JP2000334946A

JP2000334946A - インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置

Info

Publication number: JP2000334946A
Application number: JP14939799A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Takaura; 淳高浦
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1999-05-28
Filing date: 1999-05-28
Publication date: 2000-12-05

Abstract

(57)【要約】【課題】構造的クロストークが低減を簡易な構成で行
うことができない。【解決手段】振動板３を樹脂フィルム４とＳＵＳ材５
の積層体とし、樹脂フィルム４の厚さＴは液室１２の短
手方向幅Ｗに対し、略０．０３５＊Ｗ＜Ｔ＜０．０６５
＊Ｗの範囲内にある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はインクジェットヘッド及
びインクジェット記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プ
ロッタ等の画像記録装置（画像形成装置を含む意味。）
に用いるインクジェット記録装置に用いるインクジェッ
トヘッドは、インク滴を吐出するノズルと、このノズル
が連通する液室（圧力室、加圧液室、吐出室、インク流
路等とも称される。）と、この液室内のインクを加圧す
るエネルギーを発生するアクチュエータ手段（エネルギ
ー発生手段）とを備えて、アクチュエータ手段を駆動す
ることで吐出室内インクを加圧してノズルからインク滴
を吐出させるものであり、記録の必要なときにのみイン
ク滴を吐出するインク・オン・デマンド方式のものが主
流である。

【０００３】そして、インク滴（記録液体）を吐出させ
るためのアクチュエータ手段の種類により、幾つかの方
式に大別される。例えば、圧電素子などの電気機械変換
素子を用いたピエゾ型インクジェットヘッドとしては、
特公平７−５７５４５号公報に記載されているように、
Ｄ３３型の圧電素子の積層体（積層型圧電素子）を用い
て振動板を介してインク液室を加圧するようにしたも
の、特開平９−３００６１０号公報に記載されているよ
うに、Ｄ３１型圧電素子とＤ３３型圧電素子とを併用し
てＤ３３型圧電素子の歪エネルギーの振動板への伝達効
率を向上させようとするもの、特開平６−３１２５０５
号公報や特開平７−１７８９０２号公報に記載されてい
るように、Ｄ３１型圧電素子を用いて振動板を介してイ
ンク液室を加圧するようにしたものなどが知られてい
る。

【０００４】また、振動板と電極を用いる静電型のイン
クジェットヘッドとしては、例えば特開平２−２８９３
５１号公報に記載されているように、Ｓiからなる液室
の一部を形成する振動板と、この振動板に対向して配置
された液室外の電極とを備え、振動板と電極との間に電
界を印加することで発生する静電力により振動板を変形
させて、液室内の圧力／体積を変化させることによりノ
ズルからインク滴を吐出させるものが知られている。

【０００５】ところで、インクジェットヘッドに対する
高密度、高精細化による高画質化の要求に対応するた
め、ノズルの配列ピッチを狭くする狭ピッチ化が必要に
なっている。ところが、インクジェットヘッドにおいて
は、チャンネル間のクロストーク（相互干渉）、即ち、
１つの液室を加圧してインク滴を吐出させたときに隣接
する液室に対しても加圧力が伝搬して隣接する液室から
吐出されるインク滴に影響を与えるという問題がある。

【０００６】特に狭ピッチ化によって液室間隔が狭まる
につれて、隣接するチャネル間の構造的なクロストーク
の他、これに付随して発生する音響的なクロストークの
影響が大きくなり、吐出特性（噴射特性）の安定性が低
下し、液滴量の減少や吐出速度の低下、チャンネル間で
のインク滴のバラツキなどが生じる。

【０００７】そこで、ヘッド筐体部の構造的なクロスト
ークを回避するものとして、例えば、ヘッドのチャンネ
ル（ノズル）を千鳥状に配置することで、ノズル間隔を
狭めるとともに、隣接するチヤネル間隔が狭くならない
ようにすることが知られている。しかしながら、この構
成ではチャンネルを千鳥状に配列することからヘッド面
積が大きくなることが避けられない。

【０００８】そこで、例えば、特開平９−１７４８３
６号公報に開示されているように、離間して構成された
圧電素子に接合される振動板を厚肉部と薄肉部より構成
し、各液室間には薄肉部が、液室部には厚肉部を配置
し、これによって任意の液室を駆動する際に、隣接する
液室の振動板の変形を生じ難くするようにしたものがあ
る。

【０００９】また、特開平１０−８６３６９号公報に
開示されているように、圧電素子のチャンネル間に切り
込みを設けた特殊なヘッド構造を採用して構造的なスト
ロークを回避するようにしたもの、特開平１０−４６
９６６号公報に開示されているように、液室に連結され
る圧電部材と、液室間に設けた圧電部材を用いて、これ
らを相互に駆動して構造クロストークを消去しようとす
るもの、特開平１０−５８６８４号公報に開示されて
いるようにエッジシュータタイプのヘッドにおけるクロ
ストーク回避手段として、フィンガー状の固定部材を液
室溝間の面に接合したものなども知られている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の各種インクジェットヘッドのうち、のヘッド
あっては振動板の薄肉部と厚肉部の厚さがどの程度であ
れば構造的なクロストークを回避できるのか不明であ
り、のヘッドにあっては圧電素子の切削コストが高く
なり、のヘッドにあっては液室間に設けた圧電素子を
駆動するための駆動回路が必要で、構成が複雑になり、
また消費電力の増大を招いてしまい、のヘッドにあっ
てはフィンガー状の固定部材を液室溝間の面に接合しな
ければならず、組み付けコストが高くなる。

【００１１】しかも、上述した従来の技術にあっては、
ヘッドの高密度化によって生じるクロストークの発生要
因についての知見がなく、ヘッドの高密度化が進んでも
クロストークを回避できるのか否か定かでない。

【００１２】そこで、本発明者は、高密度化したヘッド
において圧電素子を用いた場合に生じる構造変形量につ
いての解析を行い、ヘッドの構成パラメータを選定する
ことで、簡単な構成で、駆動回路等を追加することな
く、高密度ヘッドにおけるクロストークを低減できるこ
とを見出した。

【００１３】以上のような知見に基づき、本発明は簡単
な構成でクロストークが少ないインクジェットヘッドを
提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明に係るインクジェットヘッドは、振動板を樹
脂フィルムとＳＵＳ材の積層体とし、樹脂フィルムの厚
さＴは液室の短手方向幅Ｗに対し、略０．０３５＊Ｗ＜
Ｔ＜０．０６５＊Ｗの範囲内にある構成としたものであ
る。なお、「＊」は乗算記号として用いる。

【００１５】別の本発明に係るインクジェットヘッド
は、圧電素子と振動板との当接面の幅Ｗ２は液室の短手
方向幅Ｗに対し、略０．０３５＊Ｗ＜Ｗ２＜０．０４５
＊Ｗ、の関係にある構成としたものである。

【００１６】さらに別の本発明に係るインクジェットヘ
ッドは、記振動板と液室間の隔壁とを接合すると共にこ
の接合領域の反対の面を隔壁のノズル列方向幅より狭い
範囲で固定した構成としたものである。この場合、振動
板の固定領域のノズル列方向の幅Ｗ３と圧電素子の配列
間隔Ｗ４とが、略Ｗ３＜０．８＊Ｗ４の関係にある構成
とすることが好ましい。

【００１７】さらにまた別の本発明に係るインクジェッ
トヘッド、液室間の隔壁内に空間を形成した構成とした
ものである。

【００１８】本発明に係るインクジェット記録装置は、
上記いずれかの本発明に係るインクジェットヘッドを搭
載したものである。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て添付図面を参照して説明する。図１は本発明を適用す
るインクジェットヘッドの一例を示すノズル配列方向の
模式的断面説明図、図２は図１の液室部の拡大説明図、
図３は同液室部の平面説明図である。

【００２０】このインクジェットヘッドは、ヘッド基板
１上に所定の間隔を置いて積層型圧電素子２を配置し、
この積層型圧電素子２上に樹脂フィルムとしてのポリイ
ミドフィルム４及びＳＵＳ材５の積層体からなる振動板
３を接合し、この振動板３上に液室間隔壁７を形成する
液室隔壁部材６を接合し、さらに液室隔壁部材６上にノ
ズル連通路９を形成した流路形成部材８及びノズル１１
を形成したノズルプレート１０を順次積層している。

【００２１】これらの振動板３、液室隔壁部材６及び流
路形成部材８によって振動板３を介して圧電素子２で加
圧される液室（圧力室）１２と、図３に示すように各圧
力室１２にインクを供給する共通インク流路１３、及び
共通インク流路１３と圧力室１２とを連通する流体抵抗
部１４などのインク流路を形成する。なお、液室隔壁部
材６及び流路形成部材８はＳＵＳ材を用い、また、ノズ
ルプレート１０はニッケルの共析メッキで形成してい
る。さらに、圧電素子２を駆動するための図示しない駆
動ＩＣを実装している。

【００２２】ここで、上述したように振動板３はポリイ
ミドフィルム４とＳＵＳ材５の積層体としている。振動
板３としてＳＵＳ材を用いることによってコストを低減
することができるが、ピンホール欠陥をなくし、耐イン
ク性（接液性）を高めるために樹脂フィルムを積層した
ものである。

【００２３】そこで、このインクジェットヘッドに本発
明を適用した具体的実施形態について図４以降をも参照
して説明する。まず、第１実施形態について図４及び図
５を参照して説明する。この第１実施形態においては、
振動板３におけるポリイミドフィルム４の厚さＴを、圧
力室（液室）１１の短手方向（ノズル配列方向）幅をＷ
としたとき、略０．０３５＊Ｗ＜Ｔ＜０．０６５＊Ｗの
範囲内になるようにしている。

【００２４】これをノズルピッチ（ノズル１０の配列ピ
ッチ）を１５０dpiとし、圧力室１２の短手方向幅Ｗを
１００μｍ、長手方向幅Ｗ１を１６００μｍ、高さＨを
７０μｍとし、また圧電素子２と振動板３との接合面の
ノズル配列方向の幅Ｗ２を６０μｍとしたヘッドを例に
して具体的に説明する。

【００２５】実施例として、振動板３を厚さ３０μｍの
ＳＵＳ材５上にポリイミドフイルム４を積層し、このポ
リイミドフィルム４の厚さＴを５μｍ、すなわち、Ｔ＝
０．０５＊Ｗにした。

【００２６】比較例として、振動板３を厚さ３０μｍの
ＳＵＳ材５上にポリイミドフイルム４を積層し、このポ
リイミドフィルム４の厚さＴを１０μｍ、すなわち、Ｔ
＝０．１０＊Ｗにした。

【００２７】これらの実施例及び比較例の各ヘッドの１
つの圧電素子２に駆動電圧を印加して０．１５５μｍ変
位させ、隣接するチャンネルの圧電素子２は非駆動とし
た。このときの液室部（圧力室、隔壁、振動板）の変形
分布を計測し、各部の変形状態を図示すると図４及び図
５に示すようになる。図中、圧力室１２が圧電素子２を
駆動した圧力室１２、隣接する圧力室１２n-1、１２n+1
が圧電素子２を駆動していない圧力室１２を意味し、振
動板３にも同様に対応する符号を付している。また、各
図中の破線で示す状態が非駆動のときの振動板３、隔壁
７及び圧力室１２の状態である。

【００２８】実施例においては、図４に示すように、振
動板３は駆動チャンネルの領域３ｎのみが隆起し、非駆
動の隣接チャンネルの領域３n-1、３n+1は殆ど隆起せ
ず、また液室間隔壁７の撓み変形も殆どなく、全体とし
てクロストークが殆ど発生していないことが分かる。こ
れに対して、比較例においては、図５に示すように、振
動板３は非駆動の隣接チャンネルの領域３n-1、３n+1に
及んで隆起し、また液室間隔壁７も非駆動の圧力室３n-
1、３n+1側に変形し、クロストークが発生していること
が分かる。

【００２９】したがって、振動板３のポリイミドフィル
ム４の厚さＴをＴ＝０．０５＊Ｗにすることでクロスト
ークを低減することができる。この場合、ポリイミドフ
ィルム４の厚さＴの範囲については、厚さＴを０．０６
５＊Ｗ以上にすると前述したようにクロストークが大き
くなり、また、厚さＴを０．０３５＊Ｗ以下にするとフ
ィルム自体のピンホール欠陥や耐久的強度欠陥の発生が
懸念されるので、０．０３５＊Ｗ＜Ｔ＜０．０６５＊Ｗ
の範囲にすることが好ましい。上記実施例のヘッドで言
えば、ポリイミドフィルム４の厚さＴは４〜６μｍが好
ましい。

【００３０】次に、本発明の第２実施形態について図６
をも参照して説明する。この第２実施形態においては、
圧電素子と振動板との当接面の幅Ｗ２を圧力室１２の短
手方向幅Ｗに対し、略０．０３５＊Ｗ＜Ｗ２＜０．０４
５＊Ｗの範囲内になるようにしている。

【００３１】これをノズルピッチを１５０dpiとし、圧
力室１２の短手方向幅Ｗを１００μｍ、長手方向幅Ｗ１
を１６００μｍ、高さＨを７０μｍとし、また振動板３
のＳＵＳ材５の厚さを３０μｍ、ポリイミドフイルム４
の厚さを１０μｍとしたヘッドを例にして具体的に説明
する。

【００３２】実施例として、圧電素子２と振動板３との
接合面のノズル配列方向の幅Ｗ２を４０μｍ、すなわ
ち、Ｗ２＝０．４０＊Ｗとした。

【００３３】比較例として、圧電素子２と振動板３との
接合面のノズル配列方向の幅Ｗ２を６０μｍ、すなわ
ち、Ｗ２＝０．６０＊Ｗとした。

【００３４】これらの実施例の各ヘッドの１つの圧電素
子２に駆動電圧を印加して０．１５５μｍ変位させ、隣
接するチャンネルの圧電素子２は非駆動とした。このと
きの液室部（圧力室、隔壁、振動板）の変形分布を計測
し、各部の変形状態を図示すると図６に示すようにな
る。なお、比較例の場合は前述した図５に示す状態と同
様である。

【００３５】図６から分かるように、振動板３は駆動チ
ャンネルの領域３ｎが大きく隆起し、非駆動の隣接チャ
ンネルの領域３n-1、３n+1ではあまり隆起せず、クロス
トークが少なくなっていることが分かる。

【００３６】したがって、圧電素子２と振動板３との接
合面のノズル列方向幅Ｗ２をＷ２＝０．４０＊Ｗにす
る、つまり、圧力室１２のノズル列方向幅Ｗに対して圧
電素子２と振動板３との接合面のノズル列方向幅Ｗ２を
狭くすることでクロストークを低減することができる。

【００３７】この場合、接合面のノズル列方向幅Ｗ２を
狭くしすぎると、圧電素子２の変位量に対する圧力室１
２の容積変化率が低下し、加圧効率が低下する。この加
圧効率の低下は圧電素子２の駆動電圧の高電圧化を招き
消費電極が増大するので好ましくない。したがって、圧
電素子２と振動板３との接合面のノズル列方向幅Ｗ２は
圧力室１２のノズル列方向幅Ｗに対して０．３５＊Ｗ＜
Ｗ２＜０．４５Ｗの範囲に設定することが好ましい。上
記実施例のヘッドで言えば、接合面のノズル列方向幅Ｗ
２は３５〜４５μｍが好ましい。

【００３８】次に、本発明の第３実施形態について図７
及び図８をも参照して説明する。この第３実施形態にお
いては、図７に示すように、圧力室１２間の隔壁７と振
動板３とを接合し、かつ、振動板３には、隔壁７との接
合領域の反対の面に、ヘッド基板１上に立設した隔壁７
よりも幅の狭い固定部材１６に接合固定している。

【００３９】ここで、固定部材１４の幅（固定幅）Ｗ３
と圧電素子２，２のノズル列方向間隔Ｗ４とは、略Ｗ３
＜０．８＊Ｗ４になるようにしている。

【００４０】これをノズルピッチを１５０dpiとし、圧
力室１２の短手方向幅Ｗを１００μｍ、長手方向幅Ｗ１
を１６００μｍ、高さＨを７０μｍとし、また振動板３
のＳＵＳ材５の厚さを３０μｍ、ポリイミドフイルム４
の厚さを１０μｍ、圧電素子２のノズル列方向幅を９０
μｍとしたヘッドを例にして具体的に説明する。

【００４１】このヘッドにおいては、ノズルピッチを１
５０dpiの場合、ノズル列方向の各チャンネルの幅は１
６９μｍであり、このうち圧力室１２の幅を１００μｍ
とるので、圧力室間隔壁７の幅は６９μｍとなる。そし
て、圧電素子２の幅を９０μｍとしているので、圧電素
子２，２間の間隔Ｗ４は７９μｍになる。そこで、固定
部材１６の幅Ｗ３を６４μｍ、すなわち、Ｗ３＝０．８
＊Ｗ４とした。

【００４２】このヘッドの１つの圧電素子２に駆動電圧
を印加して０．１５５μｍ変位させ、隣接するチャンネ
ルの圧電素子２は非駆動とした。このときの液室部（圧
力室、隔壁、振動板）の変形分布を計測し、各部の変形
状態を図示すると図８に示すようになる。なお、比較例
の場合は前述した図５に示す状態と同様である。

【００４３】図８から分かるように、振動板３は駆動チ
ャンネルの領域３ｎ部分が大きく隆起し、非駆動の隣接
チャンネルの領域３n-1、３n+1では隆起せず、また液室
間隔壁７の撓み変形も少なく、クロストークが少なくな
っている。

【００４４】したがって、振動板３の液室間隔壁７より
も幅の狭い領域を固定することによってクロストークが
低減する。

【００４５】この場合、固定部材１６の幅Ｗ３を液室間
隔壁７の幅と同じにすると、固定部材１６の接合マージ
ンが少なくなり、圧電素子と接触して圧電素子の駆動特
性を劣化させ、ヘッドの信頼性が低下する。例えば、上
述したヘッドで固定部材１６の幅Ｗ３を液室間隔壁７と
同じ６９μｍにすると、圧電素子２，２間の間隔Ｗ４が
７９μｍであるから、その差は１０μｍとなり、固定部
材１６の接合位置精度のマージンは±５μｍ以下にな
る。

【００４６】これに対して、上記のとおり固定部材１６
の幅Ｗ３を圧力素子２，２間の間隔Ｗ４の０．８倍以下
に限定することにより、上述したヘッドでは固定部材１
６の幅Ｗ３は最大６４μｍとなり、接合位置精度のマー
ジンは±１５μｍとなる。現状における位置合わせ精度
の１σを±５μｍと考えると、３σでも±１５μｍとな
り、十分に余裕のある接合を行うことができる。

【００４７】次に、本発明の第４実施形態について図９
及び図１０をも参照して説明する。この第４実施形態に
おいては、図９に示すように、圧力室１２間の隔壁７内
に、圧力室１２の長手方向に沿って、略圧力室１２の高
さＨ相当の深さを有するスリット溝を設けることで空間
１７を形成している。この空間１７の幅は隔壁７の幅Ｗ
３より狭くなる。

【００４８】これをノズルピッチを１５０dpiとし、圧
力室１２の短手方向幅Ｗを１００μｍ、長手方向幅Ｗ１
を１６００μｍ、高さＨを７０μｍとし、また振動板３
のＳＵＳ材５の厚さを３０μｍ、ポリイミドフイルム４
の厚さを１０μｍ、圧電素子２のノズル列方向幅を９０
μｍとしたヘッドを例にして具体的に説明する。

【００４９】このヘッドにおいては、ノズルピッチを１
５０dpiの場合、ノズル列方向の各チャンネルの幅は１
６９μｍであり、このうち圧力室１２の幅を１００μｍ
とるので、圧力室間隔６ａの幅は６９μｍとなる。そこ
で、この隔壁７のノズル列方向中央部に幅１０μｍ程度
のスリット溝を形成して空間１７を形成した。

【００５０】このヘッドの１つの圧電素子２に駆動電圧
を印加して０．１５５μｍ変位させ、隣接するチャンネ
ルの圧電素子２は非駆動とした。このときの液室部（圧
力室、隔壁、振動板）の変形分布を計測し、各部の変形
状態を図示すると図１０に示すようになる。なお、比較
例の場合は前述した図５に示す状態と同様である。

【００５１】図１０から分かるように、隔壁７のうちの
空間１７で分割された駆動側圧力室１２に面する隔壁部
分７ａは変形するが、非駆動側圧力室１２に面する隔壁
部分７ｂは殆ど変形せず、クロストークが少なくなって
いる。

【００５２】したがって、隔壁７内に空間１７を形成す
ることでクロストークが低減する。

【００５３】なお、上記各実施形態は互いに排斥するも
のではなく、複数の実施形態を同時に実施することがで
き、これにより、一層クロストークを低減することがで
きる。例えば、図４に示した第１実施形態と図６に示し
た第２実施形態を共に実施したときには、前述したヘッ
ド構成で圧電素子を駆動したときの変形状態は図１１に
示すようになり、振動板部分のみが効率的に隆起して効
率的な圧力伝達を行うことができると共に、隣接チャン
ネル間のクロストークも殆どなくなる。そして、上述し
た各実施形態の１つ又は複数の組み合わせに係るインク
ジェットヘッドをインクジェット記録装置に搭載するこ
とによって、クロストークの改善され、高品質画像を記
録することができる。

【００５４】また、上記各実施形態では圧電素子を用い
るピエゾ型インクジェットヘッドに適用した例で説明し
たが、圧電素子が本質的要素となっていない発明につい
ては、振動板と電極を用いる静電型インクジェットヘッ
ドにも適用することができる。さらに、上記実施形態の
圧電素子としては積層型圧電素子を用いているが、単層
圧電素子を用いることもでき、単層圧電素子はスクリー
ン印刷で振動板上に簡易に作製することができる。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るイン
クジェットヘッドによれば、振動板を樹脂フィルムとＳ
ＵＳ材の積層体とし、樹脂フィルムの厚さＴは液室の短
手方向幅Ｗに対し、略０．０３５＊Ｗ＜Ｔ＜０．０６５
＊Ｗの範囲内にある構成としたので、クロストークを低
減することができて画像品質が向上する。

【００５６】別の本発明に係るインクジェットヘッドに
よれば、圧電素子と振動板との当接面の幅Ｗ２は液室の
短手方向幅Ｗに対し、略０．０３５＊Ｗ＜Ｗ２＜０．０
４５＊Ｗ、の関係にある構成としたので、クロストーク
を低減することができて画像品質が向上する。

【００５７】さらに別の本発明に係るインクジェットヘ
ッドによれば、記振動板と液室間の隔壁とを接合すると
共にこの接合領域の反対の面を隔壁のノズル列方向幅よ
り狭い範囲で固定したので、クロストークが低減して画
像品質が向上する。この場合、振動板の固定領域のノズ
ル列方向の幅Ｗ３と圧電素子の配列間隔Ｗ４とが、略Ｗ
３＜０．８＊Ｗ４の関係にある構成とすることで、接合
マージンを多く採ることができ、組み立て作業効率が向
上する。

【００５８】さらにまた別の本発明に係るインクジェッ
トヘッド、液室間の隔壁内に空間を形成したので、クロ
ストークが低減して画像品質が向上する。

【００５９】本発明に係るインクジェット記録装置は、
上記いずれかの本発明に係るインクジェットヘッドを搭
載したので、高画像品質の画像を記録することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用するインクジェットヘッドの一例
を示すノズル列方向の模式的断面説明図

【図２】図１の液室部の拡大説明図

【図３】同液室部の平面説明図

【図４】本発明の第1実施形態に係る実施例における液
室部の変形状態を説明する説明図

【図５】比較例における液室部の変形状態を説明する説
明図

【図６】本発明の第２実施形態に係る実施例における液
室部の変形状態を説明する説明図

【図７】本発明の第３実施形態に係る構成を説明する要
部説明図

【図８】同実施形態に係る実施例における液室部の変形
状態を説明する説明図

【図９】本発明の第４実施形態に係る構成を説明する要
部説明図

【図１０】同実施形態に係る実施例における液室部の変
形状態を説明する説明図

【図１１】第1、第２実施形態を組み合せた実施例にお
ける液室部の変形状態を説明する説明図

【符号の説明】

１…ヘッド基板、２…圧電素子、３…振動板、４…ポリ
イミドフィルム、５…ＳＵＳ材、６…液室隔壁部材、７
…隔壁、８…流路形成部材、９…ノズル連通路、１０…
ノズルプレート、１１…ノズル、１２…圧力室（液
室）、１６…固定部材、１７…空間。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ノズルが連通する液室の少なくとも一面
を形成する振動板を備えたインクジェットヘッドにおい
て、前記振動板が樹脂フィルムとＳＵＳ材の積層体であ
り、前記樹脂フィルムの厚さＴは前記液室の短手方向幅
Ｗに対し、略０．０３５＊Ｗ＜Ｔ＜０．０６５＊Ｗの範
囲内にあることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】ノズルが連通する液室の少なくとも一面
を形成する振動板と、この振動板を介して前記液室を加
圧する圧電素子とを備えたインクジェットヘッドにおい
て、前記圧電素子と振動板との当接面の幅Ｗ２は前記液
室の短手方向幅Ｗに対し、略０．０３５＊Ｗ＜Ｗ２＜
０．０４５＊Ｗの範囲内にあることを特徴とするインク
ジェットヘッド。
【請求項３】ノズルが連通する液室を形成する液室隔
壁部材と、前記液室の少なくとも一面を形成する振動板
と、この振動板を介して前記液室を加圧する圧電素子と
を備えたインクジェットヘッドにおいて、前記振動板と
前記液室間の隔壁とを接合すると共にこの接合領域の反
対の面を前記隔壁のノズル列方向幅より狭い範囲で固定
したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】請求項３に記載のインクジェットヘッド
において、前記振動板の固定領域のノズル列方向幅Ｗ３
は前記圧電素子の配列間隔Ｗ４に対し、略Ｗ３＜０．８
＊Ｗ４の関係にあることを特徴とするインクジェットヘ
ッド。
【請求項５】ノズルが連通する液室の隔壁を形成する
液室隔壁部材と、前記液室の少なくとも一面を形成する
振動板を備えたインクジェットヘッドにおいて、前記液
室間の隔壁内に空間を形成したことを特徴とするインク
ジェットヘッド。
【請求項６】ノズルからインク滴を吐出させるインク
ジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置にお
いて、前記インクジェットヘッドが前記請求項１乃至５
のいずれかに記載のインクジェットヘッドであることを
特徴とするインクジェット記録装置。