JP2020026046A - インクジェットヘッド、インクジェット装置、及びインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】製造が容易なインクジェットヘッド、インクジェット装置、及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】一実施形態にかかるインクジェットヘッドは、ベースと、ノズルプレートと、カバープレートと、を備える。ベースは、第１方向に並び前記第１方向と交差する第２方向の少なくとも一方に開口する複数の第１の溝及び複数の第２の溝を有する。ノズルプレートは、前記第１の溝に連通するノズルを有する。カバープレートは、ドライフィルムレジストで形成され、前記ベースの前記第２方向の少なくとも一方側に配置され、前記第２の溝を塞ぐとともに、前記第１の溝に連通する開口を有する。【選択図】図７

Description

本発明の実施形態は、インクジェットヘッド、インクジェット装置、及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。

複数の圧力室を備えるシェアモードシェアードウォール方式のインクジェットヘッドにおいて、ノズルに連通する複数の圧力室と、これらの圧力室間に配される複数の空気室とを、所定の並列方向に交互に備える構成が知られている。このような液体吐出ヘッドは、例えば平板状のベース基板の端縁部に、複数の溝を形成し、ベース基板の両面に、空気室を覆う薄いセラミックス・ガラスなどからなるカバープレートを接着している。

特開２０００−１６８０９４号公報

カバープレートは、複数の圧力室に対応する位置に開口を有するため、高い加工精度が求められる。また、ベース基板とカバープレートとを接着する際には高い位置合わせ精度が求められる。

本発明が解決しようとする課題は、製造が容易なインクジェットヘッド、インクジェット装置、及びインクジェットヘッドの製造方法を提供することである。

一実施形態にかかるインクジェットヘッドは、ベースと、ノズルプレートと、カバープレートと、を備える。ベースは、第１方向に並び前記第１方向と交差する第２方向の少なくとも一方に開口する複数の第１の溝及び複数の第２の溝を有する。ノズルプレートは、前記第１の溝に連通するノズルを有する。カバープレートは、ドライフィルムレジストで形成され、前記ベースの前記第２方向の少なくとも一方側に配置され、前記第２の溝を塞ぐとともに、前記第１の溝に連通する開口を有する。

第１実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図。 同インクジェットヘッドの一部を破断して内部構造を示す斜視図。 同インクジェットヘッドの一部を示す説明図。 同インクジェットヘッドの一部を示す説明図。 同インクジェットヘッドの動作を示す説明図。 同インクジェットヘッドの動作を示す説明図。 同インクジェットヘッドの製造工程を示す説明図。 同インクジェットヘッドを用いたインクジェットプリンタの構成を示す説明図。

以下に、第１実施形態に係る液体吐出ヘッドであるインクジェットヘッド１及びインクジェット装置であるインクジェットプリンタ１００について、図１乃至図８を参照して説明する。各図において説明のため、適宜構成を拡大、縮小または省略して示している。図中矢印Ｘ、Ｙ，Ｚは、互いに直交する３方向を示している。本実施形態において、インクジェットヘッド１の第１方向がＸ軸に、第２方向がＹ軸に、第３方向がＺ軸に、それぞれ沿って配置された例を示す。

図１は、第１実施形態に係るインクジェットヘッド１の斜視図であり、図２は、インクジェットヘッド１の一部を破断して内部構造を示す斜視図である。図３はインクジェットヘッド１のケース部材４０の内部の構造を示す説明図である。図４はインクジェットヘッド１のベース１０の構成を示す説明図である。図５及び図６はインクジェットヘッド１の動作を示す説明図である。

図１乃至図６に示すインクジェットヘッド１は、いわゆるエンドシューター型のシェアモードシェアードウォール方式のインクジェットヘッドである。

インクジェットヘッド１は、ベース１０と、複数のノズル２１を有するノズルプレート２０と、カバー部材であるカバープレート３０と、ケース部材４０と、を備える。

ベース１０は、基板１２と、圧電部である積層圧電体１３とを備える。

基板１２は、方形の板状に構成されている。基板１２は、好ましくは、ＰＺＴ、セラミックス、ガラス、快削性セラミックス、あるいはこれらを含む材料で、構成される。

積層圧電体１３は、基板１２のノズルプレート２０側の端縁に位置する。積層圧電体１３は、２枚の圧電部材が積層されて構成される。圧電部材は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）系圧電セラミックス材料で構成されている。この他、圧電部材として、環境に配慮してＫＮＮ（ニオブ酸ナトリウムカリウム）等の無鉛系圧電セラミックスを使用してもよい。２枚の圧電部材は分極方向が逆向きになるように分極され、接着層を介して接着されている。

積層圧電体１３の、ノズルプレート２０と対向する端面には、第１方向に並ぶ複数の溝１４を有する溝列１４Ａが形成されている。積層圧電体１３のＸＺ面に沿う断面は櫛歯形状である。隣接する溝１４の間に形成された支柱状の部分が、溝１４の容積を変化させる駆動部となる積層圧電素子１５を構成する。

溝列１４Ａは、複数の第１の溝１４ａと、複数の第２の溝１４ｂとが、第１方向に交互に配列されている。複数の溝１４は、第１方向に複数並列して配置され、第２方向に沿って延び、互いに平行に配される。溝１４ａ，１４ｂはそれぞれ、ベース１０の第２方向の全長に亘って形成されている。すなわち、溝１４ａ，１４ｂは、ノズルプレート２０側及びカバープレート３０側に開口する。各溝１４ａ，１４ｂの内面底部及び両側面には、電極１６が形成されている。

第１の溝１４ａは、第２方向の両端が、フレーム部材４０ａの内側にて開口し、共通室Ｃ３に連通する。また、第１の溝１４ａに対向する位置にはノズル２１が設けられている。すなわち、第１の溝１４ａは、共通室Ｃ３に連通するとともにノズル２１に連通する圧力室Ｃ１を構成する。

第２の溝１４ｂは、第２方向の両端部がフレーム部材４０ａ内においてカバープレート３０によって覆われている。第２の溝１４ｂは閉塞され、共通室Ｃ３及び圧力室Ｃ１から隔てられた空気室Ｃ２を構成する。

積層圧電素子１５は、ベース１０の一端側において複数の溝１４の間に配される。すなわち、複数の積層圧電素子１５が、第１方向に並列する。各積層圧電素子１５は、第１の圧電素子１５ａと、第１の圧電素子１５ａに積層される第２の圧電素子１５ｂと、を備える。

電極１６はニッケルなどの導電性材料で構成される導電膜である。電極１６は、溝１４ａ，１４ｂの底部から基板１２の上面に至って形成され、配線パターン１７に接続されている。電極１６は、例えば、真空蒸着法や無電解ニッケルメッキ法等の手法で形成される。例えば、無電解メッキ法であれば、微細な溝１４内にも容易に金属膜を形成できる。なお、本実施形態において電極１６の材料はニッケルを用いるが、これに限られるものではない。

電極１６は、例えば金や銅等で形成してもよい。あるいは２種以上の導電性の膜を積層しても良い。

配線パターン１７（配線電極）は、例えば電極１６と同様のニッケルなどの導電性材料で形成され所定のパターン形状を有する導電膜である。配線パターン１７は、ベース１０の一対の主面１０ａ，１０ｂに形成される。配線パターン１７は、例えば真空蒸着法や無電解メッキ法等の手法で電極１６を形成する際に、同時に形成される。なお、基板１２のＺ方向他方側の部分は枠部材の外側に露出する。このため、この部位に配される配線パターン１７にＦＰＣなどで駆動回路を接続することができる。

ノズルプレート２０は、例えば、厚さ１０μｍ〜１００μｍのポリイミドフィルムから方形の板状に構成される。ノズルプレート２０には、厚さ方向に貫通する複数のノズル２１を有するノズル列が形成されている。ノズルプレート２０はベース１０の一端側の溝列１４Ａの第２方向における開口を覆うように対向配置されている。ノズル２１は、複数の圧力室Ｃ１に対応する位置にそれぞれ設けられている。すなわち、ノズルプレート２０は、第１の溝１４ａで構成される圧力室Ｃ１に連通するノズル２１を有するとともに、第２の溝１４ｂの開口を塞ぐ。

カバープレート３０はドライフィルムレジストで構成される。カバープレート３０は例えばエポキシ樹脂ベースの永久膜用のフォトレジスト（永久レジスト）で形成されている。カバープレート３０は、例えば膜厚が４０μｍ〜５０μｍ程度であり、ベース１０の両端面にそれぞれ設けられる。

カバープレート３０は、ノズルプレート側である一方の縁部が櫛歯状に形成された方形の板状部材である。カバープレート３０の縁部には開口である複数の切欠部３１が形成されている。すなわち、カバープレート３０は、複数の切欠部３１と、切欠部３１の間に配される凸形状の複数のカバー片３２とを有する。複数の切欠部３１と、複数のカバー片３２とを有する。複数の切欠部３１と、複数のカバー片３２とは交互に並ぶ。切欠部３１は、カバープレート３０の厚み方向に貫通して形成されている。切欠部３１は第１の溝１４ａに対応する位置に配される。このため、第１の溝１４ａの第２方向の両端は、カバープレート３０によって覆われずに、フレーム部材４０ａの内部にて開口している。したがって、第１の溝１４ａで構成される圧力室Ｃ１はカバープレート３０の外側に形成される共通室Ｃ３に連通し、切欠部３１を通じてインク等の液体が圧力室Ｃ１に流入する。

一方、カバー片３２は、第２の溝１４ｂに対応する位置に配される。このため、第２の溝１４ｂの第２方向の両端の開口はカバープレート３０のカバー片３２によって塞がれ、インクの流入が防止される。

すなわち、ベース１０の一端側には、共通室Ｃ３に連通する圧力室Ｃ１と、閉塞された空気室Ｃ２とが、交互に構成される。

ケース部材４０は、方形の枠状に構成されるフレーム部材４０ａと、フレーム部材４０ａの開口を塞ぐプレート状の蓋部材４０ｂと、を一体に備える。フレーム部材４０ａはベース１０の外周を囲み、ベース１０の一部の領域の外周を覆う。具体的には、フレーム部材４０ａは、ベース１０の第１方向の端面に接合されるプレート状の一対の第１フレーム片４１と、ベース１０の外面である両主面１０ａ，１０ｂに所定距離離間して配されるプレート状の一対の第２フレーム片４２と、を備える。フレーム部材４０ａは、カバープレート３０で覆われたベース１０との間に、共通室Ｃ３を形成する。共通室Ｃ３は、カバープレート３０の切欠部３１を通じて圧力室Ｃ１に連通する。フレーム部材４０ａは、インクなどの液体を案内するガイド機能を果たす。フレーム部材４０ａの一方側の開口縁である端縁はノズルプレート２０の外周に接合され、フレーム部材４０ａの他方側の開口縁である端縁に蓋部材４０ｂが設けられている。

蓋部材４０ｂはフレーム部材４０ａと一体に構成されている。蓋部材４０ｂは、外部から共通室Ｃ３にインクを流入させる供給口と、共通室Ｃ３から外部にインクを排出する排出口と、を有する矩形の板状部材である。供給口には供給流路１３３ａが接続され、排出口には回収流路１３３ｂが接続される。蓋部材４０ｂは、フレーム部材４０ａの開口の一方側を塞ぎ、共通室Ｃ３を構成する。

すなわち、ノズルプレート２０とフレーム部材４０ａと蓋部材４０ｂによって、ベース１０のノズルプレート２０側の部分であるアクチュエータ部分が覆われている。また、ベース１０のうちノズルプレート２０の反対側でフレーム部材４０ａ及び蓋部材４０ｂの外側に延びる部分の配線パターン１７に駆動回路などの各種電子部品が実装される。

以上のように構成されたインクジェットヘッド１のフレーム部材４０ａの内部には、ノズル２１に連通する複数の圧力室Ｃ１と、カバープレート３０で塞がれた複数の空気室Ｃ２と、複数の圧力室Ｃ１に連通する共通室Ｃ３と、が形成される。インクジェットヘッド１は、内部に形成される圧力室Ｃ１及び共通室Ｃ３を通る流路においてインクを循環させる。

以下、本実施形態に係るインクジェットヘッド１の製造方法について図１、図３、及び図７を参照して説明する。

まず、ＳＴ１として、溝１４を有さないベース１０を形成する。具体例として、図７に示すように、板厚方向に分極された２枚の板状の圧電部材を分極方向が互い違いになるよう積層し、その積層体を所望の幅及び長さにカットして積層圧電体１３を形成する。

さらに、積層圧電体１３を構成する圧電部材とは異なる材質の板状の基板１２に積層圧電体１３を接着剤等で貼り付け、表面の研磨処理や、ダイシングソーやスライサー等を使用した機械加工を施して所定形状の外形を有するベース１０を成形する。なお、例えば予め複数枚分の厚さのブロック状のベース部材を形成してから分割し、所定形状のベース１０を複数枚製造してもよい。

続いて、ＳＴ２として、機械加工によりベース１０の積層圧電体１３に第１の溝１４ａ及び第２の溝１４ｂを形成する。さらに、各溝１４ａ，１４ｂ内を含むベース１０の外面の所定箇所に、真空蒸着法等により電極１６や配線パターン１７等の導電膜を形成する。

続いて、ＳＴ３として、ベース１０の両面に、カバープレート３０となる板状のドライフィルムレジスト３０Ａを貼付ける。具体的には、例えば板状のドライフィルムレジスト３０Ａを、ベース１０の第２方向の両端面に押し当て、５０℃前後の熱ローラによって熱圧着する。

続いて、ＳＴ４として、露光処理を行う。具体的には、まず、例えばネガ型のパターン形状を有するフォトマスク５０をベース１０の端面に重ねて配置し、フォトマスクを用いて９０℃前後でプリベーク処理を施すことで、ドライフィルムレジスト３０Ａのフォトマスク５０に覆われていない所定部位を仮硬化する。さらに、ドライフィルムレジスト３０Ａを専用の現像液に浸すことで、フォトマスク５０のパターン形状に対応する所定部位を溶解して切欠部３１となる開口を形成する。さらに１２０℃前後でポストベーク処理を行うことにより、ドライフィルムレジスト３０Ａを本硬化させる。以上の露光及び現像により、図３に示すように複数の切欠部３１と凸形状のカバー片３２とが交互に配される所定形状にドライフィルムレジスト３０Ａが成形される。例えば本実施形態においては、第１の溝１４ａに対向する位置に切欠部３１が配されるとともに、第２の溝１４ｂがカバー片３２によって覆われる。

さらにカバープレート３０の外側にフレーム部材４０ａを接合固定し、研磨するとともに、上面の共通室Ｃ３を覆うように蓋部材４０ｂを接着して取り付ける。そして、溝１４ａ，１４ｂを覆うようにノズルプレート２０を接着して取り付ける。このとき、第１の溝１４ａにノズル２１が対向して配されるとともに第２の溝１４ｂが閉塞される位置にノズルプレート２０を取付ける。さらに、図１に示すように基板１２の主面に形成された配線パターン１７に、フレキシブルケーブル５１を介して駆動ＩＣチップ５２や回路基板５３を接続することで、インクジェットヘッド１が完成する。

次に、インクジェットヘッド１を有するインクジェットプリンタ１００について、図８を参照して説明する。図８はインクジェットプリンタ１００の構成を示す説明図である。図８に示すように、インクジェットプリンタ１００は、筐体１１１と、媒体供給部１１２と、画像形成部１１３と、媒体排出部１１４と、搬送装置１１５と、制御部１１６と、を備える。

インクジェットプリンタ１００は、媒体供給部１１２から画像形成部１１３を通って媒体排出部１１４に至る所定の搬送路Ａ１に沿って、吐出対象物である記録媒体として例えば用紙Ｐを搬送しながらインク等の液体を吐出することで、用紙Ｐに画像形成処理を行う液体吐出装置である。

媒体供給部１１２は複数の給紙カセット１１２ａを備える。媒体排出部１１４は、排紙トレイ１１４ａを備える。画像形成部１１３は、用紙を支持する支持部１１７と、支持部１１７の上方に対向配置された複数のヘッドユニット１３０と、を備える。

支持部１１７は、画像形成を行う所定領域にループ状に備えられる搬送ベルト１１８と、搬送ベルト１１８を裏側から支持する支持プレート１１９と、搬送ベルト１１８の裏側に備えられた複数のベルトローラ１２０と、を備える。

ヘッドユニット１３０は、複数のインクジェットヘッド１と、各インクジェットヘッド１上にそれぞれ搭載された液体タンクとしての複数のインクタンク１３２と、インクジェットヘッド１とインクタンク１３２とを接続する接続流路１３３と、循環部である循環ポンプ１３４と、を備える。ヘッドユニット１３０は、液体を循環させる循環型のヘッドユニットである。

本実施形態において、インクジェットヘッド１としてシアン、マゼンダ、イエロー、ブラックの４色のインクジェットヘッド１Ｃ，１Ｍ，１Ｙ，１Ｂと、これらの各色のインクをそれぞれ収容するインクタンク１３２として、インクタンク１３２Ｃ，１３２Ｍ，１３２Ｙ，１３２Ｂを備える。インクタンク１３２は接続流路１３３によってインクジェットヘッド１に接続される。接続流路１３３は、インクジェットヘッド１の供給口に接続される供給流路１３３ａと、インクジェットヘッド１の排出口に接続される回収流路１３３ｂと、を備える。

また、インクタンク１３２には、図示しないポンプなどの負圧制御装置が連結されている。そして、インクジェットヘッド１とインクタンク１３２との水頭圧に対応して、負圧制御装置によりインクタンク１３２内を負圧制御することで、インクジェットヘッド１の各ノズルに供給されたインクを所定形状のメニスカスに形成させている。

循環ポンプ１３４は、例えば圧電ポンプで構成される送液ポンプである。循環ポンプ１３４は、供給流路１３３ａに設けられている。循環ポンプ１３４は、配線により制御部１１６の駆動回路に接続される。ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）１１６ａは循環ポンプ１３４を制御可能に構成されている。循環ポンプ１３４は、インクジェットヘッド１とインクタンク１３２を含む循環流路で液体を循環させる。

搬送装置１１５は、媒体供給部１１２の給紙カセット１１２ａから画像形成部１１３を通って媒体排出部１１４の排紙トレイ１１４ａに至る搬送路Ａ１に沿って、用紙Ｐを搬送する。搬送装置１１５は、搬送路Ａ１に沿って配置される複数のガイドプレート対１２１ａ〜１２１ｈと、複数の搬送用ローラ１２２ａ〜１２２ｈと、を備えている。

制御部１１６は、コントローラであるＣＰＵ１１６ａと、各種のプログラムなどを記憶するＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）と、各種の可変データや画像データなどを一時的に記憶するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）と、外部からのデータの入力及び外部へのデータの出力をするインターフェイス部と、を備える。

インクジェットヘッド１及びインクジェットプリンタ１００において、ノズル２１から液体を吐出する駆動時には、制御部１１６は、駆動回路により、配線パターン１７を介して駆動電圧を印加する。電圧の印加により駆動する圧力室Ｃ１内の電極と、両隣の空気室Ｃ２の電極に電位差を与えると、第１の圧電素子１５ａと第２の圧電素子１５ｂは互いに逆向きに変形し、両圧電素子の変形により、駆動素子が屈曲変形する。例えば、図５に示す様に、まず駆動する圧力室Ｃ１を開く方向に変形させ圧力室Ｃ１内を負圧にすることで、切欠部３１からインクを圧力室Ｃ１内に導く。続いて、図６に示す様に、圧力室Ｃ１を閉じる方向に変形させ、圧力室Ｃ１内を加圧することで、ノズル２１からインク滴を吐出させる。

本実施形態にかかるインクジェットヘッド１及びインクジェットプリンタ１００によれば、空気室Ｃ２を塞ぎ圧力室Ｃ１を開口するカバープレート３０をドライフィルムレジストで形成したことにより、複数の切欠部３１を高い位置精度で構成することができるため、密に配列された圧力室Ｃ１及び空気室Ｃ２を精度良く形成することができる。例えばベース１０がセラミックス材料で構成されている場合に、樹脂材料で構成されたカバープレートを熱圧着により接着すると、例えば接着時の熱処理の際にベースとカバープレートとの熱膨張率の相違により位置ずれが生じることから、高精度に製造することが困難である。一方、低温で接着できる接着剤を利用する場合には、材料の制約により耐薬品性を確保することが難しくなるため、使用できるインクが限られる。また、ベースと同様にセラミックス材料でカバープレートを形成することも考えられるが、セラミックスの板部材に高精細な加工を施す必要が生じることから、製造が困難となる。これに対し、上記本実施形態によれば、カバープレート３０をドライフィルムレジストで構成することで、露光処理を用いて容易に高精細な成形が可能となるため、例えば金属材料やセラミックスの板部材を機械加工する場合と比べて製造が容易であり、製造コストを低く抑えることができる。さらに樹脂材料で構成されたカバープレート３０を熱圧着により接着する場合と比べて、熱変形による位置ずれが生じ難い。

なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。

上記実施形態ではいわゆるエンドシューター型のインクジェットヘッド１を例示したが、これに限られるものではない。例えばサイドシューター型のインクジェットヘッドに適用してもよい。また、上記実施形態において、ベース１０は第２方向の両端に至る溝１４ａ，１４ｂを有し、両側にカバープレート３０が設けられた例を示したが、これに限られるものではない。例えばベース１０の一方側に開口する第１の溝１４ａ及び第２の溝１４ｂを有し、ベース１０の一方側のみにカバープレート３０が配される構成としてもよい。この場合も上記実施形態と同様の効果が得られる。

また、上記実施形態においては、基板１２に圧電部材からなる積層圧電体１３を備えたベース１０を例示したが、これに限るものではない。例えば基板１２を用いずに圧電部材のみでベース１０を形成しても良い。また、２枚の圧電部材を用いずに、１枚の圧電部材としてもよい。

以上説明した少なくともひとつの実施形態によれば、製造が容易なインクジェットヘッド及びインクジェット装置を提供できる。

この他、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１…インクジェットヘッド、１０…ベース、１２…基板、１３…積層圧電体、１４…溝、１４Ａ…溝列、１４ａ…第１の溝、１４ｂ…第２の溝、１５…積層圧電素子、１５ａ…圧電素子、１５ｂ…圧電素子、１６…電極、１７…配線パターン、２０…ノズルプレート、２１…ノズル、３０…カバープレート、３０Ａ…ドライフィルムレジスト、３１…切欠部、３２…カバー片、４０…ケース部材、４０ａ…フレーム部材、４０ｂ…蓋部材、４１…フレーム片、４２…フレーム片、５０…フォトマスク、５１…フレキシブルケーブル、５２…駆動ＩＣチップ、５３…回路基板、１００…インクジェットプリンタ、１１１…筐体、１１２…媒体供給部、１１２ａ…給紙カセット、１１３…画像形成部、１１４…媒体排出部、１１４ａ…排紙トレイ、１１５…搬送装置、１１６…制御部、１１６ａ…ＣＰＵ、１３３…接続流路、１３３ａ…供給流路、１３３ｂ…回収流路、１３４…循環ポンプ、Ａ１…搬送路、Ｃ１…圧力室、Ｃ２…空気室、Ｃ３…共通室。

Claims (5)

1. 第１方向に並び前記第１方向と交差する第２方向の少なくとも一方に開口する複数の第１の溝及び複数の第２の溝を有する、ベースと、
   前記第１の溝に連通するノズルを有するノズルプレートと、
   ドライフィルムレジストで形成され、前記ベースの前記第２方向の少なくとも一方側に配置され、前記第２の溝を塞ぐとともに、前記第１の溝に連通する開口を有する、カバープレートと、
   を備える、インクジェットヘッド。
2. 前記カバープレートは、永久レジストで構成された、請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 前記ベースの外面に対向配置されるフレーム片を有し、前記ベースとの間に共通室を構成するフレーム部材を備え、
   前記第１の溝は、前記ノズル及び前記共通室に連通する圧力室を構成し、
   前記第２の溝は、前記圧力室に隣接するとともに前記カバープレートによって前記共通室から隔てられた空気室を構成する、
   請求項１または請求項２に記載のインクジェットヘッド。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドと、
   所定の搬送路に沿って媒体を搬送する搬送装置と、を備えることを特徴とするインクジェット装置。
5. 第１方向に並びび前記第１方向と交差する第２方向の少なくとも一方に開口する複数の第１の溝及び複数の第２の溝を有するベースの、前記第２方向の少なくとも一方側に、ドライフィルムレジストを貼付し、
   露光処理により、前記ドライフィルムレジストを前記第１の溝に対向する部位が開口する形状に成形する、インクジェットヘッドの製造方法。