CN111688356B - 液体喷出头、液体喷出头的制造方法及液体喷出装置 - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 52
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- 229910000505 Al2TiO5 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- AABBHSMFGKYLKE-SNAWJCMRSA-N propan-2-yl (e)-but-2-enoate Chemical compound C\C=C\C(=O)OC(C)C AABBHSMFGKYLKE-SNAWJCMRSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 claims description 4
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 51
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 15
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 9
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 7
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 101150079344 ACT4 gene Proteins 0.000 description 1
- 101150024393 ACT5 gene Proteins 0.000 description 1
- 101000908384 Bos taurus Dipeptidyl peptidase 4 Proteins 0.000 description 1
- 102100031102 C-C motif chemokine 4 Human genes 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102100026620 E3 ubiquitin ligase TRAF3IP2 Human genes 0.000 description 1
- 101710140859 E3 ubiquitin ligase TRAF3IP2 Proteins 0.000 description 1
- HEFNNWSXXWATRW-UHFFFAOYSA-N Ibuprofen Chemical compound CC(C)CC1=CC=C(C(C)C(O)=O)C=C1 HEFNNWSXXWATRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101000777470 Mus musculus C-C motif chemokine 4 Proteins 0.000 description 1
- 101100492334 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) ARP1 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100056774 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) ARP3 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N potassiosodium Chemical compound [Na].[K] BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/1609—Production of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
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- B41J2/01—Ink jet
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- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1637—Manufacturing processes molding
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
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- B41J2/01—Ink jet
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- B41J2/135—Nozzles
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Abstract
提供容易制造的液体喷出头、液体喷出头的制造方法及液体喷出装置。一实施方式涉及的液体喷出头包括：致动器基座，由压电陶瓷材料构成，且具有形成压力室的多个槽；第一部件，由以钛酸铝为主要成分的陶瓷材料构成，且组装于所述致动器基座；以及喷嘴板，具有与所述压力室连通的喷嘴，且与所述致动器基座及所述第一部件相对配置。
Description
技术领域
本发明的实施方式涉及液体喷出头、液体喷出头的制造方法及液体喷出装置。
背景技术
在液体喷出头中，已知有一种剪切模式共享壁方式的液体喷出头，其沿预定方向排列配备有与喷嘴连通的多个压力室。在这样的液体喷出头中，例如在由压电陶瓷PZT构成的平板状致动器基板的端部形成槽而形成压力室，并且在致动器基板的两侧配置侧板而形成作为共用液室的空间。侧板由加工性接近压电陶瓷PZT的可切削性陶瓷(Macerite、photoveel等)构成，并且通过将致动器基板与侧板一起研磨而形成用于粘接喷嘴板的粘接面。
发明内容
本发明要所要解决的技术问题在于，提供易于制造的液体喷出头、液体喷出头的制造方法及液体喷出装置。
一实施方式涉及的液体喷出头包括：致动器基座，由压电陶瓷材料构成，且具有形成压力室的多个槽；第一部件，由以钛酸铝为主要成分的陶瓷材料构成，且组装于所述致动器基座；以及喷嘴板，具有与所述压力室连通的喷嘴，且与所述致动器基座及所述第一部件相对配置。
另一实施方式涉及的液体喷出头的制造方法包括：将以钛酸铝为主要成分的陶瓷材料注射成型而形成第一部件；和研磨由压电陶瓷材料构成且具有多个槽的致动器基座和所述第一部件，而形成与喷嘴板接合的研磨面，所述喷嘴板具有与所述槽连通的喷嘴。
另一实施方式涉及的液体喷出装置具备：液体喷出头，具备：致动器基座，由压电陶瓷材料构成，且具有形成压力室的多个槽；第一部件，由以钛酸铝为主要成分的陶瓷材料构成，且组装于所述致动器基座；以及喷嘴板，具有与所述压力室连通的喷嘴，且与所述致动器基座及所述第一部件相对配置；和输送装置，沿着预定的输送路径输送介质。
附图说明
图1是第一实施方式涉及的喷墨头的立体图。
图2是通过将该喷墨头的局部切开而示出内部结构的立体图。
图3是表示该喷墨头的动作的说明图。
图4是表示该喷墨头的动作的说明图。
图5是表示该喷墨头的制造工序的说明图。
图6是表示使用了该喷墨头的喷墨打印机的构成的说明图。
附图标记说明
1…喷墨头；10…致动器基座；10c…喷嘴相对面；12…基板；13…层叠压电体；14…槽；14A…槽列；14a…第一槽；14b…第二槽；15…层叠压电元件；15a…压电元件；15b…压电元件；16…电极；17…布线图案；20…喷嘴板；21…喷嘴；30…盖板；30c…喷嘴相对面；31…缺口部；32…覆盖片；40…壳体部件；40a…框架部(框架)；40b…盖部；40c…喷嘴相对面；41…框架片；42…框架片；50c…研磨面；51…柔性电缆；52…驱动IC芯片；53…电路基板；100…喷墨打印机；111…壳体；112…介质供给部；112a…供纸盒；113…图像形成部；114…介质排出部；114a…排纸托盘；115…输送装置；116…控制部；116a…CPU；133…连接流路；133a…供给流路；133b…回收流路；134…循环泵；A1…输送路径；C1…压力室；C2…空气室；C3…共用室。
具体实施方式
以下，参照图1至图6对第一实施方式涉及的作为液体喷出头的喷墨头1及作为液体喷出装置的喷墨打印机100进行说明。在各附图中，为了便于说明，适当地将结构放大、缩小或省略而示出。附图中箭头X、Y、Z表示相互正交的3个方向。在本实施方式中，示出喷墨头1的第一方向沿X轴配置、第二方向沿Y轴配置、第三方向沿Z轴配置的示例。
图1是第一实施方式涉及的喷墨头1的立体图，图2是通过将该喷墨头的局部切开而示出内部结构的立体图。图3及图4是示出喷墨头1的动作的说明图，并且示出壳体部件40的内部结构。图5是示出喷墨头1的制造工序的说明图。
图1至图4所示的喷墨头1是所谓的端射型剪切模式共享壁方式的喷墨头。
喷墨头1包括致动器基座10、具有多个喷嘴21的喷嘴板20、作为盖部件的盖板30及壳体部件40。
致动器基座10包括基板12和作为压电部的层叠压电体13。
基板12构成为方形的板状。基板12优选地由PZT、陶瓷、玻璃、可切削性陶瓷或包含这些的材料构成。
层叠压电体13位于基板12的喷嘴板20侧的端边缘。层叠压电体13通过层叠两个压电部件而构成。压电部件例如由PZT(锆钛酸铅)系压电陶瓷材料构成。除此以外，考虑到环境，也可以使用KNN(铌酸钠钾)等无铅系压电陶瓷作为压电部件。将两个压电部件以极化方向相反的方式进行极化，并通过粘接层粘接。
在层叠压电体13的与喷嘴板20相对的端面，形成有包括在第一方向上排列的多个槽14的槽列14A。层叠压电体13的沿XZ面的形状为梳齿状。形成于相邻的槽14之间的支柱状部分构成层叠压电元件15，该层叠压电元件15为改变槽14的容积的驱动部。换言之，在层叠压电体13中，多个层叠压电元件15沿一个方向排列，并在相邻的层叠压电元件15之间形成槽14。
在槽列14A中，构成压力室C1的多个第一槽14a和构成空气室C2的多个第二槽14b在第一方向上交替排列。多个槽14在第一方向上排列配置，并沿第二方向延伸，彼此平行地配置。槽14a、14b分别形成在致动器基座10的第二方向的全长上。即，槽14a、14b在喷嘴板20侧及盖板30侧开口。电极16形成于各槽14a、14b的内表面底部和两个侧面。
第一槽14a的第二方向的两端在作为第一部件的框架部40a的内侧开口，并与共用室C3连通。另外，在与第一槽14a相对的位置设有喷嘴21。即，第一槽14a构成与共用室C3连通且与喷嘴21连通的压力室C1。
第二槽14b的第二方向的两端部在框架部40a内被盖板30覆盖。第二槽14b被封闭而构成与共用室C3及压力室C1隔开的空气室C2。
层叠压电元件15在致动器基座10的一端侧配置于多个槽14之间。即，多个层叠压电元件15沿第一方向排列。各层叠压电元件15包括第一压电元件15a和层叠于第一压电元件15a的第二压电元件15b。致动器基座10的图1中的上方即一侧的端面形成与喷嘴板20相对配置的喷嘴相对面10c。喷嘴相对面10c形成沿XY面的平坦的平面。将喷嘴相对面10c与后述的喷嘴相对面30c、40c一起研磨，构成共面的研磨面50c。
电极16是由镍等导电性材料构成的导电膜。电极16从槽14a、14b的底部形成至基板12的上表面，并与布线图案17连接。电极16例如通过真空蒸镀法或无电解镀镍法等方法形成。例如，如果利用无电解镀敷法，则在细小的槽14内也能够容易形成金属膜。需要注意的是，在本实施方式中电极16的材料使用镍，但本发明不限于此。
电极16例如也可以由金、铜等形成。或者，电极16也可以通过层叠两种以上导电性的膜而形成。
布线图案17例如是与电极16同样地由镍等导电性材料形成且具有规定的图案形状的导电膜。布线图案17形成于致动器基座10的一对主表面10a、10b。例如在通过真空蒸镀法或无电解镀敷法等方法形成电极16时，同时形成布线图案17。此外，基板12的Z方向另一侧的部分露出到框部件的外侧。因此，可以通过FPC等将驱动电路连接到配置于该部位的布线图案17。
喷嘴板20例如由厚度10μm～100μm的聚酰亚胺膜构成为方形的板状。在喷嘴板20上，形成有具有在厚度方向上贯通的多个喷嘴21的喷嘴列。喷嘴板20以覆盖致动器基座10一端侧的槽列14A在第二方向上的开口的方式与致动器基座10相对配置。喷嘴21分别设置在与多个压力室C1对应的位置。即，喷嘴板20具有与由第一槽14a构成的压力室C1连通的喷嘴21，并盖住第二槽14b的开口。
盖板30例如由干膜抗蚀剂构成。具体而言，盖板30例如由环氧树脂基永久膜用的光致抗蚀剂(永久抗蚀剂)形成。盖板30例如具有大约40μm～50μm的厚度，并且分别设置于致动器基座10的两个端面。
盖板30是喷嘴板侧的一个边缘部中的与第一槽14a相对的部位形成为梳齿状的方形板状部件。在盖板30的边缘部形成有作为开口的多个缺口部31。即，盖板30具有多个缺口部31和配置在缺口部31之间的凸状的多个覆盖片32。多个缺口部31和多个覆盖片32交替排列。覆盖片32的喷嘴板20侧的端面构成喷嘴相对面30c。缺口部31形成为在Y轴方向即盖板30的厚度方向上贯通。缺口部31配置在与第一槽14a对应的位置。因此，第一槽14a的第二方向的两端在不被盖板30覆盖的情况下，在框架部40a的内部开口。因此，由第一槽14a构成的压力室C1与形成在盖板30外侧的共用室C3连通，并且墨水等液体通过缺口部31流入压力室C1。
另一方面，覆盖片32配置在与第二槽14b对应的位置。因此，第二槽14b在第二方向上的两端处的开口被盖板30的覆盖片32盖住，从而防止墨水的流入。
即，在致动器基座10的一端侧，交替地构成与共用室C3连通的压力室C1和被封闭的空气室C2。
壳体部件40一体地包括构成为方形框架状的框架部40a和盖住框架部40a的开口的板状的盖部40b。
框架部40a由以钛酸铝为主要成分的陶瓷材料构成。框架部40a包围致动器基座10的外周，并覆盖致动器基座10的一部分区域的外周。具体而言，框架部40a包括：板状的一对第一框架片41，接合到致动器基座10的第一方向的端面；和板状的一对第二框架片42，以间隔规定距离的方式配置于致动器基座10的外表面即两个主表面10a、10b。框架部40a在与被盖板30覆盖的致动器基座10之间形成共用室C3。共用室C3形成于框架部40a及盖部40b的内侧，通过盖板30的缺口部31与压力室C1连通。在共用室C3的第二方向的中央配置有沿第一方向延伸的层叠压电体13。框架部40a发挥引导墨水等液体的引导功能。框架部40a的图1中的上方即一侧的开口边缘的端面形成与喷嘴板20相对配置的喷嘴相对面40c。喷嘴相对面40c形成沿XY面的平坦的平面。喷嘴相对面40c与致动器基座10的喷嘴相对面10c共面，并接合到喷嘴板20的外周。在框架部40a的图1中下方的另一侧(喷嘴板20的相反侧)的开口边缘即端边缘上设有盖部40b。
盖部40b与框架部40a一体地构成。盖部40b例如由与框架部40a相同的材料即以钛酸铝为主要成分的陶瓷材料构成。盖部40b是矩形的板状部件，具有用于使墨水从外部流入共用室C3的供给口和用于从共用室C3向外部排出墨水的排出口。供给流路133a连接到供给口，并且回收流路133b连接到排出口。盖部40b将框架部40a的开口的一侧盖住，构成共用室C3。
通过喷嘴板20、框架部40a及盖部40b，覆盖致动器基座10的喷嘴板20侧的部分即致动器部分。另外，在致动器基座10中喷嘴板20的相反侧且向框架部40a及盖部40b的外侧延伸的部分的布线图案17上，安装驱动电路等各种电子部件。
在如上所述构成的喷墨头1的框架部40a的内部，形成有与喷嘴21连通的多个压力室C1、被盖板30盖住的多个空气室C2及与多个压力室C1连通的共用室C3。喷墨头1使墨水在通过形成于内部的压力室C1及共用室C3的流路中循环。
以下，参照图5说明本实施方式涉及的喷墨头1的制造方法。本实施方式涉及的喷墨头1的制造方法包括：将以钛酸铝为主要成分的陶瓷材料注射成型而形成框架部40a；和研磨由压电陶瓷材料构成且具有多个槽的致动器基座10和框架部40a，并形成与喷嘴板20接合的研磨面50c。
具体而言，首先，形成不具有槽14的致动器基座10。例如，将沿板厚方向极化的两个板状的压电部件以极化方向彼此不同的方式层叠，并将该层叠体切割成期望的宽度及长度以形成层叠压电体13。
进而，通过粘接剂等将层叠压电体13粘贴到与构成层叠压电体13的压电部件不同材质的板状基板12上，并实施使用切割锯、切片机等的机械加工而形成具有规定形状的外形的致动器基座10。此外，例如也可以预先形成与多个致动器基座相应厚度的块状基座部件然后进行分割，制造多个规定形状的致动器基座10。
接着，作为ACT1，通过机械加工在致动器基座10的层叠压电体13上形成第一槽14a及第二槽14b。进而，在包括各槽14a、14b内的致动器基座10的外表面的规定位置，通过真空蒸镀法等形成电极16、布线图案17等的导电膜。
接着，作为ACT2，在致动器基座10的两面粘贴成为盖板30的板状的干膜抗蚀剂30A。具体而言，例如将板状的干膜抗蚀剂30A抵在致动器基座10的第二方向的两端面，并通过50℃左右的热辊进行热压接合。
接着，作为ACT3，进行曝光处理。具体而言，首先，例如将具有图案形状的负型光掩模重叠配置于致动器基座10的端面，并且使用光掩模在90℃左右实施预烘烤处理，由此使干膜抗蚀剂30A的未被光掩模覆盖的规定部位暂时固化(仮硬化)。进而，通过将干膜抗蚀剂30A浸渍在专用显影液中，溶解与光掩模的图案形状对应的规定部位，形成成为缺口部31的开口。进而在120℃左右进行后烘烤处理，由此使干膜抗蚀剂30A完全固化(本硬化)。通过以上的曝光及显影，干膜抗蚀剂30A成形为规定形状，其中交替配置有多个缺口部31和凸状覆盖片32。例如，在本实施方式中，缺口部31配置在与第一槽14a相对的位置，并且第二槽14b被覆盖片32覆盖。
进而，作为ACT4，在盖板30的外侧配置框架部40a，并以覆盖共用室C3的方式配置盖部40b，通过将这些框架部40a及盖部40b组装并进行接合固定，从而构成壳体部件40。
接下来，作为ACT5，在将盖板30及壳体部件40接合到致动器基座10的状态下，研磨致动器基座10、盖板30及框架部40a的喷嘴相对面10c、30c、40c，并形成共面的研磨面50c。此时，由于框架部40a在加工性方面具有与致动器基座10相近的加工特性，因此能够同时进行研磨，并且能够高精度地研磨致动器基座10、盖板30及框架部40a的喷嘴相对面10c、30c、40c。
进而，以覆盖槽14a、14b的方式粘接并安装喷嘴板20。此时，将喷嘴板20安装在使得喷嘴21与第一槽14a相对配置且第二槽14b被封闭的位置。进而，如图1所示通过柔性电缆51将驱动IC芯片52和电路基板53连接到形成于基板12的主表面上的布线图案17，从而构成喷墨头1。
接下来，参照图6说明具有喷墨头1的喷墨打印机100。图6是示出喷墨打印机100的构成的说明图。如图6所示，喷墨打印机100包括壳体111、介质供给部112、图像形成部113、介质排出部114、输送装置115及控制部116。
喷墨打印机100是如下液体喷出装置，即一边沿从介质供给部112通过图像形成部113而到达介质排出部114的预定输送路径A1输送作为喷出对象物的记录介质例如纸张P，一边喷出墨水等液体，从而对纸张P进行图像形成处理。
介质供给部112包括多个供纸盒112a。介质排出部114包括排纸托盘114a。图像形成部113包括支承纸张的支承部117和相对配置于支承部117上方的多个头单元130。
支承部117包括在进行图像形成的规定区域中配备成环状的输送带118、从背面支承输送带118的支承板119及配备于输送带118背面的多个带辊120。
头单元130包括多个喷墨头1、分别搭载于各喷墨头1上的作为液体罐的多个墨盒132、连接喷墨头1和墨盒132的连接流路133及作为循环部的循环泵134。头单元130是使液体循环的循环型头单元。
在本实施方式中，包括青色、品红色、黄色和黑色这四种颜色的喷墨头1C、1M、1Y和1B作为喷墨头1，并且包括墨盒132C、132M、132Y和132B作为分别容纳这些颜色的墨水的墨盒132。墨盒132通过连接流路133连接到喷墨头1。连接流路133包括与喷墨头1的供给口连接的供给流路133a和与喷墨头1的排出口连接的回收流路133b。
另外，在墨盒132上连结有未图示的泵等负压控制装置。而且，与喷墨头1和墨盒132之间的水头压力相对应地通过负压控制装置对墨盒132内部进行负压控制，从而使供给到喷墨头1的各喷嘴的墨水形成为规定形状的弯月面。
循环泵134例如是由压电泵构成的送液泵。循环泵134设置于供给流路133a。循环泵134通过布线连接到控制部116的驱动电路。CPU(Central Processing Unit：中央处理器)116a构成为能够控制循环泵134。循环泵134使液体在包括喷墨头1和墨盒132的循环流路中循环。
输送装置115沿输送路径A1输送纸张P，输送路径A1从介质供给部112的供纸盒112a通过图像形成部113而到达介质排出部114的排纸托盘114a。输送装置115包括沿输送路径A1配置的多个导向板对121a～121h和多个输送用辊122a～122h。
控制部116包括作为控制器的CPU116a、存储各种程序等的ROM(Read OnlyMemory：只读存储器)、临时存储各种可变数据和图像数据等的RAM(Random AccessMemory：随机存取存储器)及从外部输入数据并向外部输出数据的接口部。
在喷墨头1和喷墨打印机100中，进行从喷嘴21喷出液体的驱动时，控制部116通过驱动电路经由布线图案17施加驱动电压。当对通过施加电压而驱动的压力室C1内的电极和两个相邻空气室C2内的电极赋予电位差时，第一压电元件15a和第二压电元件15b向彼此相反的方向变形，由于两个压电元件的变形，驱动元件发生弯曲变形。例如，如图3所示，首先使驱动的压力室C1在膨胀方向上变形以使其内部为负压，由此将墨水从缺口部31引导到压力室C1内。接着，如图4所示，通过使压力室C1在收缩方向上变形以对压力室C1的内部进行加压，从而使墨滴从喷嘴21喷出。
根据本实施方式涉及的喷墨头1及喷墨打印机100，由于框架部40a由包括钛酸铝的材料制成，因此其能够与致动器基座10一起研磨，从而能够容易且低成本地制造喷墨头1。例如，可切削性陶瓷原本就是昂贵的材料，而且无法通过注射成型等而形成成型部件，需要通过切削来加工其形状，因此非常昂贵。另一方面，可成形的氧化铝等陶瓷与PZT的硬度大不相同，而且原本加工条件就大不相同，因此当用作框架时，在与喷嘴板20相对的喷嘴相对面上形成台阶或者在PZT中经常发生缺损(chipping)，因此在粘接喷嘴板20时形成空隙，成为墨水泄漏等的原因。与此相对，在本实施方式中，构成致动器基座10的压电陶瓷与构成框架部40a的钛酸铝可以在相同的加工条件下加工，因此可以通过同时研磨形成共面的研磨面50c，并且防止在粘接喷嘴板20时产生空隙。此外，由于盖板30非常薄，所以对接合面的影响小。另外，通过由可注射成型的注射成型钛酸铝构成，可以低成本地进行加工。因此，根据喷墨头1，通过成型及同时研磨，能够低成本地制造。另外，根据喷墨头1，由于能够提高喷嘴相对面的加工精度，所以能够提高压力室C1和共用室C3的密闭性，并且能够提高液体的喷出性能。
需要注意的是，本发明并不限于上述实施方式本身，在实施阶段可以在不脱离其主旨的范围内对构成要素进行变形而实施。
在上述实施方式中例示了所谓的端射式喷墨头1，但本发明并不限于此。例如也可以应用于侧射式喷墨头。例如，也可以采用以下结构：具有在不同的两个方向上开口的槽的梳齿状致动器基座的、与喷嘴板相对的面不同的预定方向上的部分被作为第一部件的板状部件封闭。该情况下，板状部件由以钛酸铝为主要成分的陶瓷材料成型而构成。在本实施方式中，将致动器基座和板状部件同时研磨而形成共面的研磨面，并且在该研磨面上接合喷嘴板，从而能够以低成本容易地形成高精度的压力室。
另外，在上述实施方式中，示出了致动器基座10具有到达第二方向的两端的槽14a、14b并在两侧设置盖板30的示例，但本发明并不限于此。例如，也可以构成为具有在致动器基座10的一侧开口的第一槽14a及第二槽14b，并且仅在致动器基座10的一侧配置盖板3。在此情况下，也可以获得与上述实施方式相同的效果。另外，示出了框架部40a包围致动器基座部10中的形成有槽14的端部周围的形状，但本发明并不限于此。
另外，示出了盖板30由干膜抗蚀剂形成且通过曝光成形为规定形状的示例，但本发明并不限于此。例如，可以使用构成为板状的盖板，并将盖板的与喷嘴相对的喷嘴相对面与致动器基座10、框架部40a一起研磨。
另外，在上述实施方式中，例示了在基板12上配备有由压电部件构成的层叠压电体13的致动器基座10，但本发明并不限于此。例如，可以不使用基板12而仅由压电部件形成致动器基座10。另外，也可以不使用两个压电部件而使用一个压电部件。
根据上述至少一个实施方式，可以提供易于制造的喷墨头及喷墨装置。
例如，也可以是喷出如下液体的装置等，即喷出的液体不限于印刷用墨水，例如可以是包含用于形成印刷布线基板的布线图案的导电性颗粒的液体。
另外，在上述实施方式中，示出了将喷墨头用于喷墨记录装置等液体喷出装置的示例，但本发明并不限于此，例如也可以将喷墨头用于3D打印机、工业用制造机械、医疗用途，并且可以实现小型轻量化和低成本化。
除此以外，虽然说明了本发明的几个实施方式，但这些实施方式只是作为示例而提出，并非旨在限定发明的范围。这些新实施方式能够以其它各种方式实施，能够在不脱离发明的宗旨的范围内进行各种省略、替换、变更。这些实施方式及其变形包含在发明的范围和宗旨中，并且包含在权利要求书所记载的发明及其等同范围内。
Claims (9)
1.一种液体喷出头，其特征在于，具备：
致动器基座，由压电陶瓷材料构成，且具有形成压力室的多个槽；
第一部件，由以钛酸铝为主要成分的陶瓷材料构成，且组装于所述致动器基座；以及
喷嘴板，具有与所述压力室连通的喷嘴，且与所述致动器基座及所述第一部件相对配置，
所述致动器基座具有在第一方向及与所述第一方向交叉的第二方向上开口且形成所述压力室的多个第一槽及多个第二槽，
所述液体喷出头包括盖板，所述盖板配置在所述致动器基座的所述第二方向且盖住所述多个第二槽，并且具有与所述多个第一槽连通的多个开口，
所述盖板与所述致动器基座的两端面连接设置，所述盖板的所述多个开口配置在与所述多个第一槽对应的位置。
2.根据权利要求1所述的液体喷出头，其特征在于，
所述第一部件是形成与所述压力室连通的流路的框架。
3.根据权利要求1或2所述的液体喷出头，其特征在于，
所述第一部件及所述致动器基座具有与所述喷嘴板相对配置且彼此共面的研磨面。
4.根据权利要求3所述的液体喷出头，其特征在于，
所述盖板由干膜抗蚀剂构成，并且设置于所述致动器基座的两个端面。
5.一种液体喷出头的制造方法，其特征在于，包括：
将以钛酸铝为主要成分的陶瓷材料注射成型而形成第一部件；和
研磨由压电陶瓷材料构成且具有多个槽的致动器基座和所述第一部件，而形成与喷嘴板接合的研磨面，所述喷嘴板具有与所述槽连通的喷嘴，
所述致动器基座具有在第一方向及与所述第一方向交叉的第二方向上开口且形成压力室的多个第一槽及多个第二槽，
所述液体喷出头包括盖板，所述盖板配置在所述致动器基座的所述第二方向且盖住所述多个第二槽，并且具有与所述多个第一槽连通的多个开口，
所述盖板与所述致动器基座的两端面连接设置，所述盖板的所述多个开口配置在与所述多个第一槽对应的位置。
6.根据权利要求5所述的液体喷出头的制造方法，其特征在于，
所述第一部件是形成与所述槽形成的压力室连通的流路的框架。
7.一种液体喷出装置，其特征在于，具备：
液体喷出头，具备：致动器基座，由压电陶瓷材料构成，且具有形成压力室的多个槽；第一部件，由以钛酸铝为主要成分的陶瓷材料构成，且组装于所述致动器基座；以及喷嘴板，具有与所述压力室连通的喷嘴，且与所述致动器基座及所述第一部件相对配置；和
输送装置，沿着预定的输送路径输送介质，
所述致动器基座具有在第一方向及与所述第一方向交叉的第二方向上开口且形成所述压力室的多个第一槽及多个第二槽，
所述液体喷出头包括盖板，所述盖板配置在所述致动器基座的所述第二方向且盖住所述多个第二槽，并且具有与所述多个第一槽连通的多个开口，
所述盖板与所述致动器基座的两端面连接设置，所述盖板的所述多个开口配置在与所述多个第一槽对应的位置。
8.根据权利要求7所述的液体喷出装置，其特征在于，
所述第一部件是形成与所述压力室连通的流路的框架。
9.根据权利要求7或8所述的液体喷出装置，其特征在于，
所述第一部件及所述致动器基座具有与所述喷嘴板相对配置且彼此共面的研磨面。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019045818A JP7149879B2 (ja) | 2019-03-13 | 2019-03-13 | 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法及び液体吐出装置 |
| JP2019-045818 | 2019-03-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111688356A CN111688356A (zh) | 2020-09-22 |
| CN111688356B true CN111688356B (zh) | 2022-07-19 |
Family
ID=69699762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202010082945.8A Active CN111688356B (zh) | 2019-03-13 | 2020-02-07 | 液体喷出头、液体喷出头的制造方法及液体喷出装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11247463B2 (zh) |
| EP (1) | EP3708372B1 (zh) |
| JP (1) | JP7149879B2 (zh) |
| CN (1) | CN111688356B (zh) |
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- 2019-03-13 JP JP2019045818A patent/JP7149879B2/ja active Active
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- 2020-01-23 US US16/750,905 patent/US11247463B2/en active Active
- 2020-02-07 CN CN202010082945.8A patent/CN111688356B/zh active Active
- 2020-02-18 EP EP20157859.8A patent/EP3708372B1/en active Active
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| CN105098058A (zh) * | 2014-05-12 | 2015-11-25 | 松下知识产权经营株式会社 | 压电元件与电缆基板的连接方法、压电器件、使用该压电器件的喷墨头以及喷墨装置 |
| CN106079900A (zh) * | 2015-04-28 | 2016-11-09 | 精工电子打印科技有限公司 | 液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置 |
| JP2017128006A (ja) * | 2016-01-19 | 2017-07-27 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
| CN107825855A (zh) * | 2016-09-15 | 2018-03-23 | 东芝泰格有限公司 | 喷墨头及喷墨头的制造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20200290354A1 (en) | 2020-09-17 |
| JP2020146904A (ja) | 2020-09-17 |
| JP7149879B2 (ja) | 2022-10-07 |
| CN111688356A (zh) | 2020-09-22 |
| US11247463B2 (en) | 2022-02-15 |
| EP3708372A1 (en) | 2020-09-16 |
| EP3708372B1 (en) | 2024-02-14 |
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