CN106079900A - 液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置 - Google Patents

Abstract

提供谋求布线图案的简化的同时，在谋求小型化的基础上能够实现多喷嘴化的液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置。具备：形成在伪通道（52）的内侧面的个别电极（66）；形成在吐出通道（51）的内侧面的共同电极（62）；形成在致动器板（45）的连接槽（55）内、连接夹着吐出通道（51）而在X方向对置的个别电极（66）彼此并且连接有FPC的个别焊盘（67）；在致动器板（45）上向后侧开放的浅槽部（61）；形成在浅槽部（61）内并通过浅槽部（61）内而连接共同电极（62）及FPC间的共同焊盘（64）；以及形成在致动器板（45）之中表面（45a）和后侧端面所成的角部并分开共同焊盘（64）和个别焊盘（67）的分开槽（54）。

Description

液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置

技术领域

本发明涉及液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置。

背景技术

一直以来，作为向记录纸等的被记录介质吐出液滴状的墨，从而在被记录介质记录图像、字符的装置，有具备喷墨头（液体喷射头）的喷墨打印机（液体喷射装置）。

喷墨头的头芯片具备：在表面侧交替并排设置吐出通道及伪通道的致动器板；以及层叠在致动器板并具有汇聚到吐出通道内而连通的共同墨室的盖板。另外，各通道之中，在吐出通道的内表面形成有成为基准电位GND的共同电极，在伪通道的内表面形成有设为驱动电位Vdd的个别电极。

例如，在下述专利文献1中，个别布线通过致动器板中的通道延伸方向的一端面连接到形成在致动器板的背面上的个别焊盘。另一方面，共同布线通过致动器板中的通道延伸方向的另一端面连接到形成在致动器板的背面上的共同焊盘。各焊盘在背面上被分割槽分开，并且分别连接到压接在背面的柔性印刷基板等的外部布线。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000－168094号公报。

发明内容

发明要解决的课题

然而，在专利文献1的结构中，个别布线及共同布线通过致动器板中的通道延伸方向的两端面而迂回到背面上的各焊盘，因此存在布线图案变复杂这一课题。

另外，最近，作为谋求对被记录介质记录的字符、图像的高密度记录化等的多喷嘴化的结构，已知沿着致动器板的厚度方向层叠多个头芯片的结构。然而，上述专利文献1的结构由于在致动器板的背面上与外部布线连接的关系，在谋求小型化的基础上，难以谋求多喷嘴化。

本发明考虑了这样的情况而成，其目的在于提供谋求布线图案的简化的同时，在谋求小型化的基础上能够实现多喷嘴化的液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置。

用于解决课题的方案

本发明为了解决上述课题而提供以下的方案。

本发明所涉及的液体喷射头，其特征在于，具备：致动器板；喷射通道，在所述致动器板的表面上沿着第1方向而延伸设置，并且在与第1方向相交的第2方向隔开间隔而并排设置，第1方向的一端部在所述致动器板内终结；伪通道，在所述致动器板的所述表面上沿着第1方向而延伸设置，并且在第2方向与所述喷射通道交替地并排设置，在所述致动器板中的第1方向的一端面开口；个别电极，形成在所述伪通道的内侧面；共同电极，形成在所述喷射通道的内侧面；个别焊盘，在所述致动器板之中位于相邻的所述伪通道间的部分中形成在朝向第1方向的一端侧的连接面，分别连接夹着所述喷射通道而在第2方向对置的所述个别电极彼此，并且连接个别侧外部布线；凹部，在所述致动器板的所述表面上形成在位于相邻的所述伪通道间的部分，向第1方向的一端侧开放；共同焊盘，形成在所述凹部的内表面，通过所述凹部内而连接所述共同电极及共同侧外部布线间；以及分开部，在所述致动器板之中，形成在由所述表面和所述一端面所成的角部，分开所述共同焊盘和所述个别焊盘。

依据该构成，通过对形成在凹部内的共同焊盘及形成在连接面的个别焊盘分别连接共同侧外部布线及个别侧外部布线，能够在致动器板中从第1方向的一端侧实现致动器板（共同焊盘及个别焊盘）与个别侧外部布线及共同侧外部布线的连接。由此，与以往那样使个别电极、共同电极迂回到形成在致动器板的背面上的个别焊盘、共同焊盘的结构相比，能够谋求简化布线图案。

另外，通过在凹部内形成共同焊盘，例如与对形成在致动器板的表面的共同焊盘从第1方向的一端侧连接到共同侧外部布线的情况相比，能够确保共同侧外部布线和共同焊盘的接触面积。由此，能够确保电可靠性。

而且，对于致动器板从第1方向的一端侧进行共同焊盘及个别焊盘与个别侧外部布线及共同侧外部布线的连接，从而能够在厚度方向简单层叠致动器板。在该情况下，与使用多个喷墨头自身而谋求多喷嘴化的情况相比不仅谋求了小型化，而且能够谋求多喷嘴化。

本发明所涉及的液体喷射头中，也可以在所述致动器板之中位于相邻的所述伪通道间的部分，形成向所述致动器板中的第1方向的一端侧开放并且相对于所述一端面而向第1方向的另一端侧凹陷的连接槽，在所述连接槽的内表面之中，朝向第1方向的一端侧的面构成所述连接面。

依据该构成，由于连接槽的内表面之中，朝向第1方向的一端侧的面构成连接面，所以个别焊盘配置在相对于致动器板的一端面更加凹陷的位置。由此，抑制个别焊盘与周边部件的干涉，能够保护个别焊盘。

本发明所涉及的液体喷射头中，也可以使所述伪通道的槽深度深于所述连接槽的槽深度。

依据该构成，由于伪通道的槽深度深于连接槽的槽深度，所以例如在利用斜蒸镀来对连接面形成个别焊盘的情况下，电极材料会难以附着到伪通道的底面。其结果，在电极形成工序之后，无需进行例如除去附着在伪通道的底面的电极材料的除去工序，因此能够谋求提高制造效率。

本发明所涉及的液体喷射头中，在所述共同侧外部布线，也可以形成容纳于所述凹部内并且在所述凹部内与所述共同焊盘连接的凸点。

依据该构成，会容易确保共同侧外部布线与共同焊盘的电可靠性。

本发明所涉及的液体喷射头的制造方法中，也可以在所述电极形成工序的前面阶段具有凹部形成工序，以在所述致动器板的所述表面上位于相邻的所述伪通道间的部分，形成向第1方向的一端侧开放的所述凹部。

依据该构成，通过在电极形成工序的前面阶段形成凹部，能够在电极形成工序中能够对各通道的内侧面和凹部的内表面同时将成为共同焊盘的电极材料成膜。而且，由于能够在凹部内形成共同焊盘，所以例如与从第1方向的一端侧将形成在致动器板的表面的共同焊盘连接到共同侧外部布线的情况相比，能够确保共同侧外部布线与共同焊盘的接触面积。由此，能够确保电可靠性。

本发明所涉及的液体喷射头的制造方法中，也可以在所述电极形成工序的前面阶段具有横断槽形成工序，以在所述致动器板沿第1方向成排的板片（wafer）的表面之中位于所述致动器板间的部分，形成沿着第2方向延伸并且与所述伪通道相交的横断槽，并且在所述电极形成工序的后面阶段具有单片化工序，以切断所述板片之中位于所述横断槽间的部分而按每个所述致动器板进行单片化。

依据该构成，由于能够进行板片级的操作，所以能够谋求提高制造效率。另外，通过在电极形成工序的前面阶段先形成横断槽，能够在电极形成工序中对各通道的内侧面和横断槽的内表面也同时将电极材料成膜。而且，以横断槽为界将板片单片化，从而能够取出在朝向第1方向的一端侧的连接面（连接槽）形成个别焊盘的致动器板。在该情况下，与单片化后另行形成个别焊盘的情况相比能够进一步谋求提高制造效率。

本发明所涉及的液体喷射头的制造方法中，也可以在所述电极形成工序的前面阶段具有横断槽形成工序，以在所述致动器板沿第1方向成排的板片的表面之中位于所述致动器板间的部分，在第1方向隔开间隔而形成2个沿着第2方向延伸并且与所述伪通道相交的横断槽，并且在所述电极形成工序的后面阶段具有单片化工序，以除去所述板片之中位于所述2个横断槽间的隔壁的方式切断所述板片而按每个所述致动器板进行单片化。

依据该构成，由于能够进行板片级的操作，所以能够谋求提高制造效率。另外，通过在电极形成工序的前面阶段先形成横断槽，能够在电极形成工序中对各通道的内侧面和横断槽的内表面也同时将电极材料成膜。而且，以横断槽为界切断板片，从而能够取出在朝向第1方向的一端侧的连接面（连接槽）形成个别焊盘的致动器板。在该情况下，与单片化后另行形成个别焊盘的情况相比能够进一步谋求提高制造效率。

而且，与在1个横断槽间分离板片的结构相比，能够缩小各横断槽的槽宽度。因此，在电极形成工序中，利用斜蒸镀在横断槽内将电极材料成膜的情况下，能够抑制横断槽的槽宽度或槽深度造成的蒸镀深度的偏差。

本发明所涉及的液体喷射头的制造方法中，也可以在所述电极形成工序中，从在从厚度方向观察所述致动器板的俯视图中与第1方向及第2方向分别相交的方向对所述致动器板的所述表面进行斜蒸镀。

依据该构成，对于板片的表面从对第1方向及第2方向分别相交的方向进行斜蒸镀，从而与沿着第1方向或第2方向进行斜蒸镀的情况相比，电极材料会容易沉积到伪通道和横断槽所成的角部。因此，能够确保个别电极及个别焊盘间的电可靠性。

本发明所涉及的液体喷射头的制造方法中，也可以在所述通道形成工序及所述横断槽形成工序中，设定所述伪通道及所述横断槽的槽宽度及槽深度，以在所述电极形成工序中使所述电极材料不会沉积到所述伪通道的底面。

依据该构成，由于在电极形成工序之后，无需进行例如除去附着在伪通道的底面的电极材料的除去工序，所以能够谋求提高制造效率。

本发明所涉及的液体喷射装置，其特征在于，具备：上述本发明所涉及的液体喷射头；以及移动机构，使所述液体喷射头和被记录介质相对移动。

依据该构成，由于具备上述本发明所涉及的液体喷射头，不仅谋求简化而且能够在谋求小型化的基础上实现多喷嘴化。

发明效果

依据本发明，不仅谋求布线图案的简化而且能够在谋求小型化的基础上实现多喷嘴化。

附图说明

图1是喷墨打印机的概略结构图。

图2是喷墨头的立体图。

图3是从Z方向的一端侧观察吐出部的立体图。

图4是从Z方向的另一端侧观察吐出部的分解立体图。

图5是相当于图3的V－V线的截面图。

图6是相当于图3的VI－VI线的截面图。

图7是用于说明致动器板片制作工序（掩模形成工序）的工序图，并且是致动器板片的平面图。

图8是沿着图7的VIII－VIII线的截面图。

图9是用于说明致动器板片制作工序（切割线形成工序）的工序图，并且是致动器板片的平面图。

图10是沿着图9的X－X线的截面图。

图11是用于说明致动器板片制作工序（横断槽形成工序）的工序图，并且是致动器板片的平面图。

图12是沿着图11的XII－XII线的截面图。

图13是用于说明致动器板片制作工序（电极形成工序）的工序图，并且是致动器板片的平面图。

图14是沿着图13的XIV－XIV线的截面图。

图15是用于说明致动器板片制作工序（电极形成工序）的工序图，并且是致动器板片的平面图。

图16是沿着图15的XVI－XVI线的截面图。

图17是用于说明致动器板片制作工序（电极分离工序）的工序图，并且是致动器板片的平面图。

图18是沿着图17的XVIII－XVIII线的截面图。

图19是用于说明盖板片制作工序的工序图，并且是盖板片的平面图。

图20是沿着图19的XX－XX线的截面图。

图21是粘合工序的工序图，并且板片接合体的平面图。

图22是沿着图21的XXII－XXII线的截面图。

图23是单片化工序的工序图，并且是板片接合体的平面图。

图24是沿着图23的XXIV－XXIV线的截面图。

图25是从Z方向的一端侧观察实施方式中的表示其他结构的吐出部的立体图。

图26是从Z方向的一端侧观察实施方式中的表示其他结构的吐出部的立体图。

图27是用于说明致动器板片制作工序的其他方法的工序图，并且是致动器板片的平面图。

图28是沿着图27的XXVIII－XXVIII线的截面图。

图29是从Z方向的一端侧观察实施方式中的表示其他结构的吐出部的立体图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明所涉及的实施方式进行说明。以下的实施方式中，作为具备本发明的液体喷射头的液体喷射装置的一个例子，举例说明利用墨（液体）来对被记录介质进行记录的喷墨打印机（以下，仅称为打印机）。此外，在以下的说明所采用的附图中，为了使各部件成为能够识别的大小，适当变更了各部件的比例尺。

[打印机]

图1是打印机1的概略结构图。

如图1所示，打印机1具备：输送纸等的被记录介质S的一对输送机构2、3；向被记录介质S喷射墨滴的喷墨头（液体喷射头）4；向喷墨头4供给墨的墨供给单元5；以及使喷墨头4沿与被记录介质S的输送方向（主扫描方向）正交的方向（副扫描方向）扫描的扫描单元6。此外，在以下的说明中，将上述主扫描方向设为X方向、将副扫描方向设为Y方向、而且将与X方向及Y方向正交的方向设为Z方向而进行说明。

一对输送机构2、3具备：分别沿Y方向延伸的栅格辊2a、3a；与栅格辊2a、3a分别平行延伸的压紧辊2b、3b；以及使栅格辊2a、3a绕其轴进行旋转动作的电动机等的未图示的驱动机构。

墨供给单元5具备容纳墨的墨罐10和连接墨罐10与喷墨头4的墨管道11。墨罐10具有例如黄色、品红色、青色、黑色这4种墨的墨罐10Y、10M、10C、10B。墨管道11例如为具有挠性的软管，能够跟随支撑喷墨头4的滑架16的动作（移动）。此外，墨罐10并不局限于容纳黄色、品红色、青色、黑色这4种墨的墨罐10Y、10M、10C、10B，可以具备容纳更多颜色的墨的墨罐，也可为一个。

扫描单元6具备：沿Y方向延伸且在X方向隔开间隔而互相平行配置的一对导轨14、15；能够沿着一对导轨14、15移动地配置的滑架16；以及使滑架16沿Y方向移动的驱动机构17。

驱动机构17具备：配置在一对导轨14、15之间并且在Y方向隔开间隔而配置的一对带轮18；卷绕在一对带轮18间并沿Y方向行走的无接头带19；以及使一个带轮18旋转驱动的驱动电动机20。

滑架16连结在无接头带19，以随着一个带轮18的旋转驱动带来的无接头带19的移动能够沿Y方向移动。另外，在滑架16，以沿Y方向并排的状态搭载有多个喷墨头4。在图示的例子中，在滑架16搭载有分别吐出黄色、品红色、青色、黑色的各墨的4个喷墨头4（即，喷墨头4Y、4M、4C、4B）。此外，通过上述输送机构2、3及扫描单元6，构成使喷墨头4和被记录介质S相对移动的移动机构。

（喷墨头）

接着，对上述喷墨头4进行详细描述。图2是喷墨头4的立体图。此外，上述各喷墨头4除了供给的墨的颜色以外均由同一结构构成，因此在以下的说明中，对一个喷墨头4进行说明。

如图2所示，喷墨头4具备：固定在滑架16的固定板21；固定在该固定板21上的吐出部22；将从墨供给单元5供给的墨再向吐出部22的后述的共同墨室71供给的墨供给部23；以及向吐出部22施加驱动电压的头驱动部24。

喷墨头4因被施加驱动电压而以既定吐出量吐出各色的墨。此时，喷墨头4因扫描单元6而沿Y方向移动，从而能够对被记录介质S中的既定范围进行记录。另外，一边利用输送机构2、3将被记录介质S沿X方向输送，一边反复进行上述扫描，从而能够对被记录介质S的整体进行记录。

在固定板21，以沿着Z方向立起的状态固定有铝等的金属制的支撑板25，并且固定有向吐出部22供给墨的流路部件26。在支撑板25支撑有在内部具有储存墨的储存室的压力缓冲器27。压力缓冲器27通过上述墨管道11连接到墨罐10，另一方面，通过墨连结管28连接到流路部件26。在该情况下，压力缓冲器27在通过墨管道11被供给墨时，暂时将墨储存在内部的储存室内后，通过墨连结管28及流路部件26，将既定量的墨向吐出部22供给。此外，通过这些流路部件26、压力缓冲器27及墨连结管28，构成上述墨供给部23。

另外，在支撑板25，安装有搭载了用于驱动吐出部22的集成电路等的控制电路31的IC基板32。该IC基板32经由柔性印刷基板33（以下，称为FPC 33）电连接到吐出部22。而且，通过搭载了这些控制电路31的IC基板32及FPC 33，构成上述头驱动部24。

（吐出部）

接着，对吐出部22进行详细说明。图3是从Z方向的一端侧观察吐出部22的立体图，图4是从Z方向的另一端侧观察吐出部22的分解立体图。图5是沿着图3的V－V线的截面图，图6是沿着图3的VI－VI线的截面图。

如图3～图6所示，本实施方式的吐出部22是由多个喷嘴孔（第1喷嘴孔41a及第2喷嘴孔41b）构成的喷嘴列42a、42b形成二列的二列型的吐出部22。具体而言，吐出部22具备：沿Y方向层叠多层的第1头芯片40A及第2头芯片40B；以及汇聚第1头芯片40A及第2头芯片40B而固定的喷嘴板44。此外，各头芯片40A、40B设为从后述的吐出通道51吐出墨的、所谓的边缘喷射型。另外，在以下的说明中，主要对第1头芯片40A进行说明，对于第2头芯片40B中的与第1头芯片40A对应的部位标注同一标号并省略说明。此外，在以下的说明中，以Y方向之中一端侧（第1头芯片40A侧）为表侧、另一端侧（第2头芯片40B侧）为背侧、Z方向之中一端侧（与喷嘴板44相反侧）为后侧、另一端侧（喷嘴板44侧）为前侧而进行说明。

第1头芯片40A主要具备沿Y方向层叠的致动器板45及盖板46。

致动器板45由PZT（钛锆酸铅）等的压电材料形成，其极化方向沿着厚度方向（Y方向）并被设定为一个方向。在该致动器板45的表面45a上，形成有在表面45a开口的多个通道51、52。

各通道51、52沿Z方向（第1方向）以直线状且沿X方向（第2方向）等间隔地形成，并且被由压电体（致动器板45）构成的驱动壁53分别划分。具体而言，多个通道51、52具有填充墨的吐出通道（喷射通道）51和不会填充墨的伪通道52。而且，这些吐出通道51及伪通道52在X方向交替并排地排列。

如图4、图5所示，吐出通道51后侧端部在致动器板45内终结，前侧端部在致动器板45中的前侧端面开口。具体而言，吐出通道51具有：位于前侧端部并且槽深度一样的延伸部51a；以及连续设在延伸部51a中的后侧端部并且槽深度随着向后侧变浅的切上部51b。

伪通道52沿Z方向贯通致动器板45，Z方向的两端部在致动器板45中的Z方向的两端面分别开口。此外，在图示的例中，伪通道52的槽深度在整个Z方向上一样。

致动器板45之中，比吐出通道51更靠后方位置的部分（以下，称为尾部）成为越向后侧就越向背侧层层下降的阶梯状。具体而言，在致动器板45配设有相对于表面45a向背侧凹陷一级的分开槽（分开部）54、和在分开槽54的后侧端缘连接并且从分开槽54进一步向背侧凹陷的连接槽（连接面）55。

分开槽54在从X方向观察的侧面视下呈L字状，致动器板45之中，以切除表面45a及后侧端面（一端面）所成的角部的方式形成。分开槽54其表侧端缘与致动器板45的表面45a从后侧起连接。另外，分开槽54中的底面的后侧端缘在连接槽55的表侧端缘从前侧起成排。

连接槽55在从X方向观察的侧面视下呈L字状，向致动器板45的表面45a及后侧端面开放。连接槽55的槽深度（从致动器板45的表面45a到连接槽55的底面为止的Y方向上的长度）比伪通道52的槽深度浅。因此，连接槽55的底面处于比伪通道52的底面更靠表侧位置。

在致动器板45中的各尾部的表面45a，分别形成有浅槽部（凹部）61。各浅槽部61前侧端部在致动器板45内的比吐出通道51更靠后方终结，后侧端部在分开槽54内开口。浅槽部61在从Y方向观察的俯视下，使槽宽度与各吐出通道51相等，并且在X方向以与对应的吐出通道51相等的位置配设。另外，浅槽部61的前侧端部在从X方向观察的侧面视下呈圆弧状，槽深度随着向后侧逐渐变深。在图示的例中，浅槽部61的最大槽深度会浅于吐出通道51的延伸部51a、分开槽54的槽深度。此外，浅槽部61只要为能够容纳FPC 33的后述的凸点85的大小，槽深度、槽宽度等就可以适当设计变更。

在致动器板45的驱动壁53之中划分各吐出通道51的面（吐出通道51的内表面）形成有共同电极62。共同电极62在Y方向上的宽度为吐出通道51的一半左右，在各吐出通道51的内表面之中在X方向对置的内侧面及切上部51b的底面上，形成在从表侧端缘到中间部分的范围。

在致动器板45的尾部的表面45a上，形成有与共同电极62连接的共同布线63。共同布线63成为沿着Z方向延伸的带状，其前侧端部包围吐出通道51的切上部51b，与吐出通道51内的共同电极62连接。共同布线63的后侧端部包围浅槽部61的前侧端部。

在浅槽部61的内表面形成有共同焊盘64。共同焊盘64用于连接上述共同布线63及FPC 33间，形成在浅槽部61的整个内表面。共同焊盘64的前侧端部在致动器板45的表面45a与浅槽部61的表侧端缘之间与共同布线63连接。另一方面，共同焊盘64的后侧端缘与浅槽部61的后侧端缘一致。

如图4、图6所示，在致动器板45的驱动壁53之中划分各伪通道52的面（伪通道52的内表面）分别形成有个别电极66。这些个别电极66在Y方向上的宽度成为伪通道52的一半左右，在各伪通道52的内表面之中在X方向对置的内侧面，形成在从表侧端缘到中间部分的范围。在该情况下，各个别电极66之中在同一伪通道52内对置的个别电极66彼此互相电隔离。此外，在图示的例中，个别电极66在伪通道52的后侧端部中，形成到内侧面中的比Y方向的中间部分更靠底面侧位置的部分。

如图3、图5所示，在致动器板45的上述连接槽55内，形成有夹着吐出通道51连接在X方向对置的个别电极66彼此并且连接上述FPC 33的个别焊盘67。个别焊盘67形成在连接槽55的整体内表面。个别焊盘67之中X方向的一端部（图3中的右侧）在相对于吐出通道51位于X方向的右侧的伪通道52内，与形成在X方向的另一端侧（图3中的左侧）的个别电极66连接。另一方面，个别焊盘67的左侧端部在相对于吐出通道51位于左侧的伪通道52内，与形成在右侧的个别电极66连接。

在此，在上述分开槽54的内表面，不形成电极材料而分开共同焊盘64与个别电极66及个别焊盘67之间。分开槽54的尺寸（槽深度、Z方向的宽度等）只要为分开共同焊盘64与个别电极66及个别焊盘67之间、且不分开个别电极66与个别焊盘67之间的大小就可以适当设计变更。在图示的例中，分开槽54的槽深度（从致动器板45的表面45a到分开槽54的底面为止的Y方向上的长度）浅于连接槽55的槽深度，成为伪通道52的槽深度的一半左右。

如图3～图6所示，盖板46成为从Y方向观察的俯视外形具有与致动器板45相等的外形的板状，其背面46a粘接到致动器板45的表面45a上而闭塞各通道51、52。

盖板46具有：形成在表面46b侧的共同墨室71；以及形成在背面46a侧而分别连通共同墨室71及各吐出通道51间的多个狭缝72。

共同墨室71为位于盖板46中的后侧端部并向背侧凹陷的槽，沿X方向延伸设置。共同墨室71构成为连通至上述流路部件26内，以使流路部件26内的墨流通。

狭缝72在共同墨室71内形成在Y方向上与吐出通道51的切上部51b重叠的位置，沿Y方向贯通盖板46。即，上述共同墨室71通过狭缝72汇聚到各吐出通道51内而连通，另一方面，不与伪通道52连通。此外，狭缝72在X方向上的宽度形成为与吐出通道51相等。

第2头芯片40B与上述第1头芯片40A同样地致动器板45及盖板46在Y方向层叠而构成。在该情况下，第2头芯片40B以使盖板46的表面46b朝向第1头芯片40A中的致动器板45的背面45b的状态接合到第1头芯片40A。即，本实施方式的吐出部22成为致动器板45及盖板46多块交替层叠的结构。

第2头芯片40B的吐出通道51及伪通道52相对于第1头芯片40A的吐出通道51及伪通道52的排列间距错开半间距而排列，各头芯片40A、40B的吐出通道51彼此以及伪通道52彼此以交错状排列。即，第1头芯片40A的吐出通道51以及第2头芯片40B的伪通道52彼此在Y方向对置，第1头芯片40A的伪通道52以及第2头芯片40B的吐出通道51彼此在Y方向对置。

此外，在各头芯片40A、40B之中比位于X方向的最外的通道（伪通道52）更靠外侧位置的部分（非吐出区域），形成有连接各头芯片40A、40B的共同墨室71间的未图示的连通孔。连通孔沿Y方向贯通各致动器板45之中位于盖板46间的致动器板45（第1头芯片40A侧的致动器板45），并且两端部在各盖板46中分别在共同墨室71开口。因而，成为通过流路部件26流入第1头芯片40A（共同墨室71）内的墨通过连通孔流入第2头芯片40B（共同墨室71）内。

如图5、图6所示，FPC 33为所谓的凸点FPC，以使其延伸方向的一端部覆盖吐出部22的后侧端面的方式连接到吐出部22。具体而言，FPC 33具有分别连接到个别焊盘67的多个个别电极用布线（个别侧外部布线）81和连接到共同焊盘64的共同电极用布线（共同侧外部布线）82。

各个别电极用布线81具有：与个别焊盘67连接的个别用凸台（land）部83；以及从个别用凸台部83引出的未图示的引出部。各个别用凸台部83经由未图示的各向异性导电膜（ACF）压接到连接槽55内各头芯片40A、40B的对应的个别焊盘67。引出部的一端部与个别用凸台部83连接，另一端部与IC基板32连接。

共同电极用布线82具有：与各共同焊盘64连接的凸点85；以及分别从凸点85引出的未图示的引出部。

凸点85形成在FPC 33之中在Z方向与各浅槽部61对置的部分，并且向前侧突出。凸点85通过上述分开槽54分别容纳于浅槽部61内，在浅槽部61内与共同焊盘64电连接。引出部的一端部与凸点85连接，另一端部汇聚到未图示的集合部而连接。共同电极用布线82经由集合部连接到IC基板32。

如图4～图6所示，喷嘴板44为厚度达例如数十μm左右的膜材料，以覆盖整个前侧端面的方式粘接在各头芯片40A、40B。在喷嘴板44配设有2列由沿X方向隔开间隔并排设置的多个喷嘴孔（第1喷嘴孔41a及第2喷嘴孔41b）构成的喷嘴列（第1喷嘴列42a及第2喷嘴列42b）。

第1喷嘴列42a具有沿Z方向贯通喷嘴板44的多个第1喷嘴孔41a，这些第1喷嘴孔41a在X方向隔开间隔排列在一条直线上而构成。这些第1喷嘴孔41a连通至上述第1头芯片40A的吐出通道51内。具体而言，第1喷嘴孔41a形成在喷嘴板44之中位于第1头芯片40A中的吐出通道51的Y方向的中央部的部分，以与吐出通道51相同间距形成。

第2喷嘴列42b具有沿Z方向贯通喷嘴板44的多个第2喷嘴孔41b，以与上述第1喷嘴列42a平行地配设。各第2喷嘴孔41b连通至上述第2头芯片40B的吐出通道51内。具体而言，第2喷嘴孔41b形成在喷嘴板44之中位于第2头芯片40B中的吐出通道51的Y方向的中央部的部分，以与吐出通道51相同间距形成。因而，各伪通道52不与喷嘴孔41a、41b连通而被喷嘴板44从前侧覆盖。

[打印机的动作方法]

接着，下面对利用如上所述构成的打印机1来向被记录介质S记录字符、图形等的情况进行说明。

此外，作为初始状态，图1所示的4个墨罐10中充分地封入有分别不同颜色的墨。

在这样的初始状态下，使打印机1工作，则输送机构2、3的栅格辊2a、3a旋转，从而使被记录介质S向X方向输送到这些栅格辊2a、3a及压紧辊2b、3b间。另外，与此同时驱动电动机20使带轮18旋转，从而使无接头带19行走。由此，滑架16在导轨14、15被引导并且沿Y方向进行往复移动。

然后在此期间，使4种颜色的墨从各喷墨头4适当吐出到被记录介质S，从而能够进行字符、图像等的记录。

在此，下面对各喷墨头4的动作进行详细说明。

喷墨头4中，经由FPC 33以使共同电极62成为基准电位GND、个别电极66成为驱动电位Vdd的方式向各电极62、66间施加电压。于是，在划分吐出通道51的2个驱动壁53产生厚度滑移变形，以使这两个驱动壁53在吐出通道51向伪通道52侧突出的方式变形。即，本实施方式的致动器板45极化方向为一个方向，电极62、66只形成到驱动壁53的Y方向的中间部分。因此，通过向各电极62、66间施加电压，以驱动壁53的Y方向的中间部分为中心而V字状弯曲变形。由此，吐出通道51正好如膨胀地变形。

这样，通过两个驱动壁53的压电厚度滑移效果导致的变形，吐出通道51的容积增大。而且，随着吐出通道51的容积增大，储存在共同墨室71内的墨被引导到吐出通道51内。然后，引导到吐出通道51的内部的墨，因压力波而传播到吐出通道51的内部，在该压力波到达喷嘴孔41a、41b的定时，使施加到电极62、66间的电压成为零。由此，驱动壁53复原，暂时增大的吐出通道51的容积恢复到原来的容积。通过该动作，吐出通道51的内部压力增加，从而对墨加压。其结果，液滴状的墨通过喷嘴孔41a、41b吐出到外部，从而如上所述能够向被记录介质S记录字符、图像等。

[吐出部的制造方法]

接着，对上述吐出部22的制造方法进行说明。在以下的说明中，说明这样的方法：接合多个致动器板45在Z方向成排的致动器板片101和多个盖板46在Z方向成排的盖板片102而形成板片接合体103，通过切断该板片接合体103成批地制造多个吐出部22。

本实施方式的吐出部22的制造方法主要具有：致动器板片制作工序；盖板片制作工序；以及组装工序。其中，致动器板片制作工序及盖板片制作工序可以并行实施。

＜致动器板片制作工序＞

图7是用于说明致动器板片制作工序（掩模形成工序）的工序图，并且是致动器板片101的平面图。另外，图8是沿着图7的VIII－VIII线的截面图。

如图7、图8所示，在致动器板片制作工序中，首先在致动器板片101的表面101a形成在以后的电极形成工序中使用的掩模105（掩模形成工序）。具体而言，首先例如将感光性干膜等的掩模材料粘贴在致动器板片101的表面101a。随后，利用光刻技术来对掩模材料进行构图，从而除去掩模材料之中位于上述共同布线63的形成区域的部分的掩模材料。由此，形成在位于共同布线63的形成区域的部分具有开口部105a的掩模105。

图9是用于说明切割线形成工序的工序图，并且是致动器板片101的平面图。另外，图10是沿着图9的X－X线的截面图。此外，图9以后，用点划线示出上述掩模105（开口部105a）。

接着，如图9、图10所示，通过利用切割机（未图示）的切削加工等，形成在以后成为吐出通道51的第1切割线110（第1切割线形成工序（通道形成工序））。具体而言，对于致动器板片101使切割机从表面101a侧进入，并且使切割机沿Z方向行走。由此，致动器板片101与掩模105一起被切削。然后，在使切割机行走既定量后，使切割机致动器板片101退避。由此，形成第1切割线110。

此时，在从X方向观察的侧面视下，第1切割线110的Z方向上的两端部为相当于上述切上部51b的部分，成为依照切割机的曲率半径的圆弧状。此外，第1切割线110的Z方向上的长度（切割机的行走量）设定为吐出通道51（延伸部51a）的2个以上的长度。而且，在第1切割线形成工序中，对于致动器板片101在Z方向及X方向隔开间隔而反复进行上述动作，形成多个第1切割线110。即，致动器板片101以使致动器板45中的后侧端部彼此及前侧端部彼此相向的状态分别成排。

接着，形成以后成为伪通道52的第2切割线111（第2切割线形成工序（通道形成工序））。具体而言，使切割机进入致动器板片101中的相对于第1切割线110位于X方向的两侧的部分，使切割机行走在致动器板片101中的整个Z方向。由此，致动器板片101与掩模105一起被切削。在本实施方式中，用切割机进行的加工深度在整个Z方向同样。

接着，形成以后成为浅槽部61的第3切割线112（第3切割线形成工序（凹部形成工序））。具体而言，使切割机进入致动器板片101之中位于Z方向相邻的第1切割线110间的部分，并使切割机沿Z方向行走既定量。由此，致动器板片101与掩模105一起被切削。此时，在从X方向观察的侧面视下，第3切割线112的Z方向上的两端部成为依照切割机的曲率半径的圆弧状。此外，第3切割线112的Z方向上的长度比浅槽部61的2倍还长。另外，形成各切割线110～112的顺序可以适当变更。例如用相同的切割机以同一个工序形成第1切割线110和第3切割线112也无妨。

图11是用于说明横断槽形成工序的工序图，并且是致动器板片101的平面图。图12是沿着图11的XII－XII线的截面图。

接着，如图11、图12所示，形成沿X方向横断致动器板片101的横断槽115（横断槽形成工序）。具体而言，使切割机在致动器板片101之中与Z方向上的第3切割线112的中间部分对应的位置从表面101a进入，并使切割机行走在致动器板片101中的整个X方向。由此，形成与第2切割线111及第3切割线112正交、且在Z方向将第3切割线112分割一半的横断槽115。

此外，在上述通道形成工序及横断槽形成工序中，以在后述的电极形成工序中不使电极材料120沉积到第1、2切割线110、111的底面的方式设定第1、2切割线110、111及横断槽115的槽宽度、槽深度等的尺寸。在图示的例中，横断槽115的Z方向的槽宽度宽于各切割线110～112的X方向的槽宽度，Y方向的槽深度浅于第1、2切割线110、111，且比第3切割线112深。

图13是用于说明电极形成工序的工序图，并且是致动器板片的平面图。图14是沿着图13的XIV－XIV线的截面图。

接着，如图13、图14所示，在致动器板片101将以后成为共同电极62、共同布线63和共同焊盘64、以及个别电极66和个别焊盘67的电极材料120成膜（电极形成工序）。在电极形成工序中，通过使致动器板片101中的表面101a的法线方向（Y方向）和从蒸镀源发射的电极材料120的蒸镀方向（电极材料沉积的方向）倾斜并进行蒸镀的、所谓的斜蒸镀来将电极材料120成膜。在本实施方式中，在从Y方向观察的俯视下，从致动器板片101之中与各角部对应的位置分别进行蒸镀工序。即，在本实施方式中，在各蒸镀工序间使致动器板片101和蒸镀源相对各90°旋转，进行至少4次蒸镀工序。

在蒸镀工序中，若从致动器板片101的与一个角部对应的位置进行斜蒸镀，则电极材料120朝着对于各切割线110～112及横断槽115的延伸方向（X方向及Z方向）以45°相交的方向从蒸镀源发射。从蒸镀源发射的电极材料120通过掩模105的开口部105a沉积到致动器板片101的表面101a上。进而，电极材料120通过各切割线110～112及横断槽115还沉积到各切割线110～112及横断槽115的内表面。

在蒸镀工序中，电极材料120沉积到各切割线110～112及横断槽115的内表面之中位于蒸镀方向的里侧的部分（与蒸镀方向对置的部分），而在位于蒸镀方向的跟前侧的部分（与蒸镀方向朝着同一个方向的部分）不会有电极材料120沉积。而且，通过从致动器板片101的与各角部对应的位置进行上述蒸镀工序，电极材料120成膜在致动器板片101的表面101a上及各切割线110～112及横断槽115的内表面中的期望的区域。由此，如图15、图16所示，在从第1切割线110及第2切割线111的表侧端缘到中间部分的部分，成膜有成为共同电极62及个别电极66的电极材料120。在第3切割线112的整个内表面，成膜有成为共同焊盘64的电极材料120。另外，在横断槽115的整个内表面，成膜有成为个别焊盘67的电极材料120。而且，在全部蒸镀工序结束后，除去致动器板片101上的掩模105。此外，在电极形成工序中，除了上述蒸镀之外，采用镀敷等的各种成膜方法，进行构图等而对电极材料120的形成区域选择性地将电极材料120成膜也无妨。

图17是用于说明电极分离工序的工序图，并且是致动器板片的平面图。图18是沿着图17的XVIII－XVIII线的截面图。

接着，如图17、图18所示，进行分离电极材料120之中位于第3切割线112内的部分和位于第2切割线111内及横断槽115内的部分的电极分离工序（分开工序）。具体而言，使切割机相对于由致动器板片101的表面101a和横断槽115的内表面所成的角部沿X方向行走，形成以后成为分开槽54的分开切割线121。此时，切割机的加工深度设定为不能分开形成在横断槽115内表面的电极材料120之中位于底面的部分和位于第2切割线111内的部分的深度。由此，在连接电极材料120之中位于第2切割线111内的部分和位于横断槽115内的部分的状态下，除去位于横断槽115内的表侧的部分。此外，在电极分离工序中，利用宽度小于横断槽115的切割机，逐一除去由致动器板片101的表面101a和横断槽115的内表面所成的角部。但是，利用宽度大于横断槽115的切割机来统一除去Z方向对置的两个角部也可。

经以上工序，结束致动器板片制作工序。

＜盖板片制作工序＞

图19是用于说明盖板片制作工序的工序图，并且是盖板片102的平面图。图20是相当于图19的XX－XX线的截面图。

如图19、图20所示，在盖板片制作工序中，首先对于盖板片102通过未图示的掩模从表面102a侧进行喷砂等，形成成为共同墨室71的槽部114（共同墨室形成工序）。此时，槽部114在盖板片102中沿着X方向形成在上述第1切割线110的与Z方向的两端部对应的部分。

接着，对于盖板片102通过未图示的掩模从背面102b侧进行喷砂等，形成分别连通至共同墨室71内的狭缝72（狭缝形成工序）。此时，狭缝72在盖板片102中分别形成在各第1切割线110的与Z方向的两端部对应的部分。此外，盖板片形成工序的各工序不限于喷砂，通过切割等来进行也无妨。

＜组装工序＞

图21是粘合工序的工序图，并且是板片接合体103的平面图。图22是沿着图21的XXII－XXII线的截面图。

如图21、图22所示，在组装工序中，首先交替层叠多块致动器板片101及盖板片102，作为板片接合体103（粘合工序）。具体而言，粘合成为各头芯片40A、40B的盖板片102及致动器板片101，然后对于成为第1头芯片40A的致动器板片101粘合成为第2头芯片40B的盖板片102。

图23是单片化工序的工序图，并且是板片接合体103的平面图。图24是沿着图23的XXIV－XXIV线的截面图。

接着，如图23、图24所示，按各个吐出部22切断板片接合体103（单片化工序）。具体而言，对于板片接合体103之中Z方向上的各第1切割线110的中间位置、及各横断槽115的中间位置，使切割机沿X方向行走，切断板片接合体103。此时，第1切割线110在Z方向的中间位置被分割，并且横断槽115在Z方向的中间位置被分割。由此，能从一块板片接合体103切出多个由第1头芯片40A及第2头芯片40B层叠而成的吐出部22。此时，吐出部22之中与上述横断槽115对应的部分构成连接槽55。

这样，在本实施方式中，通过对形成在浅槽部61内的共同焊盘64及形成在连接槽55的个别焊盘67连接FPC 33，能够从致动器板45的后侧连接致动器板45和FPC 33。由此，与以往那样将个别电极、共同电极迂回到形成在致动器板的背面上的个别焊盘、共同焊盘的结构相比，能够谋求简化布线图案。

另外，通过在浅槽部61内形成共同焊盘64，例如与对形成在致动器板的表面的共同焊盘从后侧连接FPC的情况相比，能够确保FPC 33和共同焊盘64的接触面积。由此，能够确保电可靠性。

而且，通过对于致动器板45从后侧进行致动器板45和FPC 33的连接，能够在Y方向简单层叠头芯片40A、40B。在该情况下，与利用多个喷墨头4自身来谋求多喷嘴化的情况相比能够在谋求小型化的基础上谋求多喷嘴化。

特别是，在本实施方式中，连接共同电极62及个别电极66与FPC 33之间的各种布线全部形成在致动器板45。因此，例如与遍及两个板45、46而形成各种布线的情况不同，无需在粘合两个板45、46后将电极材料成膜，能够谋求提高制造效率、成品率。

另外，由于个别焊盘67形成在相对于致动器板45的后侧端面凹陷一级的连接槽55的内表面，所以抑制个别焊盘67与周边部件的干涉，从而能够保护个别焊盘67。

另外，由于伪通道52的槽深度深于连接槽55的槽深度，所以例如在利用斜蒸镀形成个别焊盘67的情况下，电极材料120难以附着到伪通道52的底面。其结果，不需要在电极形成工序之后进行例如除去附着到第2切割线111（伪通道52）的底面的电极材料的除去工序，因此能够谋求提高制造效率。

而且，在FCP33的共同电极用布线82形成有容纳于致动器板45的浅槽部61内的凸点85，因此容易确保FPC 33和共同焊盘64的电可靠性。此时，通过在电极形成工序的前面阶段形成成为浅槽部61的第3切割线112，能够在电极形成工序中对第1、2切割线110、111的内侧面和第3切割线112的内表面同时将成为共同焊盘64的电极材料120成膜。此外，成为共同焊盘64的电极材料120，除了上述蒸镀之外，利用镀敷等的各种成膜方法，进行构图等而对共同焊盘64的形成区域选择性地将电极材料120成膜也无妨。

另外，在本实施方式中，能够从板片接合体103成批地制造多个吐出部22，能够进行板片级的操作，并且能够谋求提高制造效率。

此时，通过在电极形成工序的前面阶段先形成横断槽115，能够在电极形成工序中对各切割线110～112的内侧面和横断槽115的内表面也同时将电极材料120成膜。而且，通过以横断槽115为界将致动器板片101单片化，能够取出在连接槽55形成有个别焊盘67的致动器板45。在该情况下，例如与单片化后形成个别焊盘67的情况相比能够谋求进一步提高制造效率。

另外，在电极形成工序中，对于致动器板片101的表面101a从与X方向及Z方向分别相交的方向进行斜蒸镀，从而与沿着X方向或Z方向进行斜蒸镀的情况相比，会容易在第2切割线111和横断槽115所成的角部沉积电极材料。因此，能够确保个别电极66及个别焊盘67间的电可靠性。

而且，在本实施方式的打印机1中，具备上述喷墨头4，因此谋求简化布线图案，从而能够提供可靠性高的打印机1。

此外，本发明的技术范围不局限于上述实施方式，在不脱离本发明的宗旨的范围内可加入各种变更。

例如，在上述实施方式中，作为液体喷射装置的一个例子，举例喷墨打印机1并进行了说明，但不限于打印机。例如，为传真机、请求式（on-demand）印刷机等也无妨。

在上述实施方式中，对喷嘴列42a、42b分别沿着X方向以直线状延伸的情况进行了说明，但并不限于此，例如喷嘴列42a、42b也可以倾斜地延伸。

关于喷嘴孔41a、41b的形状，也不局限于圆形。例如，为三角等的多边形状或椭圆形状、星型形状也无妨。

在上述实施方式中，对在各头芯片40A、40B间吐出通道51彼此及伪通道52彼此以错开一半间距的交错状排列的结构进行了说明，但不限于此。

在上述实施方式中，对层叠两个头芯片40A、40B的层叠型吐出部22进行了说明，但并不限于此，如图25所示头芯片40A为单层的吐出部22也可，另外也可为3层以上的层叠型。此外，喷嘴列的列数可按照头芯片的层叠数而变更。

在上述实施方式中，举例说明了边缘喷射型的喷墨头，但并不局限于该情况，从面临吐出通道51的长度方向中央的喷嘴孔吐出墨的、所谓的侧面喷射型也无妨。

在上述实施方式中，对从与X方向及Y方向相交的方向进行斜蒸镀的结构进行了说明，但并不限于此，从沿着X方向或Y方向的方向进行斜蒸镀也无妨。

另外，如图26所示，在盖板46的后侧端部X方向上与致动器板45的浅槽部61对应的位置，形成朝着里侧及后侧开放并连通至浅槽部61内的沉孔部150也无妨。在该情况下，在进行共同焊盘64和凸点85的连接操作时，能够通过由浅槽部61及沉孔部150划分的开口部，将凸点85插入浅槽部61内。由此，能够谋求连接操作的效率化。此外，沉孔部150遍及致动器板45的整个X方向而形成也无妨。

在上述实施方式中，作为形成共同焊盘64的凹部，以沿Z方向延伸的浅槽部61为例进行了说明，但并不限于此。凹部只要至少向致动器板45的后侧开放且能够容纳FPC 33的凸点85即可。

在上述实施方式中，对经由凸点85连接FPC 33和共同焊盘64之间的结构进行了说明，但不限于此。

上述实施方式中，对形成一个宽度比各切割线110～112宽的横断槽115，从而在该横断槽115的中间部分切断板片接合体103的结构进行了说明，但不限于此。例如如图27、图28所示，在致动器板片101之中Z方向的第3切割线112的中间部分形成2个横断槽115也无妨。而且，在单片化工序中，利用宽度比隔开各横断槽115间的隔壁151还宽的切割机，以除去隔壁151的方式使切割机行走。由此，能够形成向致动器板片101的后侧开放的连接槽55。

依据该构成，与在一个横断槽115间分离致动器板片101的结构相比，能够缩小各横断槽115的槽宽度。因此，在电极形成工序中，能够抑制横断槽115的槽宽度、槽深度造成的蒸镀深度的偏差。

在上述实施方式中，对从板片接合体103成批地制造多个吐出部22的方法进行了说明，但不限于此，将吐出部22一个一个制造也无妨。在该情况下，例如如图29所示，不形成上述连接槽55，而在致动器板45的后侧端面（连接面）上直接形成个别焊盘67也无妨。

在上述实施方式中，作为本发明的分开部以分开槽54为例进行了说明，但不限于此，只要在致动器板45之中朝向后侧的面中，共同焊盘64与个别电极66及个别焊盘67之间分开即可。

此外，在不脱离本发明的宗旨的范围内，可以适当地将上述实施方式中的构成要素置换为众所周知的构成要素，另外，将上述各变形例适当组合也无妨。

标号说明

1喷墨打印机；2输送机构（移动机构）；3输送机构（移动机构）；4、4Y、4M、4C、4B喷墨头（液体喷射头）；6扫描单元（移动机构）；45致动器板；45a表面；51吐出通道（喷射通道）；52伪通道；54分开槽（分开部）；55连接槽（连接面）；61浅槽部（凹部）；62共同电极；64共同焊盘；66个别电极；67个别焊盘；81个别电极用布线（个别侧外部布线）；82共同电极用布线（共同侧外部布线）；115横断槽；151隔壁。

Claims (11)

1.一种液体喷射头，其特征在于，具备：

致动器板；

喷射通道，在所述致动器板的表面上沿着第1方向而延伸设置，并且在与第1方向相交的第2方向隔开间隔而并排设置，第1方向的一端部在所述致动器板内终结；

伪通道，在所述致动器板的所述表面上沿着第1方向而延伸设置，并且在第2方向与所述喷射通道交替地并排设置，在所述致动器板中的第1方向的一端面开口；

个别电极，形成在所述伪通道的内侧面；

共同电极，形成在所述喷射通道的内侧面；

个别焊盘，在所述致动器板之中位于相邻的所述伪通道间的部分中形成在朝向第1方向的一端侧的连接面，分别连接夹着所述喷射通道而在第2方向对置的所述个别电极彼此，并且连接个别侧外部布线；

凹部，在所述致动器板的所述表面上形成在位于相邻的所述伪通道间的部分，向第1方向的一端侧开放；

共同焊盘，形成在所述凹部的内表面，通过所述凹部内而连接所述共同电极及共同侧外部布线间；以及

分开部，在所述致动器板之中，形成在由所述表面和所述一端面所成的角部，分开所述共同焊盘和所述个别焊盘。

2.如权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

在所述致动器板之中位于相邻的所述伪通道间的部分，形成向所述致动器板中的第1方向的一端侧开放并且相对于所述一端面而向第1方向的另一端侧凹陷的连接槽，

在所述连接槽的内表面之中，朝向第1方向的一端侧的面构成所述连接面。

3.如权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，

所述伪通道的槽深度深于所述连接槽的槽深度。

4.如权利要求1至权利要求3的任一项所述的液体喷射头，其特征在于，

在所述共同侧外部布线，形成容纳于所述凹部内并且在所述凹部内与所述共同焊盘连接的凸点。

5.一种权利要求1所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于，具有：

通道形成工序，在所述致动器板的所述表面形成所述喷射通道及所述伪通道；

电极形成工序，从所述致动器板的所述表面侧将成为所述个别电极、所述个别焊盘、所述共同电极及所述共同焊盘的电极材料成膜；以及

分开工序，在所述致动器板中所述表面与第1方向的一端面的角部形成所述分开部，除去所述电极材料之中成膜在所述角部的所述电极材料，从而分开所述共同焊盘和所述个别焊盘。

6.如权利要求5所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于，

在所述电极形成工序的前面阶段具有凹部形成工序，以在所述致动器板的所述表面上位于相邻的所述伪通道间的部分，形成向第1方向的一端侧开放的所述凹部。

7.如权利要求5所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于，

在所述电极形成工序的前面阶段具有横断槽形成工序，以在所述致动器板沿第1方向成排的板片的表面之中位于所述致动器板间的部分，形成沿着第2方向延伸并且与所述伪通道相交的横断槽，

在所述电极形成工序的后面阶段具有单片化工序，以切断所述板片之中位于所述横断槽间的部分而按每个所述致动器板进行单片化。

8.如权利要求5所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于，

在所述电极形成工序的前面阶段具有横断槽形成工序，以在所述致动器板沿第1方向成排的板片的表面之中位于所述致动器板间的部分，在第1方向隔开间隔而形成2个沿着第2方向延伸并且与所述伪通道相交的横断槽，

在所述电极形成工序的后面阶段具有单片化工序，以除去所述板片之中位于所述2个横断槽间的隔壁的方式切断所述板片而按每个所述致动器板进行单片化。

9.如权利要求7或如权利要求8所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于，

在所述电极形成工序中，从在从厚度方向观察所述致动器板的俯视图中与第1方向及第2方向分别相交的方向对所述致动器板的所述表面进行斜蒸镀。

10.如权利要求9所述的液体喷射头的制造方法，其特征在于，

在所述通道形成工序及所述横断槽形成工序中，设定所述伪通道及所述横断槽的槽宽度及槽深度，以在所述电极形成工序中使所述电极材料不会沉积到所述伪通道的底面。

11. 一种液体喷射装置，其特征在于，具备：

权利要求1所述的液体喷射头；以及

移动机构，使所述液体喷射头和被记录介质相对移动。