JP5862118B2 - インクジェットヘッド及び記録装置 - Google Patents
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Description
以下に図1、図2を参照して本発明の実施形態について説明する。
以下に本発明の第二の実施形態について説明する。本発明の第二の実施形態では、第一の実施形態にさらなる条件を加えたものである。よって以下の本発明の第二の実施形態では、第一の実施形態との相違点についてのみ説明し、第一の実施形態と同様の機能構成を有するものには第一の実施形態の説明で用いた符号を付与し、その説明を省略する。
以下に本発明の第三の実施形態について説明する。本発明の第三の実施形態では、第一の実施形態及び第二の実施形態にさらなる条件を加えたものである。よって以下の本発明の第三の実施形態では、第一の実施形態との相違点についてのみ説明し、第一の実施形態と同様の機能構成を有するものには第一の実施形態の説明で用いた符号を付与し、その説明を省略する。
以下に本発明の第四の実施形態について説明する。本発明の第四の実施形態では、インク供給27を保持基板12に設けたものである。本発明の第四の実施形態では、第一の実施形態との相違点についてのみ説明し、第一の実施形態と同様の機能構成を有するものには第一の実施形態の説明で用いた符号を付与し、その説明を省略する。
11 ノズル板
12 保持基板
14 振動室
13 保持基板隔壁
17 個別液室
18 ノズル
20 振動板
21 圧電素子
22 上部電極
23 下部電極
26 液室隔壁
100 記録装置
200 インクジェットヘッド
Claims (5)
- 液室隔壁によって区画されておりインク供給口と連通した個別液室が短手方向に配列された流路基板と、前記個別液室に設けられたノズル開口と対向する面に形成された振動板と、前記振動板上に下部電極、圧電素子、上部電極を積層して形成されたアクチュエータと、前記アクチュエータに駆動信号を供給する個別電極と、を有し、前記個別電極の一部を構成している配線層パターンが前記液室隔壁上に形成されたインクジェットヘッドであって、
前記アクチュエータに対向する位置に、保持基板隔壁により区画された凹状の振動室が形成されており、前記保持基板隔壁が前記配線層パターンを含む積層膜を介して前記液室隔壁に接合される保持基板を有し、
前記短手方向における前記保持基板隔壁の幅は、前記短手方向における液室隔壁の幅より狭く、前記配線層パターンの幅よりも広いインクジェットヘッド。 - 前記積層膜は、前記配線層パターンの下方に形成された第1の絶縁膜と、前記配線層パターンの上方に形成された第2の絶縁膜とを含み、前記配線層パターンを包括するように前記第1の絶縁膜と前記第2の絶縁膜とがパターニングされており、
前記第1の絶縁膜及び前記第2の絶縁膜のパターン幅は、前記配線層パターンの幅より広く且つ前記液室隔壁の幅よりも狭い請求項1記載のインクジェットヘッド。 - 前記第1の絶縁膜及び前記第2の絶縁膜のパターン幅は、前記保持基板隔壁の幅よりも広い請求項2記載のインクジェットヘッド。
- 前記インク供給口は、前記振動板上を貫通する貫通口として形成されており、前記インク供給口の周辺部は、前記保持基板が前記配線層パターンを含む積層膜を介して前記流路基板と接合されている請求項1ないし3の何れか一項に記載のインクジェットヘッド。
- 液室隔壁によって区画されておりインク供給口と連通した個別液室が短手方向に配列された流路基板と、前記個別液室に設けられたノズル開口と対向する面に形成された振動板と、前記振動板上に下部電極、圧電素子、上部電極を積層して形成されたアクチュエータと、前記アクチュエータに駆動信号を供給する個別電極と、を有し、前記個別電極の一部を構成している配線層パターンが前記液室隔壁上に形成されたインクジェットヘッドを有する記録装置であって、
前記インクジェットヘッドは、
前記アクチュエータに対向する位置に、保持基板隔壁により区画された凹状の振動室が形成されており、前記保持基板隔壁が前記配線層パターンを含む積層膜を介して前記液室隔壁に接合される保持基板を有し、
前記短手方向における前記保持基板隔壁の幅は、前記短手方向における液室隔壁の幅より狭く、前記配線層パターンの幅よりも広い記録装置。
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