JP2007228789A - インクジェットヘッドの圧電アクチュエータおよびその形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータは、振動板120の上部に形成され、複数の圧力チャンバ131にそれぞれインクを吐出するための駆動力を提供するものであって、振動板120上に形成された下部電極141と、下部電極141上の、複数の圧力チャンバ131にそれぞれ対応する位置に形成された圧電膜142と、下部電極141上に圧電膜142の一端部と接して形成された支持パッド144と、圧電膜142の上面および支持パッド144の上面に、圧電膜142の上面から支持パッド144の上面まで延びるように連続して形成された上部電極143とを備える。そして、支持パッド144の上部において、上部電極143とFPC150とのボンディングが行われる。
【選択図】図2A
Description
112 リストリクター
113 圧力チャンバ
131 ノズル
140 圧電アクチュエータ
141 下部電極
142 圧電膜
143 上部電極
143a 第1部分
143b 第2部分
144 支持パッド
150 FPC
151 信号線
Claims (19)
- 振動板の上部に形成され、複数の圧力チャンバにそれぞれインクを吐出するための駆動力を提供するインクジェットヘッドの圧電アクチュエータにおいて、
前記振動板上に形成された下部電極と、
前記下部電極上の、前記複数の圧力チャンバにそれぞれ対応する位置に形成された圧電膜と、
前記下部電極上に前記圧電膜の一端部と接して形成された支持パッドと、
前記圧電膜の上面および前記支持パッドの上面に連続して形成された上部電極と、
を備え、
前記支持パッドの上部において、前記上部電極と電圧印加用駆動回路とのボンディングが行われることを特徴とする、インクジェットヘッドの圧電アクチュエータ。 - 前記振動板と前記下部電極との間には、絶縁膜が形成されることを特徴とする、請求項1に記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータ。
- 前記圧電膜の第1の方向における長さは、前記圧力チャンバの第1の方向における長さと略同一であることを特徴とする、請求項1または2に記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータ。
- 前記支持パッドの高さは、前記圧電膜の高さと略同一であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータ。
- 前記支持パッドは、絶縁性物質から形成されることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータ。
- 前記支持パッドは、感光性ポリマーから形成されることを特徴とする、請求項5に記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータ。
- 前記上部電極は、前記圧電膜の上面に形成される第1部分と、前記支持パッドの上面に形成される第2部分とからなり、
前記第2部分の、第1の方向に対して直交する第2の方向における長さは、前記第1部分の第2方向における長さよりも大きいことを特長とする、請求項1〜6のいずれかに記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータ。 - 前記電圧印加用駆動回路は、前記上部電極にボンディングされる信号線を有する可撓性印刷回路であることを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータ。
- 振動板の上部に形成され、複数の圧力チャンバにそれぞれインクを吐出するための駆動力を提供するインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法において、
前記振動板上に下部電極を形成する下部電極形成ステップと、
前記下部電極上の、前記複数の圧力チャンバにそれぞれ対応する位置に圧電膜を形成する圧電膜形成ステップと、
前記下部電極上に前記圧電膜の一端部と接するように支持パッドを形成する支持パッド形成ステップと、
前記圧電膜の上面および前記支持パッドの上面に上部電極を連続して形成する上部電極形成ステップと、
前記支持パッドの上部において前記上部電極に電圧印加用駆動回路をボンディングするボンディングステップと、
を含むことを特徴とする、インクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。 - 前記下部電極形成ステップは、
前記振動板の上面に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜の上面に前記下部電極を形成する工程と、
を含むことを特徴とする、請求項9に記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。 - 前記圧電膜の第1の方向の長さは、前記圧力チャンバの第1の方向の長さと略同一であることを特徴とする、請求項9または10に記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
- 前記圧電膜形成ステップは、
前記下部電極の上面にペースト状の圧電材料をスクリーンプリンティングにより塗布する工程と、
前記圧電材料を乾燥および焼結させる工程と、
を含むことを特徴とする、請求項9〜11のいずれかに記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。 - 前記支持パッドの高さは、前記圧電膜の高さと略同一であることを特徴とする、請求項9〜12のいずれかに記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
- 前記支持パッド形成ステップは、
前記下部電極および前記圧電膜を覆うように感光性ポリマーを塗布する工程と、
前記感光性ポリマーをパターニングする工程と、
を含むことを特徴とする、請求項9〜13のいずれかに記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。 - 前記支持パッド形成ステップは、前記圧電膜と前記支持パッドとの高さを略同一にする化学的機械的研磨工程をさらに含むことを特徴とする、請求項14に記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
- 前記上部電極は、前記圧電膜の上面に形成される第1部分と、前記支持パッドの上面に形成される第2部分とからなり、
前記第2部分の、第1の方向に対して直交する第2の方向における長さは、前記第1部分の第2方向における長さよりも大きいことを特徴とする請求項9〜15のいずれかに記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。 - 前記上部電極は、前記圧電膜および前記支持パッドの上面にペースト状の電極材料をスクリーンプリンティングにより塗布することによって形成されることを特徴とする、請求項9〜16のいずれかに記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
- 前記上部電極は、前記圧電膜および前記支持パッドの上面に導電性金属物質をスパッタリング、蒸発器およびEビームのうちいずれか1つにより所定の厚さに蒸着することによって形成されることを特徴とする、請求項9〜16のいずれかに記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
- 前記電圧印加用駆動回路は、前記上部電極にボンディングされる信号線を有する可撓性印刷回路であることを特徴とする、請求項9〜18のいずれかに記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
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