JP4834426B2 - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
(1)インク吐出圧力発生素子が形成された基体上に、溶解可能な樹脂にてインク流路パターンを形成する工程。
(2)常温にて固体状のエポキシ樹脂を含む被覆樹脂を溶媒に溶解し、これを前記溶解可能な樹脂層上にソルベントコートすることによって、前記溶解可能な樹脂層上にインク流路壁となる被覆樹脂層を形成する工程。
(3)前記インク吐出圧力発生素子上方の前記被覆樹脂層にインク吐出口を形成する工程。
(4)前記溶解可能な樹脂層を溶出する工程。
インク吐出エネルギー発生素子が形成された基板上に、ポジ型の樹脂により液流路型材を形成する工程と、
前記液流路型材が形成された基板上に、ネガ型の感光性樹脂により被覆樹脂層を形成する工程と、
前記被覆樹脂層を露光及び現像して、前記被覆樹脂層にインク吐出口を形成する工程と、
前記液流路型材を除去して、液流路を形成する工程と、
を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記被覆樹脂層の露光時における、前記被覆樹脂層の、前記液流路型材の上方に位置する領域以外の露光領域に与えられる単位面積あたりの露光エネルギーが、前記被覆樹脂層の、前記液流路型材の上方に位置する露光領域に与えられる単位面積あたりの露光エネルギーより大きいことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法である。
図1−(A)〜(I)は、本発明のインクジェット記録ヘッドの基本的な製造工程を示した断面模式図である。なお、図1−(A)〜(I)は、インクジェット記録ヘッドの一部を破断して示す斜視模式図である図2のA−A断面模式図に相当する。
図3−(A)〜(H)は、従来のインクジェット記録ヘッドの基本的な製造工程を示した断面模式図である。なお、図3−(A)〜(H)は、インクジェット記録ヘッドの一部を破断して示す斜視模式図である図2のA−A断面模式図に相当する。
以上の実施例1及び2、並びに比較例1及び2で作製したインクジェット記録ヘッドについて、クラック発生及び密着性の評価を行った。結果を表1に示す。なお、クラック発生の評価としては、被覆樹脂層9を露光及び現像して、被覆樹脂層9にインク吐出口11を形成した後の液流路型材8に発生するクラックの有無を検査する。そして、クラック発生がない場合に「○」、クラック発生がある場合に「×」とした。また、密着性の評価としては、基板1上の密着向上層6と被覆樹脂層9とが密着しているか否かを検査する。具体的には、例えば液流路内にインク等の液体を充填させ、密着向上層6と被覆樹脂層9との界面にインクが介在するかどうかで評価できる。そして、密着向上層6と被覆樹脂層9との界面にインクが介在しない場合に「○」、インクが介在する場合に「×」とした。
本発明は、製造段階での液流路型材の高さを変化させ、異なる高さの液流路を有するインクジェット記録ヘッドの製造にも好適である。例えば、図4に示すような構造を有するインクジェット記録ヘッドが挙げられる。このインクジェット記録ヘッドの製造は、液流路型材8を二段に形成し、露光の際には、オリフィスプレートの厚さの異なる領域のそれぞれに最適な露光エネルギーが与えられるようにすること以外は、前記実施例と同様の方法で行うことができる。
2:インク吐出エネルギー発生素子
3:SiO2膜
4:保護層
5:犠牲層
6:密着向上層
7:ポリエーテルアミド樹脂層
8:液流路型材
9:被覆樹脂層
10:撥水層
11:インク吐出口
12:保護材
13:インク供給口
14:マスク
Claims (3)
- インク吐出エネルギー発生素子が形成された基板上に、ポジ型の樹脂により液流路型材を形成する工程と、
前記液流路型材が形成された基板上に、ネガ型の感光性樹脂により被覆樹脂層を形成する工程と、
前記被覆樹脂層を露光及び現像して、前記被覆樹脂層にインク吐出口を形成する工程と、
前記液流路型材を除去して、液流路を形成する工程と、
を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記被覆樹脂層の露光時における、前記被覆樹脂層の、前記液流路型材の上方に位置する領域以外の露光領域に与えられる単位面積あたりの露光エネルギーが、前記被覆樹脂層の、前記液流路型材の上方に位置する露光領域に与えられる単位面積あたりの露光エネルギーより大きいことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 前記被覆樹脂層を露光する方法として、前記被覆樹脂層の、前記液流路型材の上方に位置する領域以外の露光領域を露光した後、前記被覆樹脂層の、前記液流路型材の上方に位置する露光領域を露光することを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記液流路型材の上方に位置する露光領域に与えられる露光エネルギーが、40〜110mJ/cm2である請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
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