JP2022149368A - 液体吐出ヘッド - Google Patents
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Abstract
【課題】小型化が可能な液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供する。【解決手段】液体吐出ヘッド1は、FPC70と、複数の圧電素子と、備える。FPCは、第1領域及び第2領域を有する電極層72と、電極層の第2領域に積層されるカバー層75と、を有する。複数の圧電素子は、FPCの電極層の第1領域に対向配置され、電極層の第1領域に接続される接合面、及び接合面よりもFPCから第1方向に退避する段差25を有する退避面26を有する。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、液体吐出ヘッドに関する。
インクジェットプリンタヘッドなどの液体吐出装置の駆動源として、PZTなどの圧電体を用いた圧電アクチュエータが用いられる。インクジェットプリンタヘッドにおいて、非常に細かい間隔でアクチュエータが並べられ、アクチュエータを駆動するために接続される配線も細かくなっている。例えば100μm前後の細かいピッチの配線に対応するために、フレキシブル配線基板(以後FPC)を直接圧電体上の電極にハンダ接合することもある。このような圧電アクチュエータにおいて、FPCを実装する側面の電極を個別電極として、当該側面にハンダ実装し、側面の一部を傾斜させる面取り加工を施している。FPCは、ポリイミドなどで構成されるベースと、ベースと同等な厚さ及び材料で構成される絶縁カバー層とが、接着剤で接合されている。ハンダメッキが厚くなると応力などによりハンダメッキに反りが発生するおそれがある。細かいピッチでハンダメッキを厚くすると他の電極や配線に接続されることがあるため、10μm程度以下の厚さが一般的である。絶縁カバー層が厚いと実装部が少なくなり、あるいは実装部を確保するためにFPCを長くする必要がある。
本発明が解決しようとする課題は、小型化が可能な液体吐出ヘッドを提供することである。
一実施形態にかかる液体吐出ヘッドは、FPCと、複数の圧電素子と、備える。FPCは、第1領域及び第2領域を有する電極層と、前記電極層の第2領域に積層されるカバー層と、を有する。複数の圧電素子は、前記FPCの電極層の第1領域に対向配置され、前記電極層の第1領域に接続される接合面、及び前記接合面よりも前記FPCから前記第1方向に退避する段差を有する退避面を有する。
以下に、第1実施形態に係る液体吐出ヘッドであるインクジェットヘッド1及び液体吐出装置であるインクジェット記録装置100について、図1乃至図6を参照して説明する。図1及び図2は、インクジェットヘッド1の一部の概略構成を示す断面図であり、図3は圧電部材の構成を示す斜視図である。図4はFPCの構成を示す説明図であり、図5はインクジェットヘッド1の製造方法を示す説明図である。図6はインクジェット記録装置100の概略構成を示す説明図である。図中矢印X,Y,Zは互いに直交する3方向をそれぞれ示す。各図において説明のため、適宜構成を拡大、縮小または省略して示す。
図1乃至図4に示すように、インクジェットヘッド1は、ベース10と、圧電部材20と、振動板30と、マニホールド40と、複数のノズル51を有するノズルプレート50と、フレーム60と、FPC70と、を備える。
圧電部材20は、単数または複数の圧電素子21を備える。一例として圧電部材20は複数の溝22によって一方側が複数に分割され、複数の圧電素子21と複数の溝22とが交互に図中Xで示す第3方向に沿って並列配置される。
圧電素子21はアクチュエータであり、図中Z方向で示す第1方向に積層される複数枚の圧電体層23と、ダミー層24と、各圧電体層23の主面に形成される内部電極221,222と、外部電極231,232と、を備える。圧電素子21は、例えばベース10の第1方向の一方側の端部に配置され、ベース10に接合される。
圧電体層23は、例えばPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)系、または無鉛のKNN(ニオブ酸ナトリウムカリウム)系等の圧電材料から薄板状に構成される。複数の圧電体層23は厚さ方向が第1方向に沿って積層され、互いに接着層を介して接着されている。
内部電極221、222は銀パラジウムなどの焼成可能な導電性材料で所定形状に構成される導電膜である。内部電極221、222は各圧電体層23の主面の所定領域に形成される。内部電極221,222は、互いに異なる極である。例えば一方の内部電極221は図中Y方向で示す第2方向において圧電体層23の一方の端部に至り、他方の端部には至らない領域に形成される。第2方向は積層方向である第1方向に直交する方向である。他方の内部電極222は、図中Y方向で示す第2方向において圧電体層23の一方の端部には至らず、他方の端部に至る領域に形成される。内部電極221,222は圧電素子21の側面に形成される外部電極231,232にそれぞれ接続される。
外部電極231,232は、圧電素子21の側面部に形成され、内部電極221,222の端部を集めて構成される。例えば外部電極231,232は、積層方向と直交する第2方向における一方の端面と他方の端面とに、それぞれ形成される。外部電極231,232はメッキ法やスパッタ法など既知の方法で、Ni、Cr、Auなどにより成膜されている。後述するハンダ接合される部分の差異表面はAuであることが望ましい。外部電極231と外部電極232とは例えば異なる極であり、外部電極231と外部電極232とが異なる側面部にそれぞれ配置されている。あるいは、外部電極231と232が同じ側面部の異なる領域に取り回されていてもよい。
本実施形態において一例として外部電極231を個別電極、外部電極232を共通電極とする。図3及び図5に示すように、複数の圧電素子21の個別電極となる外部電極231は、電極層が溝によって分割され、互いに独立して配置される。共通電極となる外部電極232は、電極層が溝よりもベース側の領域で互いに連結され、例えば接地される。
個別電極となる外部電極231はFPC70に接続され、各種配線を介して、駆動IC等の実装部品に接続される。
ダミー層24は、圧電体層23と同材料である。ダミー層24は電極を片側にしか有さず、電界がかからないので変形しない。すなわち、ダミー層24は圧電体としては機能せず、固定の際のベースとなり、あるいは組立中や組立後の精度を出すために研磨する研磨代となる。
圧電素子21の、個別電極側の端部には段差部25が形成されている。圧電素子21の、個別電極が配される側の端面は、ベース10側にFPC70から離れる方向に退避する退避面26が形成され、ベース10側と反対の圧力室31側に、FPC70に向けて突出する接合面27が形成される。退避面26及び接合面27は第1方向において段差部25の一方側と他方側においてそれぞれ配置され、積層方向である第1方向と、圧力室の並び方向となる第3方向に沿う面方向に延出する。段差部25の深さDは圧電素子21のうち共通の内部電極221,222が第1方向に積層されない部分の長さ(L)より浅く、電極層72と絶縁カバー層75の位置の差、すなわち絶縁カバー層75の表面と実装部の厚み差(T)、よりも深い。例えば段差部25は、ダミー層24に設けられる。すなわち、圧電素子21のうち、圧電体として機能せず変形しない部位が、一部切りかかれて構成されている。なお、段差部25は、圧電体層23にあってもよく、この場合には内部電極221,222及び外部電極231,232を避けた位置に配置される。段差部25によってFPC70のベース層71と圧電素子21との間に形成される空間に、FPC70の絶縁カバー層75の一部が配される。
一例として、各圧電素子21は、圧電体層23の積層数=50層以下、各層の厚さ=10μm~40μm、厚さと総積層数の積=1000μm未満とする。
圧電素子21は、外部電極231,232を介して内部電極221,222に電圧が印加されることで、圧電体層23の積層方向に沿って縦振動する。例えばここで言う縦振動とは「圧電定数d33で定義される厚み方向の振動」である。なお本実施形態においては一例として図2に示すように、複数並列配置される圧電素子21のうち1つおきに配される半数の圧電素子21が振動板30を挟んで圧力室31に対応して配置され、残りの半数の圧電素子21は振動板30を挟んで隔壁部42に対向する位置に配置される。
振動板30は、例えば厚さ方向が積層方向である第1方向に沿って配され、第1方向と直交する面方向に延出する。振動板30は、圧電素子21の積層方向の一方側、すなわちノズルプレート50側の面に配される。たとえば振動板30は各圧力室31に対向するとともに個別に変位可能な複数の振動部位301を有し、複数の振動部位301が一体に連なって形成される。あるいは個々に変位する振動板30が複数配列されていてもよい。
振動板30は、圧電素子21の一方側の端面に接合される。一例として、本実施形態において、振動板30の第1方向一方側の主面において第2方向の両端の領域はマニホールド40に接合される。インクジェットヘッド1の第2方向における中央部において、振動板30のマニホールド40との間にはインクが収容可能な圧力室31及びガイド流路34が形成される。振動板30の、第1方向の他方側の主面は、一端側の領域が圧電素子21に接合され、第2方向における他端側の所定の領域がフレーム60に接合される。振動板30の第1方向他方側の主面とフレーム60との間にはインクが収容可能な共通室32が形成される。すなわち、振動板30は一方側が圧電素子21に、他方側が圧力室31、隔壁部42及びガイド流路34に、それぞれ面している。
各圧力室31は、第1方向一方側に配されるノズルプレート50に形成されたノズル51に連通する。第3方向に並ぶ複数の圧力室31及びガイド流路34は、マニホールド40に設けられた隔壁部42により互いに隔てられる。
振動板30は、厚さ方向に貫通するとともに圧力室31と共通室32とを連通させる開口部33を有する。振動板30の第1方向における一方側に圧力室31が形成され、振動板30の第1方向における他方側に、共通室32が形成される。共通室32は第3方向に延出するとともに、第3方向に並ぶ複数の圧力室31に連通する。振動板30は、圧電素子21の変形に伴って変形することにより、圧力室31の容積を変化させる。
マニホールド40は、振動板30の一方側に接合される。マニホールド40は、ノズルプレート50と振動板30との間に配され、隔壁部42によって隔てられる複数の圧力室31と、複数の圧力室31から開口部33に向けて第2方向に延びるガイド流路34と、を有する所定のインク流路35が形成される。マニホールド40は、振動板30の外縁部に接合される枠状部41と、複数のインク流路35を隔てる複数の隔壁部42と、ガイド流路34を形成するガイド壁43と、を備える。複数の圧力室31は、一方側がノズルプレート50によって塞がれるとともにノズル51に連通し、他方側が振動板30によって塞がれるとともに、ガイド流路34及び開口部33を介して共通室32に連通する。圧力室31は共通室32からガイド流路34を経て供給される液体を保有し、振動板30の振動によって変形することで、ノズル51から液体を吐出する。
ノズルプレート50は、例えばSUS・Niなどの金属やポリイミドなどの樹脂材料からなる厚さ10μm~100μm程度の方形の板状に構成される。ノズルプレート50は圧力室31の一方側の開口を覆うように、マニホールド40の一方側に配置されている。ノズルプレート50には、厚さ方向に貫通する複数のノズル51が形成される。ノズル51は第3方向に沿って並び、ノズル列が形成される。各ノズル51は、複数の圧力室31に対応する位置にそれぞれ設けられている。
フレーム60は振動板30の第1方向における他方側に配置される。フレーム60は、振動板30との間に共通室32を形成する。共通室32は、フレーム60の内側に形成され、振動板30に設けられた開口部33及びガイド流路34を通じて圧力室31に連通する。
FPC70は、個別電極に接続される。FPC70は、ベース層71と、電極層72と、ハンダメッキ層73と、接着層74と、絶縁カバー層75と、を備える。
ベース層71は主にポリイミドで所定厚さのシート状に構成される。電極層72は金属などの導電性材料で構成され、ベース層71の表面に所定のパターンで形成される。電極層72の表面のうち、圧電素子21に接合される接合領域となる第1領域にはハンダメッキ層73が形成される。ハンダメッキ層73は、ハンダメッキが施されて厚さ3~10μm程度に構成される。電極層72の表面のうち、接合領域以外の第2領域に、接着層74を介して絶縁カバー層75が形成される。ここで、例えばFPC70の第1方向における一端側を第1領域、他端側を第2領域とする。
FPC70は、圧電素子21の接合面27に、ハンダメッキ層73が形成された第1領域を対向して位置合わせして加熱して、ハンダメッキ層73のハンダを溶融させることで、外部電極231に電気的及び機械的に接続される。加熱は一般的なヒートツールを用いて行ってもよく、あるいはFPC70のベース層71を透過する赤外レーザなどを照射してもよい。
例えば絶縁カバー層75と接着層74の厚さの合計と、ハンダメッキ層73の厚さと、の差によって、第1領域の厚さよりも第2領域の厚さが大きくなり、FPC70の表面には段差が形成される。例えばこの段差の厚さ方向の寸法Tは50~100μmである。
FPC70は、厚さの厚い部位となる絶縁カバー層75及び接着層74が形成された第2領域の少なくとも一部が、退避面26に対向配置される。具体的には、退避面26の段差によって形成された空間に、絶縁カバー層75及び接着層74が積層された部位が配置される。ハンダメッキ層73が接合面27と対向し、絶縁カバー層75は、退避面26に対向して配置される。
以上のように構成されたインクジェットヘッド1において、ノズルプレート50とフレーム60と、マニホールド40と、振動板30とによって、ノズル51に連通する複数の圧力室31と、複数のガイド流路34と、複数の圧力室31に連通する共通室32と、を有するインク流路35が形成される。例えば共通室32はカートリッジに連通し、インクが共通室32を通じて各圧力室31へ供給される。インクジェットヘッド1において、駆動ICにより電極221,222に駆動電圧を印加すると、圧電素子21が積層方向、すなわち各圧電体層23の厚さ方向に振動する。つまり、縦振動する。この圧電素子21の縦振動により振動板30が振動し、第1方向に振動することで、圧力室31が変形する。そして、圧力室31の内容積の変化に伴って、共通室32からインクが導かれ、ノズル51からインクが吐出される。
本実施形態にかかるインクジェットヘッド1を製造する工程において、シート状に形成された圧電材料に、内部電極221,222の印刷処理を行うことで、内部電極221,222が形成された圧電体層23を形成する。そして内部電極221,222を有する複数枚の圧電体層23を第1方向に積層し、焼成処理、を行い、積層圧電体201を構成する。図5に示すように、積層圧電体201の第2方向における一方と他方の端面に、印刷処理により外部電極231,232を形成する。そして、ダイシング処理により、個別電極となる外部電極231が配される一方の端部に段差部25を形成する。段差部25を形成することにより、外部電極231のベース10側の部位の電極層が除去される。さらに、段差部25によって電極が除去された部位に至る深さの溝22を複数形成することで、積層圧電体201の一方側を複数に分割して複数の圧電素子21を構成する。以上により、一端側が複数に分割され、他端側が連結する圧電部材20が形成される。ここで、溝22を電極層が除去された部位に至る深さとしたことにより、段差部25が配される側の電極層は、互いに離間して独立した個別電極となる。一方、段差が形成されていない側面の電極層は、溝の底部よりもベース側の領域において連続する共通電極を構成する。さらに、圧電素子21の分極処理を行い、ベース10に接着剤等で貼り付ける。そして、個別電極となる外部電極231にFPC70を接合し、マニホールド40とフレーム60を接合し、各圧力室31にノズル51を対向配置させてノズルプレート50を接着し、インクジェットヘッド1が完成する。
以下、インクジェットヘッド1を備えるインクジェット記録装置100の一例について、図7を参照して説明する。インクジェット記録装置100は、筐体111と、媒体供給部112と、画像形成部113と、媒体排出部114と、搬送装置115と、制御部116と、を備える。
インクジェット記録装置100は、媒体供給部112から画像形成部113を通って媒体排出部114に至る所定の搬送路Aに沿って、吐出対象物である印刷媒体として例えば用紙Pを搬送しながらインク等の液体を吐出することで、用紙Pに画像形成処理を行う液体吐出装置である。
筐体111は、インクジェット記録装置100の外郭を構成する。筐体111の所定箇所に、用紙Pを外部に排出する排出口を備える。
媒体供給部112は複数の給紙カセットを備え、各種サイズの用紙Pを複数枚積層して保持可能に構成される。
媒体排出部114は、排出口から排出される用紙Pを保持可能に構成された排紙トレイを備える。
画像形成部113は、用紙Pを支持する支持部117と、支持部117の上方に対向配置された複数のヘッドユニット130と、を備える。
支持部117は、画像形成を行う所定領域にループ状に備えられる搬送ベルト118と、搬送ベルト118を裏側から支持する支持プレート119と、搬送ベルト118の裏側に備えられた複数のベルトローラ120と、を備える。
支持部117は、画像形成の際に、搬送ベルト118の上面である保持面に用紙Pを支持するとともに、ベルトローラ120の回転によって所定のタイミングで搬送ベルト118を送ることにより、用紙Pを下流側へ搬送する。
ヘッドユニット130は、複数(4色)のインクジェットヘッド1と、各インクジェットヘッド1上にそれぞれ搭載された液体タンクとしてのインクタンク132と、インクジェットヘッド1とインクタンク132とを接続する接続流路133と、供給ポンプ134と、を備える。
本実施形態において、シアン、マゼンダ、イエロー、ブラックの4色のインクジェットヘッド1と、これらの各色のインクをそれぞれ収容するインクタンク132を備える。インクタンク132は接続流路133によってインクジェットヘッド1に接続される。
また、インクタンク132には、図示しないポンプなどの負圧制御装置が連結される。そして、インクジェットヘッド1とインクタンク132との水頭値に対応して、負圧制御装置によりインクタンク132内を負圧制御することで、インクジェットヘッド1の各吐出ノズル28に供給されたインクを所定形状のメニスカスに形成させている。
供給ポンプ134は、例えば圧電ポンプで構成される送液ポンプである。供給ポンプ134は、供給流路に設けられている。供給ポンプ134は、配線により制御部116の駆動回路に接続され、CPU(Central Processing Unit)による制御によって制御可能に構成される。供給ポンプ134は、インクジェットヘッド1に液体を供給する。
搬送装置115は、媒体供給部112から画像形成部113を通って媒体排出部114に至る搬送路Aに沿って、用紙Pを搬送する。搬送装置115は、搬送路Aに沿って配置される複数のガイドプレート対121と、複数の搬送用ローラ122と、を備えている。
複数のガイドプレート対121は、それぞれ、搬送される用紙Pを挟んで対向配置される一対のプレート部材を備え、用紙Pを搬送路Aに沿って案内する。
搬送用ローラ122は、制御部116の制御によって駆動されて回転することで、用紙Pを搬送路Aに沿って下流側に送る。なお、搬送路Aには用紙の搬送状況を検出するセンサが各所に配置される。
制御部116は、コントローラであるCPU等の制御回路と、各種のプログラムなどを記憶するROM(Read Only Memory)と、各種の可変データや画像データなどを一時的に記憶するRAM(Random Access Memory)と、外部からのデータの入力及び外部へのデータの出力をするインターフェイス部と、を備える。
以上のように構成されたインクジェット記録装置100において、制御部116は、例えばインターフェイスにおいてユーザが操作入力部の操作による印刷指示を検出すると、搬送装置115を駆動して用紙Pを搬送するとともに、所定のタイミングでヘッドユニット130に対して印字信号を出力することで、インクジェットヘッド1を駆動する。インクジェットヘッド1は吐出動作として、画像データに応じた画像信号により、駆動ICに駆動信号を送り、内部電極221,222に駆動電圧を印加して圧電素子21を選択的に駆動して積層方向に縦振動させ、圧力室31の容積を変化させることでノズル51からインクを吐出し、搬送ベルト118上に保持された用紙Pに画像を形成する。また、液体吐出動作として、制御部116は、供給ポンプ134を駆動することで、インクタンク132からインクジェットヘッド1の共通室32にインクを供給する。
上述した実施形態にかかるインクジェットヘッド1及びインクジェット記録装置100によれば、圧電素子21はFPC70が設けられる面に段差部25があることで、FPC70の一部を段差部25に配置できる。したがって、FPC70の絶縁カバー層75が厚くてもデッドスペースを作らずにFPC70を実装可能で、デッドスペースを無くし、結果的に安価で小さくすることができる。また、積層方向に沿う退避面26を有する段差形状とすることで、テーパ状に加工する場合と比べて、PZT自体の精度・反りなどの影響を受けにくく、電極除去部の精度が高い。なお、圧電素子21は積層型の圧電アクチュエータであり、個別電極も外部電極の一部であるため、段差を設けても直接駆動に影響しないので駆動に影響が生じないため、圧電素子21の機能低下が生じない。
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。
例えば上記実施形態において外部電極231と電極層72とがハンダ接合された例を示したが、これに限られるものではない。例えば他の実施形態として図8に示す様に、ACF(異方導電フィルム)などの異方導電性接着剤により接合されていてもよい。本実施形態においても、絶縁カバー層75と接着層74とが、接合面27を避けた位置関係とすることで、確実な実装が可能となる。
また、他の実施形態として図8に示すように、FPC70の絶縁カバー層75の表面と退避面26との間に接着剤28を流し込み、FPC70の絶縁カバー層75の表面と退避面26とを接着剤28により接合する構成としてもよい。本実施形態によれば、FPC70は長手方向の複数箇所において接合されるため、実装部の補強が可能となり、剥がれを抑制できる。
また、上記実施形態においては積層型の圧電素子21を例示したが、単層の圧電体を用いる構成であってもよい。例えば他の実施形態として図9に示す液体吐出ヘッド400は、圧電部材420と、振動板430と、複数の圧力室431を構成するマニホールド440と、複数のノズル451を有するノズルプレート450と、FPC470と、を備える。本実施形態において、圧電部材420の分極方向と歪方向とが直交して配置され、歪方向に沿って延びる側面部に、FPC470が接合される。
すなわち圧電部材420の分極方向の一端側の側面部は、段差425を有し、当該段差425を介してFPC470に接合される接合面427と、段差425の他方側に配され接合面427よりもFPC470から退避した位置に配される退避面426と、を備える。当該分極方向一端側の側面部はのうち、圧力室431側の領域には、個別電極となる外部電極4231が形成される。接合面427は圧力室431側となる一方側に配され、退避面426は圧力室431と反対側の部位に配される。圧電部材420の分極方向他端側の側面部は共通電極となる外部電極4232が形成される。分極方向他端側の側面部において、圧力室431と反対側の部位はマニホールド440に固定される固定部を構成する。
本実施形態においても、圧電部材420の側面部において、FPC470に接合される個別電極231側の一部を接合面427よりも退避させる段差425を有することにより、デッドスペースを無くし、小型化が可能となる。なお、単層の圧電体の場合、外部電極が駆動電極となるが、例えばマニホールド440に固定される固定部など、電極が配されていない部位のみに段差425を形成することで、上記実施形態と同様な効果を得ることができる。
また、圧電素子21の具体的な構成や、流路の形状、マニホールド40、ノズルプレート50、フレーム60を含む各種部品の構成や位置関係は上述した例に限られるものではなく、適宜変更可能である。また、ノズル51や圧力室31の配列も上記に限られるものではない。たとえばノズル51を2列以上配列してもよい。また複数の圧力室31の間に、ダミー室を形成してもよい。また、圧電素子21が積層方向の両端にダミー層24を有する例を示したがこれに限られるものではなく、圧電素子21の一方側のみにダミー層24を有していてもよく、あるいは圧電素子21がダミー層24を備えない構成であってもよい。
例えば、吐出する液体は印字用のインクに限られるものではなく、例えばプリント配線基板の配線パターンを形成するための導電性粒子を含む液体を吐出する装置等であっても良い。
また、上記実施形態において、インクジェットヘッド1は、インクジェット記録装置等の液体吐出装置に用いられる例を示したが、これに限られるものではなく、例えば3Dプリンタ、産業用の製造機械、医療用途にも用いることが可能であり、小型軽量化及び低コスト化が可能である。
以上説明した少なくともひとつの実施形態によれば、無鉛の圧電材料を用いた液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供できる。
この他、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…インクジェットヘッド、10…ベース、20…圧電部材、21…圧電素子、22…溝
23…圧電体層、24…ダミー層、25…段差部、26…退避面、27…接合面、28…吐出ノズル、30…振動板、31…圧力室、32…共通室、33…開口部、34…ガイド流路、35…インク流路、40…マニホールド、41…枠状部、42…隔壁部、43…ガイド壁、50…ノズルプレート、51…ノズル、60…フレーム、70…配線基板、71…ベース層、72…電極層、73…ハンダメッキ層、74…接着層、75…絶縁カバー層、100…インクジェット記録装置、111…筐体、112…媒体供給部、113…画像形成部、114…媒体排出部、115…搬送装置、116…制御部、117…支持部、118…搬送ベルト、119…支持プレート、120…ベルトローラ、121…ガイドプレート対、122…搬送用ローラ、130…ヘッドユニット、132…インクタンク、133…接続流路、134…供給ポンプ、201…積層圧電体、221,222…内部電極、231,232…外部電極、301…振動部位、400…液体吐出ヘッド、420…圧電部材、423…圧電体層、425…段差、430…振動板、431…圧力室、440…マニホールド、450…ノズルプレート
451…ノズル、470…配線基板(FPC)。
23…圧電体層、24…ダミー層、25…段差部、26…退避面、27…接合面、28…吐出ノズル、30…振動板、31…圧力室、32…共通室、33…開口部、34…ガイド流路、35…インク流路、40…マニホールド、41…枠状部、42…隔壁部、43…ガイド壁、50…ノズルプレート、51…ノズル、60…フレーム、70…配線基板、71…ベース層、72…電極層、73…ハンダメッキ層、74…接着層、75…絶縁カバー層、100…インクジェット記録装置、111…筐体、112…媒体供給部、113…画像形成部、114…媒体排出部、115…搬送装置、116…制御部、117…支持部、118…搬送ベルト、119…支持プレート、120…ベルトローラ、121…ガイドプレート対、122…搬送用ローラ、130…ヘッドユニット、132…インクタンク、133…接続流路、134…供給ポンプ、201…積層圧電体、221,222…内部電極、231,232…外部電極、301…振動部位、400…液体吐出ヘッド、420…圧電部材、423…圧電体層、425…段差、430…振動板、431…圧力室、440…マニホールド、450…ノズルプレート
451…ノズル、470…配線基板(FPC)。
Claims (5)
- 第1領域及び第2領域を有する電極層と、前記電極層の第2領域に積層されるカバー層と、を有するFPCと、
前記FPCの電極層の第1領域に対向配置されるとともに段差を有し、前記電極層の第1領域に接続される接合面、及び前記接合面よりも前記FPCから退避する退避面を有する複数の圧電素子と、備える、液体吐出ヘッド。 - 前記FPCは前記圧電素子の前記接合面にハンダまたは異方導電性接着剤を介して電気的及び機械的に接続される、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記圧電素子は、複数の圧電体層を積層して備え、
前記圧電素子の振動により容積が変化する圧力室と、前記圧力室に連通するノズルと、を備え、前記圧力室の容積の変化により前記圧力室に連通するノズルから液体を吐出する、請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記退避面は、前記圧電素子において内部電極が形成される部位とは異なる部位に設けられ、前記接合面と前記退避面との間の段差の深さ寸法は、前記FPCの前記電極層と前記カバー層の位置の差よりも大きい、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記退避面と、前記FPCの前記カバー層の表面とが、接着剤により接合される、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
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