JP4976739B2 - 記録ヘッド、およびその製造方法 - Google Patents
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Description
3 エネルギー発生素子
5 電気接続用パッド
13 撥水材
14 吐出口
26 素子基板
28 オリフィスプレート
S1 第1の面
S2 第2の面
Claims (4)
- インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、該エネルギー発生素子への電気エネルギーを供給する電気接続用パッドとが形成された素子基板と、前記エネルギー発生素子に対応してインクの吐出口が形成されたオリフィスプレートと、を有するインクジェットヘッド用基板と、
前記電気接続用パッドと電気的に接続されて、該電気接続用パッドとともに電気接続部を構成するインナーリードを備えたフレキシブル配線基板と、
前記電気接続部を封止する封止材と、を有し、
前記オリフィスプレートの記録媒体と対向する面は、前記吐出口が形成された第1の面と、前記電気接続用パッドに隣接する縁部に沿って、該第1の面よりも前記素子基板からの高さが低く形成された第2の面と、を有し、前記第1の面は前記第2の面よりも高い撥水性を有し、前記封止材は、前記第1の面を覆うことなく前記第2の面を覆っている、記録ヘッド。 - 前記吐出口は、前記オリフィスプレートの長手方向に延びる吐出口群を形成し、
前記電気接続用パッドは前記長手方向の両端側に各々形成され、
前記オリフィスプレートは、
前記エネルギー発生素子を取り囲む外周壁と、
前記外周壁の内部空間を覆って、前記長手方向に延びる天井部と、
を有する、請求項1に記載の記録ヘッド。 - 前記オリフィスプレートはネガ型の感光性樹脂から形成されている、請求項1または2に記載の記録ヘッド。
- インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子が素子基板の長手方向に沿って形成され、該エネルギー発生素子への電気エネルギーを供給する電気接続用パッドが該長手方向の両端側に各々形成され設けられた前記素子基板に、該複数のエネルギー発生素子を取り囲むように外周壁を形成するステップと、
前記外周壁の内部空間を覆って前記長手方向に延びる天井部を、該天井部の該長手方向の寸法が該外周壁の長手方向の寸法よりも小さくなるように形成するステップと、
前記天井部の上面に、前記外周壁の上面よりも撥水性の高い撥水材を形成するステップと、
フレキシブル配線基板のインナーリードを前記電気接続用パッドと電気的に接続し、前記インナーリード及び前記電気接続用パッドによって電気接続部を構成するステップと、
前記外周壁の前記上面の、前記電気接続用パッドに隣接する縁部に沿った、前記天井部で覆われていない部分が封止材で覆われ、前記天井部の上面が封止材で覆われないように、前記電気接続部を前記封止材で封止するステップと、
を有する、記録ヘッドの製造方法。
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