JP5427145B2 - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、インクジェットヘッド100の構成を表す図である。図1に示すように、インクジェットヘッド100は、基板11と、この基板11の表面に形成される圧電体層20と、この圧電体層20の上に載置され、圧力室31が刻み込まれる圧電素子12と、圧電体層20及び圧電素子12に形成される導体層19(図2参照。)と、この圧電素子12を囲むように基板11に載置される枠体13と、圧電素子12の側壁の上端部に接着され、ノズル穴15を有するノズルプレート14と、を備える。
図3乃至図6は、インクジェットヘッド100の製造方法を示した図である。図3乃至図6に示すように、インク吸入孔16とインク排出孔17とを有する基板11の上に、圧電体層20を形成する。
以上述べたように、本実施形態のインクジェットヘッド100は、基板11と、この基板11の表面に形成される圧電体層20と、この圧電体層20の上に載置され、圧力室31が形成される圧電素子12と、圧電体層20及び圧電素子12に形成される導体層19と、この圧電素子12を囲むように基板11に載置される枠体13と、圧電素子12の圧力室31の側壁の上端部に接着され、ノズル穴15を有するノズルプレート14と、を備える。
12:圧電素子、
13:枠体、
14:ノズルプレート、
19:導体層、
20:圧電体層、
31:圧力室。
Claims (2)
- 基板に圧電体層を設ける圧電体層形成工程と、
前記圧電体層の上に圧電素子を設ける工程と、
前記圧電素子に圧力室を設ける工程と、
前記圧電体層と前記圧電素子の表面をエッチングして粗す工程と、
前記圧電体層と前記圧電素子の表面に導体層を設ける工程と、
前記圧力室の側壁の上端部に、接着剤を塗布してノズルプレートを接着する工程と、
を含むインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記圧電体層形成工程は、
圧電体ペーストを基板に塗布する工程と、
塗布された前記圧電体ペーストを焼成する工程と、
を含む請求項1記載のインクジェットヘッドの製造方法。
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JP2010194332A JP5427145B2 (ja) | 2010-08-31 | 2010-08-31 | インクジェットヘッドの製造方法 |
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