JP2000512233A - 小滴堆積装置およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 第１・第２チャンネル（８２ａ・８２ｂ）からなり、各チャンネルの一端が小滴液体供給のため単一の共通供給チャンバー（９０）を通じ、第１・第２チャンネルの各他端がそれぞれ小滴液体供給のため別の供給チャンバー（８８・９２）と通じ、第１・第２チャンネルの各々がそこから小滴を噴出するための開口部（９６ａ・９６ｂ）をもち、および小滴を噴出させるため各チャンネルと連結したアクチュエータ部材からなる小滴堆積装置。

Description

【発明の詳細な説明】 小滴堆積装置およびその製造方法 〔産業上の利用分野〕 本発明は小滴堆積装置に関し、さらに詳しくはインクジェット・プリントヘッ ドに関するものである。 〔従来の技術とその課題〕 図１はＷＯ９１／１７０５１に開示された種類の、カバーで覆われた一列の開 頂チャンネルをもって形成されたボデーからなるインクジェット・プリントヘッ ドを示している。各チャンネルはどちらかの端でそれぞれインク供給チャンバー に接続され、その中間でカバー内に形成されたノズルに接続されている。チャン ネル壁は圧電材料からなり、電界をかけられると歪んで各ノズルからインク小滴 を噴出させる。 本発明の好ましい形は、１つの目的として、簡単で製造するのに安くできる上 記種類の装置を有する。 本発明の１側面は、少なくとも１つのチャンネルが一方の側で開き、該チャン ネルが各端で小滴流体の供給チャンバーにつながり、アクチュエータが各チャン ネルと連結して小滴を噴出するように形成されたボデー、少なくとも１つのチャ ンネルの開側を閉じ、少なくとも１つの開口部でチャンネルから小滴を噴出させ るために形成されたカバー、および該カバーと共に、少なくとも１つのチャンネ ルの各端とつながる供給チャンバーを区画するベースからなる小滴噴出装置から なる。 このような構成において、ベースとカバーによって区画されたインク供給チャ ンバーは、ＷＯ９１／１７０５１に開示されているような「能動」ボデー内に形 成されているときよりも、厳しい許容誤差を要求しない。さらに、ベースはプリ ントヘッド内の「能動」部材であるボデーが形成されることよりも安価な材料か ら構成できる。 本発明の第２側面は、インクジェット・プリントヘッドの制御部材を含み、少 なくとも１つのチャンバーを一方の側に開いて形成され、各チャンバーが開口部 とつながってそこから小滴を噴出し、小滴流体の供給マニフォールドを有し、ア クチュエータが電気信号に応じて小滴を噴出するため各チャンバーと連結し、カ バーが少なくとも１つのチャンバーの開側を閉じるボデーからなる小滴堆積装置 からなり、該マニフォールドがベースによって少なくとも一部区画され、ベース も別のチャンバーの少なくとも一部を区画し、アクチュエータへの電気信号を供 給するための制御部材が別のチャンバー内に位置している。 このように、制御部材─一般に集積回路─それ自身はプリントヘッド構造内に 統合されることにより、コンパクトさを増し、該集積回路を周囲にさらすことを 軽減する。 第３の側面において、本発明は第１及び第２チャンネル、各チャンネルの一端 が１つの共通小滴流体供給チャンバーにつながり、各他端がそれぞれ別の小滴流 体供給チャンバーにつながり、第１及び第２チャンネルの各々が小滴を噴出する ための開口部をもち、そして小滴を噴出させるため各チャンネルと連結したアク チュエータからなる小滴堆積装置にある。 このような配列は、１つの共通な液体供給チャンバーから小滴流体が第１及び 第２チャンネルの各々を通って、別の液体供給チャンバーに出て行くことのでき るコンパクトな構造となる。このような循環は、たとえば汚れと気泡の除去やチ ャンネルの冷却としてそれ自体公知であるいくつかの目的を与えることができる 。 第４側面によれば、本発明は開側をもつ少なくとも１つのチャンバーをもって 形成され、各チャンバーが小滴流体供給およびそれから小滴が噴出される開口部 とつながっているボデー、電気信号に応じて小滴を噴出させる各チャンバーと連 結し、該チャンバーの開端を閉じ、電気信号を各アクチュエータに運ぶためのト ラックを少なくとも１つもち、かつ、各チャンバーから小滴を噴出させるための 少なくとも１つの開口部を形成した支持部材からなる小滴堆積装置にある。 この構成は特に製造に適していることが分かった。支持部材は能動ボデー部材 ─および、有利に導電トラック上に実装された駆動チップを製造する間の支持ば かりでなく、ボデー内の各チャンバーと連結した各ノズルに対する位置も与える 。連結法も本発明の中に含まれている。 本発明の第５側面は、導電トラックをもつ基板に関し、集積回路が接続される 各トラックに沿って複数の位置があり、該複数の位置は、各トラックに対し、集 積回路ダイに隣接する位置がその集積回路ダイの足跡の外側になるように、各ト ラックに沿って互いに間隔をあけている。 ある実装集積回路─特にプリントヘッド駆動チップ─が欠陥がある場合には、 その欠陥のあるチップを取り除く必要なく、その除去が含む基板への潜在的なダ メージを考慮して、トラックにつながれるべき交換チップを基板上に載せること を許す。製造収率は対応してよい。関連した方法も本発明の中に含まれている。 上記諸側面の有利な実施例は請求の範囲および以下の説明に述べられている。 本発明は以下、次の図面を用いて説明する。 〔図１〕ＷＯ９１／１７０５１に開示された従来技術のインクジェット・プリン トヘッドの断面図。 〔図２〕図１のＡ−Ａ矢視断面図。 〔図３〕本発明の第１側面からなるプリントヘッドの断面図。 〔図４〕本発明の第２側面からなるプリントヘッドの断面図。 〔図５〕本発明による「ページ幅」プリントヘッドの拡大分解斜視図。 〔図６〕図５の方向Ｗに垂直なプリントヘッドの組立断面図。 〔図７〕小滴噴出開口部の詳細を示す断面図。 〔図８〕・〔図９〕駆動チップの実装法を示す図。 図１はＷＯ９１／１７０５１に開示された種類の従来技術のインクジェット・ プリントヘッド１を示し、一列の開頂インク・チャンネル７をもつ頂面に形成さ れた圧電材料、好ましくはチタン酸鉛ジルコニウム（ＰＺＴ）のシート３からな る。図２から明らかなように、一列に続くチャンネルはシートの厚み方向（Ｐ） に極性化した圧電材料からなる側壁１３によって分けられている。対向チャネル 面１７は接続３４を経て電圧をかけられる電極１５に配置されている。たとえば 欧州特許出願第０３６４１３６号から公知のように、壁の両方の側の電極間に電 界がかかると、側面チャンネルの１つの中に向かう壁に剪断モード偏位を生じ、 該チャンネル内に圧力パルスを発生させる。 チャンネルはカバー２５で閉じられ、カバー内にその中間点で各チャンネルと 通じているノズル２７が形成されている。該ノズルからの小滴噴出は、当業者に は公知のように、前記圧力パルスに応じて生じる。チャンネル内への小滴流体の 供給（図２の矢印Ｓ）は、シート３の底面３５内に切られた２つのダクト３３を 経て、それぞれチャンネル７の対向端と通じるように厚み方向に行われる。底カ バー板３７はダクトに近接して底面３５に結合されている。 図３は本発明の第１側面（実施例）からなるプリントヘッドを示している。 従来の構成のように、側壁１３を区画する開頂インク・チャンネル７が圧電材 料のボデー４０内に形成されている。各側壁１３の対向チャンネル面上に形成さ れた電極１５によって、電界がかけられて壁の剪断モード偏位を生じ、側面チャ ンネルの１つから小滴が噴出する。開頂チャンネル７はカバー２５によって閉じ られ、カバーに導電トラック４９が形成されて各電極１５に電圧を供給する。ト ラックと電極はＷＯ９２／２２４２９に開示されているようにハンダ接合でつな がれる。各チャンネルに対し、カバーもノズル２７をもって形成され、ノズルは 各チャンネルの中間点と通じてそこから小滴噴出が行なわれる。導電トラックと ハンダ接合はそのようなノズルを収容するように形成され、および／または取り 除かれる必要がある。 しかし、本発明によれば、小滴流体はチャンバー４２からチャンネル７の各端 に供給され、チャンバーはベース４４によって２つの側で区画され、カバー２５ によって第３の側で区画され、チャンネル７の端と第４の側が通じている。チャ ンネルとチャンバー間の界面がチャンネル深さによってのみ決まることは明らか であろう。ボデー４０と高さとベースの隣接部（台座４６）の厚みはカバー２５ のたわみ（図３で上下に）によって収容できるので、製造はより緩やかな許容誤 差で行われ得る。 ベース４４はボデーと同一の材料で作られる必要はなく、より安い、非活性材 料で、それにもかかわらずボデーの圧電材料に熱的に同等で、良好な熱伝導率を もつので活性プリントヘッド・ボデーおよび駆動チップ内に発生した熱を運び去 る材料から有利にできている。図３のように、チャンバー４２はボデー４０より も深いため、断面積を増し、いくつかのチャンネルが１つのチャンバーを供給で きる。しかし、台座４６の高さはチャンバー４２の底の位置まで下げられるので 、この場合、より簡単に製造できる長方形空調がベース内にできる。台座４６の 幅も、ボデー４０よりも広く、あるいは狭く変えられる。 ボデー４０は、一般に、たとえば欧州特許出願第０２７８５９０号から公知で あるように、一列のチャンネルからなり、チャンバー４２はこれらのチャンネル の少なくともいくつかに対する共通のマニフォールドとして作用する。開口部４ ８はカートリッジのような溜め器からチャンバー４２内に小滴流体を供給させる 。 ベース４４はそこに付属したカバー２５と能動ボデー４０をもって構造的役割 を有し、プリンタなどのフレームに固定するためのラグ（図示せず）をもって形 成されている。 ＷＯ９２／２２４２９に開示された種類のインクジェット・プリントヘッドに 適用されるときの本発明の第２側面を図４に示す。これは圧電材料のボデー５０ 内に形成され、基板６２によって閉じられた開頂インク・チャンネル７に沿う断 面図である。電極１５は従来のようにそれぞれチャンネルを分けている側壁１３ の上に伸びているが、基板６２上の導電トラック５６とチャンネルの開頂５４で 接続されている。 好適に、チャンネルを区切るチャンネル対面壁面上の２つの電極が共通のトラ ックにつながれている。各トラックはマイクロチップ ６４の形で駆動回路につ ながれ、マイクロチップ自身は基板のトラック５６に実装され、印刷データ、電 力その他は別のトラック６６とコネクタ７０を経てチップに供給される。ノズル 板５２内に形成されたノズル２７は小滴噴出のためチャンネルの一端に位置して いるが、マニフォールド５８は小滴流体の供給のためチャンネルの他端に位置し ている。 本発明によれば、マニフォールド５８はボデー５０と結合して作用するベース ６０によって区切られている。ベースも、今度は基板６２と結合して、その中に 駆動回路６４が位置している別のチャンバー６８を区切る。このような統合構造 の特別な有利さは駆動チップに与えられる保護にあると理解されるであろう。 ベースに圧電材料を使うことは除外されていないが一実際、ボデー５０とベー ス６０は統合され得るが―、ベースは好ましくはより安い非活性材料からな る。 図５・６は、本発明の第１・第２側面を具体化した「ページ幅」プリントヘッ ドのそれぞれ分解斜視図と断面図で、メディアの供給方向Ｐと直交する方向「Ｗ 」に伸びている。図６の断面図で、２つの圧電ボデー８２ａ・８２ｂはそれぞれ チャンネルと電極をもち、小滴を噴出するための開口部９６ａ・９６ｂを形成し てなる基板８６によって閉じられている。本発明の第１側面によれば、各ボデー 内のチャンネルの端での各供給チャンバー、すなわち、ボデー８２ａの各端での 供給チャンバー８８・９０およびボデー８２ｂの各端での供給チャンバー９０・ ９２は基板８６とベース８０の間で区画されている。各チャンネル電極は、図４ に関して記述されたように、基板８６上の導電トラック（図示せず）につながれ ている。これらの導電トラックも、ベース８０で区切られた別のチャンバー９４ ａ・９４ｂ内にある各駆動チップ８４ａ・８４ｂに電気信号を与える。理解され るように、これら別のチャンバー９４ａ・９４ｂは供給チャンバー８８・９２か らシールされている。 本実施例は本発明の第３側面を具体化している。電気信号をアクチュエータに 伝えるための導電トラックをもつチャンネル閉基板８６はチャンネル内に位置し ていることを意味し、小滴噴出のための開口部９６ａ・９６ｂはボデー８２ａ・ ８２ｂに対する支持部材として作用する。図５から明らかなように、ボデー８２ と駆動チップ８４は基板８６に整列して固定されている。これは製造の間、取り 扱いを容易にする大きさとなり得る。 図５に示すように、ボデー８２は互いに突き合って１つの隣接したページ幅の チャンネル列を構成し─これはＷＯ９１／１７０５１に開示されているので、そ れ以上ここでは触れない─、この場合基板８６は突き合わせプロセスの間、およ びその後でも、各ボデーを支持するために働く。このようなボデーは組み立て前 にテストされるので、プリントヘッドの完成品の欠陥を減らすことになる。 基板は、好ましくは、窒化アルミニウム、ＩＮＶＡＲあるいは特殊ガラスＡＦ ４５のような強固な材料からなり、ボデーの圧電材料の熱膨張特性と同様の特性 をもつ。ボデーと基板の間の熱的一致の要求は連続的に突き合わされたボデー間 のギャップ（該ギャップはＷＯ９１／１７０５１に開示されているようなにかわ で埋められるのが好ましい）がある所では軽減される。この場合、アルミナのよ うな熱的一致性の低い材料が使われ得る。 図７は基板８６内に形成された小滴噴出開口部９６ａの詳細を示している。開 口部９６ａ自体はテーパ状に形成され得るが、開口部上に装着されるノズル板９ ８内でテーパ形状を形成されることが好ましい。該ノズル板はこの目的で従来使 われているポリイミド・ポリカーボネート・ポリエステルのような容易に除き得 る材料からなる。 さらに、ノズル製造はプリントヘッドの残りが完成しているか否かに依存せず 、行い得る。ノズルはボデー８２ａを基板８６上に組み立てる前に後部から削る ことにより、あるいはボデーが然るべき位置についてから前部から削ることによ り、形成され得る。どちらの技術も当業者には公知である。前者の方法はノズル 位置を替えることができ、あるいは組立の早期段階では完全な組立が不要で不要 部材の価値を最小にするという利点を有する。後者の方法は基板上に組み立てる とき、ノズルをチャンネルと組み合わせるのを容易にする。 図５及び６の構造は基板８６の開口部９６ａ・９６ｂ双方の上に伸び、基板の 全長にわたって伸びている１つのノズル板内に形成された２列のノズルをもって いる。たとえば欧州特許出願第０３７６６０６号に開示されているように、対応 する２列のボデー８２ａ・８２ｂと駆動チップ８４ａ・８４ｂを基板８６上に実 装した後、ベース８０が付けられ、マニフォールド・チャンバー８８・９０・９ ２を区画する。本発明の別の側面によれば、チャンバー９０はボデー８２ａ・８ ２ｂ双方に形成されたチャンネルの一端を供給し、チャンバー８８・９２はそれ ぞれボデー８２ａ・８２ｂのチャンネルの他端を供給する。プリントヘッドの外 側から各チャンバーへそこを通ってインクが供給される導管は破線８８’・９０ ’・９２’で示されている。これにより、インクが各ボデーのチャンネルを通っ て共通のマニフォールド９０から、チャンバー８８・９２を通って出て循環する 特にコンパクトな構造になることが明らかであろう。 図８は出力トラック１２０・１２２をもつ基板８６に駆動チップ８４ａを実装 する際の詳細を部分的に示している。出力トラックは駆動チップ出力１３２・１ ３４をボデーの電極に、および入力トラック１１０を駆動チップ入力端子１３０ につないでいる。駆動チップは多くの入力と出力をもつが、一般に入力の少なく とも２倍の出力がある。８４ａは駆動チップが置かれる基板８６上の最初の位置 を示している。しかし、この位置での駆動チップは次には欠陥になり得る─たと えば、上記テストの最中などに─ので、破線で示すように位置８４ａ’に交換チ ップが実装され得る。必要なら、その欠陥チップをトラック１２０・１２２につ なぐことが点１３６で切断する（レーザによることが特に好ましい）ことにより 行われ得る。ページ幅のプリントヘッド（図５に示したようなもので、数十個の 駆動チップをもつ）における製造収率へのこの方法の有利な効果は明らかであろ う。 図９は本発明のこの側面の他の実施例を示し、入力信号がトラック１１０等か らなるバスを経て供給される。トラック１１０等とチップ入力端子１３０との間 の接続は、トラック１１０等の頂に置かれ、非活性層１４５によってそこから隔 離された別のトラック１５０によってなされる。駆動チップ（集積回路ダイ）８ ４ａが欠陥があるとわかれば、図９の破線で示すように交換チップまたはダイを 位置８４ａ’につなぐことができる。８４ａ’は最初のチップ８４ａとは離れて いる。トラック１１０’、非活性層１４５’および別のトラック１５０’からな る第２バスが入力信号を供給するために使われる。別の非活性層１４０が第２バ スの基礎にあって、出力トラック１２０・１２２・・・から隔離している。出力ト ラック１２０・１２２・・・はチップ８４の出力端子１３２・１３４・・・への接続、 および交換チップ８４’の出力端子１３２’・１３４’・・・への接続の双方のた めの位置をもつ。線１３６に沿うレーザによる切断で、交換チップ８４’が接続 される前に、欠陥チップが出力トラック１２０・１２２・・・から電気的に隔離さ れる。 上記該実施例は、特に、アクチュエート機構として剪断モードで動く圧電材料 を使う小滴堆積装置に関係があった。このような装置は、たとえば、前記ＷＯ９ １／１７０５１、欧州特許出願第０３６４１３６号、米国特許出願第５２２７８ １３号で論じられている。しかし、これらに述べられている原理は、圧電および 熱の双方（バブル・ジェット）を有する他のアクチュエート機構、特に英国特許 出願第９７２１５５５．２号に開示されている配列に等しく適用できるものであ る。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ， ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，ＫＥ，Ｌ Ｓ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ， ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，Ｅ Ｅ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＧＷ，ＨＵ ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ， ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，Ｍ Ｄ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ， ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，Ｕ Ｚ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＷ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 1. 第１及び第２チャンネルをもち、各チャンネルの一端が小滴液体供給のため 単一の共通供給チャンバーと通じ、第１及び第２チャンネルの各他端がそれぞれ 小滴液体供給のため別の供給チャンバーと通じており、第１及び第２チャンネル の各々がそこから小滴を噴出するための開口部をもっていると共に、小滴を噴出 させるため各チャンネルと連結したアクチュエータ部材をもつことを特徴とする 小滴堆積装置。 2. 第１及び第２インク・チャンネルの長手方向軸が同一直線上にある請求項１ の装置。 3. 複数の第１及び第２チャンネルをもち、各チャンネルがそれぞれ小滴噴出の ための開口部を有し、複数の第１インク・チャンネルに対する複数の開口部が第 １配列方向に伸びる第１直線配列に並べられ、複数の第２インク・チャンネルに 対する複数の開口部が第２配列方向に伸びる第２直線配列に並べられ、第１及び 第２直線配列方向が平行である請求項２の装置。 4. 複数の第１及び第２インク・チャンネルが小滴液体供給のため単一の共通チ ャンバーと通じ、該単一の共通チャンバーが第１・第２配列方向と平行に伸びて いる請求項３の装置。 5. 一方の側に開いたチャンネルを有して形成されたボデー、該チャンネルの開 いた側を閉じ、その中に開口部を形成したカバー、および該カバーとともに供給 チャンバーを区画するベースからなる請求項１〜４のいずれか１項の装置。 6. 一方の側に開いた少なくとも１つのチャンネルを有して形成され、該チャン ネルが小滴流体の供給のため各端で供給チャンバーと通じ、小滴を噴出させるた めアクチュエータ部材が各チャンネルと連結しているボデー、少なくとも１つの チャンネルの開いた側を閉じ、チャンネルから小滴を噴出させるためその中に少 なくとも１つの開口部を形成したカバー、および少なくとも１つのチャンネルの 各端と通じる供給チャンバーをカバーとともに区画するベースからなることを特 徴とする小滴堆積装置。 7. アクチュエータ部材がボデー内に含まれている請求項６の装置。 8. ボデーとベースが統合されている請求項５〜７のいずれか１項の装置。 9. ボデーがベース上に装着され、かつ支持されている請求項５〜８のいずれか １項の装置。 10．ベースが少なくとも部分的に別のチャンバーを区画し、アクチュエータ部材 に電気信号を供給するための制御部材が該別のチャンバー内にある請求項５〜９ のいずれか１項の装置。 11．一方の側に開いた少なくとも１つのチャンバーを有して形成され、各チャン バーがそこから小滴を噴出するための開口部と通じ、かつ小滴流体を供給するた めのマニフォールドと通じ、電気信号に応じて小滴を噴出させるため各チャンバ ーとアクチュエータ部材が連結しているボデー、および少なくとも１つのチャン バーの開いた側を閉じるカバーからなり、前記マニフォールドがベースによって 少なくとも部分的に区画され、該ベースも別のチャンバーを少なくとも部分的に 区画し、アクチュエータ部材に電気信号を供給するための制御部材が該別のチャ ンバー内にあることを特徴とする小滴堆積装置。 12．アクチュエータ部材がボデー内に含まれている請求項１１の装置。 13．ボデーとベースが統合されている請求項１１又は１２の装置。 14．小滴を噴出するための開口部がカバー内に形成されている請求項１１〜１３ のいずれか１項の装置。 15．マニフォールドがカバーによって閉じられている請求項１１〜１４のいずれ か１項の装置。 16．別のチャンバーがカバーによって閉じられている請求項１１〜１５のいずれ か１項の装置。 17．制御部材がカバー上に装着されている請求項１１〜１６のいずれか１項の装 置。 18．信号を各アクチュエータ部材に伝えるため、カバーがその上に少なくとも１ つのトラックを有する請求項５、６、１４またはそれらに従属するいずれかの請 求項の装置。 19．カバーがボデー支持部材を形成する請求項１８の装置。 20．開いた側をもつ少なくとも１つのチャンバーを有して形成され、各チャンバ ーが小滴流体供給源とそこから小滴を噴出するための開口部と通じているボデー 、電気信号に応じて小滴を噴出するための各チャンバーと連結したアクチュエー タ部材、およびボデーの支持部材からなり、該支持部材がチャンバーの開いた側 を閉じ、電気信号を各アクチュエータ部材に伝えるためその上に少なくとも１つ のトラックを有し、かつ、各チャンバーから小滴を噴出するため少なくとも１つ の開口部をその中に形成していることを特徴とする小滴堆積装置。 21．ボデーが付けられる支持部材の対向面にノズル板が付けられ、該ノズル板内 に小滴を噴出するため支持部材の開口部と通じたノズルが形成されている請求項 ２０の装置。 22．支持部材が剛体である請求項２０又は２１の装置。 23．支持部材が金属および／またはセラミックからなる請求項２２の装置。 24．アクチュエータ部材がボデー内に含まれている請求項２０〜２３のいずれか １項の装置。 25．ボデーが圧電材料からなる請求項５〜２４のいずれか１項の装置。 26．各複数のチャンバーから小滴を噴出するための複数の開口部からなり、該複 数の開口部が装置に対して基板の幅方向で、かつ運動方向と交差する方向に伸び る少なくとも１つの直線配列に並べられ、支持部材が基板の全幅にわたって伸び ている請求項２０、またはそれに従属するいずれか１項の装置。 27．各複数のチャンバーから小滴を噴出するための複数の開口部からなり、該複 数の開口部が配列方向に伸びる少なくとも１つの直線配列に並べられ、ここで各 チャンバーが長手方向チャンネル軸をもつチャンネルとして形成され、該チャン ネル軸が配列方向に交差して伸びている請求項２０、またはそれに従属するいず れか１項の装置。 28．一列のチャンネルがボデー内に形成され、該列内の連続チャンネルがその間 の側壁を区切り、該側壁が圧電材料からなる請求項２５の装置。 29．その中に形成された支持部材に少なくとも１つの開口部および少なくとも１ つの導電トラックを与え、該支持部材上に開いた側をもつ少なくとも１つのチャ ンバーを形成したボデーを装着し、該ボデーがチャンバーと連結して電気信号に 応答するアクチュエータ部材も有し、該ボデーがチャンバーが少なくとも１つの 開口部と組み合わされ、アクチュエータ部材が導電トラックと組み合わされてい るように装着されており、および、電気信号をアクチュエータ部材に送るための 駆動回路を導電トラックと組み合わせて装着し、それにより、開口部を経てチャ ンバーから小滴噴出させる諸工程からなることを特徴とする小滴堆積装置の製造 方法。 30．ボデーが付けられる支持部材の対向面にノズル板が付けられ、ノズルがボデ ーを支持部材に付ける前にその中に形成される請求項29の方法。 31．導電トラックをもつ基板からなり、集積回路が接続される各トラックに沿っ て複数の位置があり、該複数の位置が、各トラックに対し、集積回路ダイへの接 続に隣接する位置が該集積回路ダイの上面の外側にくるように各トラックに沿っ て互いに相対的に離れていることを特徴とする電子アセンブリ。 32．第１集積回路の機能とは異なる機能をもつ第２集積回路をトラックに接続し 、該接続が第１集積回路のダイの上面の外側にくるトラック上の位置にあり、お よび第１集積回路をトラックから電気的に隔離する諸工程からなることを特徴と する導電トラックと、該トラックに接続された各ダイ内に実装された第１集積回 路をもつ基板からなる電子回路の機能の変更方法。