン４９間の距離も小さくなって
いる。従って、配線パターン４９部分での静電容量が大
きいものである。静電容量が大きいと、電極４８に電圧
を印加するときの電流が増し、駆動時の消費電力が増え
る。また、電極４８に加える電圧が所定の電圧になるま
での時間が掛かり、インクを圧縮するときの側壁４４の
動作速度を速くすることができない。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
プリンタヘッドは、板厚方向に分極された圧電部材と誘
電率が低くかつ前記圧電部材より剛性が低い平板状の低
剛性部材からなる基板と、前記低剛性部材の表面からこ
の低剛性部材と前記圧電部材との接合面を越える深さを
もって形成され一端にインク吐出口を有してインク供給
部に接続される複数の圧力室と、前記圧力室の内面に形
成された複数の電極と、前記低剛性部材の表面に形成さ
れて前記電極に対する通電用の配線パターンと、前記低
剛性部材の表面に接合された天板とよりなる。
プリンタヘッドは、板厚方向に分極された圧電部材と誘
電率が低くかつ前記圧電部材より剛性が低い平板状の低
剛性部材からなる基板と、前記低剛性部材の表面からこ
の低剛性部材と前記圧電部材との接合面を越える深さを
もって形成され一端にインク吐出口を有してインク供給
部に接続される複数の圧力室と、前記圧力室の内面に形
成された複数の電極と、前記低剛性部材の表面に形成さ
れて前記電極に対する通電用の配線パターンと、前記低
剛性部材の表面に接合された天板とよりなる。
【０００７】
【作用】本発明は、電極に電圧を印加することにより側
壁を変形させて圧力室の容積を縮小させその内圧を高め
る過程で内部のインクを圧力室の端部から吐出させるも
のである。側壁の天板と反対側の一部は剛性の高い圧電
部材で形成されているが、残りの部分は圧電部材より剛
性が低い低剛性部材で形成されているため、圧電部材の
側壁の歪に対する低剛性部材の側壁による抵抗が低減さ
れ、従って、側壁の歪量を大きくすることができる。ま
た、電極に電圧を印加するための配線パターンは誘電率
の低い低剛性部材の上に設けられているので、配線パタ
ーン間の静電容量が極めて小さくなる。従って、圧力室
内の電極に電圧を印加した場合に流れる電流は小さくな
り、消費電力を下げることができる。また、電極への電
圧の印加が始まった時点から電極の電圧が所定の電圧に
達するまでの時間が短くなり、急速に側壁を動作させて
インクの圧力を上昇させることができる。従って、側壁
の歪量を大きくすること、インクの圧力を急速に上昇さ
せることにより、インクの吐出特性を向上させることが
できる。
壁を変形させて圧力室の容積を縮小させその内圧を高め
る過程で内部のインクを圧力室の端部から吐出させるも
のである。側壁の天板と反対側の一部は剛性の高い圧電
部材で形成されているが、残りの部分は圧電部材より剛
性が低い低剛性部材で形成されているため、圧電部材の
側壁の歪に対する低剛性部材の側壁による抵抗が低減さ
れ、従って、側壁の歪量を大きくすることができる。ま
た、電極に電圧を印加するための配線パターンは誘電率
の低い低剛性部材の上に設けられているので、配線パタ
ーン間の静電容量が極めて小さくなる。従って、圧力室
内の電極に電圧を印加した場合に流れる電流は小さくな
り、消費電力を下げることができる。また、電極への電
圧の印加が始まった時点から電極の電圧が所定の電圧に
達するまでの時間が短くなり、急速に側壁を動作させて
インクの圧力を上昇させることができる。従って、側壁
の歪量を大きくすること、インクの圧力を急速に上昇さ
せることにより、インクの吐出特性を向上させることが
できる。
【０００８】
【実施例】本発明の第一の実施例を図１ないし図４に基
づいて説明する。まず、図２（ａ）ないし図４（ｃ）を
参照して製作工程順にインクジェットプリンタヘッドの
構成を説明する。図２（ａ）に示すように、まず基板２
０を製作する。すなわち、板状の圧電部材２１の一面
に、この圧電部材２１より剛性の低い低剛性部材２２と
なる流動性のある樹脂を塗布する。本実施例において、
圧電部材２１は板厚方向に分極されたチタン酸・ジルコ
ン酸鉛系の圧電セラミックを用いた。また、流動性のあ
る樹脂は、接着力、後加工の容易性、電極形成時におけ
るメッキの密着力、線膨張係数等を考慮して無機フィラ
ーを含有する２液混合型のエポキシ接着剤を用い、か
つ、気泡が残らないように圧電部材２１上に塗布した。
この接着剤を硬化させることにより、圧電部材２１上に
低剛性部材２２が形成される。
づいて説明する。まず、図２（ａ）ないし図４（ｃ）を
参照して製作工程順にインクジェットプリンタヘッドの
構成を説明する。図２（ａ）に示すように、まず基板２
０を製作する。すなわち、板状の圧電部材２１の一面
に、この圧電部材２１より剛性の低い低剛性部材２２と
なる流動性のある樹脂を塗布する。本実施例において、
圧電部材２１は板厚方向に分極されたチタン酸・ジルコ
ン酸鉛系の圧電セラミックを用いた。また、流動性のあ
る樹脂は、接着力、後加工の容易性、電極形成時におけ
るメッキの密着力、線膨張係数等を考慮して無機フィラ
ーを含有する２液混合型のエポキシ接着剤を用い、か
つ、気泡が残らないように圧電部材２１上に塗布した。
この接着剤を硬化させることにより、圧電部材２１上に
低剛性部材２２が形成される。
【０００９】次に、圧電部材２１の表面を基準として低
剛性部材２２の表面を平坦に研削加工し、図２（ｂ）に
示すように、低剛性部材２２の表面からこの低剛性部材
２２と圧電部材２１との接合面を越える深さをもって複
数の溝２３を所定の間隔を開けて形成する。これによ
り、各溝２３の両側に側壁２４が形成されるが、各側壁
２４は、低剛性部材２２からなる上部側壁２４ａと圧電
部材２１からなる下部側壁２４ｂとを有することにな
る。この加工は、ＩＣウエハーの切断用に用いられるダ
イヤモンドホイールによって行う。
剛性部材２２の表面を平坦に研削加工し、図２（ｂ）に
示すように、低剛性部材２２の表面からこの低剛性部材
２２と圧電部材２１との接合面を越える深さをもって複
数の溝２３を所定の間隔を開けて形成する。これによ
り、各溝２３の両側に側壁２４が形成されるが、各側壁
２４は、低剛性部材２２からなる上部側壁２４ａと圧電
部材２１からなる下部側壁２４ｂとを有することにな
る。この加工は、ＩＣウエハーの切断用に用いられるダ
イヤモンドホイールによって行う。
【００１０】次に、無電解メッキにより電極を形成する
前の前処理として、洗浄、キャタライジング、アクセラ
レーティング処理を行う。洗浄は、メッキ形成面の活性
化及びキャタリスト液、アクセレータ液やメッキ液が前
記溝２３に入り易くするための親水化を目的として行わ
れる。キャタライジング処理は、塩化パラジュウム、塩
化第一錫、濃硫酸等からなる前処理液としてのキャタリ
スト液に前記圧電部材２１を浸し、前記溝２３の内面に
Ｐｄ・Ｓｎの錯化物を吸着させる目的で行う。キャタラ
イジング処理を行うと、低剛性部材２２の表面、及び、
上部側壁２４ａ、下部側壁２４ｂの各々の溝２３側の表
面にＰｄ・Ｓｎの錯化物が吸着される。続いて、アクセ
ラレーティング処理を行う。この処理は、キャタライジ
ング処理で吸着された錯化物を触媒化する目的で行うも
ので、側壁２４等に吸着された錯化物は触媒核としての
金属化されたＰｄとなる。
前の前処理として、洗浄、キャタライジング、アクセラ
レーティング処理を行う。洗浄は、メッキ形成面の活性
化及びキャタリスト液、アクセレータ液やメッキ液が前
記溝２３に入り易くするための親水化を目的として行わ
れる。キャタライジング処理は、塩化パラジュウム、塩
化第一錫、濃硫酸等からなる前処理液としてのキャタリ
スト液に前記圧電部材２１を浸し、前記溝２３の内面に
Ｐｄ・Ｓｎの錯化物を吸着させる目的で行う。キャタラ
イジング処理を行うと、低剛性部材２２の表面、及び、
上部側壁２４ａ、下部側壁２４ｂの各々の溝２３側の表
面にＰｄ・Ｓｎの錯化物が吸着される。続いて、アクセ
ラレーティング処理を行う。この処理は、キャタライジ
ング処理で吸着された錯化物を触媒化する目的で行うも
ので、側壁２４等に吸着された錯化物は触媒核としての
金属化されたＰｄとなる。
【００１１】次に、前記低剛性部材２２の表面に配線パ
ターン形成部を除き、マスクをかける。この方法は、図
２（ｃ）に示すように、低剛性部材２２の表面にドライ
フィルム２５を貼り、さらに、ドライフィルム２５の上
に図３（ａ）に示すように、レジスト用マスク２６を載
せて露光及び現像処理を行う。これにより、図３（ｂ）
に示すように、低剛性部材２２の表面には、配線パター
ン形成部以外の部分にドライフィルム２５によるレジス
ト膜２７が形成される。そして、低剛性部材２２の配線
パターン形成部及び溝２３の内面には金属化されたＰｄ
が露出した状態となる。
ターン形成部を除き、マスクをかける。この方法は、図
２（ｃ）に示すように、低剛性部材２２の表面にドライ
フィルム２５を貼り、さらに、ドライフィルム２５の上
に図３（ａ）に示すように、レジスト用マスク２６を載
せて露光及び現像処理を行う。これにより、図３（ｂ）
に示すように、低剛性部材２２の表面には、配線パター
ン形成部以外の部分にドライフィルム２５によるレジス
ト膜２７が形成される。そして、低剛性部材２２の配線
パターン形成部及び溝２３の内面には金属化されたＰｄ
が露出した状態となる。
【００１２】次に、上記の処理を施した物をメッキ液に
浸漬して無電解メッキを行う。メッキ液は、金属塩及び
還元剤からなる主成分と、ｐＨ調整剤、緩衝剤、錯化
剤、促進剤、安定剤、改良剤等からなる補助成分とから
なる。このメッキ液に圧電部材２１と低剛性部材２２と
の接合体（被メッキ物）を浸すと、金属化されたＰｄを
触媒核としてメッキが生成され、図４（ａ）に示すよう
に溝２３の側壁２４側の表面と溝２３の底面とに電極２
８が形成され、低剛性部材２２の表面には電極２８に続
いた配線パターン２９が形成される。
浸漬して無電解メッキを行う。メッキ液は、金属塩及び
還元剤からなる主成分と、ｐＨ調整剤、緩衝剤、錯化
剤、促進剤、安定剤、改良剤等からなる補助成分とから
なる。このメッキ液に圧電部材２１と低剛性部材２２と
の接合体（被メッキ物）を浸すと、金属化されたＰｄを
触媒核としてメッキが生成され、図４（ａ）に示すよう
に溝２３の側壁２４側の表面と溝２３の底面とに電極２
８が形成され、低剛性部材２２の表面には電極２８に続
いた配線パターン２９が形成される。
【００１３】次に、図４（ｂ）に示すように、低剛性部
材２２の表面に貼られたレジスト膜２７を剥離し、続い
て、図４（ｃ）に示すように、低剛性部材２２の表面に
天板３０を接着する。このとき、溝２３が天板３０によ
り閉塞されて圧力室３４が形成される（図１参照）。こ
の天板３０の接着により圧電部材２１と天板３０との端
面における境界に段差を生ずるので、両者の端面を研削
加工した後に、各溝２３の先端に連通するインク吐出口
３１が形成されたノズル板３２を圧電部材２１と天板３
０との端面に固定する。次に、インク供給路（図示せ
ず）から各溝２３にインクを供給するインク供給部であ
るインク供給管３３を天板３０に取り付けることによっ
て、インクジェットプリンタヘッドが完成する。
材２２の表面に貼られたレジスト膜２７を剥離し、続い
て、図４（ｃ）に示すように、低剛性部材２２の表面に
天板３０を接着する。このとき、溝２３が天板３０によ
り閉塞されて圧力室３４が形成される（図１参照）。こ
の天板３０の接着により圧電部材２１と天板３０との端
面における境界に段差を生ずるので、両者の端面を研削
加工した後に、各溝２３の先端に連通するインク吐出口
３１が形成されたノズル板３２を圧電部材２１と天板３
０との端面に固定する。次に、インク供給路（図示せ
ず）から各溝２３にインクを供給するインク供給部であ
るインク供給管３３を天板３０に取り付けることによっ
て、インクジェットプリンタヘッドが完成する。
【００１４】このようにして製造されたインクジェット
プリンタヘッドの断面図を図１に示す。図中、矢印は圧
電部材２１の分極方向を示すものである。ここで、イン
クを吐出させようとする圧力室３４内の電極２８と、そ
の両側に位置する圧力室３４内の電極２８とに電界を印
加し、インクを吐出させようとする圧力室３４の両側の
側壁２４を対称的に変位させることにより、インクの吸
引又は吐出がなされる。
プリンタヘッドの断面図を図１に示す。図中、矢印は圧
電部材２１の分極方向を示すものである。ここで、イン
クを吐出させようとする圧力室３４内の電極２８と、そ
の両側に位置する圧力室３４内の電極２８とに電界を印
加し、インクを吐出させようとする圧力室３４の両側の
側壁２４を対称的に変位させることにより、インクの吸
引又は吐出がなされる。
【００１５】図１において、中央に位置する圧力室３４
の両側に示す仮想線は、その中央の圧力室３４の圧力を
高めてインクを吐出させるために、その両側の側壁２４
を内側に変形させた状態を示すものである。この場合、
側壁２４の一部が低剛性部材２２よりなる上部側壁２４
ａにより形成されているため、圧電部材２１による下部
側壁２４ｂの動作に与える抵抗を小さくして側壁２４全
体を大きく動作させることが可能となる。また、このよ
うにして製造されたインクジェットプリンタヘッドの配
線パターン２９は誘電率の低い低剛性部材２２（本実施
例の低剛性部材２２の比誘電率は３．８〜４．７）の上
に設けられているので、従来例のように圧電部材（比誘
電率１５００〜４７００）上に設けられた場合と比べ、
配線パターン２９間の静電容量が極めて小さくなる。従
って、圧力室３４内の電極２８間に電圧を印加した場合
に流れる電流は小さくなり、電極２８が所定の電圧に達
するまでの時間が短くなる。これらにより、インク吐出
特性を向上させることができる。
の両側に示す仮想線は、その中央の圧力室３４の圧力を
高めてインクを吐出させるために、その両側の側壁２４
を内側に変形させた状態を示すものである。この場合、
側壁２４の一部が低剛性部材２２よりなる上部側壁２４
ａにより形成されているため、圧電部材２１による下部
側壁２４ｂの動作に与える抵抗を小さくして側壁２４全
体を大きく動作させることが可能となる。また、このよ
うにして製造されたインクジェットプリンタヘッドの配
線パターン２９は誘電率の低い低剛性部材２２（本実施
例の低剛性部材２２の比誘電率は３．８〜４．７）の上
に設けられているので、従来例のように圧電部材（比誘
電率１５００〜４７００）上に設けられた場合と比べ、
配線パターン２９間の静電容量が極めて小さくなる。従
って、圧力室３４内の電極２８間に電圧を印加した場合
に流れる電流は小さくなり、電極２８が所定の電圧に達
するまでの時間が短くなる。これらにより、インク吐出
特性を向上させることができる。
【００１６】なお、本実施例において、低剛性部材２２
として接着剤を用いたが、これは接着剤に限られるもの
ではなく、樹脂材からなる成形板を用いても本発明の目
的は達成できる。また、電極２８及び配線パターン２９
の形成方法として、無電解メッキによる方法を開示した
が、これもこの方法に限られるものではなく、例えば蒸
着により電極２８及び配線パターン２９を形成しても良
いものである。
として接着剤を用いたが、これは接着剤に限られるもの
ではなく、樹脂材からなる成形板を用いても本発明の目
的は達成できる。また、電極２８及び配線パターン２９
の形成方法として、無電解メッキによる方法を開示した
が、これもこの方法に限られるものではなく、例えば蒸
着により電極２８及び配線パターン２９を形成しても良
いものである。
【００１７】次いで、本発明の第二の実施例を図５に示
す。前記実施例と同一部分は同一符号を用いて説明す
る。本実施例は、剛性が高く、熱変形が少ないセラミッ
クス又はガラス等により形成された底板３５の上面に、
圧電部材２１と低剛性部材２２とを固着した基板３６を
用いたものであり、インクジェットプリンタヘッド構造
の強度を増したものである。なお、他の構成、圧力室３
４、電極２８、配線パターン２９等は前記実施例と同様
であるので説明を省略する。
す。前記実施例と同一部分は同一符号を用いて説明す
る。本実施例は、剛性が高く、熱変形が少ないセラミッ
クス又はガラス等により形成された底板３５の上面に、
圧電部材２１と低剛性部材２２とを固着した基板３６を
用いたものであり、インクジェットプリンタヘッド構造
の強度を増したものである。なお、他の構成、圧力室３
４、電極２８、配線パターン２９等は前記実施例と同様
であるので説明を省略する。
【００１８】
【発明の効果】本発明は、側壁の天板とは反対側の一部
は剛性の高い圧電部材で形成されているが残りの部分は
圧電部材より剛性が低い低剛性部材で形成されているた
め、圧電部材の側壁の歪に対する低剛性部材の側壁によ
る抵抗力が低減され、従って、側壁の歪量を大きくする
ことができ、また、電極に電圧を印加するための配線パ
ターンは誘電率の低い低剛性部材の上に設けられている
ので、配線パターン間の静電容量が極めて小さくなり、
従って、圧力室内の電極に電圧を印加した場合に流れる
電流は小さくなり、消費電力を下げることができ、さら
に、電極への電圧の印加が始まった時点から電極の電圧
が所定の電圧に達するまでの時間が短くなり、急速に側
壁を動作させてインクの圧力を上昇させることができる
ので、インクの吐出特性を向上させることができる。
は剛性の高い圧電部材で形成されているが残りの部分は
圧電部材より剛性が低い低剛性部材で形成されているた
め、圧電部材の側壁の歪に対する低剛性部材の側壁によ
る抵抗力が低減され、従って、側壁の歪量を大きくする
ことができ、また、電極に電圧を印加するための配線パ
ターンは誘電率の低い低剛性部材の上に設けられている
ので、配線パターン間の静電容量が極めて小さくなり、
従って、圧力室内の電極に電圧を印加した場合に流れる
電流は小さくなり、消費電力を下げることができ、さら
に、電極への電圧の印加が始まった時点から電極の電圧
が所定の電圧に達するまでの時間が短くなり、急速に側
壁を動作させてインクの圧力を上昇させることができる
ので、インクの吐出特性を向上させることができる。
【図１】本発明の第一の実施例を示すインクジェットプ
リンタヘッドの縦断正面図である。
リンタヘッドの縦断正面図である。
【図２】（ａ）〜（ｃ）はインクジェットプリンタヘッ
ドの製造工程を示す斜視図である。
ドの製造工程を示す斜視図である。
【図３】（ａ），（ｂ）はインクジェットプリンタヘッ
ドの製造工程を示す斜視図である。
ドの製造工程を示す斜視図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）はインクジェットプリンタヘッ
ドの製造工程を示す斜視図である。
ドの製造工程を示す斜視図である。
【図５】本発明の第二の実施例を示すインクジェットプ
リンタヘッドの縦断正面図である。
リンタヘッドの縦断正面図である。
【図６】従来例を示すもので、（ａ）及び（ｂ）はイン
クジェットプリンタヘッドの一部品をなす底部シートの
縦断正面図、（ｃ）はインクジェットプリンタヘッドの
縦断側面図、（ｄ）はインクジェットプリンタヘッドの
縦断正面図である。
クジェットプリンタヘッドの一部品をなす底部シートの
縦断正面図、（ｃ）はインクジェットプリンタヘッドの
縦断側面図、（ｄ）はインクジェットプリンタヘッドの
縦断正面図である。
２０ 基板 ２１ 圧電部材 ２２ 低剛性部材 ２８ 電極 ２９ 配線パターン ３０ 天板 ３４ 圧力室 ３１ インク吐出口 ３３ インク供給部 ３６ 基板
Claims (1)
- 【請求項１】 板厚方向に分極された圧電部材と誘電率
が低くかつ前記圧電部材より剛性が低い平板状の低剛性
部材からなる基板と、前記低剛性部材の表面からこの低
剛性部材と前記圧電部材との接合面を越える深さをもっ
て形成され一端にインク吐出口を有してインク供給部に
接続される複数の圧力室と、前記圧力室の内面に形成さ
れた複数の電極と、前記低剛性部材の表面に形成されて
前記電極に対する通電用の配線パターンと、前記低剛性
部材の表面に接合された天板とよりなることを特徴とす
るインクジェットプリンタヘッド。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6069186A JPH07276624A (ja) | 1994-04-07 | 1994-04-07 | インクジェットプリンタヘッド |
| KR1019950007034A KR0175971B1 (ko) | 1994-04-07 | 1995-03-30 | 잉크제트프린터헤드 |
| DE69514134T DE69514134T2 (de) | 1994-04-07 | 1995-04-04 | Tintenstrahldruckkopf |
| EP95302236A EP0676286B1 (en) | 1994-04-07 | 1995-04-04 | Ink jet printer head |
| US08/417,786 US5696545A (en) | 1994-04-07 | 1995-04-06 | Ink jet printer head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6069186A JPH07276624A (ja) | 1994-04-07 | 1994-04-07 | インクジェットプリンタヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07276624A true JPH07276624A (ja) | 1995-10-24 |
Family
ID=13395451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6069186A Pending JPH07276624A (ja) | 1994-04-07 | 1994-04-07 | インクジェットプリンタヘッド |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5696545A (ja) |
| EP (1) | EP0676286B1 (ja) |
| JP (1) | JPH07276624A (ja) |
| KR (1) | KR0175971B1 (ja) |
| DE (1) | DE69514134T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102555477A (zh) * | 2010-11-09 | 2012-07-11 | 精工电子打印科技有限公司 | 液体喷射头、液体喷射装置及液体喷射头的驱动方法 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3637633B2 (ja) * | 1995-05-10 | 2005-04-13 | ブラザー工業株式会社 | インクジェット式印字ヘッド及びその製造方法 |
| US5793149A (en) * | 1995-07-26 | 1998-08-11 | Francotyp-Postalia Ag & Co. | Arrangement for plate-shaped piezoactuators and method for the manufacture thereof |
| JP3697829B2 (ja) * | 1997-04-09 | 2005-09-21 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
| JPH1191102A (ja) * | 1997-09-25 | 1999-04-06 | Nec Corp | 固体アクチュエータおよびインクジェットヘッド |
| ATE254539T1 (de) * | 1999-08-14 | 2003-12-15 | Xaar Technology Ltd | Tröpfchenaufzeichnungsgerät |
| US6402818B1 (en) * | 2000-06-02 | 2002-06-11 | Celgard Inc. | Degassing a liquid with a membrane contactor |
| JP5112889B2 (ja) * | 2008-01-11 | 2013-01-09 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | インクジェットヘッドチップ、インクジェットヘッドチップの製造方法、インクジェットヘッド、及びインクジェット記録装置 |
| JP5626250B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2014-11-19 | ブラザー工業株式会社 | 液滴噴射装置及び圧電アクチュエータ |
| WO2020159517A1 (en) | 2019-01-31 | 2020-08-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluidic die with surface condition monitoring |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4879568A (en) * | 1987-01-10 | 1989-11-07 | Am International, Inc. | Droplet deposition apparatus |
| GB8824014D0 (en) * | 1988-10-13 | 1988-11-23 | Am Int | High density multi-channel array electrically pulsed droplet deposition apparatus |
| GB9025706D0 (en) * | 1990-11-27 | 1991-01-09 | Xaar Ltd | Laminate for use in manufacture of ink drop printheads |
| JPH04357037A (ja) * | 1991-03-19 | 1992-12-10 | Tokyo Electric Co Ltd | インクジェットプリンタヘッド |
| JP2744536B2 (ja) * | 1991-10-04 | 1998-04-28 | 株式会社テック | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 |
| JPH04363250A (ja) * | 1991-03-19 | 1992-12-16 | Tokyo Electric Co Ltd | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 |
| JP2744535B2 (ja) * | 1991-07-08 | 1998-04-28 | 株式会社テック | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
| DE69207532T2 (de) * | 1991-09-19 | 1996-07-04 | Brother Ind Ltd | Tintentröpfchenausstossgerät |
| JP2843199B2 (ja) * | 1992-03-26 | 1999-01-06 | 株式会社テック | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
| JP2798845B2 (ja) * | 1992-03-26 | 1998-09-17 | 株式会社テック | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
| US5459501A (en) * | 1993-02-01 | 1995-10-17 | At&T Global Information Solutions Company | Solid-state ink-jet print head |
| JP2857303B2 (ja) * | 1993-08-20 | 1999-02-17 | 株式会社テック | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
-
1994
- 1994-04-07 JP JP6069186A patent/JPH07276624A/ja active Pending
-
1995
- 1995-03-30 KR KR1019950007034A patent/KR0175971B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1995-04-04 DE DE69514134T patent/DE69514134T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-04-04 EP EP95302236A patent/EP0676286B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-04-06 US US08/417,786 patent/US5696545A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102555477A (zh) * | 2010-11-09 | 2012-07-11 | 精工电子打印科技有限公司 | 液体喷射头、液体喷射装置及液体喷射头的驱动方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69514134T2 (de) | 2000-05-25 |
| KR950028921A (ko) | 1995-11-22 |
| EP0676286A2 (en) | 1995-10-11 |
| US5696545A (en) | 1997-12-09 |
| KR0175971B1 (ko) | 1999-05-15 |
| EP0676286B1 (en) | 1999-12-29 |
| EP0676286A3 (en) | 1997-01-22 |
| DE69514134D1 (de) | 2000-02-03 |
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