JP2007230234A - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】インクを吐出するためのエネルギー発生素子2、及び、該エネルギー発生素子2にインクを供給するための供給口13を有する基板1と、該基板1上に形成され、インクを吐出するための吐出口11、及び、該吐出口11と前記供給口13とを連通する流路を形成するための流路形成部材とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、前記基板1上に流路形成部材の一部となる流路の側壁9aを成形する工程と、流路の側壁9a上に、流路形成部材の一部となる層を貼り合わせる工程と、該層に吐出口11を形成する工程とを有する。
【選択図】図3
Description
以下、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の一例として、密着層を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法を、図1のAA位置の断面における模式断面図を示す図3を参照して、順次工程を追って説明する。
本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の第2の実施形態として、感光性を有する密着材料を用いて密着層を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法を、図5の模式断面図を参照して、順次工程を追って説明する。なお、上記実施態様と同様にして行う工程の説明は省略する。
密着材料として感光性を有する材料としては、例えば、ポリエーテルアミドと、架橋剤と、感光により触媒物質を発生させる感光性触媒を含むものを挙げることができる。具体的には、架橋剤としてメラミン系化合物、感光性触媒として光酸発生剤として知られているものを挙げることができる。また、エポキシ樹脂と光酸発生剤とを含むネガ型感光性材料を挙げることができる。
本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法の第3の実施形態として、密着層の形成後、流路側壁を形成することにより、双方の材料の選択性を拡げたインクジェット記録ヘッドの製造方法を、図6の模式断面図を参照して、順次工程を追って説明する。なお、上記実施態様と同様にして行う工程の説明は省略する。
2 エネルギー発生素子
6、61、62 密着層
6a、61a、62a 密着材料
9 流路形成部材
9a、91a、92a 流路の側壁
9b 層
10 撥水剤
11 吐出口
12a 流路
13 供給口
Claims (11)
- インクを吐出するためのエネルギー発生素子、及び、該エネルギー発生素子にインクを供給するための供給口を有する基板と、
該基板上に形成され、インクを吐出するための吐出口、及び、該吐出口と前記供給口とを連通する流路を形成するための流路形成部材とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
前記基板上に流路形成部材の一部となる流路の側壁を成形する工程と、
流路の側壁上に、流路形成部材の一部となる層を貼り合わせる工程と、
該層に吐出口を形成する工程とを有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 前記層が感光性材料で形成され、該感光性材料を露光及び現像して吐出口を形成することを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記基板と流路の側壁との間に密着層を設けることを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記基板上に前記密着層を形成するための密着材料を積層する工程と、
密着材料上に流路形成部材の一部となる感光性材料を積層し、露光及び現像により流路の側壁を成形する工程と、
流路の側壁をマスクとして、前記密着材料をパターニングして密着層を成形する工程とを有することを特徴とする請求項3に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 前記密着材料が、ポリエーテルアミド樹脂を含有することを特徴とする請求項4に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記密着材料が、エポキシ樹脂を含有することを特徴とする請求項4に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記密着材料のパターニングはドライエッチングにより行うことを特徴とする請求項4から6のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記基板上に前記密着層を形成するための感光性を有する密着材料を積層する工程と、
該密着材料上に流路形成部材の一部となる感光性材料を積層する工程と、
該感光性材料と前記密着材料とを一括してパターニングして密着層及び流路の側壁を成形する工程とを有することを特徴とする請求項3に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 前記密着材料が、ポリエーテルアミド樹脂を含有することを特徴とする請求項8に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記密着材料が、エポキシ樹脂を含有することを特徴とする請求項8に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
- 前記流路の側壁と、前記流路の側壁上に貼り合わせる層とを同じ組成の材料により形成することを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007024152A JP2007230234A (ja) | 2006-02-02 | 2007-02-02 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006025777 | 2006-02-02 | ||
JP2007024152A JP2007230234A (ja) | 2006-02-02 | 2007-02-02 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2007230234A true JP2007230234A (ja) | 2007-09-13 |
JP2007230234A5 JP2007230234A5 (ja) | 2010-03-18 |
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ID=38551277
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007024152A Pending JP2007230234A (ja) | 2006-02-02 | 2007-02-02 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2007230234A (ja) |
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