JP5305691B2 - 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
前記第一の保護膜及び前記第二の保護膜は、前記流路と前記供給口との接続部において、一方の保護膜の端面の全てが他方の保護膜により覆われ、且つ、他方の保護膜の端面の一部が一方の保護膜により覆われている
ことを特徴とする液体吐出ヘッドである。
基板と、前記基板の上面に設けられた第一の保護膜及び記録素子と、流路及び該流路に連通する吐出口と、前記基板の下面に開口した開口から前記基板と前記第一の保護膜とを貫通し、前記流路と接続され、前記流路に液体を供給する供給口と、前記供給口の側面を保護する第二の保護膜とを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記基板の上面に、第一の保護膜、記録素子、流路となる樹脂パターン及び該樹脂パターンを覆うオリフィスプレートを形成する工程と、
前記基板の下面から前記基板の上面に設けられた樹脂パターンに到達する供給口を設ける工程と、
その後、前記供給口を介し前記樹脂パターンを除去し、流路を形成する工程と、を有し、
前記樹脂パターンが前記第一の保護膜に接して形成され、
前記供給口を設ける工程が、
(1)前記基板の下面から前記第一の保護膜に達する開孔を設ける工程と、
(2)次に、前記開孔に露出した前記第一の保護膜の一部を除去する工程と、
(3)その後、少なくとも前記開孔の内表面に第二の保護膜を形成する工程と、
(4)前記開孔内の前記第一の保護膜の残りの部分の上に形成された第二の保護膜を、該開孔の側面にある第二の保護膜を残しつつ除去し、該第一の保護膜の残りの部分を露出させる工程と、
(5)その後、前記開孔内に露出した前記第一の保護膜の残りの部分を除去し、樹脂パターンに到達する供給口を設ける工程と、
を有する
ことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
基板と、前記基板の上面に設けられた第一の保護膜及び記録素子と、流路及び該流路に連通する吐出口と、前記基板の下面に開口した開口から前記基板と前記第一の保護膜とを貫通し、前記流路と接続され、前記流路に液体を供給する供給口と、前記供給口の側面を保護する第二の保護膜とを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記基板の上面に、第一の保護膜、記録素子、流路となる樹脂パターン及び該樹脂パターンを覆うオリフィスプレートを形成する工程と、
前記基板の下面から前記基板の上面に設けられた樹脂パターンに到達する供給口を設ける工程と、
その後、前記供給口を介し前記樹脂パターンを除去し、流路を形成する工程と、を有し、
前記樹脂パターンが前記第一の保護膜に接して形成され、
前記供給口を設ける工程が、
(1)前記基板の下面から前記第一の保護膜に達する開孔を設ける工程と、
(2)次に、前記開孔に露出した前記第一の保護膜の一部を除去する工程と、
(3)その後、少なくとも前記開孔の内表面に第二の保護膜を形成する工程と、
(4)前記開孔内の前記第一の保護膜の残りの部分の上に形成された第二の保護膜を、該開孔の側面にある第二の保護膜を残しつつ除去し、該第一の保護膜の残りの部分を露出させる工程と、
(5)工程(4)を経て得られた開孔内の構造に対して、上記(2)〜(4)の工程を1回または複数回繰り返し、前記開孔の底部に該第一の保護膜の残りの部分を露出させる工程と、
(6)その後、前記開孔内に露出した前記第一の保護膜の残りの部分を除去し、樹脂パターンに到達する供給口を設ける工程と、を有する
ことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
(A)第一の保護膜の端面が第二の保護膜で覆われており、第二の保護層の端面の一部が第一の保護膜で覆われた構造。
(B)第二の保護膜の端面が第一の保護膜で覆われており、第一の保護膜の端面の一部が第二の保護層で覆われた構造。
(第一の方法)
第一の方法は以下の工程を有する。
・基板の上面に、第一の保護膜、記録素子、流路となる樹脂パターン及び該樹脂パターンを覆うオリフィスプレートを形成する工程。
・基板の下面から基板の上面に設けられた樹脂パターンに到達する供給口を設ける工程。・その後、供給口を介し樹脂パターンを除去し、流路を形成する工程。
(1)前記基板の下面から前記第一の保護膜に達する開孔を設ける工程。
(2)次に、前記開孔に露出した前記第一の保護膜の一部を除去する工程。
(3)その後、少なくとも前記開孔の内表面に第二の保護膜を形成する工程。
(4)前記開孔内の前記第一の保護膜の残りの部分の上に形成された第二の保護膜を、該開孔の側面にある第二の保護層を残しつつ除去し、該第一の保護膜の残りの部分を露出させる工程。
(5)その後、前記開孔内に露出した前記第一の保護膜の残りの部分を除去し、樹脂パターンに到達する供給口を設ける工程。
第2の方法は以下の工程を有する。
・基板の上面に、第一の保護膜、記録素子、流路となる樹脂パターン及び該樹脂パターンを覆うオリフィスプレートを形成する工程。
・基板の下面から基板の上面に設けられた樹脂パターンに到達する供給口を設ける工程。・その後、供給口を介し樹脂パターンを除去し、流路を形成する工程。
(1)前記基板の下面から前記第一の保護膜に達する開孔を設ける工程。
(2)次に、前記開孔に露出した前記第一の保護膜の一部を除去する工程。
(3)その後、少なくとも前記開孔の内表面に第二の保護膜を形成する工程。
(4)前記開孔内の前記第一の保護膜の残りの部分の上に形成された第二の保護膜を、該開孔の側面にある第二の保護層を残しつつ除去し、該第一の保護膜の残りの部分を露出させる工程。
(5)工程(4)を経て得られた開孔内の構造に対して、上記(2)〜(4)の工程を1回または複数回繰り返し、前記開孔の底部に該第一の保護膜の残りの部分を露出させる工程。
(6)その後、前記開孔内に露出した前記第一の保護膜の残りの部分を除去し、樹脂パターンに到達する供給口を設ける工程。
以下、実施例により本発明を用いた液体吐出ヘッドの作成を、図8に示す工程断面図を用い、更に詳しく説明する。
本発明の構成により、基板をインク等の液体から保護する保護膜の保護性能が向上することを確認するために、以下に示す実験を行った。
2 第1の保護膜
3 開孔
4 第二の保護膜
11 基板
12 熱酸化シリコン膜
13 記録素子
14 酸化シリコン膜
15 液体流路型材
16 オリフィスプレート
17 インク吐出口
18 ポジレジスト
19 開孔
20 液体供給口
21 パリレン樹脂膜
23 液体流路
Claims (6)
- 基板と、前記基板の上面に設けられた第一の保護膜及び記録素子と、流路及び該流路に連通する吐出口と、前記基板の下面に開口した開口から前記基板と前記第一の保護膜とを貫通し、前記流路と接続され、前記流路に液体を供給する供給口と、前記供給口の側面を保護する第二の保護膜とを有する液体吐出ヘッドであって、
前記第一の保護膜及び前記第二の保護膜は、前記流路と前記供給口との接続部において、一方の保護膜の端面の全てが他方の保護膜により覆われ、且つ、他方の保護膜の端面の一部が一方の保護膜により覆われていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記第一の保護膜及び前記第二の保護膜の少なくとも一方の保護膜が、2層以上の層の積層膜であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第一の保護膜がシリコン系絶縁膜からなり、前記第二の保護膜が有機樹脂膜からなることを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記有機樹脂膜が、ポリパラキシリレン及びその誘導体、ポリ尿素樹脂、及び、ポリイミド樹脂からなる群から選ばれた1以上の有機材料からなる膜であることを特徴とする請求項3に記載の液体吐出ヘッド。
- 基板と、前記基板の上面に設けられた第一の保護膜及び記録素子と、流路及び該流路に連通する吐出口と、前記基板の下面に開口した開口から前記基板と前記第一の保護膜とを貫通し、前記流路と接続され、前記流路に液体を供給する供給口と、前記供給口の側面を保護する第二の保護膜とを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記基板の上面に、第一の保護膜、記録素子、流路となる樹脂パターン及び該樹脂パターンを覆うオリフィスプレートを形成する工程と、
前記基板の下面から前記基板の上面に設けられた樹脂パターンに到達する供給口を設ける工程と、
その後、前記供給口を介し前記樹脂パターンを除去し、流路を形成する工程と、を有し、
前記樹脂パターンが前記第一の保護膜に接して形成され、
前記供給口を設ける工程が、
(1)前記基板の下面から前記第一の保護膜に達する開孔を設ける工程と、
(2)次に、前記開孔に露出した前記第一の保護膜の一部を除去する工程と、
(3)その後、少なくとも前記開孔の内表面に第二の保護膜を形成する工程と、
(4)前記開孔内の前記第一の保護膜の残りの部分の上に形成された第二の保護膜を、該開孔の側面にある第二の保護膜を残しつつ除去し、該第一の保護膜の残りの部分を露出させる工程と、
(5)その後、前記開孔内に露出した前記第一の保護膜の残りの部分を除去し、樹脂パターンに到達する供給口を設ける工程と、を有する
ことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 基板と、前記基板の上面に設けられた第一の保護膜及び記録素子と、流路及び該流路に連通する吐出口と、前記基板の下面に開口した開口から前記基板と前記第一の保護膜とを貫通し、前記流路と接続され、前記流路に液体を供給する供給口と、前記供給口の側面を保護する第二の保護膜とを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記基板の上面に、第一の保護膜、記録素子、流路となる樹脂パターン及び該樹脂パターンを覆うオリフィスプレートを形成する工程と、
前記基板の下面から前記基板の上面に設けられた樹脂パターンに到達する供給口を設ける工程と、
その後、前記供給口を介し前記樹脂パターンを除去し、流路を形成する工程と、を有し、
前記樹脂パターンが前記第一の保護膜に接して形成され、
前記供給口を設ける工程が、
(1)前記基板の下面から前記第一の保護膜に達する開孔を設ける工程と、
(2)次に、前記開孔に露出した前記第一の保護膜の一部を除去する工程と、
(3)その後、少なくとも前記開孔の内表面に第二の保護膜を形成する工程と、
(4)前記開孔内の前記第一の保護膜の残りの部分の上に形成された第二の保護膜を、該開孔の側面にある第二の保護膜を残しつつ除去し、該第一の保護膜の残りの部分を露出させる工程と、
(5)工程(4)を経て得られた開孔内の構造に対して、上記(2)〜(4)の工程を1回または複数回繰り返し、前記開孔の底部に該第一の保護膜の残りの部分を露出させる工程と、
(6)その後、前記開孔内に露出した前記第一の保護膜の残りの部分を除去し、樹脂パターンに到達する供給口を設ける工程と、を有する
ことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
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