JP2012131158A - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
液体吐出ヘッドの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012131158A JP2012131158A JP2010286124A JP2010286124A JP2012131158A JP 2012131158 A JP2012131158 A JP 2012131158A JP 2010286124 A JP2010286124 A JP 2010286124A JP 2010286124 A JP2010286124 A JP 2010286124A JP 2012131158 A JP2012131158 A JP 2012131158A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- forming
- pressure chambers
- manufacturing
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】第1の側面から第2の側面まで連通し、第1の側面側の開口から液体を吐出する複数の圧力室307が第1の側面の長手方向に間隔をとって配置された平板状の圧電部材を形成する工程と、複数の圧力室307の内壁面に第1の電極309を形成する工程と、平板状の圧電部材の、一対の主面の一方に、段差609を形成する工程と、段差609を形成した圧電部材における圧力室307同士の間を、第1の側面から段差609まで切断することによって、互いに独立した複数の圧力室307が段差609から延びた櫛状の圧電部材を形成する工程と、複数の櫛状の圧電部材を互いに積層し、第2の領域で接合する工程と、第2の領域で接合した複数の櫛状の圧電部材の外表面に第2の電極310を形成する工程と、を有する。
【選択図】 図7
Description
まず、本発明の製造方法により製造された液体吐出ヘッドが搭載されたインクジェット記録装置の構成について説明する。図1は、本発明の製造方法により製造された液体吐出ヘッドが搭載されたインクジェット記録装置の概略構成を示す図である。図1に示す記録装置では、搬送ベルト104の上に記録媒体102が載置されている。搬送ベルト104は、搬送ローラー103に張架され、無端ベルト状である。搬送ベルト104を駆動することによって、記録媒体102は、搬送方向(図1の矢印参照)に搬送される。
本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法について説明する。
309 第1の電極
310 第2の電極
609 段差
Claims (7)
- 互いに対向する一対の主面と、前記一対の主面に隣接する矩形の4つの側面と、を有する平板状の圧電部材であって、前記4つの側面の一つである第1の側面から前記第1の側面に対向する第2の側面まで連通し、前記第1の側面側の開口から液体を吐出する複数の圧力室が前記第1の側面の長手方向に間隔をとって配置された平板状の圧電部材を形成する工程と、
前記複数の圧力室の内壁面に第1の電極を形成する工程と、
前記平板状の圧電部材の、前記一対の主面の一方に、前記第1の側面に隣接し前記複数の圧力室に対向する第1の領域を、前記第2の側面に隣接し前記第1の領域とともに前記一方の主面を二分する第2の領域に対して凹ませる段差を形成する工程と、
前記段差を形成した圧電部材における圧力室同士の間を、前記第1の側面から前記段差まで切断することによって、互いに独立した前記複数の圧力室が前記段差から延びた櫛状の圧電部材を形成する工程と、
複数の前記櫛状の圧電部材を互いに積層し、前記第2の領域で接合する工程と、
前記第2の領域で接合した前記複数の櫛状の圧電部材の外表面に第2の電極を形成する工程と、を有する、液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第2の電極が、前記第1の側面をマスキングした状態でスパッタリング、蒸着、またはめっきによって形成される、請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1の電極が、無電解めっきによって形成される、請求項1または2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記圧力室の前記内壁面を構成する複数の溝が形成され、前記複数の溝の各々に第1の個別電極が形成された第1の圧電プレートと、前記複数の溝に対応する位置に第2の個別電極が形成された第2の圧電プレートとを、前記第1の個別電極と前記第2の個別電極とが電気的に接続するように接合することによって、前記複数の圧力室および前記第1の電極を形成する工程を有する、請求項1から3までのいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1の個別電極を、スパッタリング、蒸着、またはめっきによって形成する、請求項4に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1の個別電極と前記第2の個別電極との金属接合によって、前記第1の圧電プレートと前記第2の圧電プレートを接合する、請求項4または5に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1の電極を覆う保護膜が形成する工程を有する、請求項1から6までのいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010286124A JP5748474B2 (ja) | 2010-12-22 | 2010-12-22 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010286124A JP5748474B2 (ja) | 2010-12-22 | 2010-12-22 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012131158A true JP2012131158A (ja) | 2012-07-12 |
JP5748474B2 JP5748474B2 (ja) | 2015-07-15 |
Family
ID=46647323
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010286124A Expired - Fee Related JP5748474B2 (ja) | 2010-12-22 | 2010-12-22 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5748474B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014239197A (ja) * | 2013-05-07 | 2014-12-18 | Tdk株式会社 | 圧電素子およびその製造方法 |
WO2017141996A1 (ja) * | 2016-02-18 | 2017-08-24 | コニカミノルタ株式会社 | 圧電素子の製造方法及び圧電素子 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06502810A (ja) * | 1990-12-06 | 1994-03-31 | マークポイント ディベロップメント アクチボラゲット | 要請により生ずる液滴のエゼクタの構成 |
EP0670218A2 (en) * | 1994-03-03 | 1995-09-06 | Fujitsu Limited | Ink jet head |
JPH09300615A (ja) * | 1996-05-13 | 1997-11-25 | Minolta Co Ltd | 圧電アクチュエータおよびその製造方法並びにこれを用いたインクジェット記録ヘッド |
JP2005153369A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP2006087285A (ja) * | 2004-08-17 | 2006-03-30 | Ngk Insulators Ltd | 一次元圧電アクチュエータアレイ |
JP2006327163A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Fujifilm Holdings Corp | 円筒型圧電素子アクチュエータを用いた液体吐出ヘッド並びにその製造方法 |
JP2007160837A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-28 | Konica Minolta Holdings Inc | 液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出ヘッド |
WO2009021119A1 (en) * | 2007-08-07 | 2009-02-12 | Nabob Rx | Analgesic cream |
-
2010
- 2010-12-22 JP JP2010286124A patent/JP5748474B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06502810A (ja) * | 1990-12-06 | 1994-03-31 | マークポイント ディベロップメント アクチボラゲット | 要請により生ずる液滴のエゼクタの構成 |
EP0670218A2 (en) * | 1994-03-03 | 1995-09-06 | Fujitsu Limited | Ink jet head |
JPH07290705A (ja) * | 1994-03-03 | 1995-11-07 | Fujitsu Ltd | インクジェットヘッド |
JPH09300615A (ja) * | 1996-05-13 | 1997-11-25 | Minolta Co Ltd | 圧電アクチュエータおよびその製造方法並びにこれを用いたインクジェット記録ヘッド |
JP2005153369A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP2006087285A (ja) * | 2004-08-17 | 2006-03-30 | Ngk Insulators Ltd | 一次元圧電アクチュエータアレイ |
JP2006327163A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Fujifilm Holdings Corp | 円筒型圧電素子アクチュエータを用いた液体吐出ヘッド並びにその製造方法 |
JP2007160837A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-28 | Konica Minolta Holdings Inc | 液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出ヘッド |
WO2009021119A1 (en) * | 2007-08-07 | 2009-02-12 | Nabob Rx | Analgesic cream |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014239197A (ja) * | 2013-05-07 | 2014-12-18 | Tdk株式会社 | 圧電素子およびその製造方法 |
US11623247B2 (en) | 2016-02-08 | 2023-04-11 | Konica Minolta, Inc. | Method for producing piezoelectric element, and piezoelectric element |
WO2017141996A1 (ja) * | 2016-02-18 | 2017-08-24 | コニカミノルタ株式会社 | 圧電素子の製造方法及び圧電素子 |
JPWO2017141996A1 (ja) * | 2016-02-18 | 2018-12-06 | コニカミノルタ株式会社 | 圧電素子の製造方法及び圧電素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5748474B2 (ja) | 2015-07-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5752906B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
US9259928B2 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
JP2015120296A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
WO2019130408A1 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法、インクジェット記録装置の製造方法、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 | |
JP5997219B2 (ja) | 圧電アクチュエータ基板、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置 | |
JP5748474B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP5893977B2 (ja) | 液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置 | |
JP4661951B2 (ja) | 液滴噴射装置 | |
CN110065305B (zh) | 一种压电喷头结构及其制造方法 | |
WO2016143162A1 (ja) | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 | |
JPH08187846A (ja) | インクジェット記録装置 | |
JP5522126B2 (ja) | 圧電アクチュエータの製造方法及び液体移送装置の製造方法 | |
JP2016137589A (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェットプリンタ | |
JP5757354B2 (ja) | 圧電アクチュエータの製造方法及び液体移送装置の製造方法 | |
JP7266991B2 (ja) | 液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドチップの形成方法 | |
JP6008486B2 (ja) | 圧電プレート及び液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP7288750B2 (ja) | ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置 | |
JP2011206945A (ja) | 液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置 | |
JP5922856B1 (ja) | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 | |
JP6039365B2 (ja) | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 | |
JP6166118B2 (ja) | 圧電アクチュエータ基板、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置 | |
JPWO2004052651A1 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法、及びインクジェット式記録装置 | |
JP5977031B2 (ja) | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置 | |
JP2012130880A (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JPH05261917A (ja) | インクジェット式印字ヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131224 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20140430 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140813 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140819 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141016 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150414 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150512 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |