JP4974751B2 - インクジェットヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
図5は、本発明の第2の実施形態に係るインクジェットヘッドの部分断面図である。
本発明の第3の実施形態について、図7(a)〜図7(h)を参照して説明する。本発明の第3の実施形態は、流路形成部材と基板との密着力がより向上された例に関するものである。
本発明の第4の実施形態について、図8(a)〜図8(d)及び図9を参照して説明する。図8(a)〜図8(d)は本発明の第4の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造工程を示す模式的断面図であり、図1におけるB−B線に沿った断面に相当する。また、図9は本発明の第4の実施形態に係るインクジェットヘッドを吐出口から基板に向かう方向に見た透視図である。
2 エネルギー発生素子
3 インク供給口
4 吐出口
5 密着層
6 第1の流路形成部材
7 第2の流路形成部材
14 パターン
15 流路
Claims (9)
- インクを吐出する複数の吐出口と、前記吐出口に連通する複数の流路と、を有するインクジェットヘッドの製造方法であって、
基板の上に密着層のパターンを形成する工程と、
前記基板の上の少なくとも前記複数の流路同士を仕切る部分である流路の側壁となる部位に、第1の流路形成部材を、前記基板と前記第1の流路形成部材との間において前記密着層のパターンが完全に被覆されるように形成する工程と、
前記流路の型となる型パターンであって、前記基板と前記第1の流路形成部材の前記流路の側壁となる部分との上にまたがって形成されており、前記流路の側壁となる部分における一部を被覆し、他の部分を被覆していない前記型パターンを形成する工程と、
前記第1の流路形成部材と前記型パターンとの上に、前記第1の流路形成部材に対応する材料により構成される第2の流路形成部材を形成する工程と、
前記第2の流路形成部材に前記吐出口を形成する工程と、
前記型パターンを除去することにより、前記流路を形成する工程と、
を有するインクジェットヘッドの製造方法。 - 少なくとも前記他の部分において、前記第1の流路形成部材と前記第2の流路形成部材とが接触する、請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記第1の流路形成部材を形成する工程において、前記第1の流路形成部材を、前記流路の側壁となる部分に挟まれる位置にも形成する、請求項2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記第1の流路形成部材と前記第2の流路形成部材とを同一の材料で形成する、請求項1から3のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記第1の流路形成部材と前記第2の流路形成部材とをエポキシ樹脂の硬化物によって形成する、請求項1から4のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記型パターンはポジ型感光性樹脂からなる、請求項1から5のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記吐出口を、インクを吐出するために用いられるエネルギーを発生するエネルギー発生素子と対向する位置に形成する、請求項1から6のいずれか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- インクを吐出するために用いられるエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、
インクを吐出する吐出口と、
前記吐出口に連通する流路と、
前記流路にインクを供給するための供給口と、
前記流路を形成する流路形成部材と、
密着層のパターンと、
を有し、
前記流路形成部材は、前記基板の上の前記供給口が開口した位置からエネルギー発生素子が配置された位置までの間において、吐出口が形成された面と対向する位置にも形成されており、前記吐出口が形成された面と対向する位置に形成された前記流路形成部材と、前記基板との間において、前記密着層のパターンが前記流路形成部材に完全に被覆されているインクジェットヘッド。 - 前記流路において、前記供給口から前記流路に至るまでの間に、前記流路形成部材と一体に構成されたフィルタ部材が形成され、前記フィルタ部材は前記吐出口が形成された面と対向する位置に形成された前記流路形成部材と連続している、請求項8に記載のインクジェットヘッド。
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