JP5063788B2 - インクジェットプリントヘッド - Google Patents
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Description
比較例によるインクジェットプリントヘッドは本発明と同様に、サイドシューター方式で製造され、流路が形成された上部基板と下部基板を接合した後にダイシング工程によりノズルを開放したものである。比較例によるインクジェットプリントヘッドのノズルはダイシング工程により開放されるため、ダイシングブレードによりノズルの形状が物理的に損傷されて壊れる。
12 圧力チャンバ
20 下部基板
21 ノズル形成流路
22 リストリクター
23 マニホールド
30 圧電アクチュエータ
34 開放部
40 切断部
42 切断補助部
44 切断跡
50 ダイシングライン
54、64 第1、第2エッチングライン
100、200、300、400 第1、第2、第3、第4インクジェットプリントヘッド
540、640 第1、第2連結部
542、642 切断補助部
Claims (6)
- インク流路が形成されているインクジェット基板と、
前記インクジェット基板の長さ方向の断面から前記インク流路の外側に形成され、前記インクジェット基板のヘッドチップ単位の分離により形成される切断面を有し、前記切断面には切断跡のような切断表示部が形成されている切断部と
を含み、
前記切断面は、前記切断表示部の外側に前記切断表示部より表面粗さが小さい部分を含むインクジェットプリントヘッド。 - 前記切断表示部は、表面粗さが前記長さ方向の断面の残りの部分より大きく形成されることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記切断表示部内には、表面粗さが相対的に小さい部分が形成されることを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記切断部の一面から前記インクジェット基板の厚さ方向の内側に形成され、前記インクジェット基板のヘッドチップ単位の分離を補助する切断補助部をさらに含むことを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記切断補助部は、前記インクジェット基板の厚さを貫通する1つ以上の貫通ホールの形態であることを特徴とする請求項4に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記切断補助部は、前記切断部の一面から前記インクジェット基板の厚さ方向の内側に凹んだ1つ以上の溝の形態であることを特徴とする請求項4に記載のインクジェットプリントヘッド。
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