JP6376690B2 - 液滴噴射装置および画像形成装置 - Google Patents
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Description
図1乃至図9は、第1の実施の形態を示す。図1は、本実施の形態の液滴噴射装置の一例であるインクジェットヘッドが搭載されるインクジェット画像形成装置の概略構成を示す図である。
(1)圧力室6の隔壁1と振動板を兼ねるノズルプレート8を同一素材で一体成形することにより、部材同志の線膨張係数の違いによる反りの発生を防ぐことができる。さらに、接着剤を使っての接合が無いため、接着剤のはみ出しや接着不良といった問題を考慮する必要が無くなる。また、別工程でそれぞれの部品を作成し、組み立てる工程を省略でき、同一工程上で成形することができ、コストを削減することができる。
(構成)
図10乃至図13は、第2の実施の形態を示す。図10は、第2の実施の形態のインクジェットヘッドの概略構成を示す縦断面図である。図10中で、1は圧力室の隔壁、2はノズル口、5は絶縁層、6は圧力室、8はノズルプレート、31は個別電極、32は圧電素子、33は振動板である。なお、図10乃至図13中で、図2乃至図9と同一部分には同一の符号を付してその説明を省略する。
この方法によれば、エッチング法によるインクジェットヘッドの作成に比べて材料の除去を大幅に排除することができるため、リソグラフィ工程で使用する材料を大幅に削減することができる。
図14は、圧力室6が矩形の場合のノズル口2の配置と個別電極7の配置の例を示す平面図である。本変形例は、複数の個別電極7は、絶縁層5に設けられた複数の通電パターン42に個別に電気的に接続されている。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[1]微小液滴を噴射するための複数のノズルを有するノズルプレートと前記ノズルと連通した複数の圧力室の隔壁を構成する壁部とが一体に形成された一体形成部材と、前記一体形成部材の上に形成された少なくとも1層の機能膜と、複数の前記圧力室間に形成された絶縁層と、前記ノズルプレート上に圧電薄膜で形成され、前記ノズルから液滴を噴射するための圧電アクチュエータと、前記圧力室に液体を供給する手段とを有することを特徴とする液滴噴射装置。
[2]前記機能膜は、前記圧電薄膜に対して格子整合性を有する膜であることを特徴とする請求項1に記載の液滴噴射装置。
[3]前記機能膜は、導電性酸化物材料であることを特徴とする請求項1または2に記載の液滴噴射装置。
[4]前記一体形成部材は、電鋳法を用いて一体成形することを特徴とする請求項1に記載の液滴噴射装置。
[5]微小液滴を噴射するための複数のノズルを有するノズルプレートと前記ノズルと連通した複数の圧力室の隔壁を構成する壁部とが一体に形成された一体形成部材と、複数の前記圧力室間に形成された絶縁層と、前記圧力室における前記ノズルプレートと対向する面側に配置され、前記圧力室を変形する圧電アクチュエータと、前記圧力室に液体を供給する手段とを備えることを特徴とする液滴噴射装置。
Claims (5)
- 微小液滴を噴射するための複数のノズルを有するノズルプレートと前記ノズルと連通した複数の圧力室の隔壁を構成する壁部とが一体に形成された一体形成部材と、
前記一体形成部材の上に形成された少なくとも1層の機能膜と、
複数の前記圧力室間に形成された絶縁層と、
前記ノズルプレート上に圧電薄膜で形成され、前記ノズルから液滴を噴射するための圧電アクチュエータと、
前記圧力室に液体を供給する手段とを有することを特徴とする液滴噴射装置。 - 前記機能膜は、前記圧電薄膜に対して格子整合性を有する膜であることを特徴とする請求項1に記載の液滴噴射装置。
- 前記機能膜は、導電性酸化物材料であることを特徴とする請求項1または2に記載の液滴噴射装置。
- 前記一体形成部材は、電鋳法を用いて一体成形することを特徴とする請求項1に記載の液滴噴射装置。
- 液体を保持するカートリッジと、
請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液滴噴射装置と、
を備える画像形成装置。
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