JP5294657B2 - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
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Description
(実施形態1)
本発明は、オリフィスプレートの一部に形成された柱状壁の設置面側が、インク吐出エネルギー発生素子の最上層の開口部を介して下層の酸化膜層に接合していることを特徴とする。本発明は、これにより、柱状壁の接合面積を増やし、及びより密着性の高い酸化膜に接合することにある。以下、本発明のインクジェット記録ヘッド及び、その製造方法について詳細に説明する。
[吐出口形成のためのノズル部の形成工程]
図3Bの(h)で示すように、基板1の表面(不図示)と裏面に、ポリエーテルアミド樹脂46をそれぞれ塗布し、ベークにより硬化させる。ポリエーテルアミド樹脂46をパターニングする為、ポジ型レジストをスピンコート等により塗布、露光、現像し、ポリエーテルアミド樹脂46をドライエッチング等によりパターニングし、ポジ型レジストを剥離する。
(実施形態2)
次に図4を参照して、本発明における実施形態2に係るインクジェット記録ヘッドの製造工程を説明する。なお、以下の説明において、実施形態1の同じ構成要素については実施形態1で用いた符号により説明するものとする。
[吐出口形成のためのノズル部の形成工程]
図5Bの(e)で示すように、基板1の表面(不図示)と裏面に、ポリエーテルアミド樹脂46をそれぞれ塗布し、ベークにより硬化させる。ポリエーテルアミド樹脂46をパターニングする為に、ポジ型レジストをスピンコート等により塗布、露光、現像し、ポリエーテルアミド樹脂46をドライエッチング等によりパターニングし、ポジ型レジストを剥離する。
9 インク吐出エネルギー発生素子
11 シリコン窒化膜
20 インク供給口
22 吐出口
48 インク液室
49 インク流路
45 柱状壁
45c 第2の底面
Claims (4)
- インクを吐出するために利用される吐出エネルギーを発生するエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子にインクを供給するためのインク供給口と、を有する基板と、
前記インク供給口から供給されたインクを前記エネルギー発生素子へ供給するインク流路と、
前記インク供給口と前記インク流路との間に配置された柱状壁と、
を備えるインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記柱状壁は、第1の柱状壁部と、前記第1の柱状壁部よりも前記基板側に位置して前記第1の柱状壁部の端面に形成され、前記第1の柱状壁部よりも小さい径の第2の柱状壁部と、を有し、
前記第1の柱状壁部の前記端面と、該端面に交差する、前記第2の柱状壁部の側面とは共に、前記基板に形成される第1の層と接合されており、前記第2の柱状壁部の端面は、前記第1の層よりも前記基板側に形成される第2の層と接合されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 前記第1の層はシリコン窒化膜であり、前記第2の層はプラズマ酸化膜である、請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記柱状壁はインクを吐出する吐出口を形成する部材と同一材料で形成されている、請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記柱状壁及び前記吐出口を形成する部材はエポキシ樹脂のカチオン重合化合物により形成されている、請求項3に記載のインクジェット記録ヘッド。
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