JP5063390B2 - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
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(1)溶解可能な樹脂にてインク流路パターンを形成する工程、
(2)常温にて固体状のエポキシ樹脂を含む被覆樹脂を塗布する工程、
(3)インク吐出口を形成する工程、
(4)溶解可能な樹脂の層を溶解する工程。
前記密着層の上に、インク流路となる型材及び前記型材を被覆する被覆樹脂層を形成する工程と、
前記被覆樹脂層に吐出口を形成する工程と、
前記型材を除去して、インク流路を形成する工程と
を有し、
前記型材と接する領域の前記密着層にUV光を照射して、その領域の前記密着層を前記型材に溶解可能な状態に変性することで、前記型材の除去と同時に前記変性された密着層を除去することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法である。
以下、本発明の第1の実施形態について図面を参照して説明する。図1−1及び1−2(これらをあわせて「図1」と称する)は、第1の実施形態によるインクジェット記録ヘッドの製造方法を説明するための図であり、図1(A)〜(J)が各工程における模式的断面図である。なお、図1(A)〜(J)は、図3のA−A断面に相当する。
以下、本発明の第2の実施形態について図面を参照して説明する。図4−1及び4−2(これらをあわせて「図4」と称する)は、第2の実施形態によるインクジェット記録ヘッドの製造方法を説明するための図であり、図4(A)〜(K)が各工程における模式的断面図である。なお、図4(A)〜(K)は、図3のA−A断面に相当する。
以下、本発明の第3の実施形態について図面を参照して説明する。図5−1及び5−2(これらをあわせて「図5」と称する)は、第3の実施形態によるインクジェット記録ヘッドの製造方法を説明するための図であり、図5(A)〜(K)が各工程における模式的断面図である。なお、図5(A)〜(K)は、図3のA−A断面に相当する。
2 犠牲層
3 発熱抵抗素子
4 保護膜
6 酸化膜
7 ポリエーテルアミド樹脂
8 ポリエーテルアミド樹脂
9 下部被覆樹脂層
10 型材
11 型材となる層
12 被覆樹脂層
13 撥水材
14 吐出口
15 保護材
16 インク供給口
17 インク流路
18 OH距離
20 マスク
21 変性したポリエーテルアミド樹脂
22 溶解したポリエーテルアミド樹脂
23 下部被覆樹脂層
Claims (4)
- 複数の発熱抵抗素子が形成されている基板の上に、ポリエーテルアミド樹脂からなる密着層を形成する工程と、
前記密着層の上に、インク流路となる型材及び前記型材を被覆する被覆樹脂層を形成する工程と、
前記被覆樹脂層に吐出口を形成する工程と、
前記型材を除去して、インク流路を形成する工程と
を有し、
前記型材と接する領域の前記密着層にUV光を照射して、その領域の前記密着層を前記型材に溶解可能な状態に変性することで、前記型材の除去と同時に前記変性された密着層を除去することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 前記型材と接する領域の前記密着層のみにUV光を照射可能なマスクを介して、UV光を照射することを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記密着層の上に前記被覆樹脂層の下部を構成する下部被覆樹脂層を形成した後、全面にUV光を照射することを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記下部被覆樹脂層及び前記密着層を前記型材となる樹脂で被覆した後、前記型材となる樹脂を前記下部被覆樹脂層が露出するまでCMP法で研磨することを特徴とする請求項3に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
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JP2009178907A JP2009178907A (ja) | 2009-08-13 |
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