JPH0939230A - インクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 各インク室が互いに影響し合うことなく、そ
れぞれ独立してインク噴射を行せるとともに、１つのイ
ンク室に変形可能な２つの隔壁部を備えることで低電圧
駆動と階調表現を可能にする。 【解決手段】 本発明のインクジェット記録装置は、圧
電体からなる複数の隔壁部１７、１９をそれぞれ立設し
た第１の基板１５と第２の基板１６とを備え、隔壁部１
７が隔壁部１９にインク室２１の幅より狭い間隙２０を
隔てて近接するように上記２つの基板１５、１６を互い
にはめ合わせて接合し、各隔壁部１７、１９に挟まれた
上記間隙２０以外の空間領域をインク室２１としてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、画像信号に応じて
インク滴を噴射して、紙等の記録媒体に記録するインク
ジェット記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、複数のインク室に圧電体をそ
れぞれ配置し、この圧電体に画像信号に応じて電圧を印
加して変形させることにより、インク室に充填されたイ
ンクを加圧してノズルより噴射するインクジェットヘッ
ドがプリンタなどの記録装置に用いられている。

【０００３】上記インクジェットヘッドとして、例え
ば、特開平４−３５３４５７号公報に図９に示すものが
開示されている。このインクジェットヘッド９０は、圧
電セラミック板に一定幅の複数の溝部９２を形成するこ
とによって複数の壁９３を所定ピッチで立設した２つの
圧電トランスデューサ９５、９６を、一方の圧電トラン
スデューサ９５の壁９３が他方の圧電トランスデューサ
９６の壁９３、９３の間に位置するように互いにはめ合
わせ、上記壁９３の先端面を対向する溝部９２の底面に
接合して構成され、各壁９３に挟まれた領域にインク流
路９１が形成されている。また、上記各壁９３は、イン
ク流路９１に臨む両側面に電極９７、９８が形成され、
かつ矢印ａ方向にそれぞれ分極処理されている。

【０００４】上記構成からなるインクジェットヘッド９
０において、中央のインク流路９１に連通するノズル
（図示せず。）からインクを噴射させる場合、そのイン
ク流路９１の両側の壁９３、９３に、両側面の電極９
７、９８を介して電圧をそれぞれ印加し、分極方向と直
交する方向に電界を形成する。これにより、各壁９３、
９３は、図９中破線で示すように、いわゆるすべりモー
ドによってインク流路９１の内側に瞬時に変形する。こ
の変形によってインク流路９１の容積が減少し、その内
部のインクが加圧されてノズルから噴射される。

【０００５】また、特開平５−７７４１９号公報には、
図１０に示すインクジェットヘッド１００が開示されて
いる。このインクジェットヘッド１００も上記インクジ
ェットヘッド９０と同様に、複数の壁９３がインク流路
９１の幅より大きい所定ピッチで立設された圧電トラン
スデューサ９６を備えている。また、この圧電トランス
デューサ９６の壁９３も、その両側面に電極９７、９８
が形成され、矢印ａ方向に分極処理がなされており、そ
の先端面において対向するカバー部材１０１に接合され
ている。このカバー部材１０１も、上記圧電トランスデ
ューサ９６の壁９３に対向してインク流路９１の側壁を
形成する複数の壁１０２を有しているが、上記インクジ
ェットヘッド９０とは異なり、このカバー部材１０１は
非圧電材料で形成されている。

【０００６】上記構成からなるインクジェットへッド１
００において、インク流路９１に形成したノズル（図示
せず。）からインクを噴射する場合、インク流路９１の
一方の壁面を形成する圧電トランスデューサ９６の壁９
３に、上記電極９７、９８を介して電圧を印加して、分
極方向と直交する方向に電界を形成すると、この壁９３
はすべりモードによって図１０中破線で示すように瞬時
に変形する。この変形によってインク流路９１内のイン
クが加圧されて、ノズルより噴射されるようになってい
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記イ
ンクジェットヘッド９０では、各壁９３の両側にインク
流路９１が形成され、インク噴射に際してはインク流路
９１の両側の壁９３，９３をインク流路９１の内側に変
形させるため、このインク流路９１に隣り合うインク流
路９１ａ，９１ｂでは容積が増加して内部に負圧が生じ
ることになり、これらのインク流路９１ａ，９１ｂから
はインクを噴射することができない。このため、配列さ
れたインク流路のうち１つおきのインク流路からしかイ
ンク噴射を同時に行えず、印字速度の低下、駆動制御の
複雑化を招くという問題がある。

【０００８】一方、上記インクジェットヘッド１００で
は、非圧電材料からなるカバー部材１０１の壁１０２に
よって各インク流路９１が隔てられているため、ある１
つのインク流路９１からのインク噴射が隣接するインク
流路９１に影響することはなく、各インク流路ごとに独
立してインク噴射を行うことができる。しかし、インク
噴射時のインクへの加圧は、インク流路９１の一壁を形
成する圧電トランスデューサ９６の１つの壁９３の変形
によってなされる。このため、インク流路９１の両側壁
を変形させてインクを加圧する場合に比べて、低電圧で
駆動したり、あるいは、インクの加圧力を段階的に制御
して噴射されるインク量を調節することにより画像に階
調性をもたせたりするには不利である。

【０００９】そこで、本発明は上記問題点を解決するた
めになされたもので、その目的は各インク室ごとに独立
してインクを噴射することができとともに、低電圧駆動
や階調表現も可能なインクジェット記録装置を提供する
ことにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段及びその効果】上記目的達
成のため第１発明は、複数のインク室に圧電体をそれぞ
れ配置し、この圧電体に画像信号に応じて電圧を印加し
て変形させることにより、インク室に充填されたインク
を加圧してノズルから噴射するインクジェット記録装置
であって、圧電体からなる複数の隔壁部を一定間隔をお
いてそれぞれ立設した第１の基板と第２の基板とを備
え、第１の基板の隔壁部が第２の基板の隔壁部に狭い間
隙を隔てて近接するように上記２つの基板を互いにはめ
合わせて接合し、各隔壁部に挟まれた上記間隙以外の空
間領域を上記インク室としたことを特徴とする（請求項
１）。

【００１１】この第１発明のインクジェット記録装置に
よれば、インク流路の両側壁を形成する第１の基板の隔
壁部および第２の基板の隔壁部に画像信号に応じて電圧
を印加すると、各隔壁部は圧電効果によりインク室の内
側に向かって瞬時に変形する。この変形によってインク
室に充填されたインクが加圧され、ノズルから噴射され
る。この場合、インクが噴射されるインク室と、このイ
ンク室と隣合うインク室とは、第１の基板の隔壁部と第
２の基板の隔壁部との間に形成される狭い間隙によって
隔てられているので、ある１つのインク室におけるイン
ク噴射が隣合うインク室に影響することはない。したが
って、各インク室ごとに独立してインク噴射を行うこと
ができ、その結果、印字速度の低下や駆動制御の複雑化
を招くことがない。

【００１２】また、インク室の両側の壁が圧電体からな
る隔壁部で形成されている。このため、これら２つの隔
壁部を同時に変形させてインクを噴射させる場合には、
インク室の一方の壁のみを圧電体で形成した場合に比べ
て低電圧駆動が可能になる。また、上記２つの隔壁部の
うち一方の隔壁部を選択的に変形させてインクを噴射す
る場合には、２つの隔壁部を同時に変形させたときより
も噴射されるインク量が少なくなるので、記録される画
像について階調表現が可能になる。

【００１３】第２発明のインクジェット記録装置は、上
記第１発明のインクジェット記録装置において、上記隔
壁部のインク室に臨む側面の一部分に第１の電極を設け
るとともに、上記隔壁部の上記隙間に臨む側面に第２の
電極を設け、上記第１の電極への電圧印加により形成さ
れる電界方向と直交する方向に上記隔壁部を分極処理し
たことを特徴とする（請求項２）。

【００１４】この第２発明のインクジェット記録装置で
は、上記第１電圧に電圧を印加すると隔壁部はすべりモ
ードで変形するが、その変形部分は第１電極を設けた隔
壁部の一部分だけである。このようにすれば、隔壁部側
面の全面に第１の電極を設けて同一電圧を印加する場合
に比べ、ドライバーの電流容量が小さくて済み、ドライ
バーコストを安くできる。

【００１５】第３発明のインクジェット記録装置は、上
記第１発明のインクジェット記録装置において、上記隔
壁部のインク室に臨む側面に第１の電極を設け、上記間
隙に導電性剛体を収容し、この導電性剛体を介して上記
第１の基板の隔壁部と第２の基板の隔壁部とを固定し、
上記第１の電極への電圧印加により形成される電界方向
と平行な方向に上記隔壁部を分極処理したことを特徴と
する（請求項３）。

【００１６】この第３発明のインクジェット記録装置で
は、上記第１の電極に電圧を印加すると隔壁部は厚みモ
ードで変形してインク室を加圧するが、上記間隙に収容
した導電性剛体により第１の基板の隔壁部と第２の基板
の隔壁部とを固定すれば、隔壁部の上記導電性剛体に向
かう方向への変形が拘束されるため、隔壁部の厚み方向
の変形をインク室により有効に作用させることができ
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て添付図面を参照して説明する。図１は第１の実施形態
であるインクジェット記録装置１の全体構成を概略的に
示したものである。このインクジェット記録装置１は大
別して、コネクタ２ａを備えた電源部２と、駆動系３
と、メカコントローラ４と、メモリ５と、コントローラ
６と、インク供給部７と、スキャンキャリッジ８と、給
紙部９と、ケース１０と、操作パネル１１とから構成さ
れている。上記スキャンキャリッジ８は通紙方向（矢印
ａ方向）に直交する方向（図１において紙面に垂直な方
向）にスキャン可能になっており、その内部にはブラッ
ク、シアン、マゼンタおよびイエロの各色用に４つのイ
ンクジェットヘッド１２が通紙方向に沿い、かつインク
吐出ノズルを下方に向けて配置されている。

【００１８】上記インクジェットヘッド１２は、図２に
示すように、下基板１５と上基板１６とを備えている。
上記下基板１５は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸
鉛）からなる圧電体で形成され、複数の隔壁部１７が所
定の間隔をおいて立設されている。これらの隔壁部１７
は、圧電プレートにダイシングソーなどにより複数の溝
部１８を切削加工することによって形成される。一方、
上記上基板１６も圧電体からなり、下基板１５とほぼ同
様の形状を有している。すなわち、上記隔壁部１７と同
一間隔をもって複数の隔壁部１９が立設されている。

【００１９】上記下基板１５と上基板１６とは、図３に
示すように上下方向から互いにはめ合わされ、接着等の
方法で接合される。この接合は、図２に示すように、そ
れぞれの隔壁部１７、１９が狭い間隙２０を隔てて近接
するようになされ、上記各隔壁部１７、１９に挟まれて
形成される上記間隙２０以外の空間領域にインク室２１
が形成される。ここで、このインク室２１の幅（長方形
断面の短辺の長さ）に対して、隔壁部１７、１９の形成
間隔はこれよりも当然に広く、上記間隙２０の幅はこれ
よりも狭いことは図２に示す通りである。なお、下基板
１５と上基板１６との接合において、上記隔壁部１７、
１９の先端面を、これに対向する溝部底面に公知のエポ
キシ系接着剤などを用いて接着すれば、インクジェット
ヘッド１２の構造的強度が大きくなり好ましいが、この
場合の接着剤は電圧が印加されたときの隔壁部１７、１
９の変形を拘束しないように柔軟性を有することが望ま
れる。

【００２０】上記隔壁部１７の上部および隔壁部１９の
下部には、インク室２１に臨む側面に第１電極２２が、
また、上記間隙２０に臨む側面に第２電極２３がそれぞ
れ設けてある。これらの電極２２、２３は、スパッタリ
ングやメッキ法などによってＡｕ／（Ｎｉ，Ｃｒ）膜を
付着させることで形成される。このように、上記間隙２
０に臨む隔壁部１７の第２電極２３と隔壁部１９の第２
電極２３とは、互いに接触しないように上下方向にずれ
た位置に形成してあるので、互いに近接する隔壁部１
７、１９に各第２電極２３を介して別個に電圧を印加す
ることもできる。また、隔壁部１７、１９は、上記電極
２２、２３に電圧が印加されることにより形成される電
界方向と直交する方向、より具体的には図２において矢
印で示すように、その先端面から連結部に向かう方向
（あるいは、それとは逆に連結部から先端面に向かう方
向でもよい。）に分極処理されている。

【００２１】上記各基板１５、１６の表面には、少なく
ともインクと直接接触する可能性がある部分について絶
縁性のオーバコート処理を施しておく。これにより、電
極２２、２３の耐久性が向上するとともに、隔壁部１
７、１９にインクが浸透することにより低抵抗化し、実
効電圧がかからなくなって変形量が低下する不都合を防
止できる。このオーバコート処理は、樹脂を塗布または
スプレーする、無機物をスパッタリングやＣＶＤで付着
させるなどの方法で行う。

【００２２】上記のように接合された下基板１５および
上基板１６の一端部に、図３に示すように、例えばポリ
イミドフィルムからなるノズルプレート２５が接合され
る。このノズルプレート２５には、例えばエキシマレー
ザなどによって複数のノズル穴２５ａが上記各インク室
２１に対応して形成され、その形成ピッチは画素密度１
００〜６００ｄｐｉに応じて４２．３〜２５４μｍに設
定される。なお、上記ノズル穴２５ａを、その断面積が
インク室２１側で大きく、外側で小さくなるようにテー
パ状に形成してもよく、ノズル穴２５の表面およびその
周辺をインクの性質に応じて撥インク処理あるいは親イ
ンク処理してもよい。このようにすれば、ノズル穴２５
ａとその近傍におけるインクの流れが円滑になり、イン
ク噴射安定性が向上するとともに、その方向性が安定す
る効果がある。

【００２３】上記上基板１６の上面には複数のインク供
給口１６ａが形成され、これらインク供給口１６が各イ
ンク室２１にそれぞれ連通している。また、インク供給
口１６ａを覆うようにしてインクマニホールド２６が接
合され、その端部にインクチューブ２６ａが突設されて
いる。

【００２４】図４に示すように、バックプレート２７が
下基板１５と上基板１６との接合体の他端部に接着固定
される。そして、上記下基板１５、下基板１６、ノズル
プレート２５およびインクマニホールド２６の接合体は
支持板２７に接着固定されている。上記バックプレート
２７には配線穴２７ａが形成されている。この配線穴２
７ａは、各インク室２１に共通する細長い開口部でもよ
いし、各電極２２、２３ごとに対応するように複数形成
されたものでもよい。この配線穴２７ａを介して、一端
が上記隔壁部１７、１９の第１電極２２または第２電極
２３に接続された導線２９がインク室２１の外部に導か
れ、その他端がフレキシブル配線３０に接続されてい
る。これにより、上記第１電極２２、第２電極２３は図
示しないドライバーＩＣを介してコントローラ６に電気
的に接続され、第２電極２３はアースに接続される一
方、第１電極２２には画像信号に応じて電圧が印加され
るようになっている。なお、バックプレート２７の後部
には樹脂モールド３１が施してあり、上記配線穴２７ａ
が封止されている。

【００２５】続いて、上記構成からなるインクジェット
ヘッド１２にインク噴射動作について説明する。インク
は、インク供給部７（図１参照）からインクマニホール
ド２６に供給され、インク供給口１６ａを介してインク
室２１に充填される。コントローラ６によって、画像信
号に応じて図５（ａ）に示すようなパルス電圧が隔壁部
１７、１９の第１電極２２に印加されると、その電極形
成部分の内部には分極方向と直交する方向に電界が形成
され、各隔壁部１７、１９はいわゆるすべりモード（シ
ェアモード）により変形することになる。

【００２６】図６に示す中央のインク室２１ａからイン
クを噴射させる場合、そのインク室２１ａの両側の壁を
形成する隔壁部１７ａ、１９ａに同時に電圧を印加す
る。このとき、隔壁部１７ａ、１９ａは、図６に示すよ
うに、その電極形成部分がインク室２１ａの内側に湾曲
するように瞬時に変形する。この変形によってインク室
２１ａの容積が急激に減少し、内部に充填されたインク
が瞬間的に加圧される。これにより、加圧されたインク
がノズル穴２５ａから液滴状となって噴射され、図示し
ない記録紙上に付着する。この際、隣り合うインク室２
１ｂ、２１ｃは、間隙２０ａ、２０ｂの存在によって、
上記インク室２１ａとは隔てられているため、インク室
２１ａのインク噴射動作に何ら影響されない。

【００２７】このことは各インク室２１ａ、２１ｂ、２
１ｃから同時にインクを噴射する場合についても言え
る。すなわち、インク室２１ｂの隔壁部１７ｂ、１９
ｂ、およびインク室２１ｃの隔壁部１７ｃ、１９ｃがそ
れぞれ各インク室２１ｂ、２１ｃの内側に向かって変形
しても、上記間隙２０ａ、２０ｂの存在によって、各イ
ンク室２１ａ、２１ｂ、２１ｃのインク噴射動作が相互
に影響し合うことはない。したがって、各インク室ごと
に独立してインク噴射を行うことができる。

【００２８】また、上記インク噴射時にはインク室２１
の両側の隔壁部１７、１９を同時に変形させたが、各隔
壁部１７、１９には個別に電圧印加できるようにしてあ
るため、いずれか一方にのみ電圧を印加して変形させる
ことにより、インクを噴射することも可能である。この
場合には、インクの加圧力がほぼ半減して噴射されるイ
ンク滴も小さくなるので、これにより階調表現が可能に
なる。

【００２９】上記のようにしてインク噴射を行った後、
隔壁部１７、１９への電圧印加が解除されて電界が消滅
すると、上記電極形成部分は元の形状に復元する。この
とき、インク室２１の容積が増加するのに伴って内部に
負圧が生じ、これにより、インクマニホールド２６から
インク供給口１６ａを介してインクが補給され、次のイ
ンク噴射の準備ができる。

【００３０】ただし、インク補給時に、図５（ａ）に示
すように電圧を瞬時にオフして隔壁部１７、１９の弾性
に基づき復元させると、インク室２１内のインクの揺れ
やノズル穴２５ａからの気泡の吸い込みを生じるおそれ
がある。このため、図５（ｂ）に示すように、立ち下げ
部に傾斜をもたせたパルス電圧を印加して、隔壁部１
７、１９がややゆっくりと復元するようにすれば、上記
不都合を緩和することができる。

【００３１】また、図５（ｃ）に示すパルス電圧を印加
すれば、電圧を急激に立ち下げることにより小径のイン
ク滴を得ることができ、これに対して、図５（ｄ）に示
すパルス電圧によればメインパルスのダイナミックレン
ジを大きくとることで大径のインク滴を得ることができ
る。なお、図５（ｅ）のパルス電圧によれば、図５
（ｂ）、（ｄ）を組み合わせた効果が得られる。

【００３２】また、図５（ｆ）、（ｇ）のパルス電圧に
よれば、電圧を変化させずに電力の実効値を下げること
ができ、省エネルギ化が図れる。さらに、図５（ｈ）の
パルス電圧によれば、バイアスをかけた状態でメインパ
ルスを印加することで各インク室間におけるバラツキを
少なくすることができる。さらにまた、図５（ｉ）に示
すパルス電圧を印加すれば、許容電圧を越えるオーバシ
ュートパルスを設けることで隔壁部の変形の立ち上がり
を速くすることができる。

【００３３】上記のようなインク噴射動作が画像信号に
応じて各インク室２１ごとに独立して行われ、スキャン
キャリッジ８の移動によってノズル数に相当するライン
分の画像が描かれ、これが記録紙の通紙方向への移動に
同期して繰り返されることで、記録紙上に画像が描かれ
る。

【００３４】以上に説明したように第１の実施形態によ
れば、各インク室２１が近接する隔壁部１７、１９間に
形成される狭い間隙２０によって隔てられており、互い
のインク噴射動作が影響し合わないようになっているの
で、各インク室２１ごとに独立してインク噴射を行うこ
とができる。したがって、配列されたインク室２１のう
ちから１つおきにインク室を選択してインクを噴射させ
る制御を行う必要がなく、印字速度の低下や駆動制御の
複雑化を招くこともない。

【００３５】また、１つのインク室２１の両側の隔壁部
１７、１９を圧電体で形成し、各隔壁部１７、１９を同
時に変形させてインクを噴射する構成としているので、
インク室２１の一方の壁のみが圧電体で形成されている
従来例に比べて、同程度のインク噴射を行うにも低電圧
で駆動することができる。

【００３６】さらに、隔壁部１７、１９に形成した第１
電極２２および第２電極２３を、その側面について全面
にではなく一部分（上部でもよいし、下部でもよい。）
に設け、その電極形成部分だけを変形させるようにして
いるので、側面全面に電極を形成して同一電圧を印加す
る場合に比べ、ドライバーの電流容量が小さくて済み、
ドライバーコストを安価にできる。

【００３７】なお、隔壁部１７、１９の一部分の変形で
インク噴射に必要な加圧力を十分に得ることができ、何
ら支障はない。また、上記隔壁部１７、１９に第２電極
２３を形成することなく、上記間隙２０に例えば導電性
ゴムなどの柔軟性をもった導電体を充填し、この導電体
を共通の第２電極としてアースに接続する構成とすれ
ば、配線数が半減し実装を簡略化できる。

【００３８】次に、本発明の第２の実施形態について図
７を参照して説明するが、特記する事項以外は上記第１
の実施形態と同様である。第２の実施形態であるインク
ジェットヘッド３４も隔壁部３７を有する下基板３５
と、隔壁部３９を有する上基板３６とが接合され、各隔
壁部３７、３９の間に間隙４０とインク室４１が形成さ
れている。

【００３９】ただし、本実施形態では、隔壁部３７、３
９に設けられた第１電極４２がインク室４１に臨む側面
全体に形成してある。また、例えばステンレスなどから
なる導電性剛体４３を共通の第２電極として上記間隙４
０に収容し、この導電性剛体４３と隔壁部３７、３９を
接着するとともに、隔壁部３７、３９の先端面とこれに
対向する基板３５、３６の溝部底面とを接着している。
これにより、隔壁部３７、３９が上記導電性剛体４３を
介して互いに固定され、導電性剛体４３との接触面が実
質的に変位しないようになっている。さらに、隔壁部３
７、３９は、上記第１電極４２への電圧印加により形成
される電界方向と平行な方向、より具体的には、図７中
矢印で示すように第１電極４２から導電性剛体４３に向
かう方向（あるいは、これとは逆に導電性剛体４３から
第１電極４２に向かう方向であってもよい。）に分極処
理されている。

【００４０】上記構成からなるインクジェットヘッド３
４において、コントローラ６により画像信号に応じてパ
ルス電圧を印加すると、隔壁部３７、３９の内部には分
極方向と平行な方向に電界が形成され、いわゆる厚みモ
ードで変形する。すなわち、隔壁部３７、３９は、電圧
オン時には図７中破線で示すように、その厚み方向（図
７における左右方向）に膨張変形するとともに、高さ方
向（図７における上下方向）に僅かに収縮変形する。こ
の際、隔壁３７、３９の上記導電性剛体４３に向かう方
向への変形は拘束されるため、隔壁部３７、３９の厚み
方向の変形は第１電極４２形成面側に発生し、インク室
４１の内側に向かってインク室４１の容積を減じる方向
に作用する。これにより、インク室４１内のインクが加
圧され、ノズル穴２５ａから噴射される。

【００４１】このように、隔壁部３７、３９を厚みモー
ドで変形させてインクを噴射させる場合、隔壁部３７、
３９を固定して上記間隙４０に臨む側面の変形を拘束す
れば、隔壁部３７、３９の変形をより有効にインク室４
１に作用させることできる。また、厚みモードによる本
実施形態によれば、隔壁部３７、３９の変形の発生力が
すべりモードによる場合よりも強く、より安定したイン
ク噴射を得ることができる。

【００４２】なお、上記２つの実施形態に関し、図８に
示すように、インク供給口１６ａのインク室２１、４１
側に例えば金属、樹脂、ゴム等からなる弾力性を有する
フィルム状の逆止弁４５を設け、インク加圧時にのみイ
ンク供給口１６ａが閉鎖されるようにすれば、インク加
圧力がインクマニホールド２６に逃げるのを防止でき、
インク噴射効率が向上する。その結果、低電圧駆動化や
インク滴径の安定化が可能になる。また、上記隔壁部１
７、１９、３７、３９を複数の圧電層を積層した積層型
圧電体で形成すれば、同一電圧であっても単層の場合に
比べて積層数に応じて大きな実効変位を得ることができ
るので、低電圧駆動が可能になる。さらに、インクの温
度による粘度変化の影響を抑えるため、ヘッド近傍に温
度制御部を配置してもよい。この温度制御機として公知
の抵抗型ヒータやペルチェ素子などが使用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 インクジェット記録装置の概略構成図であ
る。

【図２】 インクジェットヘッドにおけるインク室配列
方向の部分断面図である。

【図３】 インクジェットヘッドの組立構成を示す図で
ある。

【図４】 インクジェットヘッドのインク室に沿う方向
の断面図である。

【図５】 インク室の両側壁を形成する、圧電体からな
る隔壁部に印加するパルス電圧の種々の波形状を示す図
である。

【図６】 インク室の両側壁を形成する隔壁部の変形状
態を示す図である。

【図７】 第２の実施形態にかかるインクジェットヘッ
ドのインク室配列方向の部分断面図である。

【図８】 インク供給口のインク室側に逆止弁を設けた
変形例を示す図である。

【図９】 従来のインクジェットヘッドの一例を示す部
分断面図である。

【図１０】 従来のインクジェットヘッドの他の例を示
す部分断面図である。

【符号の説明】

１…インクジェット記録装置、１５…下基板（第１の基
板）、１６…上基板（第２の基板）、１７，１９…隔壁
部、２０…間隙、２１…インク室、２５ａ…ノズル穴
（ノズル）。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のインク室に圧電体をそれぞれ配置
   し、この圧電体に画像信号に応じて電圧を印加して変形
   させることにより、インク室に充填されたインクを加圧
   してノズルから噴射するインクジェット記録装置におい
   て、 圧電体からなる複数の隔壁部を一定間隔をおいてそれぞ
   れ立設した第１の基板と第２の基板とを備え、第１の基
   板の隔壁部が第２の基板の隔壁部に狭い間隙を隔てて近
   接するように上記２つの基板を互いにはめ合わせて接合
   し、各隔壁部に挟まれて形成される上記間隙以外の空間
   領域をインク室としたことを特徴とするインクジェット
   記録装置。
2. 【請求項２】 上記隔壁部のインク室に臨む側面の一部
   分に第１の電極を設けるとともに、上記隔壁部の上記間
   隙に臨む側面に第２の電極を設け、上記第１の電極への
   電圧印加により形成される電界方向と直交する方向に上
   記隔壁部を分極処理したことを特徴とする請求項１に記
   載のインクジェット記録装置。
3. 【請求項３】 上記隔壁部のインク室に臨む側面に第１
   の電極を設け、上記間隙に導電性剛体を収容し、この導
   電性剛体を介して第１の基板の隔壁部と第２の基板の隔
   壁部とを固定し、上記第１の電極への電圧印加により形
   成される電界方向と平行な方向に隔壁部を分極処理した
   ことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録
   装置。