CN115122772A - 液体喷头 - Google Patents

Abstract

本发明提供液体喷头和液体喷出装置，能够实现小型化。一实施方式涉及的液体喷头具备FPC和多个压电元件。FPC具有：电极层，具有第一区域和第二区域；以及覆盖层，层叠于所述电极层的第二区域。多个压电元件与所述FPC的电极层的第一区域对置配置，并具有：接合面，与所述电极层的第一区域连接；以及退避面，具有与所述接合面相比从所述FPC向所述第一方向退避的台阶。

Description

液体喷头

技术领域

本发明的实施方式涉及液体喷头。

背景技术

作为喷墨打印机头等液体喷出装置的驱动源，使用利用了PZT等压电体的压电致动器。在喷墨打印机头中，致动器以非常细小的间隔排列，为了驱动致动器而连接的布线也变细。例如为了与100μm左右的细小间距的布线相对应，有时也将柔性布线基板(以下，FPC)直接焊接接合到压电体上的电极。在这样的压电致动器中，将安装FPC的侧面的电极作为单独电极，在该侧面进行焊接安装，实施使侧面的一部分倾斜的倒角加工。在FPC中，由聚酰亚胺等构成的基底和由与基底相同的厚度及材料构成的绝缘覆盖层通过粘接剂接合。若镀焊料变厚，则由于应力等镀焊料可能发生翘曲。若以细小的间距加厚镀焊料，则有时会与其他电极、布线连接，因此一般为10μm左右以下的厚度。若绝缘覆盖层厚，则安装部变少，或者为了确保安装部而需要加长FPC。

发明内容

【发明要解决的技术问题】

本发明要解决的技术问题是提供能够实现小型化的液体喷头。

【用于解决技术问题的手段】

一实施方式涉及的液体喷头具备FPC和多个压电元件。FPC具有：电极层，具有第一区域和第二区域；以及覆盖层，层叠于所述电极层的第二区域。多个压电元件与所述FPC的电极层的第一区域对置配置，并具有：接合面，与所述电极层的第一区域连接；以及退避面，具有与所述接合面相比从所述FPC向所述第一方向退避的台阶。

附图说明

图1是示出第一实施方式涉及的喷墨头的局部的构成的剖视图。

图2是示出该喷墨头的局部的构成的剖视图。

图3是示出该喷墨头的压电部件的构成的立体图。

图4是示出该喷墨头的FPC的构成的剖视图。

图5是示出该喷墨头的制造方法的说明图。

图6是示出第一实施方式涉及的喷墨记录装置的简要构成的说明图。

图7是示出其他实施方式涉及的喷墨头的局部的构成的剖视图。

图8是示出其他实施方式涉及的喷墨头的局部的构成的剖视图。

图9是示出其他实施方式涉及的喷墨头的局部的构成的剖视图。

具体实施方式

下面，参照图1至图6，对第一实施方式涉及的作为液体喷头的喷墨头1及作为液体喷出装置的喷墨记录装置100进行说明。图1和图2是示出喷墨头1的局部的简要构成的剖视图，图3是示出压电部件的构成的立体图。图4是示出FPC的构成的说明图，图5是示出喷墨头1的制造方法的说明图。图6是示出喷墨记录装置100的简要构成的说明图。图中箭头X、Y、Z分别表示相互正交的三个方向。在各图中，为了便于说明，适当放大、缩小或省略构成加以图示。

如图1至图4所示，喷墨头1具备基底10、压电部件20、振动板30、歧管40、具有多个喷嘴51的喷嘴板50、框架60以及FPC70。

压电部件20具备单个或多个压电元件21。作为一例，压电部件20的一侧被多个槽22分割成多个，多个压电元件21与多个槽22交替地沿图中X所示的第三方向并列配置。

压电元件21为致动器，具备：在图中Z方向所示的第一方向上层叠的多张压电体层23；虚设层24；形成在各压电体层23的主面的内部电极221、222；以及外部电极231、232。压电元件21例如配置于基底10的第一方向的一侧的端部，并与基底10接合。

压电体层23由例如PZT(锆钛酸铅)系或无铅的KNN(铌酸钠钾)系等的压电材料构成为薄板状。多个压电体层23以厚度方向沿着第一方向的方式层叠，并通过粘接层相互粘接。

内部电极221、222是由银钯等可烧制的导电性材料以规定形状而构成的导电膜。内部电极221、222形成于各压电体层23的主面的规定区域。内部电极221、222是相互不同的极。例如一个内部电极221形成于在图中Y方向所示的第二方向上到达压电体层23的一个端部而未到达另一端部的区域。第二方向是与作为层叠方向的第一方向正交的方向。另一内部电极222形成于在图中Y方向所示的第二方向上未到达压电体层23的一个端部而到达另一端部的区域。内部电极221、222分别与形成在压电元件21的侧面的外部电极231、232连接。

外部电极231、232形成于压电元件21的侧面部，汇集内部电极221、222的端部而构成。例如外部电极231、232分别形成在与层叠方向正交的第二方向上的一个端面和另一端面。外部电极231、232通过电镀法、溅射法等已知的方法由Ni、Cr、Au等成膜。下文叙述的焊接接合的部分的最表面优选为Au。外部电极231和外部电极232例如为不同的极，外部电极231和外部电极232分别配置于不同的侧面部。或者，外部电极231和232也可以盘绕在同一侧面部的不同区域。

在本实施方式中，作为一例，将外部电极231设为单独电极，将外部电极232设为共用电极。如图3和图5所示，在多个压电元件21的成为单独电极的外部电极231中，电极层被槽分割，相互独立地配置。在成为共用电极的外部电极232中，电极层在比槽更靠基底侧的区域相互连结，例如接地。

成为单独电极的外部电极231与FPC70连接，并经由各种布线与驱动IC等安装元器件连接。

虚设层24与压电体层23的材料相同。虚设层24仅在单侧具有电极，由于未施加电场，因此不变形。即，虚设层24不发挥压电体的功能，而是成为固定时的基底，或者成为为了在组装期间、组装后获得精度而进行研磨的研磨台。

在压电元件21的、单独电极侧的端部形成有台阶部25。压电元件21的、布置单独电极的一侧的端面在基底10侧形成有向远离FPC70的方向退避的退避面26，在与基底10侧相反的压力室31侧形成有朝FPC70突出的接合面27。退避面26和接合面27在第一方向上分别配置于台阶部25的一侧和另一侧，并在沿着作为层叠方向的第一方向和成为压力室的排列方向的第三方向的面方向上延伸。台阶部25的深度D比压电元件21中的共用的内部电极221、222在第一方向上未层叠的部分的长度(L)浅，比电极层72与绝缘覆盖层75的位置之差、即绝缘覆盖层75的表面与安装部的厚度差(T)深。例如台阶部25设置于虚设层24。即，压电元件21中的不发挥压电体功能且不变形的部位以局部被切掉的方式构成。需要说明的是，台阶部25也可以位于压电体层23，在这种情况下，其配置于避开内部电极221、222及外部电极231、232的位置。通过台阶部25，在在FPC70的基底层71与压电元件21之间形成的空间内布置FPC70的绝缘覆盖层75的一部分。

作为一例，各压电元件21设为：压电体层23的层叠数＝50层以下、各层的厚度＝10μm～40μm、厚度与总层叠数的乘积＝不足1000μm。

压电元件21通过经由外部电极231、232向内部电极221、222施加电压，从而沿着压电体层23的层叠方向纵向振动。例如这里所说的纵向振动是指“由压电常数d33定义的厚度方向上的振动”。需要说明的是，在本实施方式中，作为一例，如图2所示，多个并列配置的压电元件21中隔一个布置的半数的压电元件21隔着振动板30与压力室31对应地配置，剩余的半数的压电元件21隔着振动板30配置在与间隔壁部42对置的位置。

振动板30例如以厚度方向沿着作为层叠方向的第一方向的方式布置，并在与第一方向正交的面方向上延伸。振动板30布置在压电元件21的层叠方向的一侧、即喷嘴板50侧的面上。例如，振动板30具有与各压力室31对置并且可单独位移的多个振动部位301，多个振动部位301连成一体地形成。或者，也可以排列多个各自位移的振动板30。

振动板30接合于压电元件21的一侧的端面。作为一例，在本实施方式中，在振动板30的第一方向一侧的主面中，第二方向的两端的区域接合于歧管40。在喷墨头1的第二方向上的中央部，在振动板30与歧管40之间形成有能够容纳油墨的压力室31及导向流路34。振动板30的、第一方向的另一侧的主面的一端侧的区域接合于压电元件21，第二方向上的另一端侧的规定的区域接合于框架60。在振动板30的第一方向另一侧的主面与框架60之间形成有能够容纳油墨的共用室32。即，振动板30的一侧面向压电元件21，另一侧面向压力室31、间隔壁部42及导向流路34。

各压力室31与形成在布置于第一方向一侧的喷嘴板50上的喷嘴51连通。在第三方向上排列的多个压力室31及导向流路34被设置于歧管40的间隔壁部42相互隔开。

振动板30具有在厚度方向上贯通并且使压力室31与共用室32连通的开口部33。在振动板30的第一方向上的一侧形成有压力室31，在振动板30的第一方向上的另一侧形成有共用室32。共用室32在第三方向上延伸，并且与在第三方向上排列的多个压力室31连通。振动板30伴随压电元件21的变形而变形，从而使压力室31的容积发生变化。

歧管40接合于振动板30的一侧。歧管40布置于喷嘴板50与振动板30之间，并形成有规定的油墨流路35，该油墨流路35具有由间隔壁部42隔开的多个压力室31和从多个压力室31朝开口部33在第二方向上延伸的导向流路34。歧管40具备：接合于振动板30的外缘部的框状部41；隔开多个油墨流路35的多个间隔壁部42；以及形成导向流路34的导向壁43。多个压力室31的一侧由喷嘴板50堵塞并且与喷嘴51连通，另一侧由振动板30堵塞，并且经由导向流路34及开口部33与共用室32连通。压力室31保持从共用室32经过导向流路34而被供给的液体，通过振动板30的振动而变形，从而从喷嘴51喷出液体。

喷嘴板50构成为例如由SUS·Ni等金属、聚酰亚胺等树脂材料构成的厚度10μm～100μm左右的方形的板状。喷嘴板50以覆盖压力室31的一侧的开口的方式配置于歧管40的一侧。喷嘴板50形成有在厚度方向上贯通的多个喷嘴51。喷嘴51沿第三方向排列，形成喷嘴列。各喷嘴51分别设置于与多个压力室31对应的位置。

框架60配置于振动板30的第一方向上的另一侧。框架60在其与振动板30之间形成共用室32。共用室32形成于框架60的内侧，并通过设置于振动板30的开口部33及导向流路34而与压力室31连通。

FPC70连接于单独电极。FPC70具备基底层71、电极层72、镀焊料层73、粘接层74以及绝缘覆盖层75。

基底层71主要由聚酰亚胺构成为规定厚度的片状。电极层72由金属等导电性材料构成，以规定的图案形成于基底层71的表面。在电极层72的表面中的成为与压电元件21接合的接合区域的第一区域形成有镀焊料层73。镀焊料层73被实施镀焊料而构成为3～10μm左右的厚度。在电极层72的表面中的接合区域以外的第二区域，隔着粘接层74形成有绝缘覆盖层75。这里，例如将FPC70的第一方向上的一端侧设为第一区域，将另一端侧设为第二区域。

FPC70通过使形成有镀焊料层73的第一区域与压电元件21的接合面27对置而进行对位并加热，使镀焊料层73的焊料熔融，从而与外部电极231电连接和机械连接。加热可以使用普通的加热工具进行，或者也可以照射穿透FPC70的基底层71的红外激光等。

例如由于绝缘覆盖层75和粘接层74的厚度的合计与镀焊料层73的厚度之差，导致第二区域的厚度变得比第一区域的厚度大，在FPC70的表面形成台阶。例如该台阶的厚度方向的尺寸T为50～100μm。

在FPC70中，形成有成为厚度厚的部位的绝缘覆盖层75及粘接层74的第二区域的至少一部分与退避面26对置配置。具体而言，在由退避面26的台阶形成的空间中配置有层叠了绝缘覆盖层75及粘接层74的部位。镀焊料层73与接合面27对置，绝缘覆盖层75与退避面26对置配置。

在如上述那样构成的喷墨头1中，由喷嘴板50、框架60、歧管40以及振动板30形成油墨流路35，该油墨流路35具有与喷嘴51连通的多个压力室31、多个导向流路34、以及与多个压力室31连通的共用室32。例如共用室32与墨盒连通，油墨通过共用室32而被供给至各压力室31。在喷墨头1中，当通过驱动IC向电极221、222施加驱动电压时，压电元件21在层叠方向、即各压电体层23的厚度方向上振动。也就是说，纵向振动。通过该压电元件21的纵向振动，振动板30振动，通过在第一方向上振动，使压力室31变形。于是，伴随压力室31的内容积的变化，油墨从共用室32被引导，从喷嘴51喷出油墨。

在制造本实施方式涉及的喷墨头1的工序中，通过对形成为片状的压电材料进行内部电极221、222的印刷处理，形成压电体层23，该压电体层23形成有内部电极221、222。然后，将具有内部电极221、222的多张压电体层23在第一方向上层叠，并进行烧制处理，构成层叠压电体201。如图5所示，在层叠压电体201的第二方向上的一端面和另一端面上，通过印刷处理形成外部电极231、232。然后，通过切割处理，在布置成为单独电极的外部电极231的一个端部形成台阶部25。通过形成台阶部25，外部电极231的基底10侧的部位的电极层被去除。进而，通过形成多个深度达到利用台阶部25去除电极层的部位的槽22，将层叠压电体201的一侧分割成多个而形成多个压电元件21。由此，形成一端侧被分割成多个、另一端侧连结的压电部件20。这里，通过将槽22设为达到去除了电极层的部位的深度，从而布置台阶部25的一侧的电极层成为彼此分离且独立的单独电极。另一方面，未形成台阶的侧面的电极层构成在比槽的底部更靠基底侧的区域连续的共用电极。进而，进行压电元件21的极化处理，通过粘接剂等粘贴于基底10。然后，将FPC70接合于成为单独电极的外部电极231，并接合歧管40和框架60，使喷嘴51与各压力室31对置配置并粘接喷嘴板50，完成喷墨头1。

下面，参照图6，对具备喷墨头1的喷墨记录装置100的一例进行说明。喷墨记录装置100具备壳体111、介质供给部112、图像形成部113、介质排出部114、输送装置115以及控制部116。

喷墨记录装置100是如下的液体喷出装置：一边沿着从介质供给部112通过图像形成部113到介质排出部114的规定的输送路径A，输送作为喷出对象物即印刷介质的例如纸张P，一边喷出油墨等液体，从而对纸张P进行图像形成处理。

壳体111构成喷墨记录装置100的外廓。在壳体111的规定部位具备将纸张P排出至外部的排出口。

介质供给部112具备多个供纸盒，并构成为能够层叠保持多张各种尺寸的纸张P。

介质排出部114具备构成为能够保持从排出口排出的纸张P的排纸托盘。

图像形成部113具备支承纸张P的支承部117和在支承部117的上方对置配置的多个头单元130。

支承部117具备：在进行图像形成的规定区域以环状设置的输送带118；从背侧支承输送带118的支承板119；以及在输送带118的背侧设置的多个带辊120。

在形成图像时，支承部117将纸张P支承在作为输送带118的上表面的保持面，并且通过带辊120的旋转而在规定的定时传送输送带118，由此将纸张P向下游侧输送。

头单元130具备：多个(四色)喷墨头1；分别搭载在各喷墨头1上的作为液体罐的油墨罐132；连接喷墨头1和油墨罐132的连接流路133；以及供给泵134。

在本实施方式中，具备青色、品红色、黄色和黑色四种颜色的喷墨头1以及分别容纳该各种颜色的油墨的油墨罐132。油墨罐132通过连接流路133连接于喷墨头1。

另外，油墨罐132上连结有未图示的泵等负压控制装置。于是，对应于喷墨头1与油墨罐132的水头值，通过利用负压控制装置对油墨罐132内进行负压控制，使供给至喷墨头1的各喷嘴51的油墨形成为规定形状的弯月面。

供给泵134是例如由压电泵构成的送液泵。供给泵134设置于供给流路。供给泵134通过布线与控制部116的驱动电路连接，构成为能够基于CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)的控制而被控制。供给泵134将液体供给至喷墨头1。

输送装置115沿着从介质供给部112通过图像形成部113到介质排出部114的输送路径A输送纸张P。输送装置115具备沿着输送路径A配置的多个导向板对121以及多个输送用辊122。

多个导向板对121分别具备夹着被输送的纸张P对置配置的一对板部件，并沿着输送路径A引导纸张P。

输送用辊122通过控制部116的控制而被驱动进行旋转，从而将纸张P沿着输送路径A向下游侧传送。需要说明的是，在输送路径A上，于各处配置有检测纸张的输送情况的传感器。

控制部116具备：作为控制器的CPU等控制电路；存储各种程序等的ROM(Read OnlyMemory：只读存储器)；临时存储各种可变数据、图像数据等的RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)；以及进行从外部的数据的输入和向外部的数据的输出的接口部。

在如上述那样构成的喷墨记录装置100中，例如当在接口中检测到用户通过对操作输入部的操作而进行的印刷指示时，控制部116驱动输送装置115输送纸张P，并且在规定的定时向头单元130输出印字信号，从而驱动喷墨头1。作为喷出动作，喷墨头1通过对应于图像数据的图像信号，向驱动IC发送驱动信号，向内部电极221、222施加驱动电压，选择性地驱动压电元件21而使其在层叠方向上纵向振动，通过改变压力室31的容积而从喷嘴51喷出油墨，于保持在输送带118上的纸张P形成图像。另外，作为液体喷出动作，控制部116通过驱动供给泵134，将油墨从油墨罐132供给至喷墨头1的共用室32。

根据上述的实施方式涉及的喷墨头1及喷墨记录装置100，由于压电元件21在设置FPC70的面具有台阶部25，因此能够将FPC70的一部分配置于台阶部25。因此，即使FPC70的绝缘覆盖层75厚，也能够在不产生无效空间的情况下安装FPC70，能够消除无效空间，结果能够价廉地将其缩小。另外，通过设为具有沿着层叠方向的退避面26的台阶形状，与加工成锥状的情况相比，不易受到PZT自身的精度、翘曲等的影响，电极去除部的精度高。需要说明的是，由于压电元件21是层叠型的压电致动器，单独电极也是外部电极的一部分，因此即使设置台阶也不直接影响驱动，从而不对驱动产生影响，因此不会产生压电元件21的功能下降。

需要说明的是，本发明并不限定于上述实施方式本身，在实施阶段，在不脱离其宗旨的范围内，可以使构成要素变形而具体化。

例如在上述实施方式中示出了外部电极231与电极层72焊接接合的例子，但不限于此。例如作为另一实施方式，如图7所示，也可以通过ACF(各向异性导电膜)76等各向异性导电性粘接剂29接合。在本实施方式中，通过使绝缘覆盖层75与粘接层74成为避开接合面27的位置关系，也能够进行可靠的安装。

另外，作为另一实施方式，如图8所示，也可以构成为：向FPC70的绝缘覆盖层75的表面与退避面26之间注入粘接剂28，通过粘接剂28接合FPC70的绝缘覆盖层75的表面和退避面26。根据本实施方式，由于FPC70在长边方向的多个部位处接合，因此能够增强安装部，能够抑制剥离。

另外，在上述实施方式中例示了层叠型的压电元件21，但也可以是采用单层的压电体的构成。例如作为另一实施方式，图9所示的液体喷头400具备压电部件420、振动板430、构成多个压力室431的歧管440、具有多个喷嘴451的喷嘴板450、以及FPC470。在本实施方式中，压电部件420的极化方向与应变方向正交配置，FPC470接合于沿着应变方向延伸的侧面部。

即，压电部件420的极化方向的一端侧的侧面部具有台阶425，并具备经由该台阶425与FPC470接合的接合面427以及布置于台阶425的另一侧且布置在与接合面427相比从FPC470退避的位置的退避面426。在该极化方向一端侧的侧面部中，压力室431侧的区域内形成有成为单独电极的外部电极4231。接合面427布置于成为压力室431侧的一侧，退避面426布置于与压力室431相反一侧的部位。压电部件420的极化方向另一端侧的侧面部形成有成为共用电极的外部电极4232。在极化方向另一端侧的侧面部，与压力室431相反一侧的部位构成固定于歧管440的固定部。

在本实施方式中，在压电部件420的侧面部，具有使与FPC470接合的单独电极231侧的一部分比接合面427退避的台阶425，由此也能够消除无效空间，能够实现小型化。需要说明的是，在为单层的压电体的情况下，外部电极成为驱动电极，但通过仅在例如固定于歧管440的固定部等未布置电极的部位形成台阶425，能够得到与上述实施方式同样的效果。

另外，压电元件21的具体的构成、流路的形状、包括歧管40、喷嘴板50、框架60在内的各种元器件的构成、位置关系不限于上述的例子，可适当变更。另外，喷嘴51、压力室31的排列也不限于上述。例如，喷嘴51也可以排列两列以上。另外，也可以在多个压力室31之间形成虚设室。另外，示出了压电元件21在层叠方向的两端具有虚设层24的例子，但不限于此，也可以仅在压电元件21的一侧具有虚设层24，或者也可以是压电元件21不具备虚设层24的构成。

例如，所喷出的液体不限于印字用的油墨，例如也可以是喷出包含用于形成打印布线基板的布线图案的导电性粒子的液体的装置等。

另外，在上述实施方式中，示了喷墨头1用于喷墨记录装置等液体喷出装置的例子，但不限于此，例如也可以用于3D打印机、工业用的制造机械、医疗用途，能够实现小型轻量化和低成本化。

根据以上说明的至少一个实施方式，能够提供使用无铅的压电材料的液体喷头和液体喷出装置。

此外，虽然说明了本发明的几个实施方式，但这些实施方式只是作为示例而提出的，并非旨在限定发明的范围。这些新的实施方式能够以其他各种方式进行实施，能够在不脱离发明的宗旨的范围内进行各种省略、替换、变更。这些实施方式及其变形被包括在发明的范围和宗旨中，同样地被包括在权利要求书所记载的发明及其均等的范围内。

【附图标记说明】

1：喷墨头；10：基底；20：压电部件；21：压电元件；22：槽；23：压电体层；24：虚设层；25：台阶部；26：退避面；27：接合面；28：喷出喷嘴；30：振动板；31：压力室；32：共用室；33：开口部；34：导向流路；35：油墨流路；40：歧管；41：框状部；42：间隔壁部；43：导向壁；50：喷嘴板；51：喷嘴；60：框架；70：布线基板；71：基底层；72：电极层；73：镀焊料层；74：粘接层；75：绝缘覆盖层；100：喷墨记录装置；111：壳体；112：介质供给部；113：图像形成部；114：介质排出部；115：输送装置；116：控制部；117：支承部；118：输送带；119：支承板；120：带辊；121：导向板对；122：输送用辊；130：头单元；132：油墨罐；133：连接流路；134：供给泵；201：层叠压电体；221、222：内部电极；231、232：外部电极；301：振动部位；400：液体喷头；420：压电部件；423：压电体层；425：台阶；430：振动板；431：压力室；440：歧管；450：喷嘴板；451：喷嘴；470：布线基板(FPC)。

Claims (10)

1.一种液体喷头，具备：

柔性布线基板，具有电极层和覆盖层，所述电极层具有第一区域和第二区域，所述覆盖层层叠于所述电极层的第二区域；以及

多个压电元件，与所述柔性布线基板的电极层的第一区域对置配置并且具有台阶，并具有：接合面，与所述电极层的第一区域连接；和退避面，与所述接合面相比从所述柔性布线基板退避。

2.根据权利要求1所述的液体喷头，其中，

所述柔性布线基板经由焊料或各向异性导电性粘接剂与所述压电元件的所述接合面电连接和机械连接。

3.根据权利要求1或2所述的液体喷头，其中，

所述压电元件具备层叠的多个压电体层，

所述液体喷头具备：压力室，通过所述压电元件的振动而改变容积；和喷嘴，与所述压力室连通，通过所述压力室的容积的变化而从与所述压力室连通的喷嘴喷出液体。

4.根据权利要求1所述的液体喷头，其中，

所述退避面设于所述压电元件中与形成有内部电极的部位不同的部位，所述接合面与所述退避面之间的台阶的深度尺寸比所述柔性布线基板的所述电极层与所述覆盖层的位置之差大。

5.根据权利要求1所述的液体喷头，其中，

所述退避面和所述柔性布线基板的所述覆盖层的表面通过粘接剂接合。

6.根据权利要求3所述的液体喷头，其中，

所述压电体层由PZT系或无铅的KNN系的压电材料构成为薄板状。

7.根据权利要求3所述的液体喷头，其中，

所述压电体层的层叠数为50层以下、各层的厚度为10μm～40μm、厚度与总层叠数的乘积不足1000μm。

8.根据权利要求1所述的液体喷头，其中，

所述液体喷头还具备喷嘴板，所述喷嘴板构成为由金属或树脂材料构成的厚度为10μm～100μm的板状。

9.根据权利要求1所述的液体喷头，其中，

所述柔性布线基板还具备基底层，所述基底层由聚酰亚胺构成为片状。

10.根据权利要求1所述的液体喷头，其中，

所述柔性布线基板还具备镀焊料层，所述镀焊料层被实施镀焊料而构成为3μm～10μm的厚度。

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