JP4671330B2 - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
(i)フェムト秒レーザ加工範囲が狭いため、1ウエハにかかる加工処理時間が長く、大量生産には不向きである。
(ii)レーザ加工時に加工屑が生成するため、その加工屑を除去する工程が必要となる。
(iii)通常の半導体プロセスで使用されない装置を別途購入する必要がある。
(a)前記基板上に、シリコン系化合物からなる第一の層を形成する工程と、
(b)フォトリソ技術により形成したパターンを用いて前記第一の層をパターニングすることで、インク流路パターン層とする工程と、
(c)前記インク流路パターン層上に、金属材料からなる第二の層を形成する工程と、
(d)前記第二の層をパターニングして、インク吐出口パターン層とする工程と、
(e)前記基板上の前記インク流路パターン層及び前記インク吐出口パターン層を覆う位置に、ノズル材層を形成する工程と、
(f)前記ノズル材層をパターニングして、前記インク吐出口パターン層と連通するインク吐出口開口端部を形成する工程と、
(g)前記インク流路パターン層及び前記インク吐出口パターン層をウエットエッチングにより除去して、前記インク流路及び前記インク吐出口を形成する工程と、
を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
(a)インクを吐出するためのインク吐出圧発生素子が設けられた基板上に、シリコン系化合物からなる第一の層を形成する工程と、
(b)前記第一の層をパターニングして、インク流路パターン層とする工程と、
(c)前記インク流路パターン層上に、金属材料からなる第二の層を形成する工程と、
(d)前記第二の層をパターニングして、インク吐出口パターン層とする工程と、
(e)前記基板上のインク流路パターン層及び前記インク吐出口パターン層を覆う位置に、ノズル材層を形成する工程と、
(f)前記ノズル材層をパターニングして、前記インク吐出口パターン層と連通するインク吐出口開口端部を形成する工程と、
(g)前記インク流路パターン層及び前記インク吐出口パターン層をウエットエッチングにより除去して、インク流路及びインク吐出口を形成する工程と、
を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法である。
図1に、本発明の実施例1のインクジェット記録ヘッドにおけるインク吐出機構部分の製造フローを示し、その概要について説明する。なお、図1は、図3のA−A’部を切断した断面にあたる。
図2に、本発明の実施例2のインクジェット記録ヘッドにおけるインク吐出機構部分の製造フローを示し、その概要について説明する。なお、図2は、図3のA−A’部を切断した断面にあたる。
2:インク吐出圧発生素子
3:熱酸化膜
4:ポリシリコン
5:ポジ型レジスト
6:アルミニウム
7:シリコン酸化膜
8:シリコン窒化膜
9:インク吐出口
10:インク供給口
11:シリコン基板[(110)面の結晶方位を有する基板]
12:パターン層
13:無機材料層
91:インク吐出口開口端部
Claims (5)
- インクを吐出するインク吐出口と、前記インク吐出口と連通するインク流路と、前記インクを吐出するための圧力を発生させる素子を備えた基板とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
(a)前記基板上に、シリコン系化合物からなる第一の層を形成する工程と、
(b)フォトリソ技術により形成したパターンを用いて前記第一の層をパターニングすることで、インク流路パターン層とする工程と、
(c)前記インク流路パターン層上に、金属材料からなる第二の層を形成する工程と、
(d)前記第二の層をパターニングして、インク吐出口パターン層とする工程と、
(e)前記基板上の前記インク流路パターン層及び前記インク吐出口パターン層を覆う位置に、ノズル材層を形成する工程と、
(f)前記ノズル材層をパターニングして、前記インク吐出口パターン層と連通するインク吐出口開口端部を形成する工程と、
(g)前記インク流路パターン層及び前記インク吐出口パターン層をウエットエッチングにより除去して、前記インク流路及び前記インク吐出口を形成する工程と、
を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 前記シリコン系化合物として、ポリシリコンを用いることを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記金属材料として、Al、Al−Cu、Al−Si、及びAl−Si−Cuのいずれかを用いることを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記工程(d)において、テーパー形状のインク吐出口パターン層が形成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記ノズル材層を、シリコン酸化膜またはシリコン窒化膜で形成することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
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2005
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