JP2016137589A - インクジェットヘッド及びインクジェットプリンタ - Google Patents

Abstract

【課題】高い駆動周波数を実現できるインクジェットヘッド及びインクジェットプリンタを提供する。【解決手段】一実施形態にかかるインクジェットヘッドは、圧電ベースと、ノズルプレートと、カバープレートと、フレームと、を備える。圧電ベースは、圧電体を備えるとともに、複数の溝が並列に設けられる。ノズルプレートは、前記複数の溝のうち１つおきに配された第１の溝で構成される圧力室に連通するノズルを有する。カバープレートは、前記第１の溝で構成される前記圧力室に連通する開口を有するとともに、前記第１の溝の間に配される複数の第２の溝を塞ぐ。フレームは、前記カバープレートの前記開口を通じて前記圧力室に連通する共通室を形成する。【選択図】図１

Description

本発明の実施形態は、インクジェットヘッド及びインクジェットプリンタに関する。

例えば、駆動素子として圧電アクチュエータを用いたシェアモードシェアードウォール方式のインクジェットヘッドが開示されている。このインクジェットヘッドは、隣接する圧力室共通の側壁が駆動するため、隣接するノズルを同時に駆動することはできない。また、ノズルを１つおきに同時駆動する場合にも、中央のノズルからインクが誤吐出する場合がある。したがって、ノズルを２つおきで同時駆動する、いわゆる３分割構造としている。

また、駆動周波数を改善するため、圧力室を一個おきに空気チャネルとし、ノズルを１つおきに設けることで、１つおきの同時駆動とすることもある。この場合、ノズル数は半減するが駆動周波数は３倍となるので、ヘッド全体としての駆動周波数を１．５倍にすることができる。また、圧力室を１つおきに空気チャネルとすることで駆動ノズルの圧力が伝達されにくく、クロストークを抑制できる。圧力室を一個おきに空気チャネルとする場合、隣接する圧力室や共通室からインクが流入するのを防止する必要があるため、装置の構造及び製造工程が複雑となる。

特開平８−５８０９０号公報

本発明が解決しようとする課題は、高い駆動周波数を実現できるインクジェットヘッド及びインクジェットプリンタを提供することである。

一実施形態において、インクジェットヘッドは、圧電ベースと、ノズルプレートと、カバープレートと、フレームと、を備える。圧電ベースは、圧電体を備えるとともに、複数の溝が並列に設けられる。ノズルプレートは、前記複数の溝のうち１つおきに配された第１の溝で構成される圧力室に連通するノズルを有する。カバープレートは、前記第１の溝で構成される前記圧力室に連通する開口を有するとともに、前記第１の溝の間に配される複数の第２の溝を塞ぐ。フレームは、前記カバープレートの前記開口を通じて前記圧力室に連通する共通室を形成する。

第１実施形態にかかるインクジェットヘッドの一部を破断して示す斜視図。 同インクジェットヘッドの断面図。 同インクジェットヘッドの断面図。 同インクジェットヘッドの断面図。 同インクジェットヘッドの動作を示す説明図。 同インクジェットヘッドの製造方法を示す説明図。 同インクジェットヘッドの製造方法を示す説明図。 同インクジェットヘッドの製造方法を示す説明図。 同インクジェットヘッドの製造方法を示す説明図。 同インクジェットヘッドの製造方法を示す説明図。 同インクジェットヘッドの製造方法を示す説明図。 同インクジェットヘッドを用いた第２実施形態にかかるインクジェットプリンタの構成を示す説明図。 他の実施形態にかかるインクジェットヘッドのカバーフレーム部材の構成を示す説明図。

以下に、第１実施形態に係るインクジェットヘッド１０の構成について、図１乃至図５を参照して説明する。なお、図中矢印Ｘ，Ｙ，Ｚはそれぞれ互いに直交する３方向を示す。また、各図において説明のため、適宜構成を拡大、縮小または省略して示している。

本実施形態のインクジェットヘッド１０は、いわゆるエンドシューター型のシェアモードシェアウォール方式のインクジェットヘッドである。インクジェットヘッド１０内には、ノズルであるノズルに連通する複数の圧力室Ｃ１と、複数の圧力室の間に形成される空気室Ｃ２と、複数の圧力室に連通する共通室Ｃ３が形成される。インクジェットヘッド１０は、内部に作りこまれた圧力室Ｃ１内でインクを常時循環させるインク循環型である。

図１乃至図４に示すように、インクジェットヘッド１０は、圧電部材を有する圧電ベース１１と、複数のノズルであるノズル孔６１を有するノズルプレート６０と、カバー部材であるカバープレート３０と、フレームであるフレーム部材４０と、蓋部材５０と、を備える。

圧電ベース１１は、基板１２と、圧電部である積層圧電体１３とを備える。圧電ベース１１の図中上側（一方側）の表面に複数の溝１４が形成される。

積層圧電体１３は、上下方向の分極方向が相反する２枚の圧電部材１３ａ，１３ｂが積層されて構成され、例えば切断加工により所定の形状及び大きさの細長い方形の板状に形成される。圧電部材として、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）系圧電セラミックス材料が用いられる。２枚の圧電部材１３ａ，１３ｂは分極方向が逆向きになるように分極され、接着層を介して接着されている。

基板１２は、方形の板状である。基板１２のＸ方向の一端には、積層圧電体１３の断面形状と同じ形状の切り欠きである凹部１２ａが形成されている。凹部１２ａは、基板１２のＹ方向全長に渡って形成されている。この凹部１２ａに、積層圧電体１３が収容される。また、基板１２の上面であってＸ方向の他端側には、配線パターン１７が形成されている。

基板１２は、圧電部材を構成する圧電材料より誘電率の小さい材料で構成されている。基板１２を構成する材料は、積層圧電体１３を構成する圧電部材とは異なる圧電材料が好適であり、例えばアルミナ、ジルコニア等のセラミックを使用できる。

基板１２は、具体的には、快削性セラミックスやチタン酸マグネシウム、ボロンナイトライド、アルミナイトライド、及びこれらの複合材等の比較的軟らかいセラミックスで構成される。この場合、積層圧電体１３を構成するＰＺＴが比較的柔らかいため、基板１２と積層圧電体１３とを同時加工する際の加工が容易となる。また、基板１２の材料としてＰＺＴより誘電率が小さいＰＺＴを選択することも可能である。

なお、一般に、アクチュエータとして使用される圧電材料は圧電定数が大きく、誘電率も大きい。また比誘電率（ε１１Ｔ／ε０）で１０００〜５０００程度である。基板１２に圧電材料を用いる場合、圧電定数は小さくてもよい。例えば、住友金属社製Ｈ８Ｈ（ε１１Ｔ／ε０＝５２０）や村田製作所製Ｐ−４（ε１１Ｔ／ε０＝２４７）、富士セラミックス社製Ｃ４（ε１１Ｔ／ε０＝５２０）等が好適に使用できる。

圧電ベース１１に形成された複数の溝１４は、Ｘ方向の一方の側部から一定距離に渡って上面が開口する有底のスリットである。溝１４は、上面視において長手方向がＸ方向に沿う細長い形状である。Ｙ方向において並列する複数の溝１４は互いに平行に形成されている。溝１４は、第１の圧電素子１５ａを構成する上側の圧電部材の上面から第２の圧電素子１５ｂを構成する下側の圧電部材に至る所定深さを有している。複数の溝１４は、例えば、ＩＣウェハーの切断等に用いているダイシングソーのダイヤモンドホイール等により研削され、その場合加工上図２に示すように底面が湾曲した形状となる。溝１４のサイズは、インクジェットプリンタヘッドの仕様などにより異なる。

Ｙ方向において並列する複数の溝１４は、交互に配される第１の溝１４ａと第２の溝１４ｂとで構成される。第１の溝１４ａはノズル孔６１及び共通室Ｃ３に連通する圧力室Ｃ１を構成する。第２の溝１４ｂは閉塞された空気室Ｃ２を構成する。

積層圧電体１３の、隣接する溝１４の間に形成された支柱状の部分が、圧力発生手段の駆動部となる積層圧電素子１５を構成する。すなわち、圧電ベース１１には、複数の細長い積層圧電素子１５が複数の溝１４を介してＹ方向に並んで配置される。積層圧電素子１５は、第１の圧電素子１５ａ及び第２の圧電素子１５ｂを積層して備え、第２の圧電素子１５ｂの積層方向一端が連続し、積層圧電体１３の断面が櫛歯形状になっている。

各溝１４で構成される圧力室Ｃ１または空気室Ｃ２の内面底部及び両側面には、電極１６が形成されている。電極１６は、溝１４の底部から基板１２の上面に至って形成され、配線パターン１７に接続されている。

電極１６は、例えば、真空蒸着法や無電解ニッケルメッキ法等の手法で形成される。この時同時に真空蒸着法や無電解メッキ法等の手法で配線パターン１７が形成される。例えば、無電解メッキ法であれば、微細な溝１４内にも容易に金属膜を形成できる。なお、本実施形態において電極１６の材料はニッケルを用いるが、これに限られるものではない。

電極１６は、例えば他に金や銅等で形成してもよい。あるいは２種以上の導電性の膜を積層しても良い。基板１２のＸ方向他方側の上面部分は枠部材の外側に露出する。このため、この部位の配線パターン１７にＦＰＣなどで駆動回路を接続することができる。

カバープレート３０は、複数の開口３１を有する方形の板状部材である。カバープレート３０は、圧電ベース１１の上面上に配置され、Ｘ方向一方側の部分の領域を覆う。具体的にはカバープレート３０は、積層圧電体１３及び基板１２の一方側から配線パターン１７の一部の領域を覆う。カバープレート３０には、複数のスリット状の開口３１が厚み方向に貫通して形成される。開口３１は、圧力室Ｃ１を構成する第１の溝１４ａに対応する位置に設けられている。この開口３１により、第１の溝１４ａで構成される圧力室Ｃ１と、カバープレート３０の外側の共通室Ｃ３とが連通し、開口３１を通じてインク等の吐出材料が圧力室Ｃ１に流入する。カバープレート３０は、開口３１が第１の溝１４ａの上側に対応し、その他の板状部分が複数の第２の溝１４ｂの上側の開口３１を塞ぐ位置に、配置される。すなわち、カバープレート３０を圧電ベース１１に接着することで、共通室Ｃ３に連通する圧力室Ｃ１と閉塞された空気室Ｃ２とが交互に構成される。

カバープレート３０は、例えば低熱膨張金属で構成され、好ましくは、ＰＺＴ、セラミックス、ガラス、快削性セラミックスのいずれかを含む材料で構成される。具体的には、厚さ１０〜５００μｍｍ程度の、ＰＺＴ、セラミックス、ガラス、快削性セラミックスなどが好適であり、エッチング、レーザ加工、超音波加工、サンドブラストなどで開口３１が形成される。この場合特に、ダイヤモンドカッターでの加工性がよい。この他、カバープレート３０を鉄ニッケル合金などの低熱膨張金属で構成し、エッチング、レーザ加工、超音波加工、サンドブラストなどの方法で開口３１を形成し、圧電ベース１１との接合面にスパッタ等で絶縁膜を形成した物でも良い。また、接着後の反り緩和のため、カバープレート３０の熱膨張率は積層圧電素子１５を構成するＰＺＴに近いほうが望ましい。例えば、ＰＺＴの熱膨張率は１０^−６／Ｋ台であるので、カバープレート３０も同様に１０^−６／Ｋ台であることが望ましい。また、ショートを防ぐため、カバープレート３０を絶縁物で構成することが望ましい。あるいはカバープレート３０と圧電ベース１１との接合面には絶縁膜が設けられる。

フレーム部材４０は、中央に開口４１を有する方形の枠状に構成され、カバープレート３０の一方側の表面の外周縁に接合される。フレーム部材４０は所定の厚さを有し、カバープレート３０と蓋部材５０との間に、共通室Ｃ３を形成する。この共通室Ｃ３は、カバープレート３０の開口３１を通じて圧力室Ｃ１に連通する。フレーム部材４０は、インクなどの吐出材料を案内するガイド機能を果たす。

蓋部材５０は、外部からインクを流入させるインク供給口を有する矩形の板状部材である。蓋部材５０は、フレーム部材４０の上面に接合され、フレーム部材４０の開口４１の一方側を塞ぎ、共通室Ｃ３を構成する。

圧電ベース１１，カバープレート３０、フレーム部材４０、及び蓋部材５０は、圧電構造部を構成する。圧電構造部の側面に、ノズルプレート６０が設けられる。

ノズルプレート６０は、厚さ１０〜１００μｍ程度の方形の板状に構成される。ノズルプレート６０は、圧電構造部のＸ方向一方側の側面に設けられる。ノズルプレート６０には、厚さ方向に貫通する複数のノズル孔６１を有するノズル列が形成されている。ノズル孔６１は、１個おきに配置された複数の圧力室Ｃ１に対応する位置にそれぞれ設けられている。すなわち、ノズルプレート６０は、第１の溝１４ａで構成される圧力室Ｃ１に連通するノズル孔６１を有するとともに、第２の溝１４ｂで構成される空気室Ｃ２の側方の開口３１を塞ぐ。

以下、本実施形態に係るインクジェットヘッド１０の製造工程について図６乃至図１１を参照して説明する。なお、本実施形態においてはＸ方向に並列する複数の圧電構造部を一体に製造した後、これらを切断して、複数のインクジェットヘッド１０を製造する手順を示す。なお、本実施形態では４つのインクジェットヘッド１０を製造する場合を例示する。

図６に示すように、予め板厚方向に分極された２枚の板状の圧電部材を分極方向が互い違いになるよう積層し、その積層体を所望の幅及び長さにカットして積層圧電体１３Ａを形成する（圧電体形成工程）。このとき、２つ分のインクジェットヘッド１０の幅である積層圧電体１３Ａを、２本用いる。

次いで、凹部形成工程において、積層圧電体１３Ａを構成する圧電部材とは異なる材質の板状の基材に、積層圧電体１３Ａを嵌合するための凹部１２ａＡを形成し、基板１２を形成する（基板形成工程）。

積層圧電体１３Ａを基板１２Ａの凹部１２ａＡに嵌合させ、接着剤等で隙間なく貼り付ける（圧電ベース接合工程）。接着剤が上面にはみ出す場合には、研磨等で切除する。また、基板１２上面は平面にしておく。以上により、４つのインクジェットヘッド１０に相当する幅を有する基板１２における２カ所に、それぞれ２つ分の幅を有する積層圧電体１３Ａが設けられる。

図７に示すように、積層圧電体１３Ａを備える基板１２Ａの表面に、ダイシングソーやスライサー等を使用した機械加工により、複数の溝１４を形成する（溝形成工程）。

図８に示すように、真空蒸着法等により電極１６や配線パターン１７等の導電膜を形成する（導電パターン形成工程）。以上により４つ分の圧電ベース１１Ａが完成する。

続いて、図９に示すように、圧電ベース１１Ａの上面にカバープレート３０Ａを接着する。このとき、開口３１が第１の溝１４ａに対応するよう配置する。なお、このときカバープレート３０の２つ分の幅を有するカバープレート３０Ａを、２箇所に配する。

さらに、図１０に示す接合工程において、カバープレート３０Ａの上面にフレーム部材４０Ａを接合固定する。なお、このとき２つのフレーム部材４０が一体に構成されたフレーム部材４０Ａを、それぞれ２箇所のカバープレート３０Ａ上に配する。以上により、４つ分の圧電構造体が一体に形成される。

この後、図１１に示すように、ダイシング加工により４分割することで、４つの圧電構造体が完成する。この個々の圧電構造体の上面の共通室Ｃ３を覆うように蓋部材５０を接着して取り付ける。さらに圧電構造体の側面に、溝１４の側方の開口を覆うようにノズルプレート６０を接着して取り付ける。このとき、第１の溝１４ａにノズル孔６１が対向して配されるとともに第２の溝１４ｂが閉塞される位置にノズルプレート６０を取り付ける。以上により、図１に示すインクジェットヘッド１０が完成する。

以上のように構成されたインクジェットヘッド１０において、ノズル孔６１から材料を吐出する駆動時には、駆動回路により配線パターン１７を介して駆動素子に駆動電圧を印加することで、駆動する圧力室Ｃ１内の電極１６と、両隣の空気室Ｃ２の電極１６に電位差を与える。すると、第１の圧電素子１５ａと第２の圧電素子１５ｂは互いに逆向きに変形し、両圧電素子の変形により、駆動素子が「Ｌ」字状に屈曲変形する。一例として、まず図５（ａ）に示すように、駆動する圧力室Ｃ１を開く方向に変形させ圧力室Ｃ１内を負圧にすることで、開口３１からインクを圧力室Ｃ１内に導く。続いて図５（ｂ）に示すように、圧力室Ｃ１を閉じる方向に変形させ、圧力室Ｃ１内を加圧することで、ノズル孔６１からインク滴が吐出される。このように圧電部材のシェアモードを利用し、圧力室Ｃ１の側壁を動かす方式をシェアモードシェアウォール方式と称する。

なお、比較例として、解像度やノズル数を優先し、全ての圧力室にノズルを設けた場合、全圧力室からインク滴を吐出させている。この場合、圧力室を駆動するとき、隣接圧力室の電極も利用するため、隣り合う圧力室を同時に駆動することはできない。また、複数の圧力室を１本おきに駆動する場合にあっても、駆動しない中央の圧力室が加圧され誤吐出を生じる場合がある。このため多くの場合、２つ以上あけて圧力室を駆動する。２つおきで駆動する場合、３分割駆動と称する。したがって、個々のノズルが仮に３０ｋＨｚの駆動周波数で駆動可能でも、ヘッドとしてはその１／３である１０ｋＨｚでの駆動しかできないことになる。

これに対し、本実施形態では、カバープレート３０を設け、一つおきに閉塞された空気室Ｃ２を形成している。また、ダミーの空気室Ｃ２にはノズルを設けず、吐出材料が入る圧力室Ｃ１のみに対応するノズル孔６１を設けている。このため、ノズル孔のない空気室Ｃ２からはインク滴が吐出できないので、３０ｋＨｚ駆動が可能となる。なお、一つおきに圧力室Ｃ１にノズルを設けることから、ヘッド辺りのノズル数は半減する。このためインクジェットヘッド１０全体としては、見掛け１５ｋＨｚ相当の能力となる。この場合には、比較例の構造の１．５倍の駆動を達成できる。したがって、単純な構造で、高い駆動周波数を実現できる。

また、本実施形態では、駆動しない空気室Ｃ２は全て同じ電位とすることができるので、電極１６を共通電極とすることができる。例えば共通電極をグランドとして駆動する圧力室Ｃ１に駆動波形を印加してもよい。また個別電極にも同じ波形を与えれば電位差が無いので圧電部材は変形しない。このため、常に駆動波形を与え、個別電極を駆動するときにグランドとする方法でも良い。更には空気室Ｃ２に個別電極を用いても良い。

本実施形態において、基板１２として圧電材料を使用する場合には、圧電ベース１１の静電容量が小さくなって消費電力が小さく、駆動回路の発熱を押さえることもできる。また、溝１４を形成する加工時や分割時に、基板１２と積層圧電体１３の圧電部材とが同様な加工特性を有しているため加工条件が容易になる。また、基板１２と積層圧電体１３の圧電部材との熱膨張係数を同等にすることができて熱硬化性の接着剤を用いても接合後の反りや変形を防止することができる。
［第２実施形態］
以下、第２実施形態に係るインクジェットプリンタ１００について、図１２を参照して説明する。インクジェットプリンタ１００は、第１実施形態にかかるインクジェットヘッドを用いたプリンタである。

インクジェットプリンタ１００は、所定の搬送経路に沿って例えば記録媒体である用紙Ｐを搬送しながら画像形成等の各種処理を行う装置である。インクジェット記録装置１は、筐体１１０と、用紙供給部としての給紙カセット１１１と、排出部としての排紙トレイ１１２と、保持ローラ（ドラム）１１３と、搬送装置１１４と、反転装置１１８と、を備える。

筐体１１０はインクジェットプリンタ１００の外郭を構成する。給紙カセット１１１は、筐体１１０の内部に設けられる。排紙トレイ１１２は、筐体１１０上部に設けられる。保持ローラ（ドラム）１１３は、用紙Ｐを外面上に保持して回転する。搬送装置１１４は、給紙カセット１１１から保持ローラ１１３の外周を通って排紙トレイ１１２に至って形成される所定の搬送路Ａ１に沿って用紙Ｐを搬送する。反転装置１１８は、保持ローラ１１３から剥離された用紙Ｐの表裏面を反転させて再び保持ローラ１１３の表面上に供給する。

搬送装置１１４は、搬送路Ａ１に沿って設けられた複数のガイド部材１２１〜１２５や複数の搬送用ローラ１２６〜１３１を備えている。搬送用ローラとして、ピックアップローラや、給紙ローラ対、レジストローラ対、分離ローラ対、搬送ローラ対、排出ローラ対が設けられている。これらの搬送用ローラ１２６〜１３１は搬送用モータに駆動されて回転することで、用紙Ｐを搬送路Ａ１に沿って下流側に送る。

搬送路Ａ１には用紙の搬送状況を監視するためのセンサＳなどが各所に配置されている。

保持ローラ１１３は、その表面上に用紙Ｐを保持した状態で回転することにより用紙Ｐを搬送する。ここでは図１２中時計回りに回転することにより用紙Ｐを外周に沿って時計回りに搬送する。

保持ローラ１１３の外周部分において上流側から下流側に向かって順番に、保持装置１１５と、画像形成装置１１６と、除電剥離装置１１７と、クリーニング装置１１９と、が設けられている。

保持装置１１５は、押圧ローラ１１５ａと帯電ローラ１１５ｂとを備えている。押圧ローラ１１５ａは保持ローラ１１３の外面に押圧する。帯電ローラ１１５ｂは電力が供給されることで用紙Ｐを保持ローラ１１３の外面に吸着させる方向の静電気力を発生（帯電）する。この静電気力により用紙Ｐが保持ローラ１１３に吸着される。

画像形成装置１１６は、保持ローラ１１３の外面に対向配置された複数（４色）のインクジェットヘッド１０として、ここではシアン、マゼンダ、イェロー、ブラックの４色のインクジェットヘッド１０Ｃ，１０Ｍ、１０Ｙ，１０Ｋを備える。インクジェットヘッド１０Ｃ，１０Ｍ、１０Ｙ，１０Ｋは、所定のピッチで設けられたノズル孔６１から、用紙Ｐにインクを吐出して保持ローラ１１３の外面に保持された用紙Ｐに画像を形成する。各インクジェットヘッド１０Ｃ，１０Ｍ、１０Ｙ，１０Ｋとして、第１実施形態にて説明したインクジェットヘッド１０を用いる。

除電剥離装置１１７は、用紙Ｐを除電する除電ローラ１１７ａと、用紙Ｐを保持ローラ１１３から剥離する剥離爪１１７ｂと、を備える。

クリーニング装置１１９は、保持ローラ１１３に接触した状態で回転することにより保持ローラ１１３を清浄するクリーニング部材１１９ａを備える。

反転装置１１８は、保持ローラ１１３から剥離された用紙Ｐを反転させて再び保持ローラ１１３の表面上に供給する。反転装置１１８は、例えば用紙Ｐを前後方向逆にスイッチバックさせる所定の反転経路に沿って用紙Ｐを案内して搬送することにより用紙Ｐを反転させる。

この他、インクジェットプリンタ１００は、コントローラであるＣＰＵ（中央制御装置）と、各種のプログラムなどを記憶しているＲＯＭと、各種の可変データや画像データなどを一時的に記憶しているＲＡＭと、外部からのデータを入力したり、外部へデータを出力したりする、Ｉ／Ｆ（インターフェイス）と、を備える。

例えばユーザーがプリンタに対して印刷を指示すると、インクジェットプリンタ１００のＣＰＵはインクジェットヘッド１０Ｃ，１０Ｋ、１０Ｍ，１０Ｙに対して印字信号を駆動回路に出力する。これによりインクジェットヘッド１０が駆動され、用紙Ｐに画像が形成される。

以上の様に構成されたインクジェットプリンタ１００においても上記第１実施形態と同様の効果を得られる。すなわち、インクジェットプリンタ１００により、単純な構造で、高い駆動周波数を実現できる。

なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。

上記実施形態ではいわゆるエンドシューター型のインクジェットヘッド１０を例示したが、これに限られるものではなく、他に例えばサイドシューター型の構成に適用してもよい。

上記実施形態においては、基板１２に圧電部材からなる積層圧電体１３を備えた圧電ベース１１を例示したが、これに限るものではない。例えば基板を用いずに圧電部材のみで圧電ベースを形成しても良い。また、２枚の圧電部材を用いずに、１枚の圧電部材としてもよい。この場合、溝の深さ方向の半分まで電極を形成することで、上記第１実施形態と同様に圧電素子を変形させて駆動することができる。

上記第１実施形態においては、個別に形成されたカバープレート３０とフレーム部材４０とを順版に接合する例を示したが、これに限れられるものではない。例えば図１３に示すように、カバープレートとフレーム部材とを一体構造としたカバーフレーム部材３５Ａを用いてもよい。あるいは、カバープレート３０とフレーム部材４０を接合してから圧電ベース１１に接着する工程としてもよい。

この他、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１…インクジェット記録装置、１０（１０Ｃ、１０Ｋ、１０Ｍ、１０Ｙ）…インクジェットヘッド、１１…圧電ベース、１２…基板、１３…積層圧電体（圧電部）、１４…溝、１４ａ…第１の溝、１４ｂ…第２の溝、１５…積層圧電素子、第１の１５ａ…圧電素子、第２の１５ｂ…圧電素子、２０…ノズルプレート（ノズル部）、２１…ノズル孔、３０…カバープレート（カバー部材）、４０…フレーム。

Claims (5)

1. 圧電体を備えるとともに、複数の溝が並列に設けられる、圧電ベースと、
   複数の前記溝のうち１つおきに配された第１の溝で構成される圧力室に連通するノズルを有するノズルプレートと、
   前記第１の溝で構成される前記圧力室に連通する開口を有するとともに、前記第１の溝の間に配される複数の第２の溝を塞ぐカバープレートと、
   前記カバープレートの前記開口を通じて前記圧力室に連通する共通室を形成するフレームと、
   を備えることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記圧電ベースの一方側の表面に前記溝が設けられ、
   前記ノズルプレートは前記圧電ベースの外面に設けられ、
   前記カバープレートは前記圧電ベースの一方側に設けられ、
   前記フレームは前記カバープレートの一方側に設けられ、
   前記カバープレートは、ＰＺＴ、セラミックス、ガラス、快削性セラミックスのいずれかを含む材料で構成されることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
3. 前記カバープレートは、低熱膨張金属で構成され、
   前記カバープレートと前記圧電ベースとの接合面に絶縁膜が設けられることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
4. 前記カバープレートと前記フレームとが一体構造であることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
5. 前記１乃至４のいずれかに記載のインクジェットヘッドと、
   所定の搬送経路に沿って記録媒体を搬送する搬送装置と、
   を備えることを特徴とするインクジェットプリンタ。