JP6192438B2 - 液体吐出ヘッドおよび記録装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態を適用可能な記録装置を示した斜視図である。本実施形態における記録装置は、シリアルスキャン方式の記録装置であり、ガイド軸202によって、キャリッジ200が矢印Aの主走査方向に移動自在にガイドされている。キャリッジ200にはベルト204が連結され、そのベルト204はプーリ205、206の間に架け渡されている。キャリッジモータ203によって駆動されるプーリ205の回転方向に応じて、ベルト204を介して、キャリッジ200が主走査方向に往復移動する。キャリッジ200には、液体吐出ヘッド201が搭載されている。液体吐出ヘッド201は、液体を吐出可能な液体吐出液体吐出ヘッドであり、キャリッジ200に4色のインクに対応した液体吐出ヘッド201を搭載している。キャリッジ200にブラックインク用の液体吐出ヘッド201K、シアンインク用の液体吐出ヘッド201C、マゼンタインク用の液体吐出ヘッド201M及びイエローインク用の液体吐出ヘッド201Yを搭載することで、カラー画像を記録することができる。
(A)に示すように、エネルギー発生素子7が配置されている基板1にポジ型感光性樹脂層を形成し、フォトリソグラフ工程により、ポジ型感光性樹脂層をパターニングしてインク流路9のパターンを形成する。次に(B)に示すように、インク流路9のパターンが形成された基板1上に、流路形成部材2の部材となるネガ型感光性樹脂層をパターニングして吐出口3のパターンを形成する。そして、(C)のように、Siを異方性エッチングすることによってインク供給口8を形成する。その後、(D)に示すように、インク流路9のパターンを形成していたポジ型感光性樹脂層を除去することで、流路形成部材2にインク流路が形成される。
以下、図面を参照して本発明のその他の実施形態を説明する。なお、本実施形態の基本的な構成は前述の実施形態と同様であるため、以下では、特徴的な構成についてのみ説明する。
2 流路形成部材
3 吐出口
4 支持部材
6 液体吐出ヘッド
7 エネルギー発生素子
11 応力分散部
Claims (5)
- 液体を吐出する吐出口を備えた流路形成部材と、前記流路形成部材を備えシリコンで形成された基板と、前記流路形成部材が設けられた面とは反対側の前記基板の面と接着され、前記基板を支持する支持部材と、を備えた液体吐出ヘッドにおいて、
前記基板は、前記流路形成部材が設けられた面とは反対側の前記基板の前記面に沿って延在する溝を側面に備えていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記溝は、前記基板の全ての側面に亘る全周に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記流路形成部材が設けられた面とは反対の前記基板の前記面から前記溝までの高さを高さh、前記溝の深さを深さLとしたとき、高さhと深さLとの関係は、高さh≦深さLであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記溝は、複数の溝であることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする記録装置。
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