JP6433148B2 - 液体吐出装置 - Google Patents
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本発明の第1実施形態による液体吐出装置について図面を用いて説明する。図1は、本実施形態による液体吐出装置の概略を示す斜視図である。図2は、本実施形態による液体吐出装置の一部を示す断面図である。
次に、本実施形態による液体吐出装置の評価結果について説明する。
本発明の第2実施形態による液体吐出装置について説明する。図5は、本実施形態による液体吐出装置を示す断面図である。図1乃至図4に示す第1実施形態による液体吐出装置と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略または簡潔にする。
次に、本実施形態による液体吐出装置の評価結果について説明する。
次に、本実施形態による液体吐出装置の製造方法について説明する。図7乃至図10は、本実施形態による液体吐出装置の製造方法を示す工程断面図である。
次に、上記実施形態による液体吐出装置についての評価結果を以下に示す。
実施例1〜3による液体吐出装置は、図1に示すような構造とした。実施例1〜3のいずれにおいても、隔壁4の高さを230μmとした。実施例1では、壁面43の高さを側壁9の高さの25%とした。即ち、実施例1では、壁面43の高さを58μmとした。実施例2では、壁面43の高さを側壁9の高さの50%とした。即ち、実施例2では、壁面43の高さを115μmとした。実施例3では、壁面43高さを側壁9の高さの65%とした。即ち、実施例3では、壁面43の高さを150μmとした。実施例1〜3のいずれにおいても、壁面44の高さを230μmとした。また、実施例1〜3のいずれにおいても、壁面41を壁面43に対して壁面41の法線方向に10μm後退させた。隔壁4の下部側の部分の厚さ、即ち、壁面43と壁面44との間の寸法は、70μmとした。隔壁4の上面に残存する導電膜3をラッピングにより除去し、圧電プレート1と同じ材料からなるカバープレート5を圧電プレート1上に接合した。各々のインク流路2aに対応する複数のノズル6を有するオリフィスプレート7を、圧電プレート1の端面に接合した。こうして、実施例1〜3による液体吐出装置を作製した。
実施例4,5による液体吐出装置は、図5に示すような構造とした。実施例4,5のいずれにおいても、隔壁4の高さを230μmとした。また、実施例4,5のいずれにおいても、壁面43の高さを115μmとした。実施例4では、壁面44の高さを壁面43の高さの1.4倍とした。即ち、実施例4では、壁面44の高さを161μmとした。実施例5では、壁面44の高さを壁面43の高さの1.7倍とした。即ち、実施例5では、壁面44の高さを196μmとした。また、実施例4,5のいずれにおいても、壁面41を壁面43に対して壁面41の法線方向に10μm後退させた。隔壁4の下部側の部分の厚さ、即ち、壁面43と壁面44との間の寸法は、70μmとした。隔壁4の上面に残存する導電膜3をラッピングにより除去し、圧電プレート1と同じ材料からなるカバープレート5を圧電プレート1上に接合した。各々のインク流路2aに対応する複数のノズル6を有するオリフィスプレート7を、圧電プレート1の端面に接合した。こうして、実施例4,5による液体吐出装置を作製した。
実施例6,7による液体吐出装置は、図1に示すような構造とした。実施例6,7のいずれにおいても、隔壁4の高さを230μmとした。実施例6,7のいずれにおいても、壁面43の高さを側壁9の高さの50%とした。即ち、実施例6,7のいずれにおいても、壁面43の高さを115μmとした。実施例6,7のいずれにおいても、壁面44の高さを230μmとした。実施例6では、隔壁4のうちの上部側の厚さを45μmとした。実施例7では、隔壁4のうちの上部側の厚さを30μmとした。実施例6,7のいずれにおいても、隔壁4の下部側における厚さを70μmとした。隔壁4の上面に残存する導電膜3をラッピングにより除去し、圧電プレート1と同じ材料からなるカバープレート5を圧電プレート1上に接合した。各々のインク流路2aに対応する複数のノズル6を有するオリフィスプレート7を、圧電プレート1の端面に接合した。こうして、実施例6,7による液体吐出装置を作製した。
比較例1,2による液体吐出装置は、図1に示すような構造とした。比較例1,2のいずれにおいても、隔壁4の高さを230μmとした。比較例1では、壁面43の高さを側壁9の高さの20%とした。即ち、比較例1では、壁面43の高さを46μmとした。比較例2では、壁面43の高さを側壁9の高さの70%とした。即ち、比較例2では、壁面43の高さを161μmとした。
比較例3による液体吐出装置は、図3に示すような構造とした。隔壁4の高さは、230μmとした。また、壁面43の高さは、115μmとした。壁面44の高さは、壁面43の高さと同等とした。即ち、壁面44の高さを115μmとした。壁面41を壁面43に対して壁面41の法線方向に10μm後退させた。隔壁4の下部側の部分の厚さ、即ち、壁面43と壁面44との間の寸法は、70μmとした。隔壁4の上面に残存する導電膜3をラッピングにより除去し、圧電プレート1と同じ材料からなるカバープレート5を圧電プレート1上に接合した。各々のインク流路2aに対応する複数のノズル6を有するオリフィスプレート7を、圧電プレート1の端面に接合した。こうして、比較例3による液体吐出装置を作製した。
比較例4,5による液体吐出装置は、図1に示すような構造とした。比較例4,5のいずれにおいても、隔壁4の高さを230μmとした。また、比較例4,5のいずれにおいても、壁面43の高さは、115μmとした。比較例4,5のいずれにおいても、壁面44の高さを230μmとした。比較例4では、壁面41を壁面43に対して壁面41の法線方向に5μm後退させた。比較例5では、壁面41を壁面43に対して壁面41の法線方向に20μm後退させた。隔壁4の下部側の部分の厚さ、即ち、壁面43と壁面44との間の寸法は、70μmとした。隔壁4の上面に残存する導電膜3をラッピングにより除去し、圧電プレート1と同じ材料からなるカバープレート5を圧電プレート1上に接合した。各々のインク流路2aに対応する複数のノズル6を有するオリフィスプレート7を、圧電プレート1の端面に接合した。こうして、比較例1,2による液体吐出装置を作製した。
2a…インク流路
3a、3b…電極
4…隔壁
41…壁面
42…壁面
43…壁面
44…壁面
5…カバープレート
Claims (9)
- 複数の圧力室と、圧電体を含み、前記複数の圧力室をそれぞれ仕切る複数の隔壁と、前記複数の圧力室にそれぞれ形成された複数の電極とを有する圧電トランスデューサを有し、
前記複数の隔壁は、第1の側壁と、前記第1の側壁の背面側に位置する第2の側壁とをそれぞれ有し、
前記第1の側壁の上部に位置する第1の壁面は、前記第1の壁面の下方に位置する第2の壁面に対して、前記第1の壁面の法線方向に後退して位置しており、
前記複数の電極のうちの第1の電極は、前記第2の壁面に形成されており、
前記複数の電極のうちの第2の電極は、前記第2の側壁に形成されており、
前記第2の電極の上端の高さは、前記第1の電極の上端の高さより高く、
前記複数の圧力室のうちの前記第1の側壁に面している圧力室が、液体流路として用いられる
ことを特徴とする液体吐出装置。 - 複数の圧力室と、圧電体を含み、前記複数の圧力室をそれぞれ仕切る複数の隔壁と、前記複数の圧力室にそれぞれ形成された複数の電極とを有する圧電トランスデューサを有し、
前記複数の隔壁は、第1の側壁と、前記第1の側壁の背面側に位置する第2の側壁とをそれぞれ有し、
前記第1の側壁の上部に位置する第1の壁面は、前記第1の壁面の下方に位置する第2の壁面に対して、前記第1の壁面の法線方向に後退して位置しており、
前記複数の電極のうちの第1の電極は、前記第2の壁面に形成されており、
前記複数の電極のうちの第2の電極は、前記第2の側壁に形成されており、
前記第2の電極の上端の高さは、前記第1の電極の上端の高さより高く、
前記第2の側壁の上部に位置する第3の壁面は、前記第3の壁面の下方に位置する第4の壁面に対して、前記第3の壁面の法線方向に後退して位置しており、
前記第4の壁面の上端は、前記第2の壁面の上端よりも上方に位置しており、
前記第2の電極は、前記第4の壁面に形成されており、
前記第2の電極の上端の高さは、前記第4の壁面の上端の高さと同じである
ことを特徴とする液体吐出装置。 - 複数の圧力室と、圧電体を含み、前記複数の圧力室をそれぞれ仕切る複数の隔壁と、前記複数の圧力室にそれぞれ形成された複数の電極とを有する圧電トランスデューサを有し、
前記複数の隔壁は、第1の側壁と、前記第1の側壁の背面側に位置する第2の側壁とをそれぞれ有し、
前記第1の側壁の上部に位置する第1の壁面は、前記第1の壁面の下方に位置する第2の壁面に対して、前記第1の壁面の法線方向に後退して位置しており、
前記複数の電極のうちの第1の電極は、前記第2の壁面に形成されており、
前記複数の電極のうちの第2の電極は、前記第2の側壁に形成されており、
前記第2の電極の上端の高さは、前記第1の電極の上端の高さより高く、
前記第1の壁面には電極が形成されてない
ことを特徴とする液体吐出装置。 - 前記第2の側壁の上部に位置する第3の壁面は、前記第3の壁面の下方に位置する第4の壁面に対して、前記第3の壁面の法線方向に後退して位置しており、
前記第4の壁面の上端は、前記第2の壁面の上端よりも上方に位置しており、
前記第2の電極は、前記第4の壁面に形成されており、
前記第2の電極の上端の高さは、前記第4の壁面の上端の高さと同じである
ことを特徴とする請求項1または3記載の液体吐出装置。 - 前記複数の圧力室のうちの前記第1の側壁に面している圧力室が、液体流路として用いられる
ことを特徴とする請求項2または3に記載の液体吐出装置。 - 前記第2の壁面の高さは、前記第1の側壁の高さの25%以上、65%以下である
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の液体吐出装置。 - 前記第4の壁面の高さは、前記第2の壁面の高さの1.4倍以上であり、
前記第4の壁面の高さは、前記第2の側壁の高さの50%を超えている
ことを特徴とする請求項2または4に記載の液体吐出装置。 - 前記第1の壁面は、前記第2の壁面に対して、前記第1の壁面の法線方向に10μm以上後退している
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の液体吐出装置。 - 前記隔壁のうちの上部の厚さは、30μm以上である
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の液体吐出装置。
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JP2014096777A JP6433148B2 (ja) | 2014-05-08 | 2014-05-08 | 液体吐出装置 |
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JP2014096777A Active JP6433148B2 (ja) | 2014-05-08 | 2014-05-08 | 液体吐出装置 |
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2014
- 2014-05-08 JP JP2014096777A patent/JP6433148B2/ja active Active
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