JP2002187283A - インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体製造工程を用いて結晶板にノズル、イ
ンクチャンバ、インクプールを形成するインクジェット
記録ヘッドで１枚のウェハーからとれるヘッド数を多く
して、そのコストを低減したい。また、多色印刷用のイ
ンクジェット記録ヘッドでの色合わせ工程を簡易化す
る。 【解決手段】 インクジェット記録ヘッドで、シリコン
基板によって作られる部分を、ノズル、インクチャンバ
とインクチャンバにインクを供給するインク供給路の一
部にし、他のインク供給路は別の部材で作りシリコン基
板で作られた部分に連結する。またインクジェット記録
ヘッドの複数を単位ブロックとして半導体製造工程によ
り形成し、シリコン基板からブロック単位で切り出す。
ンクチャンバ、インクプールを形成するインクジェット
記録ヘッドで１枚のウェハーからとれるヘッド数を多く
して、そのコストを低減したい。また、多色印刷用のイ
ンクジェット記録ヘッドでの色合わせ工程を簡易化す
る。 【解決手段】 インクジェット記録ヘッドで、シリコン
基板によって作られる部分を、ノズル、インクチャンバ
とインクチャンバにインクを供給するインク供給路の一
部にし、他のインク供給路は別の部材で作りシリコン基
板で作られた部分に連結する。またインクジェット記録
ヘッドの複数を単位ブロックとして半導体製造工程によ
り形成し、シリコン基板からブロック単位で切り出す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インク液滴を記録
媒体へ飛翔させ、画像記録等を行うインクジェット記録
ヘッドとその製造方法に関する。
媒体へ飛翔させ、画像記録等を行うインクジェット記録
ヘッドとその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録ヘッドには微細な画
像表現が可能な小型でかつノズル間隔精度の高いインク
ジェット記録ヘッドが求められている。
像表現が可能な小型でかつノズル間隔精度の高いインク
ジェット記録ヘッドが求められている。
【０００３】出願人は、インクを吐出するノズル、ノズ
ルに連通し充填されたインクに圧力を与えるインクチャ
ンバ、インクチャンバにそれぞれインクを供給するイン
クプール支流、インクプール支流に共通して連通しイン
クタンクからのインクを供給するインクプール本流、イ
ンクタンクとの接続がなされるインク供給口をシリコン
基板に形成し、これをダイシングで切り出したインクジ
ェット記録ヘッドおよびその製造方法を提案した（特願
２０００−７８８７１、特願２０００−７８９５３、特
願２０００−３０７０４９）。また、ノズル、インクチ
ャンバをマトリクス状に配置し、ノズルとインクチャン
バの行方向が印字方向に対して若干傾き、ノズル、イン
クチャンバがマトリクス状に配置されたインクジェット
記録ヘッドの構造についても特願平２０００−３０７０
４９として提案した。
ルに連通し充填されたインクに圧力を与えるインクチャ
ンバ、インクチャンバにそれぞれインクを供給するイン
クプール支流、インクプール支流に共通して連通しイン
クタンクからのインクを供給するインクプール本流、イ
ンクタンクとの接続がなされるインク供給口をシリコン
基板に形成し、これをダイシングで切り出したインクジ
ェット記録ヘッドおよびその製造方法を提案した（特願
２０００−７８８７１、特願２０００−７８９５３、特
願２０００−３０７０４９）。また、ノズル、インクチ
ャンバをマトリクス状に配置し、ノズルとインクチャン
バの行方向が印字方向に対して若干傾き、ノズル、イン
クチャンバがマトリクス状に配置されたインクジェット
記録ヘッドの構造についても特願平２０００−３０７０
４９として提案した。
【０００４】また、ノズル、インクチャンバを左右2列
に少しずらして配置したインクジェット記録ヘッドをシ
リコン基板に形成して切り出す構造のインクジェット記
録ヘッドが提案されている（特開平４−１４８９３６号
公報）。
に少しずらして配置したインクジェット記録ヘッドをシ
リコン基板に形成して切り出す構造のインクジェット記
録ヘッドが提案されている（特開平４−１４８９３６号
公報）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような半導体製造
工程を用いてシリコン基板にインクジェット記録ヘッド
を形成するものでは、インクジェット記録ヘッドを小型
化でき、また高精度な加工が可能となるため、高品質な
記録ができる利点がある一方、インクジェット記録ヘッ
ドをいかに安価にかつ歩留りよく製造することが求めら
れている。
工程を用いてシリコン基板にインクジェット記録ヘッド
を形成するものでは、インクジェット記録ヘッドを小型
化でき、また高精度な加工が可能となるため、高品質な
記録ができる利点がある一方、インクジェット記録ヘッ
ドをいかに安価にかつ歩留りよく製造することが求めら
れている。
【０００６】例えば、図１０に示すように、インクジェ
ット記録ヘッドを同じ向きに配置し、ノズル、インクチ
ャンバ、インクプール支流、インクプール本流、インク
タンクに接続する供給口を一つのインクジェット記録ヘ
ッドとし、２個を単位ブロックとした場合、この単位ブ
ロックの大きさが約２×３センチメートルの平行四辺形
であったとすると、４インチ径のウェハーからは６個の
ブロックしか製造することができない。このため、シリ
コン基板から製造したインクジェット記録ヘッドの価格
はいまだ高価なものとなっている。１枚のウェハーから
取り出すことができる数を多くすることができれば、製
造コストを大幅に低減することができる。
ット記録ヘッドを同じ向きに配置し、ノズル、インクチ
ャンバ、インクプール支流、インクプール本流、インク
タンクに接続する供給口を一つのインクジェット記録ヘ
ッドとし、２個を単位ブロックとした場合、この単位ブ
ロックの大きさが約２×３センチメートルの平行四辺形
であったとすると、４インチ径のウェハーからは６個の
ブロックしか製造することができない。このため、シリ
コン基板から製造したインクジェット記録ヘッドの価格
はいまだ高価なものとなっている。１枚のウェハーから
取り出すことができる数を多くすることができれば、製
造コストを大幅に低減することができる。
【０００７】また、シリコン基板にフォトエッチングを
行って製造する場合、製造工程に起因する原因で確率的
に不良品となる部分が発生する。１枚のウェハーから取
り出せるインクジェット記録ヘッドの数が少ないと、全
体として良品の数が少なくなり、１枚のウェハーから取
り出せる数を多くすることができれば、不具合になる製
品の割合を少なくして歩留りを上げることができるの
で、コストを低減することができる。
行って製造する場合、製造工程に起因する原因で確率的
に不良品となる部分が発生する。１枚のウェハーから取
り出せるインクジェット記録ヘッドの数が少ないと、全
体として良品の数が少なくなり、１枚のウェハーから取
り出せる数を多くすることができれば、不具合になる製
品の割合を少なくして歩留りを上げることができるの
で、コストを低減することができる。
【０００８】また、カラープリンタが実用化されてお
り、このときには、多色刷りとして、複数色のインクを
用い、Ｃ（シアン）、Ｍ（マゼンダ）、Ｙ（イエロー）
の３色のほか、黒の少なくとも4色のインクを用いるこ
とになる。ノズルのピッチ間が微細になるに従い、多色
刷りプリンタのヘッド間の位置合わせも高い精度を必要
としている。特にＣ、Ｍ、Ｙの３色について、そのヘッ
ド間に位置ずれが生ずると画質に与える影響は大きいた
め、これらのインクジェット記録ヘッド間の位置ずれが
生じないようにする必要がある。このため、例えばカラ
ー印刷用に４個インクジェット記録ヘッドを並列に並
べ、この４個のインクジェット記録ヘッド間に位置ずれ
がないように取付けるというのは、ノズルの開口径およ
びノズル間隔が微細になるにしたがって難しくなる。
り、このときには、多色刷りとして、複数色のインクを
用い、Ｃ（シアン）、Ｍ（マゼンダ）、Ｙ（イエロー）
の３色のほか、黒の少なくとも4色のインクを用いるこ
とになる。ノズルのピッチ間が微細になるに従い、多色
刷りプリンタのヘッド間の位置合わせも高い精度を必要
としている。特にＣ、Ｍ、Ｙの３色について、そのヘッ
ド間に位置ずれが生ずると画質に与える影響は大きいた
め、これらのインクジェット記録ヘッド間の位置ずれが
生じないようにする必要がある。このため、例えばカラ
ー印刷用に４個インクジェット記録ヘッドを並列に並
べ、この４個のインクジェット記録ヘッド間に位置ずれ
がないように取付けるというのは、ノズルの開口径およ
びノズル間隔が微細になるにしたがって難しくなる。
【０００９】本発明は、上述の問題を解決して一つのウ
ェハーから取り出すことができる数を多くでき、安価な
インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供す
ることを目的とする。また、多色印刷用プリンタのイン
クジェット記録ヘッドの相互間の位置ずれの発生をなく
し、微細で高品質な多色印刷が可能なインクジェット記
録ヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とす
る。
ェハーから取り出すことができる数を多くでき、安価な
インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供す
ることを目的とする。また、多色印刷用プリンタのイン
クジェット記録ヘッドの相互間の位置ずれの発生をなく
し、微細で高品質な多色印刷が可能なインクジェット記
録ヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とす
る。
【００１０】
【課題を解決しようとする手段】シリコン基板にフォト
エッチング技術を用いてインクジェット記録ヘッドを製
造するのは、ノズルの密度を大きくし、微細な印刷を可
能とするためである。ここで、加工に精度が必要とされ
るのは、まず、ノズルおよびインクチャンバの構成であ
る。また、マトリクス配置のインクチャンバにインクを
供給するインクプール支流は、インクチャンバに隣接し
て設けられるので、これもインクチャンバと同じく精度
が要求され、ミクロン単位での精度が必要である。
エッチング技術を用いてインクジェット記録ヘッドを製
造するのは、ノズルの密度を大きくし、微細な印刷を可
能とするためである。ここで、加工に精度が必要とされ
るのは、まず、ノズルおよびインクチャンバの構成であ
る。また、マトリクス配置のインクチャンバにインクを
供給するインクプール支流は、インクチャンバに隣接し
て設けられるので、これもインクチャンバと同じく精度
が要求され、ミクロン単位での精度が必要である。
【００１１】しかし、インクチャンバにインクを供給す
るインクプール支流についてはインクチャンバに隣接し
て形成されるので、精度が要求されるかもしれないが、
インクプール支流と連通し、複数のインクプール支流に
インクを供給するインクプール本流やインクタンクから
のインク供給パイプが接続されるインク供給口の部分
は、もともとインクプール支流に比べて大きな容量を必
要とするものであるから、ノズル、インクチャンバ、イ
ンクプール支流と同等の精度が要求されるものではな
い。
るインクプール支流についてはインクチャンバに隣接し
て形成されるので、精度が要求されるかもしれないが、
インクプール支流と連通し、複数のインクプール支流に
インクを供給するインクプール本流やインクタンクから
のインク供給パイプが接続されるインク供給口の部分
は、もともとインクプール支流に比べて大きな容量を必
要とするものであるから、ノズル、インクチャンバ、イ
ンクプール支流と同等の精度が要求されるものではな
い。
【００１２】発明者らは、各インクチャンバにインクを
供給するインクプール支流と同等の精度を要求されるこ
とがないことに鑑み、インクプール本流やインクプール
本流へインクタンクからのインク流路を接続するインク
供給口をシリコン基板を用いずに、他の合成樹脂、金属
等で作り、これをインクチャンバ、インク流路支流が形
成されたシリコン基板から切り出されたシリコン製ヘッ
ドの材料に貼り合わせ等をしても、インクジェット記録
ヘッドの記録密度に影響するものではなく、１枚のウェ
ハーから取り出すことができるインクジェット記録ヘッ
ドの数を多くでき、しかも歩留りを高めることができる
ことに着目した。
供給するインクプール支流と同等の精度を要求されるこ
とがないことに鑑み、インクプール本流やインクプール
本流へインクタンクからのインク流路を接続するインク
供給口をシリコン基板を用いずに、他の合成樹脂、金属
等で作り、これをインクチャンバ、インク流路支流が形
成されたシリコン基板から切り出されたシリコン製ヘッ
ドの材料に貼り合わせ等をしても、インクジェット記録
ヘッドの記録密度に影響するものではなく、１枚のウェ
ハーから取り出すことができるインクジェット記録ヘッ
ドの数を多くでき、しかも歩留りを高めることができる
ことに着目した。
【００１３】すなわち、本発明の第一の観点では、イン
クが吐出するノズルと、このノズルに連通して形成され
充填されたインクに圧力が与えられるインクチャンバ
と、このインクチャンバにインクを供給するインク供給
路と、前記インクチャンバ内のインクに圧力を発生させ
る圧力発生機構とが設けられたインクジェット記録ヘッ
ドにおいて、 少なくとも前記インクチャンバとインク
供給路の一部が一つの結晶基板に形成され、 前記イン
ク供給路の他の部分は、前記結晶基板とは異なる部材で
形成されて前記一つの結晶基板に形成された部分と連結
されたことを特徴とする。
クが吐出するノズルと、このノズルに連通して形成され
充填されたインクに圧力が与えられるインクチャンバ
と、このインクチャンバにインクを供給するインク供給
路と、前記インクチャンバ内のインクに圧力を発生させ
る圧力発生機構とが設けられたインクジェット記録ヘッ
ドにおいて、 少なくとも前記インクチャンバとインク
供給路の一部が一つの結晶基板に形成され、 前記イン
ク供給路の他の部分は、前記結晶基板とは異なる部材で
形成されて前記一つの結晶基板に形成された部分と連結
されたことを特徴とする。
【００１４】このとき、前記他の部材で形成されるイン
ク供給路の他の部分は、前記インクチャンバにインクを
供給するインクプール支流が共通に連通されるインクプ
ール本流であることができる。
ク供給路の他の部分は、前記インクチャンバにインクを
供給するインクプール支流が共通に連通されるインクプ
ール本流であることができる。
【００１５】また、複数の行および複数の列からなるマ
トリクス状に設けられたノズルと、この複数のノズルに
それぞれ対応して設けられ充填されたインクに圧力が与
えられるインクチャンバと、前記ノズルの行に沿って設
けられ前記複数のインクチャンバにインクを供給する複
数のインクプール支流と、前記複数のインクプールが共
通して連通されるインクプール本流と、前記インクチャ
ンバに圧力を発生させる圧力発生機構とを備えたインク
ジェット記録ヘッドにおいて、前記インクチャンバ、前
記インクプール支流、前記インクプール本流が一つの結
晶基板で形成され、インクタンクからのインク流路が接
続されるインク供給口およびこのインク供給口から前記
インクプール本流への部分が前記結晶基板とは異なる部
材で形成されて連結されたことを特徴とする。
トリクス状に設けられたノズルと、この複数のノズルに
それぞれ対応して設けられ充填されたインクに圧力が与
えられるインクチャンバと、前記ノズルの行に沿って設
けられ前記複数のインクチャンバにインクを供給する複
数のインクプール支流と、前記複数のインクプールが共
通して連通されるインクプール本流と、前記インクチャ
ンバに圧力を発生させる圧力発生機構とを備えたインク
ジェット記録ヘッドにおいて、前記インクチャンバ、前
記インクプール支流、前記インクプール本流が一つの結
晶基板で形成され、インクタンクからのインク流路が接
続されるインク供給口およびこのインク供給口から前記
インクプール本流への部分が前記結晶基板とは異なる部
材で形成されて連結されたことを特徴とする。
【００１６】また、インクチャンバ、インクプール支流
とが一つの結晶基板で形成され、インクプール本流およ
びインクタンクからのインク流路が接続されるインク供
給口が前記結晶基板とは異なる部材で形成されて連結さ
れることもできる。
とが一つの結晶基板で形成され、インクプール本流およ
びインクタンクからのインク流路が接続されるインク供
給口が前記結晶基板とは異なる部材で形成されて連結さ
れることもできる。
【００１７】高い加工精度を要求されることがない、イ
ンクプール本流あるいはインク供給口を結晶基板とは異
なる部材で製作し、結晶基板に形成されたインクジェッ
ト記録ヘッドのインクチャンバ、インクプール支流の部
分と連結することにより、高い加工精度を必要とする部
分の面積を小さくできるので、結晶基板からの取り分を
多くすることができ、製造コストを低減することができ
る。また、ダイシングで取り出すべきインクジェット記
録ヘッドの部分を小さくできるので、結晶基板上でのイ
ンクジェット記録ヘッドの配置の自由度も高くなる。
ンクプール本流あるいはインク供給口を結晶基板とは異
なる部材で製作し、結晶基板に形成されたインクジェッ
ト記録ヘッドのインクチャンバ、インクプール支流の部
分と連結することにより、高い加工精度を必要とする部
分の面積を小さくできるので、結晶基板からの取り分を
多くすることができ、製造コストを低減することができ
る。また、ダイシングで取り出すべきインクジェット記
録ヘッドの部分を小さくできるので、結晶基板上でのイ
ンクジェット記録ヘッドの配置の自由度も高くなる。
【００１８】また、結晶板はシリコン結晶板であり、異
なる部材は、合成樹脂または金属から選ばれた部材から
なることが好ましい。
なる部材は、合成樹脂または金属から選ばれた部材から
なることが好ましい。
【００１９】シリコン加工をする半導体製造工程を用い
ることができ、また従来から使用している材料を用いる
ことができる。
ることができ、また従来から使用している材料を用いる
ことができる。
【００２０】また、結晶板と異なる部材の連結は、同一
平面で連結することができるし、また異なる平面で連結
することもできる。
平面で連結することができるし、また異なる平面で連結
することもできる。
【００２１】半導体製造工程を用いて、結晶基板上に複
数のインクジェット記録ヘッドを作成する場合に、ダイ
シングでインクジェット記録ヘッドを切り出し、かつ組
立て工程で異なる部材で形成されたインクプール本流あ
るいはインク供給口の部分を連結することを考えると、
できるだけ１枚のウェハーからの取り分を多くするに
は、複数のインクジェット記録へッドを一つの単位とし
て切り出し、それに別部材を接着などで連結することが
好ましい。このようにすれば、さらに１枚のウェハーか
ら取り出すことができるインクジェット記録ヘッドの数
を増やすことができる。
数のインクジェット記録ヘッドを作成する場合に、ダイ
シングでインクジェット記録ヘッドを切り出し、かつ組
立て工程で異なる部材で形成されたインクプール本流あ
るいはインク供給口の部分を連結することを考えると、
できるだけ１枚のウェハーからの取り分を多くするに
は、複数のインクジェット記録へッドを一つの単位とし
て切り出し、それに別部材を接着などで連結することが
好ましい。このようにすれば、さらに１枚のウェハーか
ら取り出すことができるインクジェット記録ヘッドの数
を増やすことができる。
【００２２】また、多色刷りのプリンタヘッドを製作す
ることを考慮すると、少なくともＣ、Ｍ、Ｙの３色のイ
ンクジェット記録ヘッドについては、個別に作って組み
立てるのではなく、３個を並べてウェハー上に形成し、
この３個を単位ブロックとして切り出して用いることが
好ましい。このように３個を一括して半導体製造工程を
用いて製作すれば、色合わせのための位置調整の必要が
なく、また、高い精度で色合わせができる。
ることを考慮すると、少なくともＣ、Ｍ、Ｙの３色のイ
ンクジェット記録ヘッドについては、個別に作って組み
立てるのではなく、３個を並べてウェハー上に形成し、
この３個を単位ブロックとして切り出して用いることが
好ましい。このように３個を一括して半導体製造工程を
用いて製作すれば、色合わせのための位置調整の必要が
なく、また、高い精度で色合わせができる。
【００２３】すなわち、本発明の第二の観点は、インク
ジェット記録ヘッドが複数単位で結晶板上に形成された
ものであり、インクチャンバがマトリクス配置されたイ
ンクジェット記録ヘッドが２個を単位として、いわば櫛
の歯が向かいあった配置で結晶基板上に形成されたこと
を特徴とする。
ジェット記録ヘッドが複数単位で結晶板上に形成された
ものであり、インクチャンバがマトリクス配置されたイ
ンクジェット記録ヘッドが２個を単位として、いわば櫛
の歯が向かいあった配置で結晶基板上に形成されたこと
を特徴とする。
【００２４】また、インクチャンバがマトリクス状に配
置されたインクジェット記録ヘッドが少なくとも３個を
単位ブロックとしてインクジェット記録ヘッドが配置さ
れ、この単位ブロックのインクジェット記録ヘッドのう
ち中のインクジェット記録ヘッドは、その複数の前記イ
ンクプール支流に共通に連通するインクプール本流が結
晶基板上に形成され、両外のインクジェット記録ヘッド
は、そのマトリクス配置が櫛の歯が向かい合った形で結
晶基板上に形成されたことを特徴とする。
置されたインクジェット記録ヘッドが少なくとも３個を
単位ブロックとしてインクジェット記録ヘッドが配置さ
れ、この単位ブロックのインクジェット記録ヘッドのう
ち中のインクジェット記録ヘッドは、その複数の前記イ
ンクプール支流に共通に連通するインクプール本流が結
晶基板上に形成され、両外のインクジェット記録ヘッド
は、そのマトリクス配置が櫛の歯が向かい合った形で結
晶基板上に形成されたことを特徴とする。
【００２５】さらに、本発明の他の観点は、インクジェ
ット記録ヘッドの製造方法にかかるもので、インクが吐
出するノズルと、このノズルに連通して形成され充填さ
れたインクに圧力が与えられるインクチャンバと、この
インクチャンバにインクを供給するインク供給路と、前
記インクチャンバ内のインクに圧力を発生させる圧力発
生機構とが設けられたインクジェット記録ヘッドの製造
方法において、 前記インクチャンバとインク供給路の
一部を一つの結晶基板に形成し、 前記インク供給路の
他の部分を、前記結晶基板とは異なる部材で形成して前
記一つの結晶基板に形成された部分と連結することを特
徴とする。
ット記録ヘッドの製造方法にかかるもので、インクが吐
出するノズルと、このノズルに連通して形成され充填さ
れたインクに圧力が与えられるインクチャンバと、この
インクチャンバにインクを供給するインク供給路と、前
記インクチャンバ内のインクに圧力を発生させる圧力発
生機構とが設けられたインクジェット記録ヘッドの製造
方法において、 前記インクチャンバとインク供給路の
一部を一つの結晶基板に形成し、 前記インク供給路の
他の部分を、前記結晶基板とは異なる部材で形成して前
記一つの結晶基板に形成された部分と連結することを特
徴とする。
【００２６】なお、前記インクチャンバにインクを供給
するインクプール支流が共通に連通されるインクプール
本流の部分を結晶基板とは異なる部材で形成して連結す
ることができる。
するインクプール支流が共通に連通されるインクプール
本流の部分を結晶基板とは異なる部材で形成して連結す
ることができる。
【００２７】また、複数の行および複数の列からなるマ
トリクス状に設けられたノズルと、この複数のノズルに
それぞれ対応して設けられ充填されたインクに圧力が与
えられるインクチャンバと、前記ノズルの行に沿って設
けられ前記複数のインクチャンバにインクを供給する複
数のインクプール支流と、前記複数のインクプールが共
通して連通されるインクプール本流と、前記インクチャ
ンバに圧力を発生させる圧力発生機構とを備えたインク
ジェット記録ヘッドの製造方法において、前記インクチ
ャンバ、前記インクプール支流、前記インクプール本流
を一つの結晶基板に形成し、インクタンクからのインク
流路が接続されるインク供給口およびこのインク供給口
から前記インクプール本流への部分を前記結晶基板とは
異なる部材で形成して連結することを特徴とする。
トリクス状に設けられたノズルと、この複数のノズルに
それぞれ対応して設けられ充填されたインクに圧力が与
えられるインクチャンバと、前記ノズルの行に沿って設
けられ前記複数のインクチャンバにインクを供給する複
数のインクプール支流と、前記複数のインクプールが共
通して連通されるインクプール本流と、前記インクチャ
ンバに圧力を発生させる圧力発生機構とを備えたインク
ジェット記録ヘッドの製造方法において、前記インクチ
ャンバ、前記インクプール支流、前記インクプール本流
を一つの結晶基板に形成し、インクタンクからのインク
流路が接続されるインク供給口およびこのインク供給口
から前記インクプール本流への部分を前記結晶基板とは
異なる部材で形成して連結することを特徴とする。
【００２８】なお、インクチャンバ、インクプール支流
を一つの結晶基板に形成し、インクプール本流およびイ
ンク供給口およびこのインク供給口からインクプール本
流への部分を結晶基板とは異なる部材で形成して連結す
ることも可能である。
を一つの結晶基板に形成し、インクプール本流およびイ
ンク供給口およびこのインク供給口からインクプール本
流への部分を結晶基板とは異なる部材で形成して連結す
ることも可能である。
【００２９】なお、前記結晶基板はシリコン単結晶基板
であり、前記別部材は合成樹脂または金属から選ばれた
部材であることができる。
であり、前記別部材は合成樹脂または金属から選ばれた
部材であることができる。
【００３０】また、インクチャンバがマトリクス配置さ
れたインクジェット記録ヘッドの２個を単位として、櫛
の歯が向かいあった形で結晶基板上に形成して２個を単
位として切り出すことができる。
れたインクジェット記録ヘッドの２個を単位として、櫛
の歯が向かいあった形で結晶基板上に形成して２個を単
位として切り出すことができる。
【００３１】また、インクチャンバがマトリクス状に配
置されたインクジェット記録ヘッドが少なくとも３個を
単位ブロックとしてインクジェット記録ヘッドを結晶基
板上に配置し、この単位ブロック内のインクジェット記
録ヘッドのうち中のインクジェット記録ヘッドについて
はその複数の前記インクプール支流に共通に連通するイ
ンクプール本流を結晶基板上に形成し、前記単位ブロッ
クごとに切り出すことができる。
置されたインクジェット記録ヘッドが少なくとも３個を
単位ブロックとしてインクジェット記録ヘッドを結晶基
板上に配置し、この単位ブロック内のインクジェット記
録ヘッドのうち中のインクジェット記録ヘッドについて
はその複数の前記インクプール支流に共通に連通するイ
ンクプール本流を結晶基板上に形成し、前記単位ブロッ
クごとに切り出すことができる。
【００３２】さらに本発明の観点は、補助部材を補助プ
レートとして結晶板で作成したインクジェット記録ヘッ
ドに連結して組み立てる方法にかかるもので、合成樹脂
または金属で形成された補助プレートにインクプール本
流およびインクタンクからのインク流路を接続するイン
ク供給口を合成樹脂または金属板の補助プレートに形成
し、この補助プレートをインクジェット記録ヘッドのベ
ースプレートに取付け、この補助プレートに接してシリ
コン基板にインクチャンバ、インクプール支流が形成さ
れたシリコン基板を取り付けて接着し、このシリコン基
板および補助プレートに前記インクチャンバ内のインク
に圧力を発生させる圧力発生機構およびこの圧力発生機
構を駆動する電気配線が設けられた振動板を裏付けし、
インクタンクから前記インク供給口へのインク流路を接
続することを特徴とする。
レートとして結晶板で作成したインクジェット記録ヘッ
ドに連結して組み立てる方法にかかるもので、合成樹脂
または金属で形成された補助プレートにインクプール本
流およびインクタンクからのインク流路を接続するイン
ク供給口を合成樹脂または金属板の補助プレートに形成
し、この補助プレートをインクジェット記録ヘッドのベ
ースプレートに取付け、この補助プレートに接してシリ
コン基板にインクチャンバ、インクプール支流が形成さ
れたシリコン基板を取り付けて接着し、このシリコン基
板および補助プレートに前記インクチャンバ内のインク
に圧力を発生させる圧力発生機構およびこの圧力発生機
構を駆動する電気配線が設けられた振動板を裏付けし、
インクタンクから前記インク供給口へのインク流路を接
続することを特徴とする。
【００３３】なお、シリコン基板へのインクジェット記
録ヘッドの形成と切り出し方法に関するもので、インク
が吐出するノズルとインクチャンバとが行および列をな
してマトリクス状に配置され、前記ノズルの行方向に沿
ってインクチャンバに隣接してインクを供給するインク
流路支流が設けられたインクジェット記録ヘッドを二つ
のインクジェット記録ヘッドが櫛の歯が向かいあった形
にシリコン基板上に形成し、この二つのインクジェット
記録ヘッドを単位ブロックとしてシリコン基板から切り
出すことができる。
録ヘッドの形成と切り出し方法に関するもので、インク
が吐出するノズルとインクチャンバとが行および列をな
してマトリクス状に配置され、前記ノズルの行方向に沿
ってインクチャンバに隣接してインクを供給するインク
流路支流が設けられたインクジェット記録ヘッドを二つ
のインクジェット記録ヘッドが櫛の歯が向かいあった形
にシリコン基板上に形成し、この二つのインクジェット
記録ヘッドを単位ブロックとしてシリコン基板から切り
出すことができる。
【００３４】また、インクが吐出するノズルとインクチ
ャンバとが行および列をなしてマトリクス状に配置さ
れ、前記ノズルの行方向に沿ってインクチャンバに隣接
してインクを供給するインクプール支流が設けられたイ
ンクジェット記録ヘッドの少なくとも３個を単位ブロッ
クとしてシリコン基板上に形成し、この少なくとも３個
のインクジェット記録ヘッドのうち中のインクジェット
記録ヘッドは、その複数の前記インクプール支流に共通
に連通するインクプール本流をシリコン基板上に形成
し、前記単位ブロックのインクジェット記録ヘッドをシ
リコン基板から切り出すことができる。
ャンバとが行および列をなしてマトリクス状に配置さ
れ、前記ノズルの行方向に沿ってインクチャンバに隣接
してインクを供給するインクプール支流が設けられたイ
ンクジェット記録ヘッドの少なくとも３個を単位ブロッ
クとしてシリコン基板上に形成し、この少なくとも３個
のインクジェット記録ヘッドのうち中のインクジェット
記録ヘッドは、その複数の前記インクプール支流に共通
に連通するインクプール本流をシリコン基板上に形成
し、前記単位ブロックのインクジェット記録ヘッドをシ
リコン基板から切り出すことができる。
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。 （第一実施例）図１はノズルおよびインクチャンバがマ
トリクス配置されたインクジェット記録ヘッドをシリコ
ン基板に形成した配置例を示すものである。この図１に
示す第一実施例のインクジェット記録ヘッドは、インク
が吐出するノズルが複数の行および複数の列からなるマ
トリクス状の碁盤目に設けられ、この複数のノズルにそ
れぞれ対応して設けられ充填されたインクに圧力が与え
られるインクチャンバと、前記インクチャンバに圧力を
発生させる圧力発生機構と、前記ノズルの行に沿って設
けられ前記複数のインクチャンバにインクを供給する複
数のインクプール支流と、前記複数のインクプール支流
が共通して連通されるインクプール本流とからなる部分
がシリコン基板に形成され、この部分をシリコン基板か
ら切り出し、別途、インクタンクからのインク流路が接
続されるインク供給口とこのインク供給口と前記インク
プール本流とを接続するインク流路とが前記結晶板とは
異なる部材で形成されて連結されるものである。
参照して説明する。 （第一実施例）図１はノズルおよびインクチャンバがマ
トリクス配置されたインクジェット記録ヘッドをシリコ
ン基板に形成した配置例を示すものである。この図１に
示す第一実施例のインクジェット記録ヘッドは、インク
が吐出するノズルが複数の行および複数の列からなるマ
トリクス状の碁盤目に設けられ、この複数のノズルにそ
れぞれ対応して設けられ充填されたインクに圧力が与え
られるインクチャンバと、前記インクチャンバに圧力を
発生させる圧力発生機構と、前記ノズルの行に沿って設
けられ前記複数のインクチャンバにインクを供給する複
数のインクプール支流と、前記複数のインクプール支流
が共通して連通されるインクプール本流とからなる部分
がシリコン基板に形成され、この部分をシリコン基板か
ら切り出し、別途、インクタンクからのインク流路が接
続されるインク供給口とこのインク供給口と前記インク
プール本流とを接続するインク流路とが前記結晶板とは
異なる部材で形成されて連結されるものである。
【００３５】図１は、二つのインクジェット記録ヘッド
をセットとして単位ブロックを形成し、切り出しの単位
とするものである。そこでは、長方形ブロックの中心線
を中心としてほぼ左右対称に形成されており、ノズル
行、インクプール支流がちょうど櫛の歯のように向かい
あって配置されている。二つのインクジェット記録ヘッ
ドのノズル行の端は近接しており、インクプール本流部
分は反対にブロックの両端側に形成されている。この図
１には、単位ブロックのみが示されているが、４インチ
ウェハーの場合、この単位ブロックが少なくとも８個は
配置できる。
をセットとして単位ブロックを形成し、切り出しの単位
とするものである。そこでは、長方形ブロックの中心線
を中心としてほぼ左右対称に形成されており、ノズル
行、インクプール支流がちょうど櫛の歯のように向かい
あって配置されている。二つのインクジェット記録ヘッ
ドのノズル行の端は近接しており、インクプール本流部
分は反対にブロックの両端側に形成されている。この図
１には、単位ブロックのみが示されているが、４インチ
ウェハーの場合、この単位ブロックが少なくとも８個は
配置できる。
【００３６】本実施例では、この二つのインクジェット
記録ヘッドを単位とするブロックをシリコン基板１から
切り出す。この実施例では、インクタンクからのインク
流路を接続するインク供給口とこのインク供給口からイ
ンクプール本流を接続する部分をシリコン基板に形成す
ることはないため、その部分となる長辺方向の長さを短
縮でき、その面積分シリコンウェハー上に占める面積を
減らすことができる。また、２個のマトクリス配置が左
右対称で背中合わせに配置されたインクジェット記録ヘ
ッドを単位として、ブロック単位に形成して切り出すた
め、一つ一つを切り出すようにインクジェット記録ヘッ
ドをそのマトクリス配置を同一方向として並べて形成し
て切り出すものに比べても、長方形状の短辺方向の長さ
も短くできる。このようにして、第一実施例のインクジ
ェット記録ヘッドの配置であると、ウェハー上に形成で
きるインクジェット記録ヘッド数を増加することができ
る。
記録ヘッドを単位とするブロックをシリコン基板１から
切り出す。この実施例では、インクタンクからのインク
流路を接続するインク供給口とこのインク供給口からイ
ンクプール本流を接続する部分をシリコン基板に形成す
ることはないため、その部分となる長辺方向の長さを短
縮でき、その面積分シリコンウェハー上に占める面積を
減らすことができる。また、２個のマトクリス配置が左
右対称で背中合わせに配置されたインクジェット記録ヘ
ッドを単位として、ブロック単位に形成して切り出すた
め、一つ一つを切り出すようにインクジェット記録ヘッ
ドをそのマトクリス配置を同一方向として並べて形成し
て切り出すものに比べても、長方形状の短辺方向の長さ
も短くできる。このようにして、第一実施例のインクジ
ェット記録ヘッドの配置であると、ウェハー上に形成で
きるインクジェット記録ヘッド数を増加することができ
る。
【００３７】図２は、図１に示された背中合わせの２個
のインクジェット記録ヘッドを単位としたブロックを２
つ用いて、４個のインクジェット記録ヘッドで構成され
る印刷用ヘッドの組み立て構造を説明する図である。
のインクジェット記録ヘッドを単位としたブロックを２
つ用いて、４個のインクジェット記録ヘッドで構成され
る印刷用ヘッドの組み立て構造を説明する図である。
【００３８】記録用紙に向き合う部分には、金属あるい
はその他の部材からなるベースプレート１１、そこに、
上述のインクタンクからのインク流路を接続し、ノズ
ル、インクチャンバ、インクプールからなるシリコンヘ
ッド部と連結する補助プレート１２を接着する。この補
助プレート１２には、インクタンク１８からのインク流
路を接続するインク供給口２０とインクプール本流２１
への流路が形成されている。そしてシリコンヘッド部１
３を補助プレート１２と接続して、インクタンク１８か
らノズルへのインクの流路を連通させる。シリコンヘッ
ド部１３には、インクチャンバの位置に対応して圧電素
子が配列された振動板１４を連結する。この振動板１４
の圧電素子を駆動するための電気接続配線１５が引き出
される。さらに、それぞれの色のインクが蓄えられたイ
ンクタンク１８から補助プレートへのインクを供給する
ための、流路ブロック１６が嵌められ、カバー１７とイ
ンクタンク１８を取り付けることで、印刷用ヘッドが構
成される。
はその他の部材からなるベースプレート１１、そこに、
上述のインクタンクからのインク流路を接続し、ノズ
ル、インクチャンバ、インクプールからなるシリコンヘ
ッド部と連結する補助プレート１２を接着する。この補
助プレート１２には、インクタンク１８からのインク流
路を接続するインク供給口２０とインクプール本流２１
への流路が形成されている。そしてシリコンヘッド部１
３を補助プレート１２と接続して、インクタンク１８か
らノズルへのインクの流路を連通させる。シリコンヘッ
ド部１３には、インクチャンバの位置に対応して圧電素
子が配列された振動板１４を連結する。この振動板１４
の圧電素子を駆動するための電気接続配線１５が引き出
される。さらに、それぞれの色のインクが蓄えられたイ
ンクタンク１８から補助プレートへのインクを供給する
ための、流路ブロック１６が嵌められ、カバー１７とイ
ンクタンク１８を取り付けることで、印刷用ヘッドが構
成される。
【００３９】図３は、ベースプレート１１、シリコンヘ
ッド部１３、補助プレート１２、流路ブロック１６の結
合関係を示す断面図であり、インクプール本流部分を中
心線としてインク供給口２０の部分を切断した断面を示
す。
ッド部１３、補助プレート１２、流路ブロック１６の結
合関係を示す断面図であり、インクプール本流部分を中
心線としてインク供給口２０の部分を切断した断面を示
す。
【００４０】ベースプレート１１上の同じ平面上に、シ
リコンヘッド部１３と補助プレート１２とは接続され
る。また、図４は、シリコンヘッド部１３のインクプー
ル本流２１と補助プレート１２のインク供給口２０との
接続状態を説明する斜視図であり、補助プレート１２と
シリコンヘッド部１３とはほぼ同一の厚さに形成されて
おり、ここをシリコン系あるいはその他の接着材で接着
する。
リコンヘッド部１３と補助プレート１２とは接続され
る。また、図４は、シリコンヘッド部１３のインクプー
ル本流２１と補助プレート１２のインク供給口２０との
接続状態を説明する斜視図であり、補助プレート１２と
シリコンヘッド部１３とはほぼ同一の厚さに形成されて
おり、ここをシリコン系あるいはその他の接着材で接着
する。
【００４１】（第二実施例）図５は、第二実施例の構成
を示すもので、図１に示す第一実施例のインクジェット
記録ヘッドをインクプール本流までを別部材で作成した
例を示すものである。ここでは、ノズル、インクチャン
バがマトリクス状に配置された２個のシリコン基板から
作られたシリコンヘッド部１３と、インクプール本流２
１およびインクタンク１８へのインク流路が接続される
インク供給口２０とが形成された補助プレートが接着等
により連結されている。シリコンヘッド部１３は、イン
クプール支流とインクプール本流との接続部分に当たる
部分がダイシングされ、シリコンとは異なる部材の補助
プレート１２と接合している。この第二実施例では、イ
ンクプール本流部分をシリコン基板に作る必要がないの
で、長方形の短辺部分がさらに短縮でき、インクジェッ
ト記録ヘッドのうち、シリコンで作られるヘッド部の面
積がさらに低減でき、１枚のウェハーから取り出させる
シリコンヘッド部の数を増やすことができる。
を示すもので、図１に示す第一実施例のインクジェット
記録ヘッドをインクプール本流までを別部材で作成した
例を示すものである。ここでは、ノズル、インクチャン
バがマトリクス状に配置された２個のシリコン基板から
作られたシリコンヘッド部１３と、インクプール本流２
１およびインクタンク１８へのインク流路が接続される
インク供給口２０とが形成された補助プレートが接着等
により連結されている。シリコンヘッド部１３は、イン
クプール支流とインクプール本流との接続部分に当たる
部分がダイシングされ、シリコンとは異なる部材の補助
プレート１２と接合している。この第二実施例では、イ
ンクプール本流部分をシリコン基板に作る必要がないの
で、長方形の短辺部分がさらに短縮でき、インクジェッ
ト記録ヘッドのうち、シリコンで作られるヘッド部の面
積がさらに低減でき、１枚のウェハーから取り出させる
シリコンヘッド部の数を増やすことができる。
【００４２】図６は、図２に対応するプリンタヘッドの
組立て構造を示すものである。この第二実施例では、補
助プレートはインクプール本流部分を含んで形成されて
いるので、補助プレートの占める面積が大きく、シリコ
ンヘッド部の占める面積はさらに小さくなる。
組立て構造を示すものである。この第二実施例では、補
助プレートはインクプール本流部分を含んで形成されて
いるので、補助プレートの占める面積が大きく、シリコ
ンヘッド部の占める面積はさらに小さくなる。
【００４３】図７は、この第二実施例で、インクプール
支流部分とインクプール本流部分との接続関係を説明す
る斜視図である。
支流部分とインクプール本流部分との接続関係を説明す
る斜視図である。
【００４４】第二実施例では、第一実施例に比べてさら
に１枚のウェハーから取り出すことができるインクジェ
ット記録ヘッドの数を増加することができる。
に１枚のウェハーから取り出すことができるインクジェ
ット記録ヘッドの数を増加することができる。
【００４５】（第三実施例）図８は、３個のインクジェ
ット記録ヘッドを単位ブロックとして形成し、ブロック
単位で切り出す例を示す図である。
ット記録ヘッドを単位ブロックとして形成し、ブロック
単位で切り出す例を示す図である。
【００４６】カラー印刷の場合、Ｃ、Ｍ、Ｙの３色のイ
ンクを用い、この３色のインクがそれぞれ吐出されるイ
ンクジェット記録ヘッドのノズル位置が精度よく位置合
わせされている必要がある。このため、Ｃ、Ｍ、Ｙのイ
ンクが吐出される３個のインクジェット記録ヘッドにつ
いては３個を単位とするブロックとし、このブロック単
位で切り出してプリンタヘッドを作る。
ンクを用い、この３色のインクがそれぞれ吐出されるイ
ンクジェット記録ヘッドのノズル位置が精度よく位置合
わせされている必要がある。このため、Ｃ、Ｍ、Ｙのイ
ンクが吐出される３個のインクジェット記録ヘッドにつ
いては３個を単位とするブロックとし、このブロック単
位で切り出してプリンタヘッドを作る。
【００４７】この場合、シリコンで作られる部分の面積
を小さくして、１枚のウェハーから取り出させるインク
ジェット記録ヘッド数を増やすために、３個のインクジ
ェット記録ヘッドのうち、両側のインクジェット記録へ
ッドのインクプール本流部分を含むインク供給路はシリ
コンとは異なる部材で製作するとよい。このとき、中の
インクジェット記録ヘッドのインクプール本流部分につ
いては別部材で作ることはできないので、シリコン基板
上にノズル、インクチャンバ、インクプール支流と同時
に形成し、両側のインクジェット記録ヘッドと同じよう
に、インクタンクへのインク供給口およびインクプール
本流への接続部分はシリコンとは別部材で製作し、イン
ク供給路をつくるように連結する。
を小さくして、１枚のウェハーから取り出させるインク
ジェット記録ヘッド数を増やすために、３個のインクジ
ェット記録ヘッドのうち、両側のインクジェット記録へ
ッドのインクプール本流部分を含むインク供給路はシリ
コンとは異なる部材で製作するとよい。このとき、中の
インクジェット記録ヘッドのインクプール本流部分につ
いては別部材で作ることはできないので、シリコン基板
上にノズル、インクチャンバ、インクプール支流と同時
に形成し、両側のインクジェット記録ヘッドと同じよう
に、インクタンクへのインク供給口およびインクプール
本流への接続部分はシリコンとは別部材で製作し、イン
ク供給路をつくるように連結する。
【００４８】この第三実施例では、３個のインクジェッ
ト記録ヘッドをフォトエッチングという半導体工程で同
時に作るので、ノズルの位置ずれがないように精度よく
作ることができ、多色印刷における、色素インクの位置
ずれが生じないようにすることができる。また３個のイ
ンクジェット記録ヘッドを精密に位置合わせをして組み
立てる必要がないため、組立て工程での負担を減らすこ
とが可能である。
ト記録ヘッドをフォトエッチングという半導体工程で同
時に作るので、ノズルの位置ずれがないように精度よく
作ることができ、多色印刷における、色素インクの位置
ずれが生じないようにすることができる。また３個のイ
ンクジェット記録ヘッドを精密に位置合わせをして組み
立てる必要がないため、組立て工程での負担を減らすこ
とが可能である。
【００４９】なお、第一実施例および第二実施例の補助
プレートとシリコンヘッド部とは同一平面上で連結され
た例で示したが、シリコンヘッド部と補助プレートとを
異なる平面として接続することが可能である。例えば図
９に示すように、インクプール本流の部分をインクプー
ル支流とは異なる平面部分としてシリコンヘッド部のイ
ンクプール支流と連通させる構造も可能である。インク
プール本流はシリコンヘッド部とは別の部材で製作で
き、またその材質の自由度も高いので、インクの流れの
様相にあう構造にすることができる。また、シリコンヘ
ッド部は、補助プレートに嵌め込まれて接着連結される
構造であるので、インクの流れにあうインクプール本流
の構造にすることが可能である。
プレートとシリコンヘッド部とは同一平面上で連結され
た例で示したが、シリコンヘッド部と補助プレートとを
異なる平面として接続することが可能である。例えば図
９に示すように、インクプール本流の部分をインクプー
ル支流とは異なる平面部分としてシリコンヘッド部のイ
ンクプール支流と連通させる構造も可能である。インク
プール本流はシリコンヘッド部とは別の部材で製作で
き、またその材質の自由度も高いので、インクの流れの
様相にあう構造にすることができる。また、シリコンヘ
ッド部は、補助プレートに嵌め込まれて接着連結される
構造であるので、インクの流れにあうインクプール本流
の構造にすることが可能である。
【００５０】なお、上述の実施例では、シリコンヘッド
部を長方形のものとして説明した。しかし、実際にはノ
ズルおよびインクチャンバのマトリクス配置をノズル行
が印字方向に対して若干傾いた方向に製造することがよ
い。印刷において印字のドット間隔を小さくでき、高密
度の印刷が可能となる。この場合には、シリコン基板上
に配置されるインクジェット記録ヘッドのブロックは全
体として平行四辺形になるが、シリコンウェハーからの
取り分が増加する点においては長方形の説明でも変わら
ない。
部を長方形のものとして説明した。しかし、実際にはノ
ズルおよびインクチャンバのマトリクス配置をノズル行
が印字方向に対して若干傾いた方向に製造することがよ
い。印刷において印字のドット間隔を小さくでき、高密
度の印刷が可能となる。この場合には、シリコン基板上
に配置されるインクジェット記録ヘッドのブロックは全
体として平行四辺形になるが、シリコンウェハーからの
取り分が増加する点においては長方形の説明でも変わら
ない。
【００５１】また、ノズルについては例えば金属板で形
成して、インクチャンバが形成されたシリコン基板と貼
り合わせてインクジェット記録ヘッドとすることもでき
る。
成して、インクチャンバが形成されたシリコン基板と貼
り合わせてインクジェット記録ヘッドとすることもでき
る。
【００５２】
【発明の効果】以上のように、本発明は、結晶板である
シリコン基板から切り出せるインクジェット記録ヘッド
の数を多くできるので、そのコストを低減できる。ま
た、一つのウェハー上に形成できるインクジェット記録
ヘッドの数を増やすことができるため、確率的に発生す
る不具合による損失の割合を低減でき、その製造コスト
を低減できる。
シリコン基板から切り出せるインクジェット記録ヘッド
の数を多くできるので、そのコストを低減できる。ま
た、一つのウェハー上に形成できるインクジェット記録
ヘッドの数を増やすことができるため、確率的に発生す
る不具合による損失の割合を低減でき、その製造コスト
を低減できる。
【００５３】また、複数個のインクジェット記録ヘッド
を単位ブロックとしてシリコン基板上に形成するので、
配置を効率化して１枚のシリコンウェハーから取り出す
ことができるインクジェット記録ヘッド数を増やすこと
ができる。
を単位ブロックとしてシリコン基板上に形成するので、
配置を効率化して１枚のシリコンウェハーから取り出す
ことができるインクジェット記録ヘッド数を増やすこと
ができる。
【００５４】さらに、多色刷り印刷用のヘッドにおい
て、少なくとも３個のヘッドを一括してブロック単位で
作ることができるため、ヘッド間の位置ずれから生ずる
印刷品質の低下が生じないようにすることができる。ま
た位置ずれが生じないように組み立てる組立て作業に対
する負担を軽減することができる。
て、少なくとも３個のヘッドを一括してブロック単位で
作ることができるため、ヘッド間の位置ずれから生ずる
印刷品質の低下が生じないようにすることができる。ま
た位置ずれが生じないように組み立てる組立て作業に対
する負担を軽減することができる。
【図１】本発明第一実施例のインクジェット記録ヘッド
のシリコンウェハー上の配置例を示す図。
のシリコンウェハー上の配置例を示す図。
【図２】本発明第一実施例の印刷用ヘッドの組み立て構
造を説明する図。
造を説明する図。
【図３】本発明第一実施例の接合部の断面を示す図。
【図４】本発明第一実施例の接合部を示す斜視図。
【図５】本発明第二実施例のシリコンヘッド部と補助プ
レートの接合を説明する平面図。
レートの接合を説明する平面図。
【図６】本発明第二実施例の印刷用ヘッドの組み立て構
造を説明する図。
造を説明する図。
【図７】本発明第二実施例の接合部を示す図。
【図８】本発明第三実施例のインクジェット記録ヘッド
の配置例を示す図。
の配置例を示す図。
【図９】シリコンヘッド部とインク供給路が異なる平面
で形成される例を説明するための断面図。
で形成される例を説明するための断面図。
【図１０】従来のシリコン基板でのインクジェット記録
ヘッドの配置例を示す図。
ヘッドの配置例を示す図。
１１ ベースプレート １２ 補助プレート １３ シリコンヘッド部 １４ 振動板 １５ 電気接続配線 １６ 流路ブロック １７ カバー １８ インクタンク ２０ インク供給口 ２１ インクプール本流
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１２年１２月２０日（２０００．１２．
２０）
２０）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３６】本実施例では、この二つのインクジェット
記録ヘッドを単位とするブロックをシリコン基板１から
切り出す。この実施例では、インクタンクからのインク
流路を接続するインク供給口とこのインク供給口からイ
ンクプール本流を接続する部分をシリコン基板に形成す
ることはないため、その部分となる長辺方向の長さを短
縮でき、その面積分シリコンウェハー上に占める面積を
減らすことができる。また、２個のマトクリス配置がほ
ぼ左右対称で背中合わせに配置されたインクジェット記
録ヘッドを単位として、ブロック単位に形成して切り出
すため、一つ一つを切り出すようにインクジェット記録
ヘッドをそのマトクリス配置を同一方向として並べて形
成して切り出すものに比べても、長方形状の短辺方向の
長さも短くできる。このようにして、第一実施例のイン
クジェット記録ヘッドの配置であると、ウェハー上に形
成できるインクジェット記録ヘッド数を増加することが
できる。
記録ヘッドを単位とするブロックをシリコン基板１から
切り出す。この実施例では、インクタンクからのインク
流路を接続するインク供給口とこのインク供給口からイ
ンクプール本流を接続する部分をシリコン基板に形成す
ることはないため、その部分となる長辺方向の長さを短
縮でき、その面積分シリコンウェハー上に占める面積を
減らすことができる。また、２個のマトクリス配置がほ
ぼ左右対称で背中合わせに配置されたインクジェット記
録ヘッドを単位として、ブロック単位に形成して切り出
すため、一つ一つを切り出すようにインクジェット記録
ヘッドをそのマトクリス配置を同一方向として並べて形
成して切り出すものに比べても、長方形状の短辺方向の
長さも短くできる。このようにして、第一実施例のイン
クジェット記録ヘッドの配置であると、ウェハー上に形
成できるインクジェット記録ヘッド数を増加することが
できる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 関本 正彦 新潟県柏崎市大字安田7546番地 新潟日本 電気株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF93 AG14 AG69 AP02 AP11 AP13 AP22 AP34 AQ02 BA04 BA14
Claims (18)
- 【請求項１】 インクが吐出するノズルと、このノズル
に連通して形成され充填されたインクに圧力が与えられ
るインクチャンバと、このインクチャンバにインクを供
給するインク供給路と、前記インクチャンバ内のインク
に圧力を発生させる圧力発生機構とが設けられたインク
ジェット記録ヘッドにおいて、少なくとも前記インクチ
ャンバとインク供給路の一部が一つの結晶基板に形成さ
れ、前記インク供給路の他の部分は、前記結晶基板とは
異なる部材で形成されて前記一つの結晶基板に形成され
た部分と連結されたことを特徴とするインクジェット記
録ヘッド。 - 【請求項２】 前記他の部材で形成されるインク供給路
の他の部分は、前記インクチャンバにインクを供給する
インクプール支流が共通に連通されるインクプール本流
である請求項１記載のインクジェット記録へッド。 - 【請求項３】 複数の行および複数の列からなるマトリ
クス状に設けられたノズルと、 この複数のノズルにそれぞれ対応して設けられ充填され
たインクに圧力が与えられるインクチャンバと、 前記ノズルの行に沿って設けられ前記複数のインクチャ
ンバにインクを供給する複数のインクプール支流と、 前記複数のインクプールが共通して連通されるインクプ
ール本流と、 前記インクチャンバに圧力を発生させる圧力発生機構と
を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、 前記インクチャンバ、前記インクプール支流、前記イン
クプール本流が一つの結晶基板で形成され、 インクタンクからのインク流路が接続されるインク供給
口およびこのインク供給口から前記インクプール本流へ
の部分が前記結晶基板とは異なる部材で形成されて連結
されたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項４】 複数の行および複数の列からなるマトリ
クス状に設けられたノズルと、 この複数のノズルにそれぞれ対応して設けられ充填され
たインクに圧力が与えられるインクチャンバと、 前記ノズルの行に沿って設けられ前記複数のインクチャ
ンバにインクを供給する複数のインクプール支流と、 前記複数のインクプールが共通して連通されるインクプ
ール本流と、 前記インクチャンバに圧力を発生させる圧力発生機構と
を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、 前記インクチャンバ、前記インクプール支流が一つの結
晶基板で形成され、 前記複数のインクプール支流が共通して連通されるイン
クプール本流およびインクタンクからのインク流路が接
続されるインク供給口が前記結晶基板とは異なる部材で
形成されて連結されたことを特徴とするインクジェット
記録ヘッド。 - 【請求項５】 前記結晶基板はシリコン結晶基板であ
り、前記異なる部材は、合成樹脂または金属から選ばれ
た部材からなる請求項１ないし４のいずれか記載のイン
クジェット記録ヘッド。 - 【請求項６】 前記異なる部材と前記結晶板とは同一平
面で連結された請求項１ないし５のいずれか記載のイン
クジェット記録ヘッド。 - 【請求項７】 前記異なる部材と前記結晶板とは異なる
平面で連結された請求項１ないし５のいずれか記載のイ
ンクジェット記録ヘッド。 - 【請求項８】 インクチャンバがマトリクス配置された
インクジェット記録ヘッドが２個を単位とし前記インク
プール支流が相互に向き合った形で結晶基板上に形成さ
れた請求項４または５記載のインクジェット記録ヘッド
を切り出す結晶基板。 - 【請求項９】 複数の行および複数の列からなるマトリ
クス状に設けられたノズルと、 この複数のノズルにそれぞれ対応して設けられ充填され
たインクに圧力が与えられるインクチャンバと、 前記ノズルの行に沿って設けられ前記複数のインクチャ
ンバにインクを供給する複数のインクプール支流と、 前記複数のインクプールが共通して連通されるインクプ
ール本流と、 前記インクチャンバに圧力を発生させる圧力発生機構と
を備えたインクジェット記録ヘッドを切り出すための結
晶基板であって、 少なくとも３個のインクジェット記録ヘッドを単位ブロ
ックとして一つの結晶基板に形成され、 両外側を除く中のインクジェット記録ヘッドは、そのイ
ンクプール本流部分は前記結晶基板に形成され、 両外側のインクジェット記録ヘッドは、そのマトリクス
配置が前記インクプール支流が相互に向き合った方向に
結晶基板上に形成されたことを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッドを切り出す結晶基板。 - 【請求項１０】 インクが吐出するノズルと、このノズ
ルに連通して形成され充填されたインクに圧力が与えら
れるインクチャンバと、このインクチャンバにインクを
供給するインク供給路と、前記インクチャンバ内のイン
クに圧力を発生させる圧力発生機構とが設けられたイン
クジェット記録ヘッドの製造方法において、前記インク
チャンバとインク供給路の一部を一つの結晶基板に形成
し、前記インク供給路の他の部分を、前記結晶基板とは
異なる部材で形成して前記一つの結晶基板に形成された
部分と連結することを特徴とするインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法。 - 【請求項１１】 前記インクチャンバにインクを供給す
るインクプール支流が共通に連通されるインクプール本
流の部分を結晶基板とは異なる部材で形成して連結する
請求項１０記載のインクジェット記録へッドの製造方
法。 - 【請求項１２】 複数の行および複数の列からなるマト
リクス状に設けられたノズルと、この複数のノズルにそ
れぞれ対応して設けられ充填されたインクに圧力が与え
られるインクチャンバと、前記ノズルの行に沿って設け
られ前記複数のインクチャンバにインクを供給する複数
のインクプール支流と、前記複数のインクプールが共通
して連通されるインクプール本流と、前記インクチャン
バに圧力を発生させる圧力発生機構とを備えたインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法において、 前記インクチャンバ、前記インクプール支流、前記イン
クプール本流を一つの結晶基板で形成し、 インクタンクからのインク流路が接続されるインク供給
口およびこのインク供給口から前記インクプール本流へ
の部分を前記結晶基板とは異なる部材で形成して連結す
ることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方
法。 - 【請求項１３】 複数の行および複数の列からなるマト
リクス状に設けられたノズルと、この複数のノズルにそ
れぞれ対応して設けられ充填されたインクに圧力が与え
られるインクチャンバと、前記ノズルの行に沿って設け
られ前記複数のインクチャンバにインクを供給する複数
のインクプール支流と、前記複数のインクプールが共通
して連通されるインクプール本流と、前記インクチャン
バに圧力を発生させる圧力発生機構とを備えたインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法において、 前記インクチャンバ、前記インクプール支流を一つの結
晶基板で形成し、 前記複数のインクプール支流が共通して連通されるイン
クプール本流およびインクタンクからのインク流路が接
続されるインク供給口を前記結晶基板とは異なる部材で
形成して連結することを特徴とするインクジェット記録
ヘッドの製造方法。 - 【請求項１４】 前記結晶基板はシリコン単結晶基板で
あり、前記異なる部材は合成樹脂または金属から選ばれ
た部材である請求項１０ないし１３のいずれか記載のイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項１５】 インクチャンバがマトリクス配置され
たインクジェット記録ヘッドを２個を単位とし前記イン
クプール支流が相互に向き合った形で結晶基板上に形成
して２個を単位として切り出す請求項１２ないし１４の
いずれか記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項１６】 複数の行および複数の列からなるマト
リクス状に設けられたノズルと、この複数のノズルにそ
れぞれ対応して設けられ充填されたインクに圧力が与え
られるインクチャンバと、前記ノズルの行に沿って設け
られ前記複数のインクチャンバにインクを供給する複数
のインクプール支流と、前記複数のインクプールが共通
して連通されるインクプール本流と、前記インクチャン
バに圧力を発生させる圧力発生機構とを備えたインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法において、 少なくとも３個のインクジェット記録ヘッドを単位ブロ
ックとして一つの結晶基板に形成し、 両外側を除く中のインクジェット記録ヘッドは、そのイ
ンクプール本流部分は前記結晶基板に形成し、両外側の
インクジェット記録ヘッドは、そのマトリクス配置を前
記インクプール支流が相互に向き合った方向に形成し、
前記インクプール本流は結晶基板とは異なる部材で形成
して連結することを特徴とするインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法。 - 【請求項１７】 合成樹脂または金属で形成された補助
プレートにインクプール本流およびインクタンクからの
インク流路を接続するインク供給口を形成し、 この補助プレートをインクジェット記録ヘッドのベース
プレートに取付け、 この補助プレートに接して、シリコン基板にインクチャ
ンバ、インクプール支流が形成されて切り出されたシリ
コン製ヘッドを取り付けて接着し、 このシリコン製ヘッドおよび補助プレートに前記インク
チャンバ内のインクに圧力を発生させる圧力発生機構お
よびこの圧力発生機構を駆動する電気配線が設けられた
振動板を裏付けし、 インクタンクから前記インク供給口へのインク流路を接
続するインクジェット記録ヘッドの組立て方法。 - 【請求項１８】 合成樹脂または金属で形成された補助
プレートにインク供給路の一部を形成し、 この補助プレートをインクジェット記録ヘッドのベース
プレートに取付け、 この補助プレートに接して、シリコン基板にインクチャ
ンバ、およびインクチャンバへインクを供給するインク
供給路の一部が形成されて切り出されたシリコン製ヘッ
ドを取り付けて接着し、 このシリコン製ヘッドおよび補助プレートに前記インク
チャンバ内のインクに圧力を発生させる圧力発生機構お
よびこの圧力発生機構を駆動する電気配線が設けられた
振動板を裏付けし、 インクタンクから前記インク供給口へのインク流路を接
続するインクジェット記録ヘッドの組立て方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000387464A JP2002187283A (ja) | 2000-12-20 | 2000-12-20 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
| US10/021,542 US20020075361A1 (en) | 2000-12-20 | 2001-12-12 | Ink jet recording head and fabrication method of the same |
| CN01144472.XA CN1359799A (zh) | 2000-12-20 | 2001-12-18 | 喷墨记录头及其制造方法 |
| DE10164465A DE10164465A1 (de) | 2000-12-20 | 2001-12-20 | Tintenstrahlaufzeichnungskopf und Herstellungsverfahren dafür |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000387464A JP2002187283A (ja) | 2000-12-20 | 2000-12-20 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002187283A true JP2002187283A (ja) | 2002-07-02 |
Family
ID=18854393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000387464A Pending JP2002187283A (ja) | 2000-12-20 | 2000-12-20 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20020075361A1 (ja) |
| JP (1) | JP2002187283A (ja) |
| CN (1) | CN1359799A (ja) |
| DE (1) | DE10164465A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012196882A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6994427B2 (en) | 2002-11-08 | 2006-02-07 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head |
| JP4350408B2 (ja) * | 2003-04-10 | 2009-10-21 | キヤノン株式会社 | 記録ヘッド用基板、記録ヘッド、及び記録装置 |
| US8919924B2 (en) | 2010-05-10 | 2014-12-30 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Inkjet print head and method of manufacturing the same |
-
2000
- 2000-12-20 JP JP2000387464A patent/JP2002187283A/ja active Pending
-
2001
- 2001-12-12 US US10/021,542 patent/US20020075361A1/en not_active Abandoned
- 2001-12-18 CN CN01144472.XA patent/CN1359799A/zh active Pending
- 2001-12-20 DE DE10164465A patent/DE10164465A1/de not_active Ceased
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012196882A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
| US9278528B2 (en) | 2011-03-22 | 2016-03-08 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1359799A (zh) | 2002-07-24 |
| DE10164465A1 (de) | 2003-02-20 |
| US20020075361A1 (en) | 2002-06-20 |
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