JP2016196192A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】製造性が良いインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】インクジェットヘッドは、基部と、駆動素子と、ノズルプレートと、複数の電極と、複数の配線と、供給部と、排出部と、を備える。基部は、取付面と取付面と交差する側面とを有する。駆動素子は、取付面に取り付けられ、複数の圧力室３３を有する。ノズルプレートは、複数の圧力室にそれぞれ開口する複数のノズル５９を有する。複数の電極は、複数の圧力室にそれぞれ設けられる。複数の配線は、複数の電極にそれぞれ接続される。供給部は、複数の圧力室に接続されて圧力室にインクを供給する。排出部は、複数の圧力室に接続されて圧力室からインクを排出させる。複数の圧力室は、第１の列と、第１の列と平行な第２の列とを形成する。第１の列に含まれる圧力室と第２の列に含まれる圧力室とは、駆動素子に設けられた分割溝３１によって隔てられ、分割溝の幅は、圧力室の幅よりも狭い。【選択図】図６

Description

本発明の実施形態は、インクジェットヘッドに関する。

いわゆるサイドシュータ型のインクジェットヘッドは、ベースプレートと、当該ベースプレートに取り付けられた駆動素子を有する。当該駆動素子はノズルプレートによって塞がれたインク室の中に位置する。前記駆動素子は、当該インク室に供給されたインクを、前記ノズルプレートに設けられたノズルから吐出させる。

前記ベースプレートは、高純度アルミナのような硬質な材料によって形成される。当該ベースプレートに、前記インク室にインクを供給し、または前記インク室からインクを排出するための複数の孔が設けられる。

前記ベースプレートに、前記駆動素子に接続される配線が設けられる。当該配線に駆動回路が接続され、当該駆動回路は前記配線を介して前記駆動素子に電圧を印加する。電圧を印加された前記駆動素子は変形し、前記ノズルからインクを吐出する。

特開２００６−８２３９６号公報

上述のベースプレートを軟質な材料で形成すると、当該ベースプレートに設けられる孔によって、前記ベースプレートが損傷するおそれがある。このため、前記ベースプレートの材料は、一定以上の硬さのものに制約され得る。

さらに、前記配線は前記孔を避けるため、複雑な経路を形成することがある。このような複雑な経路を有する配線は、製造が難しく、製造費が増加するおそれがある。
以上のように、インクジェットヘッドには製造性の観点から改善の余地がある。

本発明の目的は、製造性が良いインクジェットヘッドを提供することにある。

一つの実施の形態に係るインクジェットヘッドは、基部と、駆動素子と、ノズルプレートと、複数の電極と、複数の配線と、供給部と、排出部と、を備える。前記基部は、取付面と前記取付面と交差する側面とを有する。前記駆動素子は、前記取付面に取り付けられ、複数の圧力室を有する。前記ノズルプレートは、前記複数の圧力室にそれぞれ開口する複数のノズルを有する。前記複数の電極は、前記複数の圧力室にそれぞれ設けられる。前記複数の配線は、前記複数の電極にそれぞれ接続される。前記供給部は、前記複数の圧力室に接続されて前記圧力室にインクを供給する。前記排出部は、前記複数の圧力室に接続されて前記圧力室から前記インクを排出させる。前記複数の圧力室は、第１の列と、前記第１の列と平行な第２の列とを形成する。前記第１の列に含まれる前記圧力室と前記第２の列に含まれる前記圧力室とは、前記駆動素子に設けられた分割溝によって隔てられ、前記分割溝の幅は、前記圧力室の幅よりも狭い。

第１の実施の形態に係るインクジェットヘッドを分解して示す斜視図。 第１の実施形態のインクジェットヘッドを図１のＦ２−Ｆ２線に沿って示す断面図。 第１の実施形態のインクジェットヘッドを図２のＦ３−Ｆ３線に沿って示す断面図。 第１の実施形態のインクジェットヘッドを示す平面図。 第１の実施形態の製造工程におけるベース部材およびアクチュエータを示す斜視図。 第２の実施の形態に係るインクジェットヘッドを示す平面図。

以下に、第１の実施の形態について、図１から図５を参照して説明する。なお、複数の表現が可能な各要素について一つ以上の他の表現の例を付すことがあるが、これは他の表現が付されていない要素について異なる表現がされることを否定するものではないし、例示されていない他の表現がされることを制限するものでもない。

図１は、第１の実施の形態に係るインクジェットヘッド１０を分解して示す斜視図である。図２は、インクジェットヘッド１０を図１のＦ２−Ｆ２線に沿って示す断面図である。図３は、インクジェットヘッド１０を図２のＦ３−Ｆ３線に沿って示す断面図である。
図１に示すように、インクジェットヘッド１０は、いわゆるサイドシュータ型のインクジェットヘッドである。

インクジェットヘッド１０は、ベース部材１２と、アクチュエータ１３と、第１のマニホールド１４と、第２のマニホールド１５と、ノズルプレート１６と、第１の壁部１７と、第２の壁部１８と、一対の回路基板１９とを備えている。ベース部材１２は、基部の一例である。アクチュエータ１３は、駆動素子の一例である。第１のマニホールド１４は、供給部の一例である。第２のマニホールド１５は、排出部の一例である。回路基板１９は、駆動回路の一例である。

ベース部材１２は、矩形の棒状に形成されている。ベース部材１２は、例えば低純度のアルミナのような種々の材料によって形成される。ベース部材１２は、熱伝導に優れている。

図２に示すように、ベース部材１２は、取付面２２と、第１の側面２３と、第２の側面２４とを有している。第１および第２の側面２３，２４は、側面の一例である。取付面２２と、第１および第２の側面２３，２４とは、平坦に形成されている。

第１の側面２３は、取付面２２と直交している。第２の側面２４は、取付面２２と直交するとともに、第１の側面２３の反対側に位置している。なお、第１および第２の側面２３，２４は、他の角度（例えば６０°）で取付面２２と交差しても良い。

言い換えると、取付面２２の端は、当該取付面２２に対して傾斜する第１の側面２３の端と一体である。取付面２２の他端は、当該取付面２２に対して傾斜する第２の側面２４の端と一体である。さらに言い換えると、第１および第２の側面２３，２４は、取付面２２に対して曲げられている。なお、取付面２２と第１および第２の側面２３，２４との間に、溝、突出部、部品などが配置されても良い。

アクチュエータ１３は、取付面２２に、例えば接着剤によって取り付けられている。アクチュエータ１３は、取付面２２のほぼ全域を覆う。なお、取付面２２の一部が露出されても良い。アクチュエータ１３は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）のような圧電性材料によって形成されている。

アクチュエータ１３は、第１の部分２７と、第２の部分２８とを有している。第１および第２の部分２７，２８は、それぞれ矩形の板状に形成されている。第１および第２の部分２７，２８は、ベース部材１２の長手方向に沿って、平行に並んで配置されている。

第１の部分２７と第２の部分２８との間には、分割溝３１が設けられている。分割溝３１は、アクチュエータ１３からベース部材１２に亘って設けられ、第１の部分２７と第２の部分２８とを分割している。言い換えると、分割溝３１の深さは、アクチュエータ１３の厚みよりも深い。なお、分割溝３１がアクチュエータ１３の一部にのみ設けられ、第１の部分２７と第２の部分２８とが一体であっても良い。

分割溝３１の両端部は、例えば、板または樹脂によって閉塞されている。このため、インクジェットヘッド１０に供給されたインクが、分割溝３１から外部に漏れることが防がれる。

図４は、ノズルプレート１６を除いたインクジェットヘッド１０を示す平面図である。
図４に示すように、アクチュエータ１３の第１および第２の部分２７，２８に、複数の圧力室３３と、複数の空気室３４とがそれぞれ設けられている。圧力室３３および空気室３４は、それぞれ、アクチュエータ１３の長手方向と交差する方向に延びる溝状に形成されている。圧力室３３および空気室３４は、アクチュエータ１３の頂面１３ａと、左右の側面１３ｂ，１３ｃとに開放されている。圧力室３３と空気室３４とは、交互に配置され、互いに平行に並んでいる。

図１に示すように、第１の部分２７に設けられた複数の圧力室３３および複数の空気室３４は、第１の列３６を形成している。第２の部分２８に設けられた複数の圧力室３３および複数の空気室３４は、第２の列３７を形成している。第２の列３７は、第１の列３６と平行に配置されている。第１の列３６に含まれる圧力室３３および空気室３４と、第２の列３７に含まれる圧力室３３および空気室３４とは、分割溝３１によって隔てられている。分割溝３１の幅は、圧力室３３の幅よりも広く、空気室３４の幅よりも広い。

図４に示すように、第１の列３６に含まれる圧力室３３および空気室３４は、第２の列３７に含まれる圧力室３３および空気室３４に対してずらされている。すなわち、第１の列３６に含まれる圧力室３３は、第２の列３７に含まれる空気室３４と隣接している。第１の列３６に含まれる空気室３４は、第２の列３７に含まれる圧力室３３と隣接している。

図３に示すように、圧力室３３と空気室３４との間に、柱部４１がそれぞれ形成されている。複数の柱部４１は、圧力室３３と空気室３４との間を仕切るとともに、各圧力室３３の側面を形成する。

圧力室３３および空気室３４に電極４３がそれぞれ設けられている。電極４３は、圧力室３３および空気室３４の側面および底面を覆っている。電極４３は、例えばニッケル薄膜によって形成されているが、これに限らず、例えば金や銅で形成されていても良い。

図１に示すように、ベース部材１２の第１および第２の側面２３，２４に、複数の配線パターン４５が設けられている。配線パターン４５は、配線の一例である。複数の配線パターン４５は、例えばレーザーパターニングされたニッケル薄膜によって形成されている。配線パターン４５は、例えば金や銅で形成されていても良い。

図２に示すように、複数の配線パターン４５は、第１および第２の側面２３，２４の端部からアクチュエータ１３に向かって延びている。複数の配線パターン４５は、複数の電極４３にそれぞれ接続されている。

第１の壁部１７は、ベース部材１２の第１の側面２３と、アクチュエータ１３の側面１３ｂとに取り付けられている。第１の壁部１７は、例えば耐インク性に優れた樹脂製のフィルムによって形成されている。なお、耐インク性とは、材料をインクに一定時間浸漬した場合の当該材料の損傷の度合いを指す。

第１の壁部１７は、複数の第１の孔４７を有している。複数の第１の孔４７は、第１の部分２７に設けられた（第１の列３６に含まれた）複数の圧力室３３にそれぞれ開口している。一方で第１の壁部１７は、空気室３４の、アクチュエータ１３の側面１３ｂに開放された部分を閉塞している。

第２の壁部１８は、ベース部材１２の第２の側面２４と、アクチュエータ１３の側面１３ｃとに取り付けられている。第２の壁部１８は、例えば耐インク性に優れた樹脂製のフィルムによって形成されている。

第２の壁部１８は、複数の第２の孔４８を有している。複数の第２の孔４８は、第２の部分２８に設けられた（第２の列３７に含まれた）複数の圧力室３３にそれぞれ開口している。一方で第２の壁部１８は、空気室３４の、アクチュエータ１３の側面１３ｃに開放された部分を閉塞している。

第１のマニホールド１４は、圧力室３３にインクを供給するための部品である。第１のマニホールド１４は、ベース部材１２の第１の側面２３と、アクチュエータ１３の側面１３ｂとに取り付けられる。第１のマニホールド１４は、例えば、第１の側面２３に設けられた配線パターン４５の上から、第１の側面２３に接着される。このため、第１の壁部１７は、アクチュエータ１３と第１のマニホールド１４との間に介在する。

第１のマニホールド１４は、第１の流路５１と、供給管５２とを有している。第１の流路５１は、アクチュエータ１３の第１の部分２７に向かって開放されている。第１の流路５１は、第１の壁部１７の複数の第１の孔４７を介して、第１の部分２７の複数の圧力室３３に接続されている。供給管５２は、第１の流路５１に連結されている。供給管５２は、チューブのような配管を介して、例えばインクタンクに接続されている。

第１のマニホールド１４は、アクチュエータ１３の頂面１３ａと面一な頂面１４ａを有している。第１の流路５１は、第１のマニホールド１４の頂面１４ａで開放されている。
なお、当該頂面１４ａは閉塞されていても良い。

第２のマニホールド１５は、圧力室３３からインクを排出させるための部品である。第２のマニホールド１５は、ベース部材１２の第２の側面２４と、アクチュエータ１３の側面１３ｃとに取り付けられる。第２のマニホールド１５は、例えば、第２の側面２４に設けられた配線パターン４５の上から、第２の側面２４に接着される。このため、第２の壁部１８は、アクチュエータ１３と第２のマニホールド１５との間に介在する。

第２のマニホールド１５は、第２の流路５４と、排出管５５とを有している。第２の流路５４は、アクチュエータ１３の第２の部分２８に向かって開放されている。第２の流路５４は、第２の壁部１８の複数の第２の孔４８を介して、第２の部分２８の複数の圧力室３３に接続されている。排出管５５は、第２の流路５４に連結されている。排出管５５は、チューブのような配管を介して、前記インクタンクに接続されている。

第２のマニホールド１５は、アクチュエータ１３の頂面１３ａと面一な頂面１５ａを有している。第２の流路５４は、第２のマニホールド１５の頂面１５ａで開放されている。
なお、当該頂面１５ａは閉塞されていても良い。

ノズルプレート１６は、例えばポリイミド製の矩形のフィルムによって形成されている。なお、ノズルプレート１６はポリイミドに限らず、レーザによる微細加工が可能な他の材料によって形成されても良い。ノズルプレート１６は、オリフィスプレートとも称する。

ノズルプレート１６は、アクチュエータ１３の頂面１３ａと、第１のマニホールド１４の頂面１４ａと、第２のマニホールド１５の頂面１５ａとに、例えば接着剤によって取り付けられている。これにより、インク室５７が形成される。インク室５７は、アクチュエータ１３、第１のマニホールド１４、第２のマニホールド１５、およびノズルプレート１６によって形成された部屋であり、第１および第２の流路５１，５４を含んでいる。ノズルプレート１６は、アクチュエータ１３の頂面１３ａに開放された圧力室３３および空気室３４の一部を塞いでいる。

ノズルプレート１６は、複数のノズル５９を有している。複数のノズル５９は、複数の圧力室３３に対応して設けられ、複数の圧力室３３にそれぞれ開口している。図４において、ノズル５９が二点鎖線で示される。図４に示すように、複数のノズル５９は二列に並んで配置されている。

図１に示すように、一対の回路基板１９は、フレキシブルプリント回路板（ＦＰＣ）６１と、ＩＣ６２とをそれぞれ有している。ＩＣ６２は、ＦＰＣ６１に実装されている。ＦＰＣ６１は配線と、コンデンサのような種々の部品とを有している。ＦＰＣ６１は、例えば異方性導電性フィルム（ＡＣＦ）によって、配線パターン４５に熱圧着接続される。なお、回路基板１９はこれに限らず、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）であっても良い。

インクジェットヘッド１０は、例えば以下のようにインクを吐出する。図２の矢印に示すように、まず、前記インクタンクのインクが、例えばポンプによって、供給管５２を通って第１の流路５１に供給される。

図４の矢印に示すように、インクは第１の壁部１７の第１の孔４７を通って、第１の部分２７の複数の圧力室３３にそれぞれ供給される。なお、当該インクは、第１の壁部１７によって妨げられ、第１の流路５１からは空気室３４に流入しない。

第１の部分２７の圧力室３３に供給されたインクは、分割溝３１を通り、第２の部分２８の圧力室３３に供給される。当該インクは、第２の壁部１８の第２の孔４８を通り、第２の流路５４に流れ込む。

なお、図４の小さな矢印で示すように、前記インクの一部が、第１および第２の部分２７，２８の空気室３４に流入することもある。しかし、空気室３４は、第１または第２の壁部１７，１８によって閉塞されているため、インクが入りにくい。このため、空気室３４には、空気Ｂが存在する。なお、空気室３４に、空気Ｂ以外のガスが存在しても良い。

図２の矢印に示すように、第２の流路５４に流入したインクは、排出管５５を通って、前記インクタンクに排出される。前記インクタンクに戻ったインクは、再び、供給管５２を通ってインクジェットヘッド１０に供給される。このように、インクは、インクジェットヘッド１０と前記インクタンクとの間で循環している。

ＩＣ６２は、ＦＰＣ６１および配線パターン４５を介して、圧力室３３の電極４３に駆動信号（電圧）を印加する。電極４３に電圧が印加されると、当該圧力室３３を規定する柱部４１はシェアモード変形する。柱部４１が変形することにより当該圧力室３３の容積が変化し、圧力室３３に供給されたインクが加圧される。加圧されたインクは、ノズル５９から吐出される。

次に、インクジェットヘッド１０の製造方法の一例について説明する。図５は、製造工程におけるベース部材１２およびアクチュエータ１３を示す斜視図である。まず、アクチュエータ１３を形成する一対の圧電部材６４を、互いの分極方向を反対向きとするように貼り合わせる。圧電部材６４は、上述したＰＺＴのような圧電材料によって板状に形成される。

次に、貼り合わされた圧電部材６４を、ベース部材１２を形成するベース材料６５に接着する。ベース材料６５は、上述した低純度のアルミナによって板状に形成される。圧電部材６４は、ベース部材１２の取付面２２を形成するベース材料６５の上面６５ａに取り付けられる。

次に、圧電部材６４およびベース材料６５を、圧力室３３の流路長（圧力室３３の２列分）の幅となるように分割する。言い換えると、圧電部材６４およびベース材料６５から、ベース部材１２およびアクチュエータ１３を切り出す。図５のベース部材１２およびアクチュエータ１３において、分割溝３１が設けられる場所が二点鎖線で示される。

次に、圧電部材６４（アクチュエータ１３）に、複数の圧力室３３および複数の空気室３４を形成する。圧力室３３および空気室３４は、例えば、ＩＣウェハーの切断に用いられているダイシングソーのダイヤモンドホイールによって、圧電部材６４を切削することで形成される。

次に、ベース部材１２およびアクチュエータ１３に、分割溝３１を形成する。分割溝３１は、前記ダイシングソーのダイヤモンドホイールによって、ベース部材１２およびアクチュエータ１３を切削することで形成される。なお、分割溝３１は、圧力室３３および空気室３４よりも先に形成されても良い。

次に、圧力室３３および空気室３４に電極４３を形成すると同時に、ベース部材１２の第１および第２の側面２３，２４に配線パターン４５を形成する。電極４３および配線パターン４５は、例えば無電解メッキ法を用いて形成される。例えばレーザ照射によりパターニングすることで、電極４３および配線パターン４５以外の部位からニッケル薄膜を除去する。

次に、ベース部材１２の第１および第２の側面２３，２４とアクチュエータ１３の側面１３ｂ、１３ｃとに、第１および第２の壁部１７，１８を取り付ける。さらに、ベース部材１２の第１および第２の側面２３，２４とアクチュエータ１３の側面１３ｂ、１３ｃとに、第１および第２のマニホールド１４，１５を取り付ける。

次に、アクチュエータ１３の頂面１３ａと、第１のマニホールド１４の頂面１４ａと、第２のマニホールド１５の頂面１５ａとを、例えば研磨によって面一に加工する。なお、当該研磨はされなくても良い。アクチュエータ１３と第１および第２のマニホールド１４，１５とに、ノズルプレート１６を取り付ける。

次に、第１および第２の側面２３，２４に設けられた配線パターン４５に、回路基板１９をそれぞれ接続する。これにより、図１に示すインクジェットヘッド１０が形成される。

前記構成のインクジェットヘッド１０によれば、配線パターン４５がベース部材１２の第１および第２の側面２３，２４に設けられている。これにより、インクジェットヘッド１０の幅方向に回路基板１９を取り付けるためのスペースが不要となり、インクジェットヘッド１０を小型化することができる。言い換えると、インクジェットヘッド１０の幅を狭くできる。さらに、配線パターン４５の厚み分、インクジェットヘッド１０の厚みを低減できる。

圧力室３３にインクを供給および排出する第１および第２のマニホールド１４，１５が、ベース部材１２とは別に設けられている。これにより、ベース部材１２にインクが通る孔などを設ける必要がない。したがって、ベース部材１２は硬質な材料によって形成される必要がなく、ベース部材１２に使われる材料の選択肢を広げることができる。

ベース部材１２が軟質な材料で形成されても良いため、例えば分割溝３１を形成する工具が、加工時に損傷または劣化することを抑制できる。したがって、ベース部材１２の加工コストを低減できる。

さらに、第１および第２の側面２３，２４に孔などを設ける必要がないため、配線パターン４５を直線状に形成できる。これにより、配線パターン４５を容易に形成できる。以上のように、インクジェットヘッド１０は、良好な製造性を有している。

圧力室３３の第１および第２の列３６，３７は、分割溝３１によって隔てられる。第１の列３６の圧力室３３と、第２の列３７の圧力室３３との距離は近い。これにより、インクジェットヘッド１０を小型化できる。さらに、第１および第２の部分２７，２８を別々にベース部材１２に取り付ける必要がなく、圧電部材６４をカッター等で分割することで、圧力室３３の列を隔てることができる。したがって、インクジェットヘッド１０を容易に製造できる。

第１および第２の壁部１７，１８によって、圧力室３３と空気室３４とが交互に設けられる。これにより、圧力室３３からインクが吐出される際に、隣接する部屋（空気室３４）が抵抗を生じさせることを抑制できる。これにより、インクジェットヘッド１０の駆動周波数を高くすることができる。

第１の列３６に含まれる圧力室３３および空気室３４は、第２の列３７に含まれる圧力室３３および空気室３４に対してずらされている。これにより、第１の列３６に含まれる圧力室３３と、第２の列３７に含まれる圧力室３３との間で、残留振動が伝播することを抑制できる。

分割溝３１の幅は、圧力室３３の幅よりも広い。これにより、インクが容易に分割溝３１を通り、第１の列３６の圧力室３３から、第２の列３７の圧力室３３に移動することができる。

次に、図６を参照して、第２の実施の形態について説明する。なお、以下に開示する実施形態において、第１の実施形態のインクジェットヘッド１０と同一の機能を有する構成部分には同一の参照符号を付す。さらに、当該構成部分については、その説明を一部または全て省略することがある。

図６は、第２の実施の形態に係るインクジェットヘッド１０を、ノズルプレート１６を除いて示す平面図である。図６に示すように、第２の実施形態において、分割溝３１の幅は、圧力室３３の幅よりも狭く、空気室３４の幅よりも狭い。

第１の列３６に含まれる圧力室３３および空気室３４は、第２の列３７に含まれる圧力室３３および空気室３４と揃っている。すなわち、第１の列３６に含まれる圧力室３３は、第２の列３７に含まれる圧力室３３と隣接している。第１の列３６に含まれる空気室３４は、第２の列３７に含まれる空気室３４と隣接している。

第２の実施形態において、インクは以下のようにインク室５７に供給される。まず、インクが第１の流路５１に供給されると、当該インクは第１の壁部１７の第１の孔４７を通って、第１の部分２７の複数の圧力室３３にそれぞれ供給される。なお、当該インクは、第１の壁部１７によって妨げられ、第１の流路５１からは空気室３４に流入しない。

第１の部分２７の圧力室３３に供給されたインクは、隣接する第２の部分２８の圧力室３３に供給される。当該インクは、第２の壁部１８の第２の孔４８を通り、第２の流路５４に流れ込む。

なお、図６の小さな矢印で示すように、前記インクの一部が、分割溝３１を通り、第１および第２の部分２７，２８の空気室３４に流入することもある。しかし、空気室３４は、第１または第２の壁部１７，１８によって閉塞されているため、インクが入りにくい。
さらに、分割溝３１の幅が圧力室３３の幅よりも狭いため、インクは分割溝３１を通りにくい。このため、空気室３４には、空気Ｂが存在する。

第２の実施形態のインクジェットヘッド１０によれば、分割溝３１の幅が、圧力室３３の幅よりも狭い。これにより、圧力室３３のインクが、分割溝３１を通って空気室３４に流入しにくく、空気室３４に空気Ｂが残りやすくなる。したがって、圧力室３３からインクが吐出される際に、隣接する部屋（空気室３４）が抵抗を生じさせることをさらに抑制できる。

以上述べた少なくとも一つのインクジェットヘッドによれば、配線が、基部の側面に設けられる。当該側面は、駆動素子が取り付けられる基部の取付面と交差する。これにより、良好な製造性を有するインクジェットヘッドを提供することができる。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

例えば、インクジェットヘッド１０は、第１および第２の壁部１７，１８を有していなくとも良い。第１および第２の壁部１７，１８が無い場合、インクジェットヘッド１０は、例えばインクの吐出方法を制御することにより高密度で高精細な印字性能を得る。
以下に、本願出願の親出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
［１］取付面と、前記取付面と交差する側面と、を有する基部と、前記取付面に取り付けられ、複数の圧力室を有する駆動素子と、前記駆動素子に取り付けられ、前記複数の圧力室にそれぞれ開口する複数のノズルを有するノズルプレートと、前記複数の圧力室にそれぞれ設けられた複数の電極と、前記側面に設けられ前記複数の電極にそれぞれ接続された複数の配線と、前記複数の圧力室に接続されて前記圧力室にインクを供給する供給部と、前記複数の圧力室に接続されて前記圧力室から前記インクを排出させる排出部と、を具備することを特徴とするインクジェットヘッド。
［２］前記複数の圧力室は、第１の列と、前記第１の列と平行な第２の列とを形成し、前記第１の列に含まれる前記圧力室と前記第２の列に含まれる前記圧力室とは、前記駆動素子に設けられた分割溝によって隔てられたことを特徴とする［１］に記載のインクジェットヘッド。
［３］前記駆動素子と前記供給部との間に介在し、前記複数の圧力室に開口する複数の第１の孔を有する第１の壁部と、前記駆動素子と前記排出部との間に介在し、前記複数の圧力室に開口する複数の第２の孔を有する第２の壁部と、をさらに具備し、前記駆動素子は、前記第１の壁部および前記第２の壁部の少なくとも一方によって閉塞され、前記複数の圧力室と交互に配置された複数の空気室をさらに有することを特徴とする［１］または［２］に記載のインクジェットヘッド。
［４］前記供給部および前記排出部の少なくとも一方は、前記複数の配線の上から前記基部の前記側面に取り付けられることを特徴とする［１］ないし［３］のいずれか一つに記載のインクジェットヘッド。
［５］取付面と、前記取付面と交差する側面と、を有する基部の前記取付面に、圧電部材を取り付け、前記圧電部材に複数の圧力室を形成し、前記複数の圧力室に複数の電極を形成し、前記側面に、前記複数の電極に接続される複数の配線を形成し、前記基部に、前記複数の圧力室にインクを供給する供給部を取り付け、前記基部に、前記複数の圧力室から前記インクを排出させる排出部を取り付け、前記駆動素子に、前記複数の圧力室に開口する複数のノズルが設けられたノズルプレートを取り付ける、ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

１０…インクジェットヘッド、１２…ベース部材、１３…アクチュエータ、１４…第１のマニホールド、１５…第２のマニホールド、１６…ノズルプレート、１７…第１の壁部、１８…第２の壁部、１９…回路基板、２２…取付面、２３…第１の側面、２４…第２の側面、３１…分割溝、３３…圧力室、３４…空気室、３６…第１の列、３７…第２の列、４３…電極、４５…配線パターン、４７…第１の孔、４８…第２の孔、５９…ノズル、６４…圧電部材。

Claims (4)

1. 取付面と、前記取付面と交差する側面と、を有する基部と、
   前記取付面に取り付けられ、複数の圧力室を有する駆動素子と、
   前記駆動素子に取り付けられ、前記複数の圧力室にそれぞれ開口する複数のノズルを有するノズルプレートと、
   前記複数の圧力室にそれぞれ設けられた複数の電極と、
   前記側面に設けられ前記複数の電極にそれぞれ接続された複数の配線と、
   前記複数の圧力室に接続されて前記圧力室にインクを供給する供給部と、
   前記複数の圧力室に接続されて前記圧力室から前記インクを排出させる排出部と、を具備し、
   前記複数の圧力室は、第１の列と、前記第１の列と平行な第２の列とを形成し、
   前記第１の列に含まれる前記圧力室と前記第２の列に含まれる前記圧力室とは、前記駆動素子に設けられた分割溝によって隔てられ、前記分割溝の幅は、前記圧力室の幅よりも狭いことを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記駆動素子と前記供給部との間に介在し、前記複数の圧力室に開口する複数の第１の孔を有する第１の壁部と、
   前記駆動素子と前記排出部との間に介在し、前記複数の圧力室に開口する複数の第２の孔を有する第２の壁部と、
   をさらに具備し、
   前記駆動素子は、前記第１の壁部および前記第２の壁部の少なくとも一方によって閉塞され、前記複数の圧力室と交互に配置された複数の空気室をさらに有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 前記第１の列に含まれる前記圧力室は、前記第２の列に含まれる前記圧力室と隣接することを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッド。
4. 前記供給部および前記排出部の少なくとも一方は、前記複数の配線の上から前記基部の前記側面に取り付けられることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載のインクジェットヘッド。