JP2014148091A5 - 液体吐出装置、液体吐出装置の製造方法、カラーフィルターの製造方法および配線の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、圧電体からなる隔壁部で仕切られて圧力室が形成された液体吐出装置、液体吐出装置の製造方法、カラーフィルターの製造方法および配線の製造方法に関する。

Claims (11)

1. 互いに対向する第１基板及び第２基板と、
   前記第１基板と前記第２基板との間に高さ方向に対して直交する幅方向に間隔をあけて並設され、長手方向に延びる複数の圧力室を形成する、圧電体で構成された複数の隔壁部と、
   前記各隔壁部の両側面に配置され、前記各隔壁部をせん断変形させる複数の電極対と、
   前記各圧力室の前記長手方向の第１端部の側に配置され、前記各圧力室に接続される各ノズルが形成されたノズル部材と、を備え、
   前記各圧力室は、前記第１端部において前記圧力室の高さ及び幅のうち相対的に短い方が、前記第１端部に対して前記長手方向の反対側の第２端部において、前記第１端部よりも長くなるように形成されていることを特徴とする液体吐出装置。
2. 前記第１端部において前記圧力室の幅が前記圧力室の高さに対して相対的に短いことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
3. 前記各圧力室の前記第２端部における前記長手方向に垂直な面に沿う断面の断面形状が略正方形であることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出装置。
4. 前記複数の隔壁部は、前記第１基板の一方の面に突設された複数の第１隔壁部と、前記第２基板の一方の面に突設された複数の第２隔壁部と、を有し、
   前記第１隔壁部と前記第２隔壁部とが前記幅方向に交互に並設されるように、前記第１隔壁部の先端部が前記第２基板の一方の面に接合されると共に、前記第２隔壁部の先端部が前記第１基板の一方の面に接合されて、前記圧力室が形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
5. 前記第１基板の一方の面には、前記第２隔壁部の先端部が嵌合する第１溝部が形成され、
   前記第２基板の一方の面には、前記第１隔壁部の先端部が嵌合する第２溝部が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置。
6. 前記第１隔壁部は、前記第１基板の一方の面から突出し、前記第１基板と一体に形成され、前記高さ方向に分極された第１基端側圧電体と、前記第１基端側圧電体に接合され、前記第１基端側圧電体とは反対方向に分極された第１先端側圧電体と、を有し、
   前記第２隔壁部は、前記第２基板の一方の面から突出し、前記第２基板と一体に形成され、前記高さ方向に分極された第２基端側圧電体と、前記第２基端側圧電体に接合され、前記第２基端側圧電体とは反対方向に分極された第２先端側圧電体と、を有することを特徴とする請求項４又は５に記載の液体吐出装置。
7. 前記複数の圧力室のうち隣り合う２つの圧力室の間には、前記隔壁部で仕切られた、液体が充填されない空気室が形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
8. 第１基板の一方の面に圧電体からなる複数の第１隔壁部を形成する第１隔壁部形成工程と、
   第２基板の一方の面に圧電体からなる複数の第２隔壁部を形成する第２隔壁部形成工程と、
   前記第１隔壁部と前記第２隔壁部とが交互に幅方向に並設されるように、前記第１隔壁部の先端部を、前記第２基板の一方の面に接合する共に、前記第２隔壁部の先端部を、前記第１基板の一方の面に接合することで、長手方向に延びる圧力室を形成する圧力室形成工程と、を備え、
   前記第１隔壁部形成工程及び前記第２隔壁部形成工程では、前記圧力室形成工程にて形成される前記圧力室の幅が、液体を吐出するノズルに接続する第１端部よりも、前記第１端部に対して前記長手方向の反対側の第２端部において長くなるように、前記第１隔壁部及び前記第２隔壁部を形成することを特徴とする液体吐出装置の製造方法。
9. 前記第１基板の一方の面に、前記第２隔壁部の先端部が接合される第１溝部を形成する第１溝部形成工程と、
   前記第２基板の一方の面に、前記第１隔壁部の先端部が接合される第２溝部を形成する第２溝部形成工程と、を備えた、ことを特徴とする請求項８に記載の液体吐出装置の製造方法。
10. 請求項１乃至７のいずれか１項に記載の液体吐出装置を用いて、カラーフィルターを製造することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
11. 請求項１乃至７のいずれか１項に記載の液体吐出装置を用いて、配線パターニングを行うことを特徴とする配線の製造方法。