JP7220327B1 - ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】製造効率や歩留まりの向上を図った上で、発生圧力を向上させることができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供する。【解決手段】本開示の一態様に係るヘッドチップは、液体が収容される圧力室が形成された流路部材と、圧力室に対して第１方向に向かい合った状態で流路部材上に配置されたアクチュエータプレートと、アクチュエータプレートを第１方向に変形させて圧力室の容積を変化させる駆動電極と、を備えている。アクチュエータプレートのうち第１方向から見て圧力室と重なり合う部分には、第１方向で流路部材を向く第１面に対して凹部が形成されている。駆動電極は、凹部の内面に形成された第１電極と、アクチュエータプレートの上面において第１電極と向かい合って形成され、第１電極との間で電位差を生じさせる第１対向電極と、を備えている。【選択図】図４

Description

本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置に関する。

インクジェットプリンタに搭載されるヘッドチップでは、圧電材料により形成されたアクチュエータプレートに電界を発生させ、アクチュエータプレートを変形させることで、圧力室内に圧力変動を生じさせる。これにより、圧力室内に収容されたインクが、ノズル孔を通じて吐出される。

アクチュエータプレートの変形モードとして、アクチュエータプレートに発生する電界によってアクチュエータプレートをせん断変形（厚み滑り変形）させる、いわゆるシェアモードがある。シェアモードには、いわゆるウォールベンド型やルーフシュート型が含まれる。
ウォールベンド型のヘッドチップは、アクチュエータプレート自体に圧力室が形成された構成である。ウォールベンド型のヘッドチップでは、圧力室を挟んで向かい合う仕切壁同士が接近又は離間する方向に変形することで、圧力室内に圧力変動を生じさせる。
一方、ルーフシュート型のヘッドチップは、流路部材に形成された圧力室に対し、アクチュエータプレートが向かい合って配置された構成である。ルーフシュート型のヘッドチップでは、アクチュエータプレートが厚さ方向に変形することで、圧力室内に圧力変動を生じさせる。

ところで、ルーフシュート型のヘッドチップでは、アクチュエータプレートが圧力室の一面のみにしか面していないことから、ウォールベンド型のヘッドチップに比べ圧力室内での発生圧力（弾性エネルギー）を確保し難いという課題があった。
ルーフシュート型のヘッドチップにおいて、発生圧力の向上を図る構成としては、アクチュエータプレートを積層させることが考えられる（例えば、下記特許文献１参照）。

特開平１０－５８６７４号公報

しかしながら、従来技術にあっては、アクチュエータプレートを積層させたとしても、積層数通りに発生圧力を増加させることが難しかった。また、アクチュエータプレートを積層する場合には、各層毎に電極を配置する必要がある等から、製造効率や歩留まりの低下に繋がる。

本開示は、製造効率や歩留まりの向上を図った上で、発生圧力を向上させることができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供する。

上記課題を解決するために、本開示は以下の態様を採用した。
（１）本開示の一態様に係るヘッドチップは、液体が収容される圧力室が形成された流路部材と、前記圧力室に対して第１方向に向かい合った状態で前記流路部材上に配置されるとともに、前記第１方向を分極方向とするアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに形成され、前記アクチュエータプレートを前記第１方向に変形させて前記圧力室の容積を変化させる駆動電極と、を備え、前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向から見て前記圧力室と重なり合う部分には、前記第１方向で前記流路部材を向く第１面に対して突出する凸部、又は前記第１面に対して窪んだ凹部からなる形状変化部が形成され、前記駆動電極は、前記形状変化部の表面に形成された第１電極と、前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向で前記第１面と反対側を向く第２面において前記第１電極と向かい合って形成され、前記第１電極との間で電位差を生じさせる第１対向電極と、を備えている。

本態様によれば、第１電極及び第１対向電極間に電位差を発生させることで、アクチュエータプレートの分極方向に電界を発生させることができる。これにより、アクチュエータプレートをベンドモード（バイモルフ型）でＺ方向に変形させることで、圧力室内の容積を変化させることができる。
特に、本態様では、凹部又は凸部からなる形状変化部の表面に第１電極を形成することで、第１電極の表面積を確保できる。そのため、第１電極及び第１対向電極間で発生する電位差を確保し易い。その結果、アクチュエータプレートに生じる電界を大きくすることができ、液体噴射時における圧力室内の発生圧力を向上させることができる。また、形状変化部の表面に第１電極を形成するだけで発生圧力を向上させることができるので、従来のようにアクチュエータプレートを複数枚重ねる構成に比べ、製造効率や歩留まりの向上を図ることができる。しかも、アクチュエータプレートに形状変化部を形成することで、アクチュエータプレートの第１方向での剛性を高めることができる。

（２）上記（１）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記形状変化部は、前記第１方向を向く端面と、前記端面の外周縁及び前記第１面間を接続するとともに、前記第１方向に交差する第２方向を向く側面と、を備え、前記第１電極は、前記端面及び前記側面に亘って形成されていることが好ましい。
本態様によれば、第１電極の表面積を確保できるので、液体噴射時における圧力室内の発生圧力を向上させることができる。
しかも、形状変化部の端面に第１電極を形成することで、第１電極と第１対向電極との距離を近付けることができる。これにより、アクチュエータプレートに発生する電界を大きくし易くなり、圧力室内の発生圧力を効果的に向上させることができる。

（３）上記（１）又は（２）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記駆動電極は、前記第１面において前記第１電極と隣り合って形成されるとともに、前記第１電極との間で電位差を生じさせる第２電極を備えていることが好ましい。
本態様によれば、第１電極及び第２電極間に電位差を発生させることで、アクチュエータプレートの分極方向に交差する方向に電界を発生させることができる。これにより、アクチュエータプレートをシェアモード（ルーフシュート型）で第１方向に変形させることで、圧力室の容積を変化させることができる。この場合、シェアモード及びベンドモードの双方の駆動モードによってアクチュエータプレートを第１方向に変形させることができ、圧力室の発生圧力を向上させることができる。

（４）上記（２）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記駆動電極は、前記第２面において前記第２電極と向かい合って形成され、かつ前記第１対向電極に隣り合って形成された第２対向電極を備え、前記第２対向電極は、前記第２電極との間で前記第１方向に電位差を生じさせるとともに、前記第１対向電極との間で前記第１方向に交差する第２方向に電位差を生じさせることが好ましい。
本態様によれば、アクチュエータプレートの第２面において、第１対向電極と第２対向電極とが隣り合って形成されるので、第１対向電極と第２対向電極との間に発生する電位差によってアクチュエータプレートをシェアモード（ルーフシュート型）により変形させることができる。

（５）上記（１）から（４）の何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記アクチュエータプレートには、前記第２面に対して前記第１方向に窪む溝部が形成されていることが好ましい。
本態様によれば、アクチュエータプレートが第１方向に変形する際に、溝部がアクチュエータプレートの変形を許容する逃げ部として機能する。これにより、アクチュエータプレートの変形量を確保し易くなる。

（６）上記（５）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記溝部は、前記アクチュエータプレートを前記第１方向に貫通していることが好ましい。
本態様によれば、溝部がアクチュエータプレートを貫通しているので、液体噴射時におけるアクチュエータプレートの変形を許容し易い。そのため、圧力室の発生圧力を向上させることができる。

（７）上記（５）又は（６）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記溝部の内面には、前記第１電極との間で電位差を発生させる溝内電極が形成されていることが好ましい。
本態様によれば、第１電極と溝内電極との間に生じる電位差によって、アクチュエータプレートには分極方向に交差する方向に電界が生じる。その結果、アクチュエータプレートのうち、形状変化部におけると溝部とで区画された部分（以下、区画部という。）は、シェアモードにより溝部内に倒れ込むように厚み滑り変形する。これにより、液体噴射時において、溝部の容積が拡大又は縮小するように区画部が変形する。この際、溝部が区画部の変形を許容する逃げ部として機能することから、アクチュエータプレートの変形量を確保し易くなり、圧力室の発生圧力を向上させることができる。

（８）本開示に係る液体噴射ヘッドは、上記（１）から（７）の何れかの態様に係るヘッドチップを備えている。
本態様によれば、上記態様に係るヘッドチップを備えているので、所望の噴射性能が発揮できる高品質な液体噴射ヘッドを提供できる。

（９）本開示の一態様に係る液体噴射記録装置は、上記（８）の態様に係る液体噴射ヘッドを備えている。
本態様によれば、上記態様に係る液体噴射ヘッドを備えているので、所望の噴射性能が発揮できる高品質な液体噴射記録装置を提供できる。

本開示の一態様によれば、製造効率や歩留まりの向上を図った上で、発生圧力を向上させることができる。

第１実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッド及びインク循環機構の概略構成図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図である。 図３のＩＶ－ＩＶ線に対応するヘッドチップの断面図である。 図４のＶ－Ｖ線に対応するヘッドチップの断面図である。 第１実施形態に係る流路部材の平面図である。 第１実施形態に係るアクチュエータプレートの底面図である。 第１実施形態に係るアクチュエータプレートの平面図である。 第１実施形態に係るカバープレートの平面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップについて、インク吐出時における変形の挙動を説明するための説明図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するためのフローチャートである。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図５に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図５に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図５に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図５に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図５に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第２実施形態に係るヘッドチップの断面図である。 第３実施形態に係るヘッドチップの断面図である。 第４実施形態に係るヘッドチップの断面図である。 第４実施形態の変形例に係るヘッドチップの断面図である。 第５実施形態に係るヘッドチップの断面図である。 第６実施形態に係るヘッドチップの断面図である。 変形例に係るヘッドチップの断面図である。 変形例に係るヘッドチップの断面図である。

以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する実施形態や変形例において、対応する構成については同一の符号を付して説明を省略する場合がある。以下の説明において、例えば「平行」や「直交」、「中心」、「同軸」等の相対的又は絶対的な配置を示す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差や同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。以下の実施形態では、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

（第１実施形態）
［プリンタ１］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インクタンク４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インク循環機構６と、走査機構７と、を備えている。

以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。この場合、Ｘ方向は被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向（副走査方向）に一致している。Ｙ方向は走査機構７の走査方向（主走査方向）に一致している。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する高さ方向（重力方向）を示している。以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のうち、図中矢印側をプラス（＋）側とし、矢印とは反対側をマイナス（－）側として説明する。本明細書において、＋Ｚ側は重力方向の上方に相当し、－Ｚ側は重力方向の下方に相当する。

搬送機構２，３は、被記録媒体Ｐを＋Ｘ側に搬送する。搬送機構２，３は、例えばＹ方向に延びる一対のローラ１１，１２をそれぞれ含んでいる。
インクタンク４には、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク４に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。

図２は、インクジェットヘッド５及びインク循環機構６の概略構成図である。
図１、図２に示すように、インク循環機構６は、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させる。具体的に、インク循環機構６は、インク供給管２１及びインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。

加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を通してインクジェットヘッド５にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インク排出管２２内を通してインクジェットヘッド５からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を通して循環可能となっている。

図１に示すように、走査機構７は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。走査機構７は、Ｙ方向に延びるガイドレール２８と、ガイドレール２８に移動可能に支持されたキャリッジ２９と、を備えている。

＜インクジェットヘッド５＞
インクジェットヘッド５は、キャリッジ２９に搭載されている。図示の例では、複数のインクジェットヘッド５が、一つのキャリッジ２９にＹ方向に並んで搭載されている。インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ５０（図３参照）と、インク循環機構６及びヘッドチップ５０間を接続するインク供給部（不図示）と、ヘッドチップ５０に駆動電圧を印加する制御部（不図示）と、を備えている。

＜ヘッドチップ５０＞
図３は、ヘッドチップ５０の分解斜視図である。図４は、図３のＩＶ－ＩＶ線に対応するヘッドチップ５０の断面図である。図５は、図４のＶ－Ｖ線に対応するヘッドチップ５０の断面図である。
図３～図５に示すヘッドチップ５０は、インクタンク４との間でインクを循環させるとともに、後述する圧力室６１における延在方向（Ｙ方向）の中央部からインクを吐出する、いわゆる循環式サイドシュートタイプのヘッドチップ５０である。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１と、流路部材５２と、第１フィルム５３と、アクチュエータプレート５４と、第２フィルム５５と、カバープレート５６と、を備えている。以下の説明では、Ｚ方向のうち、ノズルプレート５１からカバープレート５６に向かう方向（＋Ｚ側）を上側とし、カバープレート５６からノズルプレート５１に向かう方向（－Ｚ側）を下側として説明する場合がある。

流路部材５２は、Ｚ方向を厚さ方向とした板状である。流路部材５２は、インク耐性を有する材料により形成されている。このような材料として、例えば金属や金属酸化物、ガラス、樹脂、セラミックス等が採用可能である。流路部材５２には、インクが流通する流路６０と、流路６０に連通するとともにインクが収容される複数の圧力室６１と、が形成されている。流路６０及び圧力室６１は、流路部材５２をＺ方向に貫通している。

図６は、流路部材５２の平面図である。
図６に示すように、各圧力室６１は、Ｘ方向に間隔をあけて並んでいる。各圧力室６１は、Ｙ方向に直線状に延びる溝状に形成されている。各圧力室６１は、Ｙ方向の全域に亘って流路部材５２を貫通している。但し、圧力室６１は、Ｙ方向の一部において流路部材５２を貫通していてもよい。なお、第１実施形態では、チャネル延在方向がＹ方向に一致する構成について説明するが、チャネル延在方向がＹ方向に交差していてもよい。

平面視において、各圧力室６１は、それぞれ区画壁６２によって区画されている。区画壁６２は、圧力室６１に対してＸ方向の両側に位置する一対の側壁６２ａ，６２ｂと、圧力室６１に対して＋Ｙ側に位置する＋Ｙ側端壁６２ｃと、圧力室６１に対して－Ｙ側に位置する－Ｙ側端壁６２ｄと、を備えている。側壁６２ａ，６２ｂは、流路部材５２のうち隣り合う圧力室６１間に位置する部分であって、隣り合う圧力室６１間をＸ方向に仕切っている。なお、圧力室６１の平面視形状は、長方形状（Ｘ方向及びＹ方向のうち、何れか一方を長手方向とし、他方を短手方向とする形状）に限られない。圧力室６１の平面視形状は、正方形状や三角形状等の多角形状、円形状、楕円形状等であってもよい。

流路６０は、入口側共通流路６４と、入口側連通路６５と、出口側共通流路６６と、出口側連通路６７と、バイパス路６８と、を含んでいる。
入口側共通流路６４は、流路部材５２のうち各圧力室６１に対して＋Ｙ側に位置する部分をＸ方向に延びている。入口側共通流路６４と各圧力室６１とは、各圧力室６１の＋Ｙ側端壁６２ｃによって仕切られている。入口側共通流路６４における－Ｘ側端部は、入口ポート（不図示）に接続される。入口ポートは、インク供給管２１（図２参照）に直接的又は間接的に接続されている。すなわち、インク供給管２１内を流れるインクは、入口ポートを通じて入口側共通流路６４に供給される。
入口側連通路６５は、入口側共通流路６４のうち各Ｘ方向から見て各圧力室６１と重なり合う部分から－Ｙ側に向けてそれぞれ分岐することで、入口側共通流路６４と各圧力室６１との間をそれぞれ接続している。具体的に、各入口側連通路６５は、各圧力室６１の＋Ｙ側端壁６２ｃをＹ方向に貫通している。本実施形態において、各入口側連通路６５は、各＋Ｙ側端壁６２ｃにおけるＸ方向の中央部に、Ｙ方向の全長に亘って一様な深さで形成されている。

出口側共通流路６６は、流路部材５２のうち各圧力室６１に対して－Ｙ側に位置する部分をＸ方向に延びている。出口側共通流路６６と各圧力室６１とは、各圧力室６１の－Ｙ側端壁６２ｄによって仕切られている。出口側共通流路６６における＋Ｘ側端部は、出口ポート（不図示）に接続される。出口ポートは、インク排出管２２（図２参照）に直接的又は間接的に接続されている。すなわち、出口側共通流路６６内を流れるインクは、出口ポートを通じてインク排出管２２に供給される。
出口側連通路６７は、出口側共通流路６６のうちＸ方向から見て各圧力室６１と重なり合う部分から＋Ｙ側に向けてそれぞれ分岐することで、出口側共通流路６６と各圧力室６１との間をそれぞれ接続している。具体的に、各出口側連通路６７は、各圧力室６１の－Ｙ側端壁６２ｄをＹ方向に貫通している。本実施形態において、各出口側連通路６７は、各－Ｙ側端壁６２ｄにおけるＸ方向の中央部に、Ｙ方向の全長に亘って一様な深さで形成されている。第１実施形態において、各連通路６５，６７におけるＸ方向の幅は、圧力室６１におけるＸ方向の幅に比べて狭い。これにより、隣り合う圧力室６１間において、共通流路６４，６６を通じた圧力室６１間の距離を確保できる。そのため、一の圧力室６１での圧力変動が共通流路６４，６６及び連通路６５，６７を通じて他の圧力室６１に伝播される、いわゆるクロストークを抑制できる。しかも、連通路６５，６７の流路断面積が、圧力室６１の流路断面積よりも小さくなるので、連通路６５，６７を通じて共通流路６４，６６から圧力室６１に圧力変動が伝播することを抑制し易い。但し、連通路６５，６７の寸法は適宜変更が可能である。

バイパス路６８は、入口側共通流路６４及び出口側共通流路６６の＋Ｘ側端部同士及び－Ｘ側端部同士を各別に接続している。

図４、図５に示すように、ノズルプレート５１は、流路部材５２の下面に接着等によって固定されている。ノズルプレート５１は、流路６０及び圧力室６１の下端開口部を閉塞している。第１実施形態において、ノズルプレート５１は、ＳＵＳやＮｉ－Ｐｄ等の金属材料により形成されている。但し、ノズルプレート５１は、金属材料の他、樹脂材料（例えば、ポリイミド等）、ガラス、シリコン等による単層構造、又は積層構造であってもよい。

ノズルプレート５１には、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数のノズル孔７１が形成されている。各ノズル孔７１は、Ｘ方向に間隔をあけて配置されている。各ノズル孔７１は、対応する圧力室６１それぞれに対し、Ｘ方向及びＹ方向の中央部で連通している。第１実施形態において、各ノズル孔７１は、例えば上方から下方に向かうに従い内径が漸次縮小するテーパ状に形成されている。第１実施形態では、複数の圧力室６１及び複数のノズル孔７１がＸ方向に一列に並んだ構成について説明したが、この構成に限られない。Ｘ方向に並んだ複数の圧力室６１及び複数のノズル孔７１をノズル列とすると、ノズル列がＹ方向に間隔をあけて複数列設けられていてもよい。

第１フィルム５３は、流路部材５２の上面に接着等によって固定されている。第１フィルム５３は、流路部材５２の上面全域に亘って配置されている。これにより、第１フィルム５３は、流路６０及び各圧力室６１の上端開口部を閉塞している。第１フィルム５３は、絶縁性及びインク耐性を有し、弾性変形可能な材料により形成されている。このような材料として、第１フィルム５３は、例えば樹脂材料（ポリイミド系やエポキシ系、ポリプロピレン系等）により形成されている。

アクチュエータプレート５４は、Ｚ方向を厚さ方向として、第１フィルム５３の上面に接着等により固定されている。アクチュエータプレート５４は、第１フィルム５３を間に挟んで各圧力室６１とＺ方向で向かい合っている。なお、アクチュエータプレート５４は、各圧力室６１をまとめて覆う構成に限らず、各圧力室６１毎に個別に設けられていてもよい。

アクチュエータプレート５４は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されている。アクチュエータプレート５４は、分極方向が＋Ｚ側の一方向を向くように設定されている。アクチュエータプレート５４の両面には、駆動配線７５が形成されている。アクチュエータプレート５４は、駆動配線７５により印加される電圧によって電界が発生することで、Ｚ方向に変形可能に構成されている。アクチュエータプレート５４は、Ｚ方向の変形によって圧力室６１内の容積を拡大又は縮小させることで、圧力室６１内からインクを吐出させる。なお、駆動配線７５の構成については後述する。

アクチュエータプレート５４のうち、各圧力室６１に面する部分には、凹部（形状変化部）７６が形成されている。凹部７６は、アクチュエータプレート５４の下面（第１面）に対して上方に窪んでいる。具体的に、凹部７６は、平面視において、圧力室６１におけるＸ方向の中央に位置する部分に形成されている。凹部７６は、Ｙ方向から見て矩形状に形成されている。なお、図示の例において、上述した第１フィルム５３のうち、凹部７６に対応する部分は、凹部７６の内面に倣って延びている。

凹部７６の開口幅（アクチュエータプレート５４の下面上でのＸ方向の寸法）は、Ｙ方向の全体に亘って一様になっている。本実施形態において、凹部７６の開口幅は、圧力室６１におけるＸ方向の幅に対して２０％以上８０％以下に設定されていることが好ましい。２０％以上に設定することで、製造ばらつきに関わらず、所望の効果を得るために必要な幅の凹部７６を形成することができる。８０％以下に設定することで、凹部７６と側壁６２ａ，６２ｂとの距離を確保してヘッドチップ５０の剛性低下を抑制できる。なお、凹部７６の開口幅は、Ｙ方向の位置に応じて変化させてもよい。

凹部７６の最大深さは、アクチュエータプレート５４の厚さに対して２０％以上８０％以下に設定されていることが好ましく、５０％以上７０％以下に設定されていることがより好ましい。これにより、製造ばらつきに関わらず、所望の効果を得るために必要な深さの凹部７６を形成できる。凹部７６におけるＹ方向の長さは、圧力室６１におけるＹ方向の長さよりも短い（図５参照）。図示の例において、凹部７６の深さは、Ｙ方向の全体に亘って一様である。但し、凹部７６におけるＹ方向の両端部は、Ｙ方向の外側に向かうに従い漸次浅くなっていてもよい。また、凹部７６におけるＹ方向の長さは、圧力室６１におけるＹ方向の長さ以上であってもよい。

第２フィルム５５は、アクチュエータプレート５４の上面に接着等によって固定されている。第１実施形態において、第２フィルム５５は、アクチュエータプレート５４の上面全域を覆っている。第２フィルム５５は、絶縁性を有し、弾性変形可能な材料により形成されている。このような材料として、第１フィルム５３と同様の材料を採用することができる。なお、第２フィルム５５は、必須の構成ではない。例えばエポキシ系接着剤やアクリル系接着剤を含む接着剤層を介してアクチュエータプレート５４とカバープレート５６とが接合されていてもよい。

カバープレート５６は、Ｚ方向を厚さ方向として、第２フィルム５５の上面に接着等により固定されている。カバープレート５６におけるＺ方向の厚さは、アクチュエータプレート５４や流路部材５２、各フィルム５３，５５よりも厚い。第１実施形態において、カバープレート５６は、絶縁性を有する材料（例えば、金属酸化物、ガラス、樹脂、セラミックス等）により形成されている。

続いて、駆動配線７５の構造について説明する。図７は、アクチュエータプレート５４の底面図である。図８は、アクチュエータプレート５４の平面図である。駆動配線７５は、各圧力室６１に対応して設けられている。隣り合う圧力室６１に対応する駆動配線７５同士は、互いに同様の構成になっている。以下の説明では、複数の圧力室６１のうち一の圧力室６１に対応して設けられた駆動配線７５を例にして説明し、他の圧力室６１に対応する駆動配線７５については説明を適宜省略する。
図７、図８に示すように、駆動配線７５は、共通配線８１と、個別配線８２と、を備えている。
共通配線８１は、第１共通電極８１ａと、第２共通電極８１ｂと、下面引き回し配線８１ｃと、上面引き回し配線８１ｄと、共通パッド８１ｅと、貫通配線８１ｆと、を備えている。

図４、図７に示すように、第１共通電極８１ａは、アクチュエータプレート５４の下面において、各側壁６２ａ，６２ｂとＺ方向から見て重なり合う位置にそれぞれ形成されている。具体的に、各第１共通電極８１ａのうち＋Ｘ側に位置する第１共通電極８１ａ（以下、＋Ｘ側共通電極８１ａ１という。）の全体は、側壁６２ａとＺ方向から見て重なり合っている。一方、各第１共通電極８１ａのうち－Ｘ側に位置する第１共通電極８１ａ（以下、－Ｘ側共通電極８１ａ２という。）の全体は、側壁６２ｂとＺ方向から見て重なり合っている。各第１共通電極８１ａは、圧力室６１と同等の長さでＹ方向に直線状に延びている。本実施形態において、一の圧力室６１に対応する＋Ｘ側共通電極８１ａ１は、一の圧力室６１に対して＋Ｘ側に隣り合う他の圧力室６１の－Ｘ側共通電極８１ａ２と共用している。一方、一の圧力室６１に対応する－Ｘ側共通電極８１ａ２は、一の圧力室６１に対して－Ｘ側に隣り合う他の圧力室６１の＋Ｘ側共通電極８１ａ１と共用している。なお、各圧力室６１間において、共通電極８１ａ１，８１ａ２同士は、互いに分離していてもよい。

図４、図８に示すように、第２共通電極８１ｂは、アクチュエータプレート５４の上面（第２面）において、対応する圧力室６１とＺ方向から見て重なり合い、かつＺ方向から見て第１共通電極８１ａと重なり合わない位置に配置されている。図示の例において、第２共通電極８１ｂは、圧力室６１におけるＸ方向の中央部を含む領域に形成されている。第２共通電極８１ｂは、圧力室６１と同等の長さでＹ方向に直線状に延びている。

図４、図７に示すように、下面引き回し配線８１ｃは、アクチュエータプレート５４の下面において、各第１共通電極８１ａにまとめて接続されている。下面引き回し配線８１ｃは、各第１共通電極８１ａにおける－Ｙ側端部に接続された状態でＸ方向に延びている。

図４、図８に示すように、上面引き回し配線８１ｄは、アクチュエータプレート５４の上面において、第２共通電極８１ｂに接続されている。上面引き回し配線８１ｄは、第２共通電極８１ｂにおける－Ｙ側端部に接続された状態でＸ方向に延びている。

図５、図９に示すように、共通パッド８１ｅは、カバープレート５６の上面に形成されている。共通パッド８１ｅは、カバープレート５６の上面のうち、Ｚ方向から見て圧力室６１と重なり合う部分をＹ方向に延びている。

貫通配線８１ｆは、下面引き回し配線８１ｃ、上面引き回し配線８１ｄ及び共通パッド８１ｅ間を接続している。貫通配線８１ｆは、アクチュエータプレート５４、第２フィルム５５及びカバープレート５６をＺ方向に貫通して設けられている。具体的に、アクチュエータプレート５４、第２フィルム５５及びカバープレート５６のうち引き回し配線８１ｃ，８１ｄに対して－Ｙ側に位置する部分には、共通配線用孔９１が形成されている。共通配線用孔９１は、各圧力室６１毎に個別に形成されている。下面引き回し配線８１ｃ、上面引き回し配線８１ｄ及び共通パッド８１ｅにおける－Ｙ側端縁は、共通配線用孔９１の開口縁において、貫通配線８１ｆに接続されている。なお、貫通配線８１ｆ及び共通配線用孔９１は、各圧力室６１に対して一括で設けられていてもよい。この場合、共通配線用孔９１は、各圧力室６１を跨る長さでＸ方向に延びる。

図７、図８に示すように、個別配線８２は、第１個別電極８２ａと、第２個別電極８２ｂと、下面引き回し配線８２ｃと、上面引き回し配線８２ｄと、個別パッド８２ｅと、貫通配線８２ｆと、を備えている。

図４、図７に示すように、第１個別電極８２ａは、第１共通電極８１ａとの間で電位差を生じさせるとともに、第２共通電極８１ｂとの間で電位差を生じさせる。第１個別電極８２ａの少なくとも一部は、第２共通電極８１ｂとＺ方向から見て重なり合っている。第１個別電極８２ａは、各第１共通電極８１ａに対してＸ方向に間隔をあけた状態でＹ方向に延びている。

第１個別電極８２ａは、少なくとも凹部７６の内面に形成されている。具体的に、第１個別電極８２ａは、底面電極８２ａ１と、側面電極８２ａ２と、を備えている。
底面電極８２ａ１は、凹部７６の底面７６ａ（下方を向く面）の全域に亘って形成されている。
側面電極８２ａ２は、凹部７６の内面のうちＸ方向で向かい合う一対の内側面７６ｂそれぞれに、全域に亘って形成されている。側面電極８２ａ２の上端縁は、底面電極８２ａ１に接続されている。なお、第１個別電極８２ａは、凹部７６の内面のうち少なくとも一部に形成されていればよい。また、第１個別電極８２ａは、凹部７６の内面に加え、アクチュエータプレート５４の下面のうち凹部７６の周囲に位置する部分に連なっていてもよい。

図４、図８に示すように、第２個別電極８２ｂは、第２共通電極８１ｂとの間で電位差を生じさせるとともに、第１共通電極８１ａとの間で電位差を生じさせる。第２個別電極８２ｂは、アクチュエータプレート５４の上面において、第２共通電極８１ｂに対してＸ方向の両側に位置する部分にそれぞれ形成されている。各第２個別電極８２ｂは、第２共通電極８１ｂに対してＸ方向に間隔をあけた状態でＹ方向に延びている。第２個別電極８２ｂにおけるＸ方向の幅は、第１共通電極８１ａにおけるＸ方向の幅よりも狭い。

図４、図８に示すように、各第２個別電極８２ｂのうち＋Ｘ側に位置する第２個別電極８２ｂ（以下、＋Ｘ側個別電極８２ｂ１という。）は、＋Ｘ側共通電極８１ａ１との間で電位差を生じさせる。＋Ｘ側個別電極８２ｂ１の一部は、Ｚ方向から見て側壁６２ａと重なり合っている。＋Ｘ側個別電極８２ｂ１は、側壁６２ａ上において＋Ｘ側共通電極８１ａ１とＺ方向で向かい合っている。

各第２個別電極８２ｂのうち－Ｘ側に位置する第２個別電極８２ｂ（以下、－Ｘ側個別電極８２ｂ２という。）は、－Ｘ側共通電極８１ａ２との間で電位差を生じさせる。－Ｘ側個別電極８２ｂ１の一部は、Ｚ方向から見て側壁６２ｂと重なり合っている。－Ｘ側個別電極８２ｂ２は、側壁６２ｂ上において－Ｘ側共通電極８１ａ２とＺ方向で向かい合っている。－Ｘ側個別電極８２ｂ２の残りの一部は、側壁６２ｂに対して＋Ｘ側にはみ出している。なお、隣り合う圧力室６１間において、一の圧力室６１における＋Ｘ側個別電極８２ｂ１と、他の圧力室６１における－Ｘ側個別電極８２ｂ２と、は側壁６２ａ，６２ｂ上においてＸ方向に離間している。

図７に示すように、下面引き回し配線８２ｃは、アクチュエータプレート５４の下面において、第１個別電極８２ａに接続されている。下面引き回し配線８２ｃは、第１個別電極８２ａにおける＋Ｙ側端部からＸ方向の両側に延びている。隣り合う圧力室６１に対応する下面引き回し配線８２ｃ同士は、互いに分離されている。
図８に示すように、上面引き回し配線８２ｄは、アクチュエータプレート５４の上面において、各第２個別電極８２ｂの＋Ｙ側端部同士を接続している。

図９に示すように、個別パッド８２ｅは、カバープレート５６の上面に形成されている。個別パッド８２ｅは、カバープレート５６の上面のうち、Ｚ方向から見て圧力室６１と重なり合う部分をＹ方向に延びている。

図４、図７、図８に示すように、貫通配線８２ｆは、対応する下面引き回し配線８２ｃ、上面引き回し配線８２ｄ及び個別パッド８２ｅ間を接続している。貫通配線８２ｆは、アクチュエータプレート５４をＺ方向に貫通して設けられている。具体的に、アクチュエータプレート５４、第２フィルム５５及びカバープレート５６のうち第１個別電極８２ａに対して＋Ｙ側に位置する部分には、個別配線用孔９３が形成されている。個別配線用孔９３は、各圧力室６１毎に個別に形成されている。対応する下面引き回し配線８２ｃ、上面引き回し配線８２ｄ及び個別パッド８２ｅにおける＋Ｙ側端縁は、個別配線用孔９３の開口縁において、貫通配線８２ｆに接続されている。なお、個別配線用孔９３は、各圧力室６１に対して一括で設けられていてもよい。この場合、個別配線用孔９３は、各圧力室６１を跨る長さでＸ方向に延びる。

図４に示すように、駆動配線７５のうち流路部材５２と向かい合う部分は、第１フィルム５３に覆われている。具体的に、駆動配線７５のうち、第１共通電極８１ａ、第１個別電極８２ａ、下面引き回し配線８１ｃ，８２ｃ及び貫通配線８１ｆ，８２ｆは、第１フィルム５３に覆われている。一方、駆動配線７５のうちアクチュエータプレート５４の上面に形成された部分は、第２フィルム５５に覆われている。具体的に、駆動配線７５のうち、第２共通電極８１ｂ、第２個別電極８２ｂ、上面引き回し配線８１ｄ，８２ｄ及び貫通配線８１ｆ，８２ｆは、第２フィルム５５に覆われている。

カバープレート５６の上面には、フレキシブルプリント基板（不図示）が圧着されている。フレキシブルプリント基板は、カバープレート５６の上面において、共通パッド８１ｅ及び個別パッド８２ｅに実装されている。

［プリンタ１の動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環機構６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。

このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、被記録媒体Ｐが搬送機構２，３のローラ１１，１２に挟み込まれながら＋Ｘ側に搬送される。また、これと同時にキャリッジ２９がＹ方向に移動することで、キャリッジ２９に搭載されたインクジェットヘッド５がＹ方向に往復移動する。
インクジェットヘッド５が往復移動する間に、各インクジェットヘッド５よりインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させる。これにより、被記録媒体Ｐに対して文字や画像等の記録を行うことができる。

ここで、各インクジェットヘッド５の動きについて、以下に詳細に説明する。
第１実施形態のような循環式サイドシュートタイプのインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、入口側共通流路６４及び入口側連通路６５を通して各圧力室６１内に供給される。各圧力室６１内に供給されたインクは、各圧力室６１をＹ方向に流通する。その後、インクは、出口側連通路６７を通じて出口側共通流路６６に排出された後、インク排出管２２を通してインクタンク４に戻される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させることができる。

そして、キャリッジ２９（図１参照）の移動によってインクジェットヘッド５の往復移動が開始されると、フレキシブルプリント基板を介して共通電極８１ａ，８１ｂ及び個別電極８２ａ，８２ｂ間に駆動電圧が印加される。この際、共通電極８１ａ，８１ｂを基準電位ＧＮＤとし、個別電極８２ａ，８２ｂを駆動電位Ｖｄｄとして駆動電圧を印加する。

図１０は、ヘッドチップ５０について、インク吐出時における変形の挙動を説明するための説明図である。
図１０に示すように、駆動電圧の印加により、第１共通電極８１ａ及び第１個別電極８２ａ間、並びに第２共通電極８１ｂ及び第２個別電極８２ｂ間には、Ｘ方向で電位差が生じる。Ｘ方向に生じた電位差により、アクチュエータプレート５４は、シェアモードによりＺ方向に厚み滑り変形する。具体的に、第１共通電極８１ａ及び第１個別電極８２ａ間には、Ｘ方向で互いに離れる向きに電界が生じる（矢印Ｅ１参照）。また、アクチュエータプレート５４の上面において、第２共通電極８１ｂ及び第２個別電極８２ｂ間には、Ｘ方向で互いに接近する向きに電界が生じる（矢印Ｅ２参照）。その結果、アクチュエータプレート５４のうち、各圧力室６１に対応する部分は、Ｘ方向の両端部から中央部に向かうに従い上方に向けてせん断変形する。特に、本実施形態では、凹部７６の内側面７６ｂに側面電極８２ａ２が形成されているため、側面電極８２ａ２と第１共通電極８１ａとの間に発生する電位差によってＸ方向の外側に向かうに従い下方に向いた状態で電界が発生する。そのため、アクチュエータプレート５４のうち凹部７６に対してＸ方向の外側に位置する部分（以下、変形助長部５４ａという。）が各側壁６２ａ，６２ｂを起点に上方に立ち上がるように変形し易い。

一方、第１共通電極８１ａ及び第２個別電極８２ｂ間、並びに第１個別電極８２ａ及び第２共通電極８１ｂ間には、Ｚ方向で電位差が生じる。Ｚ方向に生じた電位差により、アクチュエータプレート５４には分極方向（Ｚ方向）に平行な方向に電界が生じる（矢印Ｅ０参照）。その結果、アクチュエータプレート５４は、ベンドモードによりＺ方向に伸縮変形する。すなわち、第１実施形態のヘッドチップ５０では、アクチュエータプレート５４のシェアモード及びベンドモードに起因する変形が、何れもＺ方向に及ぶことになる。具体的に、駆動電圧の印加により、アクチュエータプレート５４は、圧力室６１から離間する向きに変形する。これにより、圧力室６１内の容積が拡大する。その後、駆動電圧をゼロにすると、アクチュエータプレート５４が復元することで、圧力室６１内の容積が元に戻ろうとする。アクチュエータプレート５４が復元する過程で、圧力室６１内の圧力が増加し、圧力室６１内のインクがノズル孔７１を通じて外部に吐出される。外部に吐出されたインクが被記録媒体Ｐに着弾することで、被記録媒体Ｐに印刷情報が記録される。

＜ヘッドチップ５０の製造方法＞
次に、上述したヘッドチップ５０の製造方法について説明する。図１１は、ヘッドチップ５０の製造方法を説明するためのフローチャートである。図１２～図２４は、ヘッドチップ５０の製造方法を説明するための工程図であって、図４や図５に対応する断面図である。以下の説明では、便宜上、ヘッドチップ５０をチップレベルで製造する場合を例にして説明する。
図１１に示すように、ヘッドチップ５０の製造方法は、アクチュエータ第１加工工程Ｓ０１と、カバー第１加工工程Ｓ０２と、第１接合工程Ｓ０３と、フィルム加工工程Ｓ０４と、第２接合工程Ｓ０５と、アクチュエータ第２加工工程Ｓ０６と、カバー第２加工工程Ｓ０７と、第３接合工程Ｓ０８と、流路部材第１加工工程Ｓ０９と、第４接合工程Ｓ１０と、流路部材第２加工工程Ｓ１１と、第５接合工程Ｓ１１と、を備えている。

図１２に示すように、アクチュエータ第１加工工程Ｓ０１では、まず共通配線用孔９１及び個別配線用孔９３の一部となる凹部１００，１０１を形成する（凹部形成工程）。具体的に、アクチュエータプレート５４の上面に対し、共通配線用孔９１及び個別配線用孔９３の形成領域が開口したマスクパターンを形成する。続いて、マスクパターンを通してアクチュエータプレート５４の上面に対してサンドブラスト等を行う。これにより、アクチュエータプレート５４には、上面に対して窪んだ凹部１００，１０１が形成される。なお、凹部１００，１０１はダイサー加工や精密ドリル加工、エッチング加工等によって形成してもよい。

次に、図１３に示すように、アクチュエータ第１加工工程Ｓ０１では、駆動配線７５のうち、アクチュエータプレート５４の上面に位置する部分を形成する（第１配線形成工程）。第１配線形成工程では、まずアクチュエータプレート５４の上面に対し、駆動配線７５の形成領域が開口したマスクパターンを形成する。次に、アクチュエータプレート５４に対し、例えば蒸着等により電極材料を成膜する。電極材料は、マスクパターンの開口部を通してアクチュエータプレート５４に成膜される。これにより、アクチュエータプレート５４の上面、及び凹部１００，１０１の内面に駆動配線７５が形成される。

図１４に示すように、カバー第１加工工程Ｓ０２では、カバープレート５６に対し、共通配線用孔９１及び個別配線用孔９３の一部となる貫通孔１０２，１０３を形成する。貫通孔１０２，１０３は、アクチュエータプレート５４に凹部１００，１０１を形成する方法と同様に、サンドブラストやダイサー加工等によって形成することができる。

図１５に示すように、第１接合工程Ｓ０３では、アクチュエータプレート５４の上面に、接着剤等によって第２フィルム５５を貼り付ける。
フィルム加工工程Ｓ０４では、共通配線用孔９１及び個別配線用孔９３の一部となる貫通孔１０７，１０８を形成する。貫通孔１０７，１０８は、第２フィルム５５のうち対応する凹部１００，１０１とＺ方向から見て重なり合う部分に対し、例えばレーザ加工等を行うことで形成できる。これにより、凹部１００及び貫通孔１０７同士、並びに凹部１０１及び貫通孔１０８同士が互いに連通する。

図１６に示すように、第２接合工程Ｓ０５では、第２フィルム５５の上面に、接着剤等によってカバープレート５６を貼り付ける。これにより、凹部１００及び貫通孔１０２，１０７同士、並びに凹部１０１及び貫通孔１０３，１０８同士が互いに連通する。

図１７に示すように、アクチュエータ第２加工工程Ｓ０６では、アクチュエータプレート５４の下面に対してグラインド加工を施す（グラインド工程）。この際、アクチュエータプレート５４の下面において、凹部１００，１０１が開口する位置までアクチュエータプレート５４をグラインドすることで、共通配線用孔９１及び個別配線用孔９３が形成される。

次に、図１８に示すように、アクチュエータ第２加工工程Ｓ０６では、アクチュエータプレート５４の下面に凹部７６を形成する（凹部形成工程）。凹部７６は、例えばアクチュエータプレート５４の下面に対してダイサー加工を施すことで形成される。
図１９に示すように、駆動配線７５のうち、アクチュエータプレート５４の下面、凹部７６の内面及び配線用孔９１，９３の内面に位置する部分を形成する（第２配線形成工程）。第２配線形成工程では、まずアクチュエータプレート５４の下面に対し、駆動配線７５の形成領域が開口したマスクパターンを形成する。続いて、アクチュエータプレート５４に対し、例えば蒸着等により電極材料を成膜する。電極材料は、マスクパターンの開口部を通してアクチュエータプレート５４に成膜される。これにより、アクチュエータプレート５４の下面、凹部７６の内面及び配線用孔９１，９３の内面に駆動配線７５が形成される。

図２０に示すように、カバー第２加工工程Ｓ０７では、パッド８１ｅ，８２ｅ及び貫通配線８１ｆ，８２ｆをカバープレート５６に形成する。具体的には、まずカバープレート５６の上面に対し、パッド８１ｅ，８２ｅ及び貫通配線８１ｆ，８２ｆの形成領域が開口するマスクパターンを形成する。次に、カバープレート５６に対し、例えば蒸着等により電極材料を成膜する。電極材料は、マスクパターンの開口部を通してカバープレート５６に成膜される。これにより、パッド８１ｅ，８２ｅ及び貫通配線８１ｆ，８２ｆが形成される。

図２１に示すように、第３接合工程Ｓ０８では、アクチュエータプレート５４の下面に、接着剤等によって第１フィルム５３を貼り付ける。
図２２に示すように、流路部材第１加工工程Ｓ０９では、流路部材５２に対して流路６０（図６参照）や圧力室６１を形成する。流路６０や圧力室６１は、流路部材５２に対して例えばダイサーによる切削加工やサンドブラスト等を行うことで形成される。そして、流路部材５２のうち、隣り合う圧力室６１を仕切る部分が区画壁６２として残存する。

図２３に示すように、第４接合工程Ｓ１０では、第１フィルム５３の下面に、接着剤等によって流路部材５２を貼り付ける。

図２４に示すように、流路部材第２加工工程Ｓ１１では、流路部材５２の下面に対してグラインド加工を施す（グラインド工程）。この際、流路部材５２の下面において、流路６０や圧力室６１が開口する位置まで流路部材５２をグラインドする。

第５接合工程Ｓ１２では、ノズル孔７１と圧力室６１とを位置合わせした状態で、流路部材５２の下面にノズルプレート５１を貼り付ける。
以上により、ヘッドチップ５０が完成する。

ここで、第１実施形態のヘッドチップ５０は、アクチュエータプレート５４の下面において凹部（形状変化部）７６の内面に形成された第１個別電極（第１電極）８２ａと、アクチュエータプレート５４の上面において第１個別電極８２ａと向き合って配置された第２共通電極（第１対向電極）８１ｂと、を備えている構成とした。
この構成によれば、第１個別電極８２ａ及び第２共通電極８１ｂ間に電位差を発生させることで、アクチュエータプレート５４の分極方向に電界を発生させることができる。これにより、アクチュエータプレート５４をベンドモード（バイモルフ型）でＺ方向に変形させることで、圧力室６１内の容積を変化させることができる。
特に、本実施形態では、凹部７６の内面に第１個別電極８２ａを形成することで、第１個別電極８２ａの表面積を確保できる。そのため、第１個別電極８２ａ及び第２共通電極８１ｂ間で発生する電位差を確保し易い。その結果、アクチュエータプレート５４に生じる電界を大きくすることができ、インク吐出時における圧力室６１内の発生圧力を向上させることができる。また、凹部７６の内面に第１個別電極８２ａを形成するだけで発生圧力を向上させることができるので、従来のようにアクチュエータプレートを複数枚重ねる構成に比べ、製造効率や歩留まりの向上を図ることができる。しかも、アクチュエータプレート５４に凹部７６を形成することで、アクチュエータプレート５４のＺ方向での剛性を高めることができる。

第１実施形態のヘッドチップ５０において、第１個別電極８２ａは、凹部７６の底面（第１方向を向く端面）７６ａに形成された底面電極８２ａ１と、凹部７６の内側面（側面）７６ｂに形成された側面電極８２ａ２と、を備える構成とした。
この構成によれば、第１個別電極８２ａの表面積を確保できるので、インク吐出時における圧力室６１内の発生圧力を向上させることができる。
しかも、凹部７６の底面７６ａに底面電極８２ａ１を形成することで、第２共通電極８１ｂと第１個別電極８２ａとの距離を近付けることができる。これにより、アクチュエータプレート５４に発生する電界を大きくし易くなり、圧力室６１内の発生圧力を効果的に向上させることができる。

第１実施形態のヘッドチップ５０は、アクチュエータプレート５４の下面において第１個別電極８２ａと隣り合って形成された第１共通電極（第２電極）８１ａを備えている構成とした。
この構成によれば、第１個別電極８２ａ及び第１共通電極８１ａ間に電位差を発生させることで、アクチュエータプレート５４の分極方向に交差する方向に電界を発生させることができる。これにより、アクチュエータプレート５４をシェアモード（ルーフシュート型）でＺ方向に変形させることで、圧力室６１の容積を変化させることができる。この場合、シェアモード及びベンドモードの双方の駆動モードによってアクチュエータプレート５４をＺ方向に変形させることができ、圧力室６１の発生圧力を向上させることができる。
しかも、本実施形態では、凹部７６の内側面７６ｂに側面電極８２ａ２が形成されているため、側面電極８２ａ２と第１共通電極８１ａとの間に発生する電位差によってＸ方向の外側に向かうに従い下方に向いた状態で電界が発生する。そのため、アクチュエータプレート５４の変形助長部５４ａが各側壁６２ａ，６２ｂを起点に上方に立ち上がるように変形し易い。つまり、アクチュエータプレート５４が復元する際に、変形助長部５４ａが下方に向かうに従いＸ方向の内側に向けて変形することで、圧力室６１内を効果的に加圧することができる。その結果、圧力室６１内の発生圧力を効果的に向上させることができる。

第１実施形態のヘッドチップ５０において、アクチュエータプレート５４の上面には、第１共通電極８１ａと向かい合うとともに、第２共通電極８１ｂと隣り合う第２個別電極（第２対向電極）８２ｂが形成された構成とした。
この構成によれば、アクチュエータプレート５４の上面において、第２共通電極８１ｂと第２個別電極８２ｂとが隣り合って形成されるので、第２共通電極８１ｂと第２個別電極８２ｂとの間に発生する電位差によってアクチュエータプレート５４をシェアモード（ルーフシュート型）により変形させることができる。
また、第１共通電極８１ａ及び第２個別電極８２ｂ間に発生する電位差によってアクチュエータプレート５４をベンドモードにより変形させることができる。その結果、発生圧力の更なる向上及び、省電力化を図ることができる。

第１実施形態のインクジェットヘッド５及びプリンタ１では、上述したヘッドチップ５０を備えているので、所望の吐出性能が発揮できる高品質なインクジェットヘッド５及びプリンタ１を提供できる。

（第２実施形態）
図２５は、第２実施形態に係るヘッドチップ５０の断面図である。
図２５に示すように、第２実施形態に係るヘッドチップ５０は、第１実施形態に係るヘッドチップ５０に対し、第２個別電極８２ｂ（図４参照）を除いた構成である。したがって、アクチュエータプレート５４の上面には、第２共通電極８１ｂのみしか形成されていない。

第２実施形態によれば、第２個別電極８２ｂを除くことで、電極の面積を削減でき、アクチュエータプレート５４の静電容量を小さくすることができる。そのため、アクチュエータプレート５４の応答性を向上させることができるとともに、アクチュエータプレート５４での発熱も抑制できる。

（第３実施形態）
図２６は、第３実施形態に係るヘッドチップ５０の断面図である。
図２６に示すヘッドチップ５０において、アクチュエータプレート５４の上面のうち、第１共通電極８１ａと向かい合う位置には、第３共通電極３００が形成されている。第３共通電極３００は、第２共通電極８１ｂに対してＸ方向の両側に位置する部分にそれぞれ形成されている。第３共通電極３００は、第２共通電極８１ｂに対してＸ方向に間隔をあけた状態でＹ方向に延びている。

各第３共通電極３００のうち＋Ｘ側に位置する第３共通電極３００ａの一部は、Ｚ方向から見て側壁６２ａと重なり合っている。第３共通電極３００ａは、側壁６２ａ上において＋Ｘ側共通電極８１ａ１とＺ方向で向かい合っている。

各第３共通電極３００のうち－Ｘ側に位置する第３共通電極３００ｂの一部は、Ｚ方向から見て側壁６２ｂと重なり合っている。第３共通電極３００ｂは、側壁６２ｂ上において－Ｘ側共通電極８１ａ２とＺ方向で向かい合っている。なお、隣り合う圧力室６１間において、一の圧力室６１における第３共通電極３００ａと、他の圧力室６１における第３共通電極３００ｂと、は側壁６２ａ，６２ｂ上においてＸ方向に離間している。

第３実施形態のヘッドチップ５０では、アクチュエータプレート５４の上面に共通電極（第２共通電極８１ｂ及び第３共通電極３００）のみが配置されるので、アクチュエータプレート５４の上面での短絡のリスクを抑制できる。なお、第２共通電極８１ｂ及び第３共通電極３００を一体化してもよい。

（第４実施形態）
図２７は、第４実施形態に係るヘッドチップ５０の断面図である。
図２７に示すヘッドチップ５０において、アクチュエータプレート５４の上面には、溝部４００が形成されている。溝部４００は、アクチュエータプレート５４の上面のうち、第２共通電極８１ｂに対してＸ方向の両側にそれぞれ設けられている。図示の例において、溝部４００は、側壁６２ａ，６２ｂとＺ方向で向かい合う位置に設けられている。なお、溝部４００は、対応する圧力室６１とＺ方向で向かい合う位置に設けられていてもよい。

溝部４００におけるＺ方向の深さは、凹部７６におけるＺ方向の深さよりも深い。溝部４００におけるＸ方向の幅は、凹部７６におけるＸ方向の幅よりも狭い。なお、溝部４００におけるＹ方向の長さは、凹部７６におけるＹ方向の長さと同等になっている。但し、溝部４００の各種寸法は、適宜変更が可能である。

溝部４００の内面には、第３共通電極（溝内電極）４０１が形成されている。本実施形態において、第３共通電極４０１は、溝部４００の内面全域に亘って形成されている。但し、第３共通電極４０１は、溝部４００の内面のうち、少なくとも一部に形成されていればよい。

第４実施形態のヘッドチップ５０では、第１個別電極８２ａと第３共通電極４０１との間に生じる電位差によって、アクチュエータプレート５４には分極方向に交差する方向に電界が生じる。その結果、アクチュエータプレート５４の変形助長部５４ａ（凹部７６と溝部４００とで区画された部分）は、シェアモードにより上方に向かうに従いＸ方向の外側に倒れ込むように厚み滑り変形する。これにより、インク吐出時において、溝部４００の容積が拡大又は縮小するように変形助長部５４ａが変形する。すなわち、溝部４００が変形助長部５４ａの変形を許容する逃げ部として機能することから、アクチュエータプレート５４の変形量を確保し易くなり、圧力室６１の発生圧力を向上させることができる。

なお、第４実施形態では、溝部４００に第３共通電極４０１が形成された構成について説明したが、この構成に限られない。例えば図２８に示すように、アクチュエータプレート５４のうち凹部７６に対してＸ方向の両側に溝部４００のみが設けられていてもよい。このような構成においても、アクチュエータプレート５４のうち、各圧力室６１に対応する部分が上方に向けて変形する際に、溝部４００がアクチュエータプレート５４の変形を許容する逃げ部として機能する。これにより、アクチュエータプレート５４の変形量を確保し易くなる。

（第５実施形態）
図２９に示すヘッドチップ５０において、アクチュエータプレート５４の上面のうち、溝部４００に対してＸ方向の内側に位置する部分には、第２個別電極８２ｂが設けられている。第２個別電極８２ｂは、第２共通電極８１ｂと第３共通電極４０１との間に間隔をあけた状態でＹ方向に延びている。

第５実施形態において、インク吐出時には、第２共通電極８１ｂ及び第２個別電極８２ｂ間に生じた電位差により、アクチュエータプレート５４をシェアモードによってＺ方向に厚み滑り変形させることができる。これにより、圧力室６１内の発生圧力を向上させることができる。

（第６実施形態）
図３０に示すヘッドチップ５０において、溝部４００はアクチュエータプレート５４を貫通している。図示の例において、第３共通電極４０１と第１共通電極８１ａとは一体に連なっている。但し、第３共通電極４０１と第１共通電極８１ａとは、離間していてもよい。

第６実施形態では、溝部４００がアクチュエータプレート５４を貫通しているので、インク吐出時における変形助長部５４ａの変形を許容し易い。そのため、圧力室６１の発生圧力を向上させることができる。

（その他の変形例）
なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。

上述した実施形態では、Ｚ方向が重力方向に一致する構成について説明したが、この構成のみに限らず、Ｚ方向を水平方向に沿わせてもよい。
上述した実施形態では、循環式サイドシュートタイプのヘッドチップ５０を例にして説明したが、この構成に限られない。ヘッドチップは、圧力室６１における延在方向（Ｙ方向）の端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプであってもよい。

上述した実施形態では、シェアモード及びベンドモードの双方の変形モードに起因してアクチュエータプレート５４を変形させる構成について説明したが、この構成に限られない。本開示のヘッドチップ５０は、少なくともベンドモードによってアクチュエータプレート５４を変形させてもよい。ベンドモードのみを採用する場合には、少なくとも凹部７６とＺ方向から見て重なり合う位置で、共通電極及び個別電極がアクチュエータプレート５４の両面で向かい合って配置されていればよい。
上述した実施形態では、凹部７６の内面に第１個別電極８２ａが形成され、アクチュエータプレート５４の上面に第２共通電極８１ｂが形成された構成について説明したが、この構成に限られない。凹部７６の内面に共通電極が形成され、アクチュエータプレート５４の上面のうち凹部７６と向かい合う部分に個別電極が形成されていてもよい。

上述した実施形態では、電圧の印加によって圧力室６１の容積が拡大する方向にアクチュエータプレート５４を変形させた後、アクチュエータプレート５４を復元させることで、インクを吐出させる構成（いわゆる、引き打ち）について説明したが、この構成に限られない。本開示に係るヘッドチップは、電圧の印加によって圧力室６１の容積が縮小する方向にアクチュエータプレート５４を変形させることで、インクを吐出させる構成（いわゆる、押し打ち）であってもよい。押し打ちを行う場合、駆動電圧の印加により、アクチュエータプレート５４は、圧力室６１内に向けて膨出するように変形する。これにより、圧力室６１内の容積が減少することで、圧力室６１内の圧力が増加し、圧力室６１内のインクがノズル孔７１を通じて外部に吐出される。駆動電圧をゼロにすると、アクチュエータプレート５４が復元する。その結果、圧力室６１内の容積が元に戻る。なお、押し打ちのヘッドチップは、アクチュエータプレート５４の分極方向、及び電界の向き（共通電極及び個別電極のレイアウト）の何れかを、引き打ちのヘッドチップに対して逆に設定することで実現可能である。

上述した実施形態では、アクチュエータプレート５４の下面に凹部７６を一つ設けた場合について説明したが、この構成に限られない。例えば図３１に示すヘッドチップ５０のように、凹部７６を複数設けてもよい。この場合、例えば第１個別電極８２ａは、複数の凹部７６を跨るように設けてもよく、各凹部７６間で別々に設けてもよい。また、凹部７６は、Ｘ方向及びＹ方向の何れかに複数設けることが可能である。この場合、各凹部７６の寸法は、適宜変更が可能である。
上述した実施形態では、形状変化部としての凹部７６をＹ方向から見て矩形状に形成した場合について説明したが、この構成に限られない。凹部７６は、Ｙ方向から見て台形状や三角形状、半円形状等に形成されていてもよい。

上述した実施形態では、形状変化部の一例として、アクチュエータプレート５４の下面に凹部７６を設けた場合について説明したが、この構成に限られない。形状変化部は、図３２に示すように、アクチュエータプレート５４の下面に対して下方に突出する凸部５００を採用してもよい。この場合、例えば第１個別電極８２ａは、凸部５００の頂面（第１方向を向く端面）５００ａ及び外側面（側面）５００ｂのうち、少なくとも一部に形成されていればよい。図示の例において、第１個別電極８２ａは、頂面５００ａ及び外側面５００ｂの全域に亘って形成されている。

その他、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせてもよい。

１：プリンタ（液体噴射記録装置）
５：インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
５０：ヘッドチップ
５２：流路部材
５４：アクチュエータプレート
６０：流路
６１：圧力室
７６：凹部（形状変化部）
７６ａ：底面（端面）
７６ｂ：内側面（側面）
８１ａ：第１共通電極（第２電極、駆動電極）
８１ｂ：第２共通電極（第１対向電極、駆動電極）
８２ａ：第１個別電極（第１電極、駆動電極）
８２ｂ：第２個別電極（第２対向電極、駆動電極）
４００：溝部
４０１：第３共通電極（溝内電極）
５００：凸部（形状変化部）
５００ａ：頂面（端面）
５００ｂ：外側面（側面）

Claims (9)

1. 液体が収容される圧力室が形成された流路部材と、
   前記圧力室に対して第１方向に向かい合った状態で前記流路部材上に配置されるとともに、前記第１方向を分極方向とするアクチュエータプレートと、
   前記アクチュエータプレートに形成され、前記アクチュエータプレートを前記第１方向に変形させて前記圧力室の容積を変化させる駆動電極と、を備え、
   前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向から見て前記圧力室と重なり合う部分には、前記第１方向で前記流路部材を向く第１面に対して突出する凸部、又は前記第１面に対して窪んだ凹部からなる形状変化部が形成され、
   前記駆動電極は、
   前記形状変化部の表面に形成された第１電極と、
   前記アクチュエータプレートのうち前記第１方向で前記第１面と反対側を向く第２面において前記第１電極と向かい合って形成され、前記第１電極との間で電位差を生じさせる第１対向電極と、を備えているヘッドチップ。
2. 前記形状変化部は、
   前記第１方向を向く端面と、
   前記端面の外周縁及び前記第１面間を接続するとともに、前記第１方向に交差する第２方向を向く側面と、を備え、
   前記第１電極は、前記端面及び前記側面に亘って形成されている請求項１に記載のヘッドチップ。
3. 前記駆動電極は、前記第１面において前記第１電極と隣り合って形成されるとともに、前記第１電極との間で電位差を生じさせる第２電極を備えている請求項１又は請求項２に記載のヘッドチップ。
4. 前記駆動電極は、前記第２面において前記第２電極と向かい合って形成され、かつ前記第１対向電極に隣り合って形成された第２対向電極を備え、
   前記第２対向電極は、前記第２電極との間で前記第１方向に電位差を生じさせるとともに、前記第１対向電極との間で前記第１方向に交差する第２方向に電位差を生じさせる請求項３に記載のヘッドチップ。
5. 前記アクチュエータプレートには、前記第２面に対して前記第１方向に窪む溝部が形成されている請求項１又は請求項２に記載のヘッドチップ。
6. 前記溝部は、前記アクチュエータプレートを前記第１方向に貫通している請求項５に記載のヘッドチップ。
7. 前記溝部の内面には、前記第１電極との間で電位差を発生させる溝内電極が形成されている請求項５に記載のヘッドチップ。
8. 請求項１又は請求項２に記載のヘッドチップを備えている液体噴射ヘッド。
9. 請求項８に記載の液体噴射ヘッドを備えている液体噴射記録装置。

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