JP2022085445A - 圧電アクチュエータ、及び、圧電アクチュエータと流路ユニットとを備えた液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】圧電アクチュエータと流路ユニットとの位置決めを適切に行えるようにする。【解決手段】圧電アクチュエータは、第１方向Ｄ１に積層された３つの圧電層を有する。３つの圧電層のうち、最下層の圧電層の表面には低電位電極が形成されており、中間の圧電層の表面には高電位電極が形成されている。低電位電極には貫通孔８１が形成され、高電位電極には貫通孔８２が形成されている。貫通孔８２の中心Ｏ２は、貫通孔８１の中心Ｏ１に対して第２方向Ｄ２（低電位電極のスクリーン印刷の印刷方向）の下流側に位置する。【選択図】図１０

Description

本発明は、少なくとも３つの圧電層及び３つの電極層を備えた圧電アクチュエータ、及び、圧電アクチュエータと流路ユニットとを備えた液体吐出ヘッドの製造方法に関する。

特許文献１には、３つの圧電層（第１～第３圧電層）と３つの電極層（駆動電極、高電位電極及び低電位電極）とを備えた圧電アクチュエータと、複数のノズル及び複数の圧力室を含む流路が形成された流路ユニットとを備えたインクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）が示されている。

特開２０１８－０３４４７４号公報

圧電アクチュエータを流路ユニットに接着するにあたり、圧電アクチュエータと流路ユニットとを位置決めするため、予め、第１電極層及び第３電極層の一方に、第１貫通孔を形成し、第２電極層に、第１貫通孔と重なる第２貫通孔を形成することが考えられる。この場合、圧電アクチュエータに対し、第１電極層及び第３電極層の一方から他方に向けて光を照射する。光は、圧電層を透過しかつ電極層を透過しないようになっており、第１貫通孔及び第２貫通孔を通り、さらに第１圧電層及び第３圧電層の他方を通る。当該照射による撮像結果から第２貫通孔を検出し、第２貫通孔を基準として、圧電アクチュエータと流路ユニットとの位置決めを行う。

しかしながら、第１貫通孔の周縁は、特に電極層をスクリーン印刷で形成する場合においては、スクリーン印刷の印刷方向の上流側に、滲みが生じ易い。この場合、第１貫通孔の周縁の滲みによって光の透過が阻害されるため、第２貫通孔を精度よく検出できず、圧電アクチュエータと流路ユニットとの位置決めを適切に行えない問題が生じ得る。

本発明の目的は、圧電アクチュエータと流路ユニットとの位置決めを適切に行うことができる、圧電アクチュエータ、及び、液体吐出ヘッドの製造方法を提供することにある。

本発明の第１観点によれば、第１圧電層と、前記第１圧電層に対して前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された第２圧電層と、前記第１圧電層及び前記第２圧電層に対して前記第１方向に積層され、前記第１圧電層との間に前記第２圧電層を挟む第３圧電層と、前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された第１電極層と、前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置された第２電極層と、前記第１方向において前記第２圧電層と前記第３圧電層との間に配置された第３電極層と、を備え、前記第１電極層は、それぞれ第１電位及び前記第１電位と異なる第２電位のいずれかが選択的に付与される複数の駆動電極を含み、前記第２電極層は、前記第１電位に保持される第１電位電極を含み、前記第３電極層は、前記第２電位に保持される第２電位電極を含み、前記第１電極層及び前記第３電極層の一方は、第１貫通孔と、前記第１貫通孔を画定する第１厚肉部と、前記第１厚肉部に接続しかつ前記第１厚肉部よりも前記第１方向の厚みが小さい第１薄肉部であって、前記第１貫通孔内における前記第１方向と直交する第２方向の上流側に配置された第１薄肉部とを有し、前記第２電極層は、前記第１貫通孔と前記第１方向に重なる第２貫通孔を有し、前記第２貫通孔の中心は、前記第１貫通孔の中心に対して前記第２方向の下流側に位置することを特徴とする圧電アクチュエータが提供される。

本発明の第２観点によれば、第１圧電層と、前記第１圧電層に対して前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された第２圧電層と、前記第１圧電層及び前記第２圧電層に対して前記第１方向に積層され、前記第１圧電層との間に前記第２圧電層を挟む第３圧電層と、前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された第１電極層と、前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置された第２電極層と、前記第１方向において前記第２圧電層と前記第３圧電層との間に配置された第３電極層と、を備え、前記第１電極層は、それぞれ第１電位及び前記第１電位と異なる第２電位のいずれかが選択的に付与される複数の駆動電極を含み、前記第２電極層は、前記第１電位に保持される第１電位電極を含み、前記第３電極層は、前記第２電位に保持される第２電位電極を含み、前記第１電極層及び前記第３電極層の一方は、当該電極層の前記第１方向と直交する第４方向の一端に切欠き状に開口した第１貫通孔を有し、前記第２電極層は、前記第１貫通孔と前記第１方向に重なる第２貫通孔を有することを特徴とする圧電アクチュエータが提供される。

本発明の第３観点によれば、第１圧電層、第２圧電層及び第３圧電層が前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された圧電アクチュエータを作製するアクチュエータ作製工程と、前記圧電アクチュエータを、複数のノズルと前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室とを含む流路が形成された流路ユニットに接着する接着工程と、を備え、前記アクチュエータ作製工程は、前記第１圧電層の表面に、それぞれ第１電位及び前記第１電位と異なる第２電位のいずれかが選択的に付与される複数の駆動電極を含む第１電極層を、スクリーン印刷により形成する第１電極層形成ステップと、前記第２圧電層の表面に、前記第１電位に保持される第１電位電極を含む第２電極層を、スクリーン印刷により形成する第２電極層形成ステップと、前記第３圧電層の表面に、前記第２電位に保持される第２電位電極を含む第３電極層を、スクリーン印刷により形成する第３電極層形成ステップと、前記第１電極層形成ステップ、前記第２電極層形成ステップ及び前記第３電極層形成ステップの後、前記第１電極層が前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置され、前記第２電極層が前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置され、かつ、前記第３電極層が前記第１方向において前記第２圧電層と前記第３圧電層との間に配置されるように、前記第１圧電層、前記第２圧電層及び前記第３圧電層を前記第１方向に積層する積層ステップと、を含み、前記第１電極層形成ステップ及び前記第３電極層形成ステップの一方において、当該電極層に第１貫通孔を形成し、前記第２電極層形成ステップにおいて、前記第２電極層に、前記第１貫通孔と前記第１方向に重なる第２貫通孔であって、前記第１貫通孔の中心に対してその中心が前記第１方向と直交する第２方向の下流側であって前記第１電極層形成ステップ及び前記第３電極層形成ステップの前記一方における前記スクリーン印刷の印刷方向の下流側に位置する第２貫通孔を形成し、前記接着工程は、前記圧電アクチュエータに対し、前記第１電極層及び前記第３電極層のうち前記第１貫通孔が形成された一方から他方に向けて光を照射し、撮像結果を取得する撮像ステップと、前記撮像結果に基づいて、前記圧電アクチュエータと前記流路ユニットとを位置決めする位置決めステップと、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法が提供される。

本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータを含むプリンタ１の全体構成図である。 ヘッド３の平面図である。 図２の領域ＩＩＩの拡大図である。 図３のＩＶ－ＩＶ線に沿った断面図である。 図３のＶ－Ｖ線に沿った断面図である。 図５の断面におけるアクチュエータ部９０の動作を示す図である。 図２の圧電アクチュエータ２２を構成する３つの圧電層４１～４３のうち、最も上方の圧電層４１の上面を示す平面図である。 図２の圧電アクチュエータ２２を構成する３つの圧電層４１～４３のうち、中間の圧電層４２の上面を示す平面図である。 図２の圧電アクチュエータ２２を構成する３つの圧電層４１～４３のうち、最も下方の圧電層４３の上面を示す平面図である。 図８の領域Ｘの拡大図である。 図１０のＸＩ－ＸＩ線に沿った断面図である。 圧電層４３の上面に高電位接続電極部５７をスクリーン印刷により形成する工程を示す、図１１の領域ＸＩＩに対応する図である。 ヘッド３の製造方法を示すフロー図である。 本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエータ２２２を示す図８相当の図である。 本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエータ２２２を示す図９相当の図である。 図１４の領域ＸＶＩの拡大図である。 図１６のＸＶＩＩ－ＸＶＩＩ線に沿った断面図である。

以下の説明において、Ｚ方向は鉛直方向であり、Ｘ方向及びＹ方向は水平方向である。Ｘ方向及びＹ方向は共にＺ方向と直交する。Ｘ方向はＹ方向と直交する。

＜プリンタの全体構成＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータを含むプリンタ１の全体構成について説明する。

プリンタ１は、ヘッド３と、キャリッジ２と、２つの搬送ローラ対４とを備えている。

キャリッジ２は、Ｙ方向に延びる２本のガイドレール５に支持され、ガイドレール５に沿ってＹ方向に移動可能である。

ヘッド３は、シリアル式であって、キャリッジ２に搭載され、キャリッジ２と共にＹ方向に移動可能である。ヘッド３の下面には、複数のノズル１５が形成されている。

２つの搬送ローラ対４は、Ｘ方向にキャリッジ２を挟んで配置されている。搬送ローラ対４が用紙Ｐを挟持した状態で回転することで、用紙ＰがＸ方向に沿った搬送方向に搬送される。

プリンタ１の制御部（図示略）は、キャリッジ２と共にヘッド３をＹ方向に移動させながらノズル１５からインクを吐出させる吐出動作と、搬送ローラ対４によって用紙Ｐを搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。これにより、用紙Ｐに画像が記録される。

＜ヘッドの構成＞
ヘッド３は、図２に示すように、流路ユニット２１と、本発明の第１実施形態に係る圧電アクチュエータ２２とを有する。流路ユニット２１及び圧電アクチュエータ２２は、共に、Ｚ方向と直交する平面において、Ｘ方向の長さがＹ方向の長さよりも長い、矩形状である。

＜流路ユニットの構成＞
流路ユニット２１は、図４に示すように、Ｚ方向に積層された金属製の４枚のプレート３１～３４で構成されている。

プレート３１には、複数の圧力室１０が形成されている。プレート３２には、圧力室１０毎に、連通路１２，１３が形成されている。連通路１２，１３は、それぞれ、対応する圧力室１０のＹ方向の一端及び他端とＺ方向に重なっている。プレート３３には、連通路１３毎に、連通路１４が形成されている。連通路１４は、対応する連通路１３とＺ方向に重なっている。プレート３３には、さらに、１２本のマニホールド流路１１が形成されている。マニホールド流路１１は、Ｘ方向に配列された圧力室１０の列１０Ｒ（図２参照）毎に設けられている。各マニホールド流路１１は、Ｘ方向に延び、対応する列１０Ｒに属する複数の圧力室１０と連通路１２を介して連通している。プレート３４には、複数のノズル１５が形成されている。各ノズル１５は、連通路１４とＺ方向に重なっている。

プレート３１の上面において、圧電アクチュエータ２２が配置されない領域に、４つのインク供給口８が形成されている（図２参照）。各インク供給口８は、インクカートリッジ（図示略）と連通し、かつ、３本のマニホールド流路１１と連通している。インクカートリッジから各インク供給口８に供給されたインクは、３本のマニホールド流路１１に供給される。各マニホールド流路１１から、各列１０Ｒに属する複数の圧力室１０に、連通路１２を介してインクが供給される。そして後述のように圧電アクチュエータ２２が駆動することで、圧力室１０内のインクに圧力が付与され、連通路１３，１４を通ってノズル１５からインクが吐出される。

＜圧電アクチュエータの構成＞
圧電アクチュエータ２２は、図４に示すように、流路ユニット２１の上面に配置されている。圧電アクチュエータ２２は、３つの圧電層４１～４３と、複数の駆動電極５１と、高電位電極５２と、低電位電極５３とを有する。

３つの圧電層４１～４３は、それぞれＺ方向を厚み方向として、Ｚ方向に積層されている。圧電層４２は、圧電層４１に対してＺ方向に積層されている。圧電層４３は、圧電層４１及び圧電層４２に対してＺ方向に積層され、圧電層４１との間に圧電層４２を挟む。Ｚ方向が本発明の「第１方向」に該当する。圧電層４１が本発明の「第１圧電層」に該当し、圧電層４２が本発明の「第２圧電層」に該当し、圧電層４３が本発明の「第３圧電層」に該当する。

各圧電層４１～４３の厚みは互いに同じ（略１０～１５μｍ）であり、圧電層４１～４３全体の厚みは略３０～４５μｍである。３つの圧電層４１～４３のＺ方向の中央面Ｍは、圧電層４２内にある（図１１参照）。

各圧電層４１～４３は、チタン酸ジルコン酸鉛等を主成分とする圧電材料からなる。

圧電層４３は、プレート３１の上面に配置され、プレート３１に形成された全ての圧力室１０を覆っている。圧電アクチュエータ２２と流路ユニット２１とは、圧電層４３とプレート３１との間に配置された接着剤（図示略）により、互いに接着されている。

複数の駆動電極５１は、図３に示すように、圧電層４１の上面に、圧力室１０のそれぞれに対応して配置されている。各駆動電極５１は、主部５１ａと、突出部５１ｂとを有する。主部５１ａは、対応する圧力室１０の略全域とＺ方向に重なっている。突出部５１ｂは、主部５１ａからＹ方向に突出し、対応する圧力室１０とＺ方向に重なっていない。突出部５１ｂには、ＣＯＦ（Chip On Film）（図示略）と電気的に接続される接点が設けられている。ＣＯＦに実装されたドライバＩＣ（図示略）は、制御部の制御により、ＣＯＦの配線を介して各駆動電極５１に対して個別に、高電位（ＶＤＤ電位）及び低電位（ＧＮＤ電位）のいずれかを選択的に付与する。

複数の駆動電極５１は、図７に示すように、圧電層４１の上面の中央領域（圧電層４１におけるＸ方向の両端及びＹ方向の両端を除く領域）において、Ｘ方向に配列されており、圧力室１０の列１０Ｒ（図２参照）のそれぞれに対応する、複数の駆動電極列５１Ｒを形成している。複数の駆動電極列５１Ｒは、Ｙ方向に並んでいる。

各駆動電極列５１Ｒに対し、Ｘ方向の一方（図７の上方）及び他方（図７の下方）のそれぞれに、ダミー電極５９が設けられている。ダミー電極５９は、対応する駆動電極列５１Ｒに属する駆動電極５１と、Ｚ方向と直交する平面におけるサイズ及び形状が同じであり、当該駆動電極５１と共にＸ方向に等間隔に配置されている。ダミー電極５９は、ＣＯＦと電気的に接続されず、電位が付与されない。ダミー電極５９を設けることで、各駆動電極列５１ＲにおいてＸ方向の中央にある駆動電極５１とＸ方向の端部にある駆動電極５１とにおける電極形成による収縮量の差を抑制でき、ひいては各駆動電極列５１Ｒに対応する複数のノズル１５からの吐出量のばらつきを抑制できる。

圧電層４１の上面には、駆動電極５１及びダミー電極５９に加え、２つの高電位接続電極部５４と、２つの低電位接続電極部５５とが設けられている。

２つの高電位接続電極部５４は、それぞれ、圧電層４１のＹ方向の一端（図７の左端）及び他端（図７の右端）において、圧電層４１におけるＸ方向の一方側（図７の上側）に配置されている。２つの低電位接続電極部５５は、それぞれ、圧電層４１のＹ方向の一端（図７の左端）及び他端（図７の右端）において、圧電層４１におけるＸ方向の他方側（図７の下側）に配置されている。

２つの高電位接続電極部５４は、それぞれ、Ｘ方向に互いに離隔して配置された８個の端部電極５４ａで構成されている。２つの低電位接続電極部５５は、それぞれ、Ｘ方向に互いに離隔して配置された８個の端部電極５５ａで構成されている。端部電極５４ａ，５５ａは、Ｚ方向と直交する平面におけるサイズ及び形状が互いに略同じである。ドライバＩＣは、制御部の制御により、ＣＯＦの配線を介して、端部電極５４ａに高電位（ＶＤＤ電位）を付与し、端部電極５５ａに低電位（ＧＮＤ電位）を付与する。

なお、各高電位接続電極部５４を構成する８個の端部電極５４ａのうち、Ｘ方向の一端（図７の上端）に位置する端部電極５４ａを除く、７個の端部電極５４ａは、Ｘ方向に等間隔に配置されている。Ｘ方向の一端（図７の上端）に位置する端部電極５４ａは、Ｘ方向において、上記７個の端部電極５４ａと、上記７個の端部電極５４ａ同士の間隔よりも大きな間隔Ａを隔てて、配置されている。

各低電位接続電極部５５を構成する８個の端部電極５５ａのうち、Ｘ方向の他端（図７の下端）に位置する端部電極５５ａを除く、７個の端部電極５５ａは、Ｘ方向に等間隔に配置されている。Ｘ方向の他端（図７の下端）に位置する端部電極５５ａは、Ｘ方向において、上記７個の端部電極５５ａと、上記７個の端部電極５５ａ同士の間隔よりも大きな間隔Ａを隔てて、配置されている。

高電位電極５２は、図８に示すように、圧電層４２の上面に配置されており、幹部５２１と、幹部５２１から延びる複数の枝部５２３と、各枝部５２３に連結された複数の個別部５２ａと、２つの重複部５２４とを含む。

幹部５２１は、圧電層４２のＸ方向の一端（図８の上端）において、Ｙ方向に延びている。複数の枝部５２３は、Ｙ方向に並び、それぞれ幹部５２１からＸ方向の他方側（図８の下側）に延びている。各個別部５２ａは、各圧力室１０のＸ方向の中央部分とＺ方向に重なっている（図５参照）。

２つの重複部５２４のうち、一方は、幹部５２１のＹ方向の一端（図８の左端）と、複数の枝部５２３のうちＹ方向の一端（図８の左端）に位置する枝部５２３とに接続している。２つの重複部５２４のうち、他方は、幹部５２１のＹ方向の他端（図８の右端）と、複数の枝部５２３のうちＹ方向の他端（図８の右端）に位置する枝部５２３とに接続している。２つの重複部５２４は、それぞれ、圧電層４２のＹ方向の一端（図８の左端）及び他端（図８の右端）において、Ｘ方向に延びている。

２つの重複部５２４は、それぞれ、高電位接続電極部５４の３つの端部電極５４ａ（Ｘ方向の一端側（図７の上側）に配置された３つの端部電極５４ａ）及び間隔Ａに相当する部分とＺ方向に重なっており、圧電層４１に形成された貫通孔を介して上記３つの端部電極５４ａと電気的に接続されている。

圧電層４２の上面には、高電位電極５２に加え、２つの低電位接続電極部５６と、２つの浮き電極部６４と、浮き電極部６５とが設けられている。

２つの低電位接続電極部５６は、それぞれ、圧電層４２のＹ方向の一端（図８の左端）及び他端（図８の右端）において、圧電層４２におけるＸ方向の他方側（図８の下側）に配置されている。２つの低電位接続電極部５６は、それぞれ、Ｘ方向に互いに離隔して配置された２つの端部電極５６ａと１つの端部電極５６ｂとで構成されている。

２つの浮き電極部６４は、それぞれ、圧電層４２のＹ方向の一端（図８の左端）及び他端（図８の右端）において、Ｘ方向において重複部５２４と低電位接続電極部５６との間に配置されている。２つの浮き電極部６４は、それぞれ、Ｘ方向に互いに離隔して配置された１０個の端部電極６４ａで構成されている。

浮き電極部６５は、圧電層４２のＸ方向の他端（図８の下端）に配置されている。浮き電極部６５は、Ｙ方向に互いに離隔して配置された複数の端部電極６５ａで構成されている。端部電極６５ａは、Ｚ方向と直交する平面におけるサイズ及び形状が互いに略同じであり、Ｙ方向に等間隔に配置されている。

低電位接続電極部５６の端部電極５６ａと、浮き電極部６４の端部電極６４ａとは、Ｚ方向と直交する平面におけるサイズ及び形状が互いに略同じであり、圧電層４２のＹ方向の一端（図８の左端）及び他端（図８の右端）のそれぞれにおいて、Ｘ方向に等間隔に配置されている。一方、低電位接続電極部５６の端部電極５６ｂは、端部電極５６ａよりもＸ方向の長さが長い。

２つの端部電極５６ａは、低電位接続電極部５５の２つの端部電極５５ａ（Ｘ方向の他端側（図７の下側）から２、３番目に配置された２つの端部電極５５ａ）とＺ方向に重なっており、圧電層４１に形成された貫通孔を介して上記２つの端部電極５５ａと電気的に接続されている。

端部電極５６ｂは、低電位接続電極部５５の１つの端部電極５５ａ（Ｘ方向の他端（図７の下端）に配置された１つの端部電極５５ａ）及び間隔Ａに相当する部分とＺ方向に重なっており、圧電層４１に形成された貫通孔を介して上記１つの端部電極５５ａと電気的に接続されている。

浮き電極部６４，６５の各端部電極６４ａ，６５ａは、いずれの電極とも電気的に接続されず、電位が付与されない。

低電位電極５３は、図９に示すように、圧電層４３の上面に配置されており、幹部５３１と、幹部５３１から延びる複数の枝部５３３と、各枝部５３３に連結された複数の個別部５３ａと、２つの重複部５３４とを含む。

幹部５３１は、圧電層４３のＸ方向の他端（図９の下端）において、Ｙ方向に延びている。複数の枝部５３３は、Ｙ方向に並び、それぞれ幹部５３１からＸ方向の一方側（図９の上側）に延びている。複数の個別部５３ａのうち、Ｘ方向の一端及び他端に位置する個別部５３ａを除き、各個別部５３ａは、Ｘ方向に互いに隣接する２つの圧力室１０に跨り、上記２つの圧力室１０とＺ方向に重なる部分を有する（図５参照）。上記Ｘ方向の一端及び他端に位置する個別部５３ａは、１つの圧力室１０とＺ方向に重なる部分を有する。

２つの重複部５３４のうち、一方は、幹部５３１のＹ方向の一端（図９の左端）に接続している。２つの重複部５２４のうち、他方は、幹部５３１のＹ方向の他端（図９の右端）に接続している。２つの重複部５３４は、それぞれ、圧電層４３のＹ方向の一端（図９の左端）及び他端（図９の右端）において、Ｘ方向に延びている。

２つの重複部５３４は、それぞれ、低電位接続電極部５５の３つの端部電極５５ａ（Ｘ方向の他端側（図７の下側）に配置された３つの端部電極５５ａ）及び間隔Ａに相当する部分、並びに、低電位接続電極部５６の３つの端部電極５６ａ，５６ｂ（図８参照）と、Ｚ方向に重なっている。各重複部５３４は、圧電層４２に形成された貫通孔を介して低電位接続電極部５６の３つの端部電極５６ａ，５６ｂと電気的に接続されている。３つの端部電極５６ａ，５６ｂは、それぞれ、上述のように、低電位接続電極部５５の３つの端部電極５５ａと電気的に接続されている。したがって、各重複部５３４は、低電位接続電極部５６（図８参照）を介して、低電位接続電極部５５（図７参照）と電気的に接続されている。

圧電層４３の上面には、低電位電極５３に加え、高電位接続電極部５７と、２つの浮き電極部６６とが設けられている。

高電位接続電極部５７は、Ｙ方向に延びる部分５７ａと、Ｘ方向に延びる２つの部分５７ｂとを有する。部分５７ａは、圧電層４３のＸ方向の一端（図９の上端）において、Ｙ方向に延びている。２つの部分５７ｂのうち、一方は、部分５７ａのＹ方向の一端（図９の左端）に接続している。２つの部分５７ｂのうち、他方は、部分５７ａのＹ方向の他端（図９の右端）に接続している。

２つの部分５７ｂは、それぞれ、高電位接続電極部５４の３つの端部電極５４ａ（Ｘ方向の一端側（図７の上側）に配置された３つの端部電極５４ａ）及び間隔Ａに相当する部分、並びに、高電位電極５２の各重複部５２４（図８参照）と、Ｚ方向に重なっている。各部分５７ｂは、圧電層４２に形成された貫通孔を介して各重複部５２４と電気的に接続されている。各重複部５２４は、上述のように、高電位接続電極部５４の３つの端部電極５４ａと電気的に接続されている。したがって、部分５７ｂは、重複部５２４（図８参照）を介して、高電位接続電極部５４（図７参照）と電気的に接続されている。

２つの浮き電極部６６は、それぞれ、圧電層４３のＹ方向の一端（図９の左端）及び他端（図９の右端）において、Ｘ方向において部分５７ｂと重複部５３４との間に配置されている。２つの浮き電極部６６は、それぞれ、Ｘ方向に互いに離隔して配置された１０個の端部電極６６ａで構成されている。端部電極６６ａは、Ｚ方向と直交する平面におけるサイズ及び形状が互いに略同じであり、Ｘ方向に等間隔に配置されている。

浮き電極部６６の各端部電極６６ａは、いずれの電極とも電気的に接続されず、電位が付与されない。

＜アクチュエータ部＞
図５に示すように、圧電層４１のうち、Ｚ方向において駆動電極５１と高電位電極５２の個別部５２ａとに挟まれた部分を、第１活性部９１という。圧電層４２，４３のうち、Ｚ方向において駆動電極５１と低電位電極５３の個別部５３ａとに挟まれた部分を、第２活性部９２という。第１活性部９１は主に上向きに分極され、第２活性部９２は主に下向きに分極されている。圧電アクチュエータ２２は、圧力室１０毎に、１つの第１活性部９１と、Ｘ方向に第１活性部９１を挟む２つの第２活性部９２とから構成される、アクチュエータ部９０を有する。

ここで、図６を参照し、あるノズル１５からインクを吐出させる際の、当該ノズル１５に対応するアクチュエータ部９０の動作について説明する。

プリンタ１が記録動作を開始する前は、図６（ａ）に示すように、各駆動電極５１に低電位（ＧＮＤ電位）が付与されている。このとき、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差によって、第１活性部９１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部９１が面方向（Ｘ方向及びＹ方向に沿った方向）に収縮している。これにより、圧電層４１～４３からなる積層体における圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓んでいる。このとき圧力室１０は、上記積層体がフラットな場合と比べ、容積が小さくなっている。

プリンタ１が記録動作を開始し、あるノズル１５からインクが吐出させる際には、先ず、図６（ｂ）に示すように、当該ノズル１５に対応する駆動電極５１の電位が低電位（ＧＮＤ電位）から高電位（ＶＤＤ電位）に切り替えられる。このとき、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差がなくなることで、第１活性部９１の収縮が解消される。一方、駆動電極５１と低電位電極５３との電位差が生じることで、第２活性部９２にその分極方向に等しい下向きの電界が生じ、第２活性部９２が面方向に収縮する。ただし、第２活性部９２は、クロストーク（ある圧力室１０におけるアクチュエータ部９０の変形に伴う圧力変動が、当該圧力室１０にＸ方向に隣接する別の圧力室１０に伝わる現象）を抑制する機能を有するものであり、アクチュエータ部９０の変形にほとんど寄与しない。つまり、このとき上記積層体は、圧力室１０とＺ方向に重なる部分が圧力室１０から離れる方向に（上向きに）凸となるように撓まず、フラットな状態となる。これにより、圧力室１０の容積は、図６（ａ）に比べて大きくなる。

その後、図６（ａ）に示すように、当該ノズル１５に対応する駆動電極５１の電位が高電位（ＶＤＤ電位）から低電位（ＧＮＤ電位）に切り替えられる。このとき、駆動電極５１と低電位電極５３との電位差がなくなることで、第２活性部９２の収縮が解消される。一方、駆動電極５１と高電位電極５２との電位差が生じることで、第１活性部９１にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第１活性部９１が面方向に収縮する。これにより、上記積層体における圧力室１０とＺ方向に重なる部分が、圧力室１０に向かって（下向きに）凸となるように撓む。このとき、圧力室１０の容積が大きく減少することで、圧力室１０内のインクに大きな圧力が付与され、ノズル１５からインクが吐出される。

＜本発明の説明＞
圧電層４１の上面（Ｚ方向において圧電層４１の圧電層４２と反対側の面）に配置された、駆動電極５１、ダミー電極５９、高電位接続電極部５４及び低電位接続電極部５５が、第１電極層７１を構成する（図７参照）。圧電層４２の上面（Ｚ方向において圧電層４１と圧電層４２との間）に配置された、高電位電極５２、低電位接続電極部５６、浮き電極部６４，６５が、第２電極層７２を構成する（図８参照）。圧電層４３の上面（Ｚ方向において圧電層４２と圧電層４３との間）に配置された、低電位電極５３、高電位接続電極部５７、及び、浮き電極部６６が、第３電極層７３を構成する（図９参照）。第１電極層７１、第２電極層７２及び第３電極層７３のＺ方向の厚みは、０．５～１．５μｍである。また、第１電極層７１及び第２電極層７２の厚みは、互いに同じであり、第３電極層７３の厚みは、第１電極層７１及び第２電極層７２の厚みよりも大きい（図４～図６、図１１参照）。

高電位が本発明の「第１電位」に該当し、高電位電極５２が本発明の「第１電位電極」に該当する。低電位が本発明の「第２電位」に該当し、低電位電極５３が本発明の「第２電位電極」に該当する。

図９に示すように、高電位接続電極部５７の２つの部分５７ｂ、及び、低電位電極５３の２つの重複部５３４には、それぞれ、貫通孔８１が形成されている。貫通孔８１は、本発明の「第１貫通孔」に該当する。

図８に示すように、高電位電極５２の２つの重複部５２４、及び、低電位接続電極部５６の２つの端部電極５６ｂには、それぞれ、貫通孔８２が形成されている。貫通孔８２は、本発明の「第２貫通孔」に該当する。各貫通孔８２は、図９に示す各貫通孔８１とＺ方向に重なる。各貫通孔８２の内部には、内部電極８３が設けられている。

このように、本実施形態では、圧電アクチュエータ２２の四隅に、Ｚ方向（第１方向Ｄ１）に互いに重なる貫通孔８１、貫通孔８２及び内部電極８３の組が設けられている。

貫通孔８１、貫通孔８２及び内部電極８３は、共に円形状であるが、図１０に示すように、サイズ（径）が互いに異なり、また、中心Ｏ１，Ｏ２，Ｏ３がＹ方向に互いに異なる位置にある。詳細には、貫通孔８１は貫通孔８２及び内部電極８３よりもサイズ（径）が大きく、貫通孔８２は内部電極８３よりもサイズ（径）が大きい。Ｚ方向（第１方向Ｄ１）に互いに重なる貫通孔８１、貫通孔８２及び内部電極８３の組のそれぞれにおいて、中心Ｏ１，Ｏ２，Ｏ３は、Ｘ方向に互いに同じ位置にあるが、Ｙ方向に互いに異なる位置にある。

Ｙ方向の一方を「第２方向Ｄ２」、Ｙ方向の他方を「第３方向Ｄ３」としたとき、貫通孔８２の中心Ｏ２は、貫通孔８１の中心Ｏ１に対して第２方向Ｄ２の下流側に位置する。内部電極８３の中心Ｏ３は、貫通孔８２の中心Ｏ２に対して第３方向Ｙ３の下流側に位置する。

貫通孔８１の中心Ｏ１と貫通孔８２の中心Ｏ２とのＹ方向の距離（第１距離）Ｌ１は、内部電極８３の中心Ｏ３と貫通孔８２の中心とのＹ方向の距離（第２距離）Ｌ２よりも大きい。

なお、図９及び図１０には図示していないが、貫通孔８１が形成された高電位接続電極部５７の各部分５７ｂは、図１１に示すように、貫通孔８１を画定する厚肉部（第１厚肉部）Ｔ１と、厚肉部Ｔ１に接続しかつ厚肉部Ｔ１よりもＺ方向の厚みが小さい薄肉部（第１薄肉部）Ｓ１とを有する。薄肉部Ｓ１は、厚肉部Ｔ１の下端から第２方向Ｄ２に突出し、貫通孔８１内における第２方向Ｄ２の上流側に配置されている。

貫通孔８１が形成された低電位電極５３の各重複部５３４も、同様に、厚肉部（第１厚肉部）Ｔ１と薄肉部（第１薄肉部）Ｓ１とを有する。

また、図８及び図１０には図示していないが、貫通孔８２が形成された高電位電極５２の各重複部５２４は、図１１に示すように、貫通孔８２を画定する厚肉部（第２厚肉部）Ｔ２と、厚肉部Ｔ２に接続しかつ厚肉部Ｔ２よりもＺ方向の厚みが小さい薄肉部（第２薄肉部）Ｓ２とを有する。薄肉部Ｓ２は、厚肉部Ｔ２の下端から第３方向Ｄ３に突出し、貫通孔８２内における第３方向Ｄ３の上流側に配置されている。

貫通孔８２が形成された低電位接続電極部５６の各端部電極５６ｂも、同様に、厚肉部（第２厚肉部）Ｔ２と薄肉部（第２薄肉部）Ｓ２とを有する。

以上のような厚肉部Ｔ１，Ｔ２及び薄肉部Ｓ１，Ｓ２の構成は、各電極層７１～７３がスキージを用いたスクリーン印刷により形成されることに起因する。

例えば、高電位接続電極部５７を形成する際には、図１２に示すように、圧電層４３の上面に、高電位接続電極部５７に対応する孔１０１ｘが形成されたマスク１０１を配置し、スキージ１００を移動させて、スクリーン印刷により高電位接続電極部５７を形成する。このときスキージ１００は、その移動方向（スクリーン印刷の印刷方向：第２方向Ｄ２）の下流側に電極の材料（例えば、銀、ニッケル、金等）１１０を保持しつつ、移動する。当該材料１１０が孔１０１ｘに入り込むことで、厚肉部Ｔ１が形成される。さらにこのとき、厚肉部Ｔ１に対して上記移動方向の下流側に材料１１０が流れ込むことで、滲みＡが生じる。この滲みＡが、薄肉部Ｓ１として形成される。

厚肉部Ｔ１，Ｔ２のＺ方向の厚みは０．５～１．５μｍ程度であり、薄肉部Ｓ１，Ｓ２のＺ方向の厚みは０．１μｍ以下である。また、薄肉部Ｓ１，Ｓ２のＹ方向の長さは、例えば、１０～１００μｍである。

本実施形態では、貫通孔８１内に形成される薄肉部Ｓ１が貫通孔８２とＺ方向に重ならないように、かつ、貫通孔８２内に形成される薄肉部Ｓ２が内部電極８３と接続しないように、各貫通孔８１，８２及び内部電極８３の中心Ｏ１～Ｏ３の位置が設定される。

＜ヘッドの製造方法＞
次いで、図１３を参照し、ヘッド３の製造方法について説明する。

先ず、圧電アクチュエータ２２を作製する（Ｓ１：アクチュエータ作製工程）。Ｓ１では、各圧電層４１～４３の上面（表面）に各電極層７１～７３をスクリーン印刷により形成し（Ｓ１１：第１～第３電極層形成ステップ）、その後、圧電層４１～４３を積層して互いに接着する（Ｓ１２：積層ステップ）。

Ｓ１１の第３電極層形成ステップ（第３電極層７３を形成するステップ）では、第３電極層７３における高電位接続電極部５７の２つの部分５７ｂ及び低電位電極５３の２つの重複部５３４のそれぞれに、貫通孔８１を形成する（図９参照）。

Ｓ１１の第２電極層形成ステップ（第２電極層７２を形成するステップ）では、第２電極層７２における高電位電極５２の２つの重複部５２４及び低電位接続電極部５６の２つの端部電極５６ｂのそれぞれに、貫通孔８２を形成すると共に、各貫通孔８２の内部に内部電極８３を形成する（図８参照）。

ここで、第３電極層形成ステップにおけるスクリーン印刷の印刷方向は、第２方向Ｄ２であるのに対し、第２電極層形成ステップにおけるスクリーン印刷の印刷方向は、第３方向Ｄ３（第２方向Ｄ２と逆の方向）である。第２電極層形成ステップでは、貫通孔８２を、貫通孔８１の中心Ｏ１に対してその中心Ｏ２が第２方向Ｄ２（第３電極層形成ステップにおけるスクリーン印刷の印刷方向）の下流側に位置するように形成し、かつ、内部電極８３を、貫通孔８２の中心Ｏ２に対してその中心Ｏ３が第３方向Ｄ３（第２電極層形成ステップにおけるスクリーン印刷の印刷方向）の下流側に位置するように、形成する。

Ｓ１の後、Ｓ１で作製された圧電アクチュエータ２２を、流路ユニット２１に接着する（Ｓ２：接着工程）。Ｓ２では、圧電アクチュエータ２２に対し、光源（例えば、ＬＥＤ光源）を用いて、第３電極層７３から第１電極層７１に向けて（図１１において、Ｚ方向（第１方向Ｄ１）の下から上に向けて）光を照射して、撮像結果を取得し（Ｓ２１：撮像ステップ）、その後、Ｓ２１で得られた撮像結果に基づいて、圧電アクチュエータ２２と流路ユニット２１とを位置決めする（Ｓ２２：位置決めステップ）。

Ｓ２１では、光が、圧電層４１～４３を透過しかつ電極層７１～７３を透過しないようになっている。貫通孔８１に向けて照射された光は、貫通孔８１内における薄肉部Ｓ１を除く部分を通り、貫通孔８２内における薄肉部Ｓ２と内部電極８３とを除く部分を通り、さらに圧電層４１の領域Ａを通って、撮像素子により受光される。

Ｓ２２では、Ｓ２１で得られた撮像結果に基づいて、圧電アクチュエータ２２の四隅に設けられた４つの貫通孔８２及び４つの内部電極８３の位置を検出し、当該貫通孔８２及び内部電極８３の位置から圧電アクチュエータ２２の重心位置を割り出す。

Ｓ２の後、ＣＯＦを圧電アクチュエータ２２に接着することで（Ｓ３）、ヘッド３が完成する。Ｓ３では、ＣＯＦの配線を、圧電アクチュエータ２２の圧電層４１の上面に設けられた駆動電極５１、高電位接続電極部５４の端部電極５４ａ、及び、低電位接続電極部５５の端部電極５５ａのそれぞれに接続する。

＜本実施形態の構成及び効果＞
以上に述べたように、本実施形態によれば、貫通孔８２の中心Ｏ２が、貫通孔８１の中心Ｏ１に対して第２方向Ｄ２（第３電極層７３のスクリーン印刷の印刷方向）の下流側に位置する（図１０及び図１１参照）。この場合、図１２に示すように、貫通孔８１の周縁（第２方向Ｄ２の上流側。第３電極層７３のスクリーン印刷の印刷方向の上流側）に滲みＡ（薄肉部Ｓ１）が生じ、当該滲みＡ（薄肉部Ｓ１）において光の透過が阻害されても、貫通孔８２が滲みＡ（薄肉部Ｓ１）とＺ方向（第１方向Ｄ１）に重なる可能性が低いため、貫通孔８２を精度よく検出できる。これにより、圧電アクチュエータ２２と流路ユニット２１との位置決めを適切に行うことができる。

貫通孔８２は、高電位電極５２を含む第２電極層７２に設けられている（図８参照）。高電位電極５２の位置によって、第１活性部９１の位置が規定される（図５及び図６参照）。第１活性部９１の位置は、アクチュエータ部９０の変形特性に大きく影響するため、高電位電極５２の位置決めが重要になる。この点、本構成では、高電位電極５２を含む電極層７２に設けられた貫通孔８２に基づいて位置決めを行うことで、第１活性部９１の位置が精確に規定され、アクチュエータ部９０の所望の変形特性を得ることができる。

貫通孔８１は、低電位電極５３に設けられている（図９参照）。低電位電極５３に貫通孔８１を形成する場合、貫通孔８１のサイズを大きくすると、電気抵抗が増大し（ひいては電荷供給不足が生じ）、アクチュエータ部９０の変形が阻害され得る。この点、本実施形態では、貫通孔８２の中心Ｏ２を貫通孔８１の中心Ｏ１に対して第２方向Ｄ２の下流側に位置させることにより課題を解決するため、貫通孔８１を過度に大きくする必要がない。したがって、上記のようなアクチュエータ部９０の変形阻害の問題を抑制できる。

第３電極層７３の厚みは、第２電極層７２の厚みよりも大きい（図４～図６及び図１１参照）。圧電層４１～４３のＺ方向の中央面Ｍが圧電層４２内にあると（図１１参照）、中央面Ｍに対して上側（第１電極層７１及び第２電極層７２が配置された側）の電極量が多くなり、電極焼成時の熱収縮による反り上りが生じ得る。この点、本構成では、第３電極層７３の厚みを大きくすることで、中央面Ｍに対して上側と下側の電極の体積比率のバランスを整え、反り上りを抑制できる。また、電極層の厚みを大きくすると滲みＡ（図１２参照）が生じ易くなるが、本実施形態では、貫通孔８２の中心Ｏ２を貫通孔８１の中心Ｏ１に対して第２方向Ｄ２の下流側に位置させることにより、滲みＡによって貫通孔８２を精度よく検出できないという課題を解決するため、反り上りを抑制するために第３電極層７３の厚みを大きくしても、滲みＡによる問題が生じ難い。

第２電極層７２は、貫通孔８２の内部に配置された内部電極８３をさらに有する（図８及び図１０参照）。この場合、滲みが生じ易い貫通孔８２ではなく、内部電極８３を検出することで、検出精度が向上し、圧電アクチュエータ２２と流路ユニット２１との位置決めをより適切に行うことができる。

内部電極８３の中心Ｏ３は、貫通孔８２の中心Ｏ２に対して第３方向Ｄ３（第２電極層７２のスクリーン印刷の印刷方向）の下流側に位置する（図１０及び図１１参照）。内部電極８３が、貫通孔８２の周縁の滲み（薄肉部Ｓ２）と接続する可能性が低くなる。したがって、検出精度を維持し、圧電アクチュエータ２２と流路ユニット２１との位置決めをより適切に行うことができる。また、内部電極８３の中心Ｏ３と貫通孔８２の中心Ｏ２とが互いに同じ位置にある場合、上記のような内部電極８３と貫通孔８２の周縁の滲み（薄肉部Ｓ２）との接続を回避するために、貫通孔８２の周縁と内部電極８３との距離を確保しようとすると、貫通孔８２を大きくする必要が生じる。貫通孔８２を大きくすると、電気抵抗が増大し（ひいては電荷供給不足が生じ）、アクチュエータ部９０の変形が阻害され得る。この点、本構成では、内部電極８３の中心Ｏ３を貫通孔８２の中心Ｏ２に対して第３方向Ｄ３の下流側に位置させることで、貫通孔８２を大きくしなくとも、貫通孔８２の周縁と内部電極８３との距離を確保できる。そのため、貫通孔８２を過度に大きくする必要がなく、上記のようなアクチュエータ部９０の変形阻害の問題を抑制できる。

第２電極層７２の形成ステップにおけるスクリーン印刷の印刷方向（第３方向Ｄ３）は、第３電極層７３の形成ステップにおけるスクリーン印刷の印刷方向（第２方向Ｄ２）と逆の方向である（図１０及び図１１参照）。そして、第２電極層７２の形成ステップにおいて、貫通孔８２の内部に配置される内部電極８３を、貫通孔８２の中心Ｏ２に対してその中心Ｏ３が第３方向Ｄ３の下流側に位置するように形成する。この場合、内部電極８３を、貫通孔８１の周縁の滲み（薄肉部Ｓ１）と貫通孔８２の周縁の滲み（薄肉部Ｓ２）との間であって、貫通孔８１の中心Ｏ１の近くに配置することができる。また、第２電極層７２の形成ステップにおいてスクリーン印刷を２回実行する場合、１回目のスクリーン印刷の印刷方向を、第３電極層７３の形成ステップにおけるスクリーン印刷の印刷方向と逆の方向とし、２回目のスクリーン印刷の印刷方向を、第３電極層７３の形成ステップにおけるスクリーン印刷の印刷方向と同じ方向とすることで、圧電層４１～４３の積層作業を簡素化できる。この場合、２回目よりも１回目の方が一般に印刷精度が高いため、１回目に内部電極８３を形成する。

貫通孔８１の中心Ｏ１と貫通孔８２の中心Ｏ２とのＹ方向の距離（第１距離）Ｌ１は、内部電極８３の中心Ｏ３と貫通孔８２の中心とのＹ方向の距離（第２距離）Ｌ２よりも大きい（図１０及び図１１参照）。貫通孔８１が形成された第３電極層７３の厚みが比較的大きいため、貫通孔８１の周縁に滲みＡ（図１２参照）が生じ易いが、本構成では、第１距離Ｌ１を大きくしたことで、貫通孔８２が滲みＡ（薄肉部Ｓ１）とＺ方向（第１方向Ｄ１）に重なる可能性がより低くなり、貫通孔８２を精度よく検出できる。

内部電極８３は、円形状である（図１０参照）。内部電極８３が矩形状の場合、撮像結果から内部電極８３の重心位置を検出し難い。これに対し、本構成では、内部電極８３が円形状であるため、撮像結果から内部電極８３の重心位置を検出し易い。

貫通孔８２は、円形状である（図１０参照）。貫通孔８２が矩形状の場合、撮像結果から貫通孔８２の重心位置を検出し難い。これに対し、本構成では、貫通孔８２が円形状であるため、撮像結果から貫通孔８２の重心位置を検出し易い。

＜第２実施形態＞
続いて、図１４～図１７を参照し、本発明の第２実施形態に係る圧電アクチュエータ２２２について説明する。本実施形態と第１実施形態との主な相違点は、貫通孔８１，８２の構成である。

本実施形態において、貫通孔８１は、図１５に示すように、高電位接続電極部の２つの部分５７ｂ、及び、低電位電極の２つの重複部５３４のそれぞれにおいて、Ｙ方向に沿った第４方向Ｄ４の一端に、切欠き状に開口している。貫通孔８２は、図１４に示すように、高電位電極の２つの重複部５２４、及び、低電位接続電極部の２つの端部電極５６ｂのそれぞれにおいてＹ方向に沿った第４方向Ｄ４の一端に、切欠き状に開口している。各貫通孔８２は、図１５に示す各貫通孔８１とＺ方向に重なる。各貫通孔８２の内部には、内部電極８３が設けられている。

なお、本実施形態では、第１実施形態（図８）における複数の枝部５２３のうち、Ｙ方向の両端にある２つの枝部５２３が省略されている。

本実施形態では、部分５７ｂ及び重複部５３４を含む第３電極層の形成ステップにおけるスクリーン印刷の印刷方向（第２方向Ｄ２）と、重複部５２４及び端部電極５６ｂを含む第２電極層の形成ステップにおけるスクリーン印刷の印刷方向（第３方向Ｄ３）とが、互いに同じである。第２方向Ｄ２及び第３方向Ｄ３は、第４方向Ｄ４と逆の方向であって、貫通孔８１，８２が開口するＹ方向の一端から他端に向かう方向である。

以上に述べたように、本実施形態によれば、貫通孔８１が、部分５７ｂ及び重複部５３４の第４方向Ｄ４の一端に、切欠き状に開口している（図１５参照）。この場合、貫通孔８１を形成する際のスクリーン印刷の印刷方向（第２方向Ｄ２）を、第４方向Ｄ４と逆の方向とすることで、貫通孔８１の周縁（第２方向Ｄ２の上流側。当該スクリーン印刷の印刷方向の上流側）に滲みが生じない（図１７参照）。つまり、貫通孔８１が設けられた部分５７ｂ及び重複部５３４は、薄肉部Ｓ１（図１１参照）が形成されず、厚肉部Ｔ１のみで構成される。これにより、第１実施形態（図１０参照）のように貫通孔８２の中心Ｏ２を貫通孔８１の中心Ｏ１に対して第２方向Ｄ２の下流側に位置させなくとも、貫通孔８２が滲みＡ（薄肉部Ｓ１）とＺ方向（第１方向Ｄ１）に重なることがなく、貫通孔８２を精度よく検出できる。したがって、圧電アクチュエータ２２と流路ユニット２１との位置決めを適切に行うことができる。

貫通孔８２が、重複部５２４及び端部電極５６ｂの第４方向Ｄ４の一端に、切欠き状に開口している（図１４参照）。この場合、貫通孔８２を形成する際のスクリーン印刷の印刷方向（第３方向Ｄ３）を、第４方向Ｄ４と逆の方向とすることで、貫通孔８２の周縁（第３方向Ｄ３の上流側。当該スクリーン印刷の印刷方向の上流側）に滲みが生じない（図１７参照）。つまり、貫通孔８２が設けられた重複部５２４及び端部電極５６ｂは、薄肉部Ｓ２（図１１参照）が形成されず、厚肉部Ｔ２のみで構成される。これにより、貫通孔８１及び貫通孔８２それぞれの滲みによる光の透過の阻害がなく、貫通孔８２をより一層精度よく検出できる。また、内部電極８３が貫通孔８２の周縁の滲みと接続するという問題が生じないため、第１実施形態（図１０参照）のように内部電極８３の中心Ｏ３を貫通孔８２の中心Ｏ２に対して第３方向Ｄ３の下流側に位置させる必要や、貫通孔８２の周縁と内部電極８３との距離を確保するために貫通孔８２を過度に大きくする必要がない。

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

貫通孔８１，８２及び内部電極８３の形状は、上述の実施形態（図１１及び図１６参照）では円形状であるが、任意の形状（例えば、矩形状等）であってよい。また、貫通孔８１，８２及び内部電極８３の形状が、互いに異なってもよい（例えば、貫通孔８１が矩形状、貫通孔８２及び内部電極８３が円形状であってもよい）。

第１実施形態（図１０及び図１１参照）では、第２電極層７２の形成ステップにおけるスクリーン印刷の印刷方向（第３方向Ｄ３）は、第３電極層７３の形成ステップにおけるスクリーン印刷の印刷方向（第２方向Ｄ２）と逆の方向であるが、第３電極層７３の形成ステップにおけるスクリーン印刷の印刷方向（第２方向Ｄ２）と同じ方向であってもよい。

各電極層７１～７３は、スクリーン印刷以外の手法で形成されてもよい。

貫通孔８２の内部に、内部電極８３を設けなくてもよい。

第３電極層７３の厚みは、第１電極層７１及び第２電極層７２の厚みと同じであってもよい。

貫通孔８１は、低電位電極５３に設けられることに限定されず、例えば端部電極６６ａ（図９参照）に設けられてもよい。

貫通孔８２が設けられる第２電極層７２は、高電位電極５２を含む層であるが、これに限定されず、例えば低電位電極５３又は駆動電極５１を含む層であってもよい。

第１電位が高電位、第２電位が低電位であることに限定されず、これとは逆（即ち、第１電位が低電位、第２電位が高電位）であってもよい。この場合、高電位電極５２が最下層、低電位電極５３が中間層に位置してよい。

上述の実施形態（図９参照）では、第３電極層７３に貫通孔８１が設けられているが、第１電極層７１に貫通孔８１が設けられてもよい。この場合、ヘッド３の製造方法（図１３参照）において、Ｓ２１（撮像ステップ）で、圧電アクチュエータ２２に対し、第１電極層７１から第３電極層７３に向けて光を照射して、撮像結果を取得する。

圧電アクチュエータを構成する圧電層の数は、上述の実施形態では３つであるが、４つ以上であってもよい。例えば、上述の実施形態（図４等参照）において、圧電アクチュエータ２２の圧電層４３と流路ユニット２１のプレート３１との間に、別の圧電層が配置されてもよい。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。さらに、本発明に係る圧電アクチュエータは、液体吐出装置以外の任意の装置に適用可能である。

１０ 圧力室
１５ ノズル
２１ 流路ユニット
２２；２２２ 圧電アクチュエータ
４１ 圧電層（第１圧電層）
４２ 圧電層（第２圧電層）
４３ 圧電層（第３圧電層）
５１ 駆動電極
５２ 高電位電極（第１電位電極）
５３ 低電位電極（第２電位電極）
７１ 第１電極層
７２ 第２電極層
７３ 第３電極層
８１ 貫通孔（第１貫通孔）
８２ 貫通孔（第２貫通孔）
８３ 内部電極
Ｔ１ 厚肉部（第１厚肉部）
Ｔ２ 厚肉部（第２厚肉部）
Ｓ１ 薄肉部（第１薄肉部）
Ｓ２ 薄肉部（第２薄肉部）
Ｏ１，Ｏ２，Ｏ３ 中心
Ｌ１ 距離（第１距離）
Ｌ２ 距離（第２距離）
Ｄ１ 第１方向
Ｄ２ 第２方向
Ｄ３ 第３方向

Claims (14)

1. 第１圧電層と、前記第１圧電層に対して前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された第２圧電層と、前記第１圧電層及び前記第２圧電層に対して前記第１方向に積層され、前記第１圧電層との間に前記第２圧電層を挟む第３圧電層と、前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された第１電極層と、前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置された第２電極層と、前記第１方向において前記第２圧電層と前記第３圧電層との間に配置された第３電極層と、を備え、
   前記第１電極層は、それぞれ第１電位及び前記第１電位と異なる第２電位のいずれかが選択的に付与される複数の駆動電極を含み、
   前記第２電極層は、前記第１電位に保持される第１電位電極を含み、
   前記第３電極層は、前記第２電位に保持される第２電位電極を含み、
   前記第１電極層及び前記第３電極層の一方は、第１貫通孔と、前記第１貫通孔を画定する第１厚肉部と、前記第１厚肉部に接続しかつ前記第１厚肉部よりも前記第１方向の厚みが小さい第１薄肉部であって、前記第１貫通孔内における前記第１方向と直交する第２方向の上流側に配置された第１薄肉部とを有し、
   前記第２電極層は、前記第１貫通孔と前記第１方向に重なる第２貫通孔を有し、
   前記第２貫通孔の中心は、前記第１貫通孔の中心に対して前記第２方向の下流側に位置することを特徴とする、圧電アクチュエータ。
2. 前記第１電位は、高電位であり、
   前記第２電位は、前記高電位よりも電位が低い低電位であることを特徴とする、請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
3. 前記第１貫通孔は、前記第３電極層の前記第２電位電極に形成されたことを特徴とする、請求項２に記載の圧電アクチュエータ。
4. 前記第３電極層の厚みは、前記第２電極層の厚みよりも大きいことを特徴とする、請求項３に記載の圧電アクチュエータ。
5. 前記第２電極層は、前記第２貫通孔の内部に配置された内部電極をさらに有することを特徴とする、請求項１～３のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
6. 前記第２電極層は、前記第２貫通孔を画定する第２厚肉部と、前記第２厚肉部に接続しかつ前記第２厚肉部よりも前記第１方向の厚みが小さい第２薄肉部であって、前記第２貫通孔内における前記第１方向と直交する第３方向の上流側に配置された第２薄肉部とを有し、
   前記内部電極の中心は、前記第２貫通孔の中心に対して前記第３方向の下流側に位置することを特徴とする、請求項５に記載の圧電アクチュエータ。
7. 前記第１電極層及び前記第３電極層の前記一方の厚みは、前記第２電極層の厚みよりも大きいことを特徴とする、請求項６に記載の圧電アクチュエータ。
8. 前記第１貫通孔の中心と前記第２貫通孔の中心との前記第２方向の第１距離は、前記内部電極の中心と前記第２貫通孔の中心との前記第２方向の第２距離よりも大きいことを特徴とする、請求項７に記載の圧電アクチュエータ。
9. 前記内部電極は、円形状であることを特徴とする、請求項５～８のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
10. 第１圧電層と、前記第１圧電層に対して前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された第２圧電層と、前記第１圧電層及び前記第２圧電層に対して前記第１方向に積層され、前記第１圧電層との間に前記第２圧電層を挟む第３圧電層と、前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置された第１電極層と、前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置された第２電極層と、前記第１方向において前記第２圧電層と前記第３圧電層との間に配置された第３電極層と、を備え、
    前記第１電極層は、それぞれ第１電位及び前記第１電位と異なる第２電位のいずれかが選択的に付与される複数の駆動電極を含み、
    前記第２電極層は、前記第１電位に保持される第１電位電極を含み、
    前記第３電極層は、前記第２電位に保持される第２電位電極を含み、
    前記第１電極層及び前記第３電極層の一方は、当該電極層の前記第１方向と直交する第４方向の一端に切欠き状に開口した第１貫通孔を有し、
    前記第２電極層は、前記第１貫通孔と前記第１方向に重なる第２貫通孔を有することを特徴とする、圧電アクチュエータ。
11. 前記第２貫通孔は、前記第２電極層の前記第４方向の一端に切欠き状に開口していることを特徴とする、請求項１０に記載の圧電アクチュエータ。
12. 前記第２貫通孔は、円形状であることを特徴とする、請求項１～１１のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータ。
13. 第１圧電層、第２圧電層及び第３圧電層が前記第１圧電層の厚み方向に沿った第１方向に積層された圧電アクチュエータを作製するアクチュエータ作製工程と、
    前記圧電アクチュエータを、複数のノズルと前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室とを含む流路が形成された流路ユニットに接着する接着工程と、を備え、
    前記アクチュエータ作製工程は、
    前記第１圧電層の表面に、それぞれ第１電位及び前記第１電位と異なる第２電位のいずれかが選択的に付与される複数の駆動電極を含む第１電極層を、スクリーン印刷により形成する第１電極層形成ステップと、
    前記第２圧電層の表面に、前記第１電位に保持される第１電位電極を含む第２電極層を、スクリーン印刷により形成する第２電極層形成ステップと、
    前記第３圧電層の表面に、前記第２電位に保持される第２電位電極を含む第３電極層を、スクリーン印刷により形成する第３電極層形成ステップと、
    前記第１電極層形成ステップ、前記第２電極層形成ステップ及び前記第３電極層形成ステップの後、前記第１電極層が前記第１方向において前記第１圧電層の前記第２圧電層と反対側の面に配置され、前記第２電極層が前記第１方向において前記第１圧電層と前記第２圧電層との間に配置され、かつ、前記第３電極層が前記第１方向において前記第２圧電層と前記第３圧電層との間に配置されるように、前記第１圧電層、前記第２圧電層及び前記第３圧電層を前記第１方向に積層する積層ステップと、を含み、
    前記第１電極層形成ステップ及び前記第３電極層形成ステップの一方において、当該電極層に第１貫通孔を形成し、
    前記第２電極層形成ステップにおいて、前記第２電極層に、前記第１貫通孔と前記第１方向に重なる第２貫通孔であって、前記第１貫通孔の中心に対してその中心が前記第１方向と直交する第２方向の下流側であって前記第１電極層形成ステップ及び前記第３電極層形成ステップの前記一方における前記スクリーン印刷の印刷方向の下流側に位置する第２貫通孔を形成し、
    前記接着工程は、
    前記圧電アクチュエータに対し、前記第１電極層及び前記第３電極層のうち前記第１貫通孔が形成された一方から他方に向けて光を照射し、撮像結果を取得する撮像ステップと、
    前記撮像結果に基づいて、前記圧電アクチュエータと前記流路ユニットとを位置決めする位置決めステップと、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
14. 前記第２電極層形成ステップにおける前記スクリーン印刷の印刷方向は、前記第１方向と直交しかつ前記第２方向と逆の第３方向であり、
    前記第２電極層形成ステップにおいて、前記第２貫通孔の内部に配置される内部電極を、前記第２貫通孔の中心に対してその中心が前記第３方向の下流側に位置するように、形成することを特徴とする、請求項１３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

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