JP7220328B1 - ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】圧力室内のインクに対して効果的に弾性エネルギーを伝え、圧力室の発生圧力を向上させることができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供する。【解決手段】本開示の一態様に係るヘッドチップは、第１方向に貫通する圧力室が第１方向に交差する第２方向に複数配列された流路部材と、第１方向に変形可能なアクチュエータプレートを含み、圧力室を第１方向の第１側から閉塞した状態で流路部材上に接合された第１部材と、圧力室に連通する噴射孔が形成された噴射孔プレートを含み、圧力室を第１方向のうち第１側と反対側である第２側から閉塞した状態で流路部材上に接合された第２部材と、を備えている。流路部材は、隣り合う圧力室同士を区画する区画壁を備えている。区画壁と第２部材との接合面積は、区画壁と第１部材との接合面積よりも大きい。【選択図】図４

Description

本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置に関する。

インクジェットプリンタに搭載されるヘッドチップは、圧力室が形成された流路部材と、圧力室の一面を閉塞する圧電材料からなるアクチュエータプレートと、を備えている（例えば、下記特許文献１参照）。この種のヘッドチップでは、アクチュエータプレートに発生させた電界によってアクチュエータプレートを変形させることで、圧力室の容積を拡大又は縮小させる。これにより、圧力室内に圧力変動が生じることで、圧力室内のインクが、ノズル孔を通じて吐出される。

特開平１０－５８６７４号公報

近時では、ノズル密度の向上等を目的として、流路部材のうち隣り合う圧力室間を仕切る部分（区画壁）の幅が狭くなる傾向にある。区画壁の幅が狭くなると、区画壁の剛性が低下する。この場合、インク吐出時において、アクチュエータプレートの変形により発生する弾性エネルギーが、区画壁の変形によって吸収されるおそれがあった。すなわち、従来のヘッドチップにあっては、圧力室内のインクに対して効果的に弾性エネルギーを伝えることが難しく、圧力室の発生圧力を向上させる点で改善の余地があった。

本開示は、圧力室内のインクに対して効果的に弾性エネルギーを伝え、圧力室の発生圧力を向上させることができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供する。

上記課題を解決するために、本開示は以下の態様を採用した。
（１）本開示の一態様に係るヘッドチップは、第１方向に貫通する圧力室が前記第１方向に交差する第２方向に複数配列された流路部材と、前記第１方向に変形可能なアクチュエータプレートを含み、前記圧力室を前記第１方向の第１側から閉塞した状態で前記流路部材上に接合された第１部材と、前記圧力室に連通する噴射孔が形成された噴射孔プレートを含み、前記圧力室を前記第１方向のうち第１側と反対側である第２側から閉塞した状態で前記流路部材上に接合された第２部材と、を備え、前記流路部材は、隣り合う前記圧力室同士を区画する区画壁を備え、前記区画壁と前記第２部材との接合面積は、前記区画壁と前記第１部材との接合面積よりも大きい。
本態様によれば、区画壁と第２部材との接合面積を、区画壁と第１部材との接合面積と同等にする場合に比べ、圧力室の容積を確保した上で、区画壁の剛性を確保できる。これにより、アクチュエータプレートの変形に伴う圧力室内の圧力変動時において、区画壁の変形を抑制できるので、圧力室内の液体に対して効果的に弾性エネルギーを伝えることができる。その結果、圧力室の発生圧力を向上させることができる。

（２）上記（１）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記区画壁のうち、隣り合う前記圧力室間を前記第２方向に区画する部分は、前記第１方向の第１側に位置するものほど、前記第２方向の寸法が小さくなる段付き形状に形成されていることが好ましい。
本態様によれば、圧力室の容積を確保した上で、所望の発生圧力を得ることができる。また、例えば区画壁をテーパ状に形成する場合に比べ、加工性を向上させることができる。

（３）上記（１）又は（２））の態様に係るヘッドチップにおいて、前記流路部材のうち、前記第１方向から見て前記第２方向に交差する第３方向で前記圧力室に対して一方側に位置する部分には、共通流路が形成され、前記区画壁には、前記第３方向に延びるとともに、前記共通流路と複数の前記圧力室とを各別に接続する複数の連通路が形成され、前記連通路の前記第３方向に直交する流路断面積は、前記圧力室の前記第３方向に直交する流路断面積よりも小さいことが好ましい。
本態様によれば、隣り合う圧力室間の距離に比べて、隣り合う連通路間の距離を長くすることができる。これにより、隣り合う圧力室間において、共通流路を通じた圧力室間の距離を確保できる。そのため、一の圧力室での圧力変動が共通流路及び入口側連通路を通じて他の圧力室に伝播される、いわゆるクロストークを抑制できる。しかも、連通路の流路断面積が、圧力室の流路断面積よりも小さいため、連通路を通じて共通流路から圧力室に圧力変動が伝播することを抑制し易い。

（４）上記（１）から（３）の何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記圧力室は、前記第３方向で前記連通路から離れるに従い前記第３方向に直交する流路断面積が漸次大きくなっていることが好ましい。
本態様によれば、連通路から圧力室内に流入する液体を、圧力室内でスムーズに流通させることができる。

（５）上記（１）から（４）の何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記流路部材は、前記圧力室に面する部分であって、前記第１方向から見て前記噴射孔と重なり合わない位置に、前記区画壁のうち前記第１方向に交差する方向で向かい合う部分同士を接続する接続部を備えていることが好ましい。
本態様によれば、区画壁のうち向かい合う部分同士が接続部によって接続されているため、区画壁の剛性を向上させることができる。その結果、アクチュエータプレートの変形に伴う圧力室内の圧力変動時において、区画壁の変形を抑制できるので、圧力室内の液チアに対して効果的に弾性エネルギーを伝えることができる。よって、圧力室の発生圧力を向上させることができる。
しかも、流路部材の下面を加工して圧力室を貫通させる際に、区画壁のうち向かい合う部分同士が分離しないので、製造効率や歩留まりの向上を図ることができる。

（６）上記（１）から（５）の何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記アクチュエータプレートは、前記第１方向を分極方向に設定されており、前記アクチュエータプレートのうち、前記第１方向の第１側を向く第１面に形成された第１電極と、前記アクチュエータプレートのうち、前記第１方向の第２側を向く第２面において、前記第１電極に向かい合って形成され、前記第１電極との間で電位差を生じさせる第１対向電極と、前記アクチュエータプレートのうち、前記第２面において前記第１対向電極と隣り合って形成されるとともに、前記第１対向電極との間で電位差を生じさせる第２電極と、を備えていることが好ましい。
本態様によれば、第１電極及び第２電極間に電位差を発生させることで、アクチュエータプレートの分極方向に交差する方向に電界を発生させることができる。これにより、アクチュエータプレートをシェアモード（ルーフシュート型）で第１方向に変形させることで、圧力室の容積を変化させることができる。また、第１電極及び第１対向電極間に電位差を発生させることで、アクチュエータプレートの分極方向にも電界を発生させることができる。これにより、アクチュエータプレートをベンドモード（バイモルフ型）で第１方向に変形させることで、圧力室の容積を変化させることができる。すなわち、シェアモード及びベンドモードの双方でアクチュエータプレートを第１方向に変形させることで、液体吐出時における圧力室内の発生圧力を向上させることができる。

（７）上記（１）から（６）の何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記噴射孔プレートは、金属製であることが好ましい。
本態様によれば、噴射孔プレートの剛性を確保し易くなるので、アクチュエータプレートの変形に伴う圧力室内の圧力変動時において、噴射孔プレートが変形し難くなる。そのため、アクチュエータプレートの変形が液体に伝播し易くなり、所望の発生圧力を得やすい。

（８）上記（１）から（７）の何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記噴射孔プレートは、前記流路部材に直接接合されていることが好ましい。
本態様によれば、第２部材を噴射孔プレートの単一部材により構成できる。これにより、流路部材への第２部材の接合工程を簡略化することができ、低コスト化や歩留まりの向上を図ることができる。また、接合工程を簡略化することで、ヘッドチップの組立後において、接合部分に起因したヘッドチップの不具合等の発生を抑制できる。

（９）本開示に係る液体噴射ヘッドは、上記（１）から（８）の何れかの態様に係るヘッドチップを備えている。
本態様によれば、上記態様に係るヘッドチップを備えているので、所望の噴射性能が発揮できる高品質な液体噴射ヘッドを提供できる。

（１０）本開示の一態様に係る液体噴射記録装置は、上記（８）の態様に係る液体噴射ヘッドを備えている。
本態様によれば、上記態様に係る液体噴射ヘッドを備えているので、所望の噴射性能が発揮できる高品質な液体噴射記録装置を提供できる。

本開示の一態様によれば、圧力室内のインクに対して効果的に弾性エネルギーを伝え、圧力室の発生圧力を向上させることができる。

第１実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッド及びインク循環機構の概略構成図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図である。 図３のＩＶ－ＩＶ線に対応するヘッドチップの断面図である。 図４のＶ－Ｖ線に対応するヘッドチップの断面図である。 第１実施形態に係る流路部材の平面図である。 第１実施形態に係る流路部材の拡大斜視図である。 第１実施形態に係るアクチュエータプレートの底面図である。 第１実施形態に係るアクチュエータプレートの平面図である。 第１実施形態に係るカバープレートの平面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップについて、インク吐出時における変形の挙動を説明するための説明図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するためのフローチャートである。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図５に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図５に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図５に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図５に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図５に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの製造方法を説明するための工程図であって、図４に対応する断面図である。 第２実施形態に係るヘッドチップにおいて、図４に対応する断面図である。 第２実施形態に係るヘッドチップにおいて、図５に対応する断面図である。 第２実施形態に係るヘッドチップにおいて、図７に対応する斜視図である。 第３実施形態に係るヘッドチップにおいて、図４に対応する断面図である。 第３実施形態に係るヘッドチップにおいて、図５に対応する断面図である。 第３実施形態に係るヘッドチップにおいて、図７に対応する斜視図である。 第４実施形態に係るヘッドチップにおいて、図４に対応する断面図である。 第４実施形態に係るヘッドチップにおいて、図５に対応する断面図である。 第４実施形態に係るヘッドチップにおいて、図７に対応する斜視図である。

以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する実施形態や変形例において、対応する構成については同一の符号を付して説明を省略する場合がある。以下の説明において、例えば「平行」や「直交」、「中心」、「同軸」等の相対的又は絶対的な配置を示す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差や同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。以下の実施形態では、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

（第１実施形態）
［プリンタ１］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インクタンク４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インク循環機構６と、走査機構７と、を備えている。

以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。この場合、Ｘ方向は被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向（副走査方向）に一致している。Ｙ方向は走査機構７の走査方向（主走査方向）に一致している。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する高さ方向（重力方向）を示している。以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のうち、図中矢印側をプラス（＋）側とし、矢印とは反対側をマイナス（－）側として説明する。本明細書において、＋Ｚ側は重力方向の上方に相当し、－Ｚ側は重力方向の下方に相当する。

搬送機構２，３は、被記録媒体Ｐを＋Ｘ側に搬送する。搬送機構２，３は、例えばＹ方向に延びる一対のローラ１１，１２をそれぞれ含んでいる。
インクタンク４には、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク４に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。

図２は、インクジェットヘッド５及びインク循環機構６の概略構成図である。
図１、図２に示すように、インク循環機構６は、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させる。具体的に、インク循環機構６は、インク供給管２１及びインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。

加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を通してインクジェットヘッド５にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インク排出管２２内を通してインクジェットヘッド５からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を通して循環可能となっている。

図１に示すように、走査機構７は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。走査機構７は、Ｙ方向に延びるガイドレール２８と、ガイドレール２８に移動可能に支持されたキャリッジ２９と、を備えている。

＜インクジェットヘッド５＞
インクジェットヘッド５は、キャリッジ２９に搭載されている。図示の例では、複数のインクジェットヘッド５が、一つのキャリッジ２９にＹ方向に並んで搭載されている。インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ５０（図３参照）と、インク循環機構６及びヘッドチップ５０間を接続するインク供給部（不図示）と、ヘッドチップ５０に駆動電圧を印加する制御部（不図示）と、を備えている。

＜ヘッドチップ５０＞
図３は、ヘッドチップ５０の分解斜視図である。図４は、図３のＩＶ－ＩＶ線に対応するヘッドチップ５０の断面図である。図５は、図３のＶ－Ｖ線に対応するヘッドチップ５０の断面図である。
図３～図５に示すヘッドチップ５０は、インクタンク４との間でインクを循環させるとともに、後述する圧力室６１における延在方向（Ｙ方向）の中央部からインクを吐出する、いわゆる循環式サイドシュートタイプのヘッドチップ５０である。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１と、流路部材５２と、第１フィルム５３と、アクチュエータプレート５４と、第２フィルム５５と、カバープレート５６と、を備えている。以下の説明では、Ｚ方向のうち、ノズルプレート５１からカバープレート５６に向かう方向（＋Ｚ側）を上側とし、カバープレート５６からノズルプレート５１に向かう方向（－Ｚ側）を下側として説明する場合がある。

流路部材５２は、Ｚ方向を厚さ方向とした板状である。流路部材５２は、インク耐性を有する材料により形成されている。このような材料として、例えば金属や金属酸化物、ガラス、樹脂、セラミックス等が採用可能である。流路部材５２には、インクが流通する流路６０と、流路６０に連通するとともにインクが収容される複数の圧力室６１と、が形成されている。

図６は、流路部材５２の平面図である。
図６に示すように、各圧力室６１は、Ｘ方向に間隔をあけて並んでいる。各圧力室６１は、Ｙ方向に直線状に延びる溝状に形成されている。各圧力室６１は、Ｙ方向の全域に亘って流路部材５２を貫通している。但し、圧力室６１は、Ｙ方向の一部において流路部材５２を貫通していてもよい。なお、第１実施形態では、チャネル延在方向がＹ方向に一致する構成について説明するが、チャネル延在方向がＹ方向に交差していてもよい。また、圧力室６１の平面視形状は、長方形状（Ｘ方向及びＹ方向のうち、何れか一方を長手方向とし、他方を短手方向とする形状）に限られない。圧力室６１の平面視形状は、正方形状や三角形状等の多角形状、円形状、楕円形状等であってもよい。

平面視において、Ｘ方向で隣り合う圧力室６１同士は、それぞれ区画壁６２によって区画されている。区画壁６２は、平面視において、圧力室６１の周囲を取り囲んでいる。具体的に、区画壁６２は、圧力室６１に対して＋Ｘ側に位置する＋Ｘ側側壁６２ａと、圧力室６１に対して－Ｘ側に位置する－Ｘ側側壁６２ｂと、圧力室６１に対して＋Ｙ側に位置する＋Ｙ側端壁６２ｃと、圧力室６１に対して－Ｙ側に位置する－Ｙ側端壁６２ｄと、を備えている。

側壁６２ａ，６２ｂは、流路部材５２のうち隣り合う圧力室６１間に位置する部分であって、隣り合う圧力室６１間をＸ方向に仕切っている。第１実施形態において、一の圧力室６１に対応する＋Ｘ側側壁６２ａは、一の圧力室６１に＋Ｘ側で隣り合う他の圧力室６１に対応する－Ｘ側側壁６２ｂと共用している。また、一の圧力室６１に対応する－Ｘ側側壁６２ｂは、一の圧力室６１に－Ｘ側で隣り合う他の圧力室６１に対応する＋Ｘ側側壁６２ａと共用している。また、各側壁６２ａ，６２ｂは、何れも同様の構成をなしている。したがって、以下の説明では、各側壁６２ａ，６２ｂのうち＋Ｘ側側壁６２ａを例にして説明する。

図７は、流路部材５２の拡大斜視図である。
図４、図５、図７に示すように、＋Ｘ側側壁６２ａは、Ｙ方向から見て、上方に位置するものほどＸ方向の幅が狭い段付き形状に形成されている。＋Ｘ側側壁６２ａは、幅広部６３と、幅狭部６４と、を備えている。
幅広部６３は、＋Ｘ側側壁６２ａの下部を構成している。幅広部６３は、Ｘ方向の幅がＹ方向及びＺ方向で一様に形成されている。但し、幅広部６３は、Ｘ方向の幅をＹ方向又はＺ方向の位置に応じて異ならせてもよい。

幅広部６３は、幅広部６３におけるＹ方向の中央部に位置する中央幅広部６３ａと、中央幅広部６３ａに対して＋Ｙ側に連なる＋Ｙ側幅広部６３ｂと、中央幅広部６３ａに対して－Ｙ側に連なる－Ｙ側幅広部６３ｃと、を備えている。
中央幅広部６３ａは、Ｚ方向の高さがＹ方向で一様に形成されている。すなわち、中央幅広部６３ａの上下面は、ＸＹ平面に沿って配置されている。但し、圧力室６１の深さに対する中央幅広部６３ａの高さは、適宜変更が可能である。

＋Ｙ側幅広部６３ｂは、＋Ｙ側に向かうに従いＺ方向の高さが漸次高くなっている。具体的に、＋Ｙ側幅広部６３ｂの下面は、中央幅広部６３ａの下面と面一に配置されている。＋Ｙ側幅広部６３ｂの上面は、＋Ｙ側に向かうに従い上方に延びる湾曲面（傾斜面）に形成されている。＋Ｙ側幅広部６３ｂの最大高さ（＋Ｙ側端縁での高さ）は、＋Ｙ側端壁６２ｃの高さと同等になっている。但し、＋Ｙ側幅広部６３ｂの最大高さは、＋Ｙ側端壁６２ｃよりも低くてもよい。＋Ｙ側幅広部６３ｂにおけるＹ方向の長さは、中央幅広部６３ａの長さよりも短い。

－Ｙ側幅広部６３ｃは、Ｘ方向から見て＋Ｙ側幅広部６３ｂに対して対称に形成されている。具体的に、－Ｙ側幅広部６３ｃは、－Ｙ側に向かうに従いＺ方向の高さが漸次高くなっている。具体的に、－Ｙ側幅広部６３ｃの下面は、中央幅広部６３ａの下面と面一に配置されている。－Ｙ側幅広部６３ｃの上面は、＋Ｙ側に向かうに従い上方に延びる湾曲面（傾斜面）に形成されている。－Ｙ側幅広部６３ｃの最大高さ（－Ｙ側端縁での高さ）は、－Ｙ側端壁６２ｄの高さと同等になっている。但し、－Ｙ側幅広部６３ｃの最大高さは、－Ｙ側端壁６２ｄよりも低くてもよい。なお、＋Ｙ側幅広部６３ｂと－Ｙ側幅広部６３ｃとは、互いに異なっていてもよい。

幅狭部６４は、幅広部６３におけるＸ方向の中央部から上方に突出している。幅狭部６４は、Ｘ方向の幅がＹ方向で一様に形成されている。但し、幅狭部６４の幅は、Ｙ方向の位置に応じて異ならせてもよい。

幅狭部６４は、幅狭部６４におけるＹ方向の中央部に位置する中央幅狭部６４ａと、中央幅狭部６４ａに対して＋Ｙ側に連なる＋Ｙ側幅狭部６４ｂと、中央幅狭部６４ａに対して－Ｙ側に連なる－Ｙ側幅狭部６４ｃと、を備えている。
中央幅狭部６４ａは、中央幅広部６３ａにおけるＸ方向の中央部から上方に突出している。中央幅狭部６４ａは、Ｚ方向の高さがＹ方向で一様に形成されている。すなわち、中央幅狭部６４ａの上下面は、ＸＹ平面に沿って配置されている。

＋Ｙ側幅狭部６４ｂは、＋Ｙ側幅広部６３ｂにおけるＸ方向の中央部から上方に突出している。＋Ｙ側幅狭部６４ｂの上面は、中央幅狭部６４ａの上面と面一に配置されている。したがって、＋Ｙ側幅狭部６４ｂは、＋Ｙ側に向かうに従いＺ方向の高さが漸次低くなっている。
－Ｙ側幅狭部６４ｃは、－Ｙ側幅広部６３ｃにおけるＸ方向の中央部から上方に突出している。－Ｙ側幅狭部６４ｃの上面は、中央幅狭部６４ａの上面と面一に配置されている。したがって、－Ｙ側幅狭部６４ｃは、－Ｙ側に向かうに従いＺ方向の高さが漸次低くなっている。

第１実施形態において、圧力室６１におけるＹ方向に直交する流路断面積は、Ｙ方向の両端部から中央部に向かうに従い漸次大きくなっている。具体的に、圧力室６１内のうち＋Ｙ側幅狭部６４ｂ及び＋Ｙ側幅狭部６４ｂの領域は、Ｙ方向の内側に向かうに従い流路断面積が大きくなっている。圧力室６１内のうち、－Ｙ側幅広部６３ｃ及び－Ｙ側幅狭部６４ｃの領域は、Ｙ方向の内側に向かうに従い流路断面積が大きくなっている。一方、圧力室６１内のうち、中央幅広部６３ａ及び中央幅狭部６４ａの領域は、流路断面積が一様になっている。

図３、図５、図７に示すように、＋Ｙ側端壁６２ｃは、一の圧力室６１を形成する側壁６２ａ，６２ｂの＋Ｙ側端部同士の間を架け渡している。＋Ｙ側端壁６２ｃの下面は、側壁６２ａ，６２ｂ（幅広部６３）の下面と面一に配置されている。＋Ｙ側端壁６２ｃの上面は、側壁６２ａ，６２ｂ（幅狭部６４）の上面と面一に配置されている。
－Ｙ側端壁６２ｄは、一の圧力室６１を形成する側壁６２ａ，６２ｂの－Ｙ側端部同士の間を架け渡している。－Ｙ側端壁６２ｄの下面は、側壁６２ａ，６２ｂ（幅広部６３）の下面と面一に配置されている。－Ｙ側端壁６２ｄの上面は、側壁６２ａ，６２ｂ（幅狭部６４）の上面と面一に配置されている。

図３、図６に示すように、流路６０は、入口側共通流路６５と、入口側連通路６６と、出口側共通流路６７と、出口側連通路６８と、バイパス路６９と、を含んでいる。
入口側共通流路６５は、流路部材５２のうち各圧力室６１に対して＋Ｙ側に位置する部分をＸ方向に延びている。入口側共通流路６５と各圧力室６１とは、各圧力室６１の＋Ｙ側端壁６２ｃによって仕切られている。入口側共通流路６５における－Ｘ側端部は、入口ポート（不図示）に接続される。入口ポートは、インク供給管２１（図２参照）に直接的又は間接的に接続されている。すなわち、インク供給管２１内を流れるインクは、入口ポートを通じて入口側共通流路６５に供給される。

入口側連通路６６は、入口側共通流路６５のうち各Ｘ方向から見て各圧力室６１と重なり合う部分から－Ｙ側に向けてそれぞれ分岐することで、入口側共通流路６５と各圧力室６１との間をそれぞれ接続している。具体的に、各入口側連通路６６は、各圧力室６１の＋Ｙ側端壁６２ｃをＹ方向及びＺ方向に貫通している。各入口側連通路６６は、各＋Ｙ側端壁６２ｃにおけるＸ方向の中央部に、Ｙ方向の全長に亘って一様な深さで形成されている。すなわち、各入口側連通路６６におけるＹ方向に直交する流路断面積は、Ｙ方向の全長に亘って一様になっている。

入口側連通路６６におけるＸ方向の幅は、隣り合う幅広部６３間の距離と同等であって、隣り合う幅狭部６４間の距離よりも小さくなっている。したがって、入口側連通路６６の流路断面積は、圧力室６１の最大流路断面積よりも小さくなっている。

出口側共通流路６７は、流路部材５２のうち各圧力室６１に対して－Ｙ側に位置する部分をＸ方向に延びている。出口側共通流路６７と各圧力室６１とは、各圧力室６１の－Ｙ側端壁６２ｄによって仕切られている。出口側共通流路６７における＋Ｘ側端部は、出口ポート（不図示）に接続される。出口ポートは、インク排出管２２（図２参照）に直接的又は間接的に接続されている。すなわち、出口側共通流路６７内を流れるインクは、出口ポートを通じてインク排出管２２に供給される。

出口側連通路６８は、出口側共通流路６７のうちＸ方向から見て各圧力室６１と重なり合う部分から＋Ｙ側に向けてそれぞれ分岐することで、出口側共通流路６７と各圧力室６１との間をそれぞれ接続している。具体的に、各圧力室６１の－Ｙ側端壁６２ｄをＹ方向及びＺ方向に貫通している。第１実施形態において、各出口側連通路６８は、各－Ｙ側端壁６２ｄにおけるＸ方向の中央部に、Ｙ方向の全長に亘って一様な深さで形成されている。すなわち、各出口側連通路６８におけるＹ方向に直交する流路断面積は、Ｙ方向の全長に亘って一様になっている。

出口側連通路６８におけるＸ方向の幅は、隣り合う幅広部６３間の距離と同等であって、隣り合う幅狭部６４間の距離よりも小さくなっている。したがって、出口側連通路６８の流路断面積は、圧力室６１の最大流路断面積よりも小さくなっている。但し、圧力室６１や連通路６６，６８の寸法は適宜変更が可能である。

バイパス路６９は、入口側共通流路６５及び出口側共通流路６７の＋Ｘ側端部同士及び－Ｘ側端部同士を各別に接続している。

図４、図５に示すように、ノズルプレート５１は、流路部材５２の下面に接着等によって固定されている。すなわち、ノズルプレート５１は、流路部材５２のうち区画壁６２（幅広部６３及び端壁６２ｃ，６２ｄ）の下面を含む部分に接合されている。ノズルプレート５１は、流路６０及び圧力室６１の下端開口部を閉塞している。第１実施形態において、ノズルプレート５１は、ＳＵＳやＮｉ－Ｐｄ等の金属材料により形成されている。但し、ノズルプレート５１は、金属材料の他、樹脂材料（例えば、ポリイミド等）、ガラス、シリコン等による単層構造、又は積層構造であってもよい。

ノズルプレート５１には、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数のノズル孔７１が形成されている。各ノズル孔７１は、Ｘ方向に間隔をあけて配置されている。各ノズル孔７１は、対応する圧力室６１それぞれに対し、Ｘ方向及びＹ方向の中央部で連通している。第１実施形態において、各ノズル孔７１は、例えば上方から下方に向かうに従い内径が漸次縮小するテーパ状に形成されている。第１実施形態では、複数の圧力室６１及び複数のノズル孔７１がＸ方向に一列に並んだ構成について説明したが、この構成に限られない。Ｘ方向に並んだ複数の圧力室６１及び複数のノズル孔７１をノズル列とすると、ノズル列がＹ方向に間隔をあけて複数列設けられていてもよい。

第１フィルム５３は、流路部材５２の上面に接着等によって固定されている。第１フィルム５３は、流路部材５２の上面全域に亘って配置されている。すなわち、第１フィルム５３は、流路部材５２のうち区画壁６２（幅狭部６４及び端壁６２ｃ，６２ｄ）の上面を含む部分に接合されている。このように、流路部材５２のうち、幅広部６３を含む下面がノズルプレート５１に接合される一方、幅狭部６４を含む上面が第１フィルム５３に接合されている。したがって、区画壁６２とノズルプレート５１との接合面積は、区画壁６２と第１フィルム５３との接合面積よりも大きくなっている。

第１フィルム５３は、流路６０及び各圧力室６１の上端開口部を閉塞している。第１フィルム５３は、絶縁性及びインク耐性を有し、弾性変形可能な材料により形成されている。このような材料として、第１フィルム５３は、例えば樹脂材料（ポリイミド系やエポキシ系、ポリプロピレン系等）により形成されている。

アクチュエータプレート５４は、Ｚ方向を厚さ方向として、第１フィルム５３の上面に接着等により固定されている。アクチュエータプレート５４は、第１フィルム５３を間に挟んで各圧力室６１とＺ方向で向かい合っている。なお、アクチュエータプレート５４は、各圧力室６１をまとめて覆う構成に限らず、各圧力室６１毎に個別に設けられていてもよい。

アクチュエータプレート５４は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されている。アクチュエータプレート５４は、分極方向が＋Ｚ側の一方向を向くように設定されている。アクチュエータプレート５４の両面には、駆動配線７５が形成されている。アクチュエータプレート５４は、駆動配線７５により印加される電圧によって電界が発生することで、Ｚ方向に変形可能に構成されている。アクチュエータプレート５４は、Ｚ方向の変形によって圧力室６１内の容積を拡大又は縮小させることで、圧力室６１内からインクを吐出させる。なお、駆動配線７５の構成については後述する。

第２フィルム５５は、アクチュエータプレート５４の上面に接着等によって固定されている。第１実施形態において、第２フィルム５５は、アクチュエータプレート５４の上面全域を覆っている。第２フィルム５５は、絶縁性を有し、弾性変形可能な材料により形成されている。このような材料として、第１フィルム５３と同様の材料を採用することができる。なお、第２フィルム５５は、必須の構成ではない。例えばエポキシ系接着剤やアクリル系接着剤を含む接着剤層を介してアクチュエータプレート５４とカバープレート５６とが接合されていてもよい。

カバープレート５６は、Ｚ方向を厚さ方向として、第２フィルム５５の上面に接着等により固定されている。カバープレート５６におけるＺ方向の厚さは、アクチュエータプレート５４や流路部材５２、各フィルム５３，５５よりも厚い。第１実施形態において、カバープレート５６は、絶縁性を有する材料（例えば、金属酸化物、ガラス、樹脂、セラミックス等）により形成されている。

続いて、駆動配線７５の構造について説明する。図８は、アクチュエータプレート５４の底面図である。図９は、アクチュエータプレート５４の平面図である。図１０は、カバープレート５６の平面図である。駆動配線７５は、各圧力室６１に対応して設けられている。隣り合う圧力室６１に対応する駆動配線７５同士は、互いに同様の構成になっている。以下の説明では、複数の圧力室６１のうち一の圧力室６１に対応して設けられた駆動配線７５を例にして説明し、他の圧力室６１に対応する駆動配線７５については説明を適宜省略する。
図８、図９に示すように、駆動配線７５は、共通配線８１と、個別配線８２と、を備えている。
共通配線８１は、第１共通電極８１ａと、第２共通電極８１ｂと、下面引き回し配線８１ｃと、上面引き回し配線８１ｄと、共通パッド８１ｅと、貫通配線８１ｆと、を備えている。

図４、図８に示すように、第１共通電極８１ａは、アクチュエータプレート５４の下面において、各側壁６２ａ，６２ｂとＺ方向から見て重なり合う位置にそれぞれ形成されている。具体的に、各第１共通電極８１ａのうち＋Ｘ側に位置する第１共通電極８１ａ（以下、＋Ｘ側共通電極８１ａ１という。）の全体は、側壁６２ａ（少なくとも幅狭部６４）とＺ方向から見て重なり合っている。一方、各第１共通電極８１ａのうち－Ｘ側に位置する第１共通電極８１ａ（以下、－Ｘ側共通電極８１ａ２という。）の全体は、側壁６２ｂ（少なくとも幅狭部６４）とＺ方向から見て重なり合っている。各第１共通電極８１ａは、圧力室６１と同等の長さでＹ方向に直線状に延びている。第１実施形態において、一の圧力室６１に対応する＋Ｘ側共通電極８１ａ１は、一の圧力室６１に対して＋Ｘ側に隣り合う他の圧力室６１の－Ｘ側共通電極８１ａ２と共用している。一方、一の圧力室６１に対応する－Ｘ側共通電極８１ａ２は、一の圧力室６１に対して－Ｘ側に隣り合う他の圧力室６１の＋Ｘ側共通電極８１ａ１と共用している。なお、各圧力室６１間において、共通電極８１ａ１，８１ａ２同士は、互いに分離していてもよい。

図４、図９に示すように、第２共通電極８１ｂは、アクチュエータプレート５４の上面において、対応する圧力室６１とＺ方向から見て重なり合い、かつＺ方向から見て第１共通電極８１ａと重なり合わない位置に配置されている。図示の例において、第２共通電極８１ｂは、圧力室６１におけるＸ方向の中央部を含む領域に形成されている。第２共通電極８１ｂは、圧力室６１と同等の長さでＹ方向に直線状に延びている。

図４、図８に示すように、下面引き回し配線８１ｃは、アクチュエータプレート５４の下面において、各第１共通電極８１ａにまとめて接続されている。下面引き回し配線８１ｃは、各第１共通電極８１ａにおける－Ｙ側端部に接続された状態でＸ方向に延びている。

図４、図９に示すように、上面引き回し配線８１ｄは、アクチュエータプレート５４の上面において、第２共通電極８１ｂに接続されている。上面引き回し配線８１ｄは、第２共通電極８１ｂにおける－Ｙ側端部に接続された状態でＸ方向に延びている。

図１０に示すように、共通パッド８１ｅは、カバープレート５６の上面に形成されている。共通パッド８１ｅは、カバープレート５６の上面のうち、Ｚ方向から見て圧力室６１と重なり合う部分をＹ方向に延びている。

貫通配線８１ｆは、下面引き回し配線８１ｃ、上面引き回し配線８１ｄ及び共通パッド８１ｅ間を接続している。貫通配線８１ｆは、アクチュエータプレート５４、第２フィルム５５及びカバープレート５６をＺ方向に貫通して設けられている。具体的に、アクチュエータプレート５４、第２フィルム５５及びカバープレート５６のうち引き回し配線８１ｃ，８１ｄに対して－Ｙ側に位置する部分には、共通配線用孔９１が形成されている。共通配線用孔９１は、各圧力室６１毎に個別に形成されている。下面引き回し配線８１ｃ、上面引き回し配線８１ｄ及び共通パッド８１ｅにおける－Ｙ側端縁は、共通配線用孔９１の開口縁において、貫通配線８１ｆに接続されている。なお、貫通配線８１ｆ及び共通配線用孔９１は、各圧力室６１に対して一括で設けられていてもよい。この場合、共通配線用孔９１は、各圧力室６１を跨る長さでＸ方向に延びる。

図８、図９に示すように、個別配線８２は、第１個別電極８２ａと、第２個別電極８２ｂと、下面引き回し配線８２ｃと、上面引き回し配線８２ｄと、個別パッド８２ｅと、貫通配線８２ｆと、を備えている。

図４、図８に示すように、第１個別電極８２ａは、第１共通電極８１ａとの間で電位差を生じさせるとともに、第２共通電極８１ｂとの間で電位差を生じさせる。第１個別電極８２ａの少なくとも一部は、第２共通電極８１ｂとＺ方向から見て重なり合っている。第１個別電極８２ａは、アクチュエータプレート５４の下面において、各第１共通電極８１ａの間に形成されている。第１個別電極８２ａは、各第１共通電極８１ａに対してＸ方向に間隔をあけた状態でＹ方向に延びている。

図４、図９に示すように、第２個別電極８２ｂは、第２共通電極８１ｂとの間で電位差を生じさせるとともに、第１共通電極８１ａとの間で電位差を生じさせる。第２個別電極８２ｂは、アクチュエータプレート５４の上面において、第２共通電極８１ｂに対してＸ方向の両側に位置する部分にそれぞれ形成されている。各第２個別電極８２ｂは、第２共通電極８１ｂに対してＸ方向に間隔をあけた状態でＹ方向に延びている。第２個別電極８２ｂにおけるＸ方向の幅は、第１共通電極８１ａにおけるＸ方向の幅よりも狭い。

図４、図９に示すように、各第２個別電極８２ｂのうち＋Ｘ側に位置する第２個別電極８２ｂ（以下、＋Ｘ側個別電極８２ｂ１という。）は、＋Ｘ側共通電極８１ａ１との間で電位差を生じさせる。＋Ｘ側個別電極８２ｂ１の一部は、Ｚ方向から見て側壁６２ａと重なり合っている。＋Ｘ側個別電極８２ｂ１は、側壁６２ａ上において＋Ｘ側共通電極８１ａ１とＺ方向で向かい合っている。

各第２個別電極８２ｂのうち－Ｘ側に位置する第２個別電極８２ｂ（以下、－Ｘ側個別電極８２ｂ２という。）は、－Ｘ側共通電極８１ａ２との間で電位差を生じさせる。－Ｘ側個別電極８２ｂ１の一部は、Ｚ方向から見て側壁６２ｂと重なり合っている。－Ｘ側個別電極８２ｂ２は、側壁６２ｂ上において－Ｘ側共通電極８１ａ２とＺ方向で向かい合っている。なお、隣り合う圧力室６１間において、一の圧力室６１における＋Ｘ側個別電極８２ｂ１と、他の圧力室６１における－Ｘ側個別電極８２ｂ２と、は側壁６２ａ，６２ｂ上においてＸ方向に離間している。

図８に示すように、下面引き回し配線８２ｃは、アクチュエータプレート５４の下面において、第１個別電極８２ａに接続されている。下面引き回し配線８２ｃは、第１個別電極８２ａにおける＋Ｙ側端部からＸ方向の両側に延びている。隣り合う圧力室６１に対応する下面引き回し配線８２ｃ同士は、互いに分離されている。
図９に示すように、上面引き回し配線８２ｄは、アクチュエータプレート５４の上面において、各第２個別電極８２ｂの＋Ｙ側端部同士を接続している。

個別パッド８２ｅは、カバープレート５６の上面に形成されている。個別パッド８２ｅは、カバープレート５６の上面のうち、Ｚ方向から見て圧力室６１と重なり合う部分をＹ方向に延びている。

図４、図８、図９に示すように、貫通配線８２ｆは、対応する下面引き回し配線８２ｃ、上面引き回し配線８２ｄ及び個別パッド８２ｅ間を接続している。貫通配線８２ｆは、アクチュエータプレート５４をＺ方向に貫通して設けられている。具体的に、アクチュエータプレート５４、第２フィルム５５及びカバープレート５６のうち第１個別電極８２ａに対して＋Ｙ側に位置する部分には、個別配線用孔９３が形成されている。個別配線用孔９３は、各圧力室６１毎に個別に形成されている。対応する下面引き回し配線８２ｃ、上面引き回し配線８２ｄ及び個別パッド８２ｅにおける＋Ｙ側端縁は、個別配線用孔９３の開口縁において、貫通配線８２ｆに接続されている。なお、個別配線用孔９３は、各圧力室６１に対して一括で設けられていてもよい。この場合、個別配線用孔９３は、各圧力室６１を跨る長さでＸ方向に延びる。

図４に示すように、駆動配線７５のうち流路部材５２と向かい合う部分は、第１フィルム５３に覆われている。具体的に、駆動配線７５のうち、第１共通電極８１ａ、第１個別電極８２ａ、下面引き回し配線８１ｃ，８２ｃ及び貫通配線８１ｆ，８２ｆは、第１フィルム５３に覆われている。一方、駆動配線７５のうちアクチュエータプレート５４の上面に形成された部分は、第２フィルム５５に覆われている。具体的に、駆動配線７５のうち、第２共通電極８１ｂ、第２個別電極８２ｂ、上面引き回し配線８１ｄ，８２ｄ及び貫通配線８１ｆ，８２ｆは、第２フィルム５５に覆われている。

カバープレート５６の上面には、フレキシブルプリント基板（不図示）が圧着されている。フレキシブルプリント基板は、カバープレート５６の上面において、共通パッド８１ｅ及び個別パッド８２ｅに実装されている。

［プリンタ１の動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環機構６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。

このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、被記録媒体Ｐが搬送機構２，３のローラ１１，１２に挟み込まれながら＋Ｘ側に搬送される。また、これと同時にキャリッジ２９がＹ方向に移動することで、キャリッジ２９に搭載されたインクジェットヘッド５がＹ方向に往復移動する。
インクジェットヘッド５が往復移動する間に、各インクジェットヘッド５よりインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させる。これにより、被記録媒体Ｐに対して文字や画像等の記録を行うことができる。

ここで、各インクジェットヘッド５の動きについて、以下に詳細に説明する。
第１実施形態のような循環式サイドシュートタイプのインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、入口側共通流路６５及び入口側連通路６６を通して各圧力室６１内に供給される。各圧力室６１内に供給されたインクは、各圧力室６１をＹ方向に流通する。その後、インクは、出口側連通路６８を通じて出口側共通流路６７に排出された後、インク排出管２２を通してインクタンク４に戻される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させることができる。

そして、キャリッジ２９（図１参照）の移動によってインクジェットヘッド５の往復移動が開始されると、フレキシブルプリント基板を介して共通電極８１ａ，８１ｂ及び個別電極８２ａ，８２ｂ間に駆動電圧が印加される。この際、共通電極８１ａ，８１ｂを基準電位ＧＮＤとし、個別電極８２ａ，８２ｂを駆動電位Ｖｄｄとして駆動電圧を印加する。

図１１は、ヘッドチップ５０について、インク吐出時における変形の挙動を説明するための説明図である。
図１１に示すように、駆動電圧の印加により、第１共通電極８１ａ及び第１個別電極８２ａ間、並びに第２共通電極８１ｂ及び第２個別電極８２ｂ間には、Ｘ方向で電位差が生じる。Ｘ方向に生じた電位差により、アクチュエータプレート５４には分極方向（Ｚ方向）に直交する方向に電界が生じる。その結果、アクチュエータプレート５４は、シェアモードによりＺ方向に厚み滑り変形する。具体的に、アクチュエータプレート５４の下面において、第１共通電極８１ａ及び第１個別電極８２ａ間には、Ｘ方向で互いに離れる向きに電界が生じる（矢印Ｅ１参照）。アクチュエータプレート５４の上面において、第２共通電極８１ｂ及び第２個別電極８２ｂ間には、Ｘ方向で互いに接近する向きに電界が生じる（矢印Ｅ２参照）。その結果、アクチュエータプレート５４のうち、各圧力室６１に対応する部分は、Ｘ方向の両端部から中央部に向かうに従い上方に向けてせん断変形する。

一方、第１共通電極８１ａ及び第２個別電極８２ｂ間、並びに第１個別電極８２ａ及び第２共通電極８１ｂ間には、Ｚ方向で電位差が生じる。Ｚ方向に生じた電位差により、アクチュエータプレート５４には分極方向（Ｚ方向）に平行な方向に電界が生じる（矢印Ｅ０参照）。その結果、アクチュエータプレート５４は、ベンドモードによりＺ方向に伸縮変形する。すなわち、第１実施形態のヘッドチップ５０では、アクチュエータプレート５４のシェアモード及びベンドモードに起因する変形が、何れもＺ方向に及ぶことになる。具体的に、駆動電圧の印加により、アクチュエータプレート５４は、圧力室６１から離間する向きに変形する。これにより、圧力室６１内の容積が拡大する。その後、駆動電圧をゼロにすると、アクチュエータプレート５４が復元することで、圧力室６１内の容積が元に戻ろうとする。アクチュエータプレート５４が復元する過程で、圧力室６１内の圧力が増加し、圧力室６１内のインクがノズル孔７１を通じて外部に吐出される。外部に吐出されたインクが被記録媒体Ｐに着弾することで、被記録媒体Ｐに印刷情報が記録される。

＜ヘッドチップ５０の製造方法＞
次に、上述したヘッドチップ５０の製造方法について説明する。図１２は、ヘッドチップ５０の製造方法を説明するためのフローチャートである。図１３～図２４は、ヘッドチップ５０の製造方法を説明するための工程図であって、図４や図５に対応する断面図である。以下の説明では、便宜上、ヘッドチップ５０をチップレベルで製造する場合を例にして説明する。
図１２に示すように、ヘッドチップ５０の製造方法は、アクチュエータ第１加工工程Ｓ０１と、カバー第１加工工程Ｓ０２と、第１接合工程Ｓ０３と、フィルム加工工程Ｓ０４と、第２接合工程Ｓ０５と、アクチュエータ第２加工工程Ｓ０６と、カバー第２加工工程Ｓ０７と、第３接合工程Ｓ０８と、流路部材第１加工工程Ｓ０９と、第４接合工程Ｓ１０と、流路部材第２加工工程Ｓ１１と、第５接合工程Ｓ１２と、を備えている。

図１３に示すように、アクチュエータ第１加工工程Ｓ０１では、まず共通配線用孔９１及び個別配線用孔９３の一部となる凹部１００，１０１を形成する（凹部形成工程）。具体的に、アクチュエータプレート５４の上面に対し、共通配線用孔９１及び個別配線用孔９３の形成領域が開口したマスクパターンを形成する。続いて、マスクパターンを通してアクチュエータプレート５４の上面に対してサンドブラスト等を行う。これにより、アクチュエータプレート５４には、上面に対して窪んだ凹部１００，１０１が形成される。なお、凹部１００，１０１はダイサー加工や精密ドリル加工、エッチング加工等によって形成してもよい。

次に、図１４に示すように、アクチュエータ第１加工工程Ｓ０１では、駆動配線７５のうち、アクチュエータプレート５４の上面に位置する部分を形成する（第１配線形成工程）。第１配線形成工程では、まずアクチュエータプレート５４の上面に対し、駆動配線７５の形成領域が開口したマスクパターンを形成する。次に、アクチュエータプレート５４に対し、例えば蒸着等により電極材料を成膜する。電極材料は、マスクパターンの開口部を通してアクチュエータプレート５４に成膜される。これにより、アクチュエータプレート５４の上面、及び凹部１００，１０１の内面に駆動配線７５が形成される。

図１５に示すように、カバー第１加工工程Ｓ０２では、カバープレート５６に対し、共通配線用孔９１及び個別配線用孔９３の一部となる貫通孔１０２，１０３を形成する。貫通孔１０２，１０３は、アクチュエータプレート５４に凹部１００，１０１を形成する方法と同様に、サンドブラストやダイサー加工等によって形成することができる。

図１６に示すように、第１接合工程Ｓ０３では、アクチュエータプレート５４の上面に、接着剤等によって第２フィルム５５を貼り付ける。
フィルム加工工程Ｓ０４では、共通配線用孔９１及び個別配線用孔９３の一部となる貫通孔１０７，１０８を形成する。貫通孔１０７，１０８は、第２フィルム５５のうち対応する凹部１００，１０１とＺ方向から見て重なり合う部分に対し、例えばレーザ加工等を行うことで形成できる。これにより、凹部１００及び貫通孔１０７同士、並びに凹部１０１及び貫通孔１０８同士が互いに連通する。

図１７に示すように、第２接合工程Ｓ０５では、第２フィルム５５の上面に、接着剤等によってカバープレート５６を貼り付ける。これにより、凹部１００及び貫通孔１０２，１０７同士、並びに凹部１０１及び貫通孔１０３，１０８同士が互いに連通する。

図１８に示すように、アクチュエータ第２加工工程Ｓ０６では、アクチュエータプレート５４の下面に対してグラインド加工を施す（グラインド工程）。この際、アクチュエータプレート５４の下面において、凹部１００，１０１が開口する位置までアクチュエータプレート５４をグラインドすることで、共通配線用孔９１及び個別配線用孔９３が形成される。

次に、図１９に示すように、アクチュエータ第２加工工程Ｓ０６では、駆動配線７５のうち、アクチュエータプレート５４の下面及び配線用孔９１，９３の内面に位置する部分を形成する（第２配線形成工程）。第２配線形成工程では、まずアクチュエータプレート５４の下面に対し、駆動配線７５の形成領域が開口したマスクパターンを形成する。続いて、アクチュエータプレート５４に対し、例えば蒸着等により電極材料を成膜する。電極材料は、マスクパターンの開口部を通してアクチュエータプレート５４に成膜される。これにより、アクチュエータプレート５４の下面及び配線用孔９１，９３の内面に駆動配線７５が形成される。

図２０に示すように、カバー第２加工工程Ｓ０７では、パッド８１ｅ，８２ｅ及び貫通配線８１ｆ，８２ｆをカバープレート５６に形成する。具体的には、まずカバープレート５６の上面に対し、パッド８１ｅ，８２ｅ及び貫通配線８１ｆ，８２ｆの形成領域が開口するマスクパターンを形成する。次に、カバープレート５６に対し、例えば蒸着等により電極材料を成膜する。電極材料は、マスクパターンの開口部を通してカバープレート５６に成膜される。これにより、パッド８１ｅ，８２ｅ及び貫通配線８１ｆ，８２ｆが形成される。

図２１に示すように、第３接合工程Ｓ０８では、アクチュエータプレート５４の下面に、接着剤等によって第１フィルム５３を貼り付ける。
図２２に示すように、流路部材第１加工工程Ｓ０９では、流路部材５２に対して流路６０（図６参照）や圧力室６１を形成する。流路６０や圧力室６１は、流路部材５２に対して例えばダイサーによる切削加工やサンドブラスト等を行うことで形成される。そして、流路部材５２のうち、隣り合う圧力室６１を仕切る部分が区画壁６２として残存する。

図２３に示すように、第４接合工程Ｓ１０では、第１フィルム５３の下面に、接着剤等によって流路部材５２を貼り付ける。

図２４に示すように、流路部材第２加工工程Ｓ１１では、流路部材５２の下面に対してグラインド加工を施す（グラインド工程）。この際、流路部材５２の下面において、流路６０や圧力室６１が開口する位置まで流路部材５２をグラインドする。

第５接合工程Ｓ１２では、ノズル孔７１と圧力室６１とを位置合わせした状態で、流路部材５２の下面にノズルプレート５１を貼り付ける。
以上により、ヘッドチップ５０が完成する。

このように、第１実施形態のヘッドチップ５０は、圧力室６１を上方（第１方向の第１側）から閉塞した状態で流路部材５２上に接合された第１部材（例えば、第１フィルム５３やアクチュエータプレート５４、カバープレート５６）と、圧力室６１を下方（第１方向の第２側）から閉塞した状態で流路部材５２上に接合された第２部材（例えば、ノズルプレート５１）と、を備える。その上で、ヘッドチップ５０において、区画壁６２とノズルプレート５１との接合面積は、区画壁６２と第１フィルム５３との接合面積よりも大きい構成とした。
この構成によれば、区画壁６２とノズルプレート５１との接合面積を、区画壁６２と第１フィルム５３との接合面積と同等にする場合に比べ、圧力室６１の容積を確保した上で、区画壁６２の剛性を確保できる。これにより、アクチュエータプレート５４の変形に伴う圧力室６１内の圧力変動時において、区画壁６２の変形を抑制できるので、圧力室６１内のインクに対して効果的に弾性エネルギーを伝えることができる。その結果、圧力室６１の発生圧力を向上させることができる。

第１実施形態のヘッドチップ５０において、区画壁６２のうち、隣り合う圧力室６１間をＸ方向（第２方向）に区画する部分（側壁６２ａ，６２ｂ）は、上方に位置するものほど、Ｘ方向の寸法が小さくなる段付き形状に形成されている構成とした。
この構成によれば、圧力室６１の容積を確保した上で、所望の発生圧力を得ることができる。また、例えば側壁６２ａ，６２ｂをテーパ状に形成する場合に比べ、加工性を向上させることができる。

第１実施形態のヘッドチップ５０において、Ｙ方向（第３方向）で圧力室６１に対して一方側に位置する部分には、共通流路（例えば、入口側共通流路６５）が形成され、端壁（例えば、＋側端壁６２ｃ）には、入口側共通流路６５と各圧力室６１との間を各別に接続する連通路（例えば、入口側連通路６６）が形成されている。その上で、連通路の流路断面積は、圧力室６１の流路断面積よりも小さい構成とした。
この構成によれば、隣り合う圧力室６１間の距離に比べて、隣り合う入口側連通路６６間の距離を長くすることができる。これにより、隣り合う圧力室６１間において、共通流路（例えば、入口側共通流路６５）を通じた圧力室６１間の距離を確保できる。そのため、一の圧力室６１での圧力変動が入口側共通流路６５及び入口側連通路６６を通じて他の圧力室６１に伝播される、いわゆるクロストークを抑制できる。しかも、入口側連通路６６の流路断面積が、圧力室６１の流路断面積よりも小さいため、入口側連通路６６を通じて入口側共通流路６５から圧力室６１に圧力変動が伝播することを抑制し易い。

第１実施形態のヘッドチップ５０において、圧力室６１の流路断面積は、Ｙ方向の内側に向かうに従い漸次大きくなっている構成とした。
この構成によれば、例えば入口側連通路６６から圧力室６１内に流入するインクを、圧力室６１内でスムーズに流通させることができる。

第１実施形態のヘッドチップ５０は、アクチュエータプレート５４の下面（第１面）に形成された第１個別電極（第１電極）８７ａと、アクチュエータプレート５４の上面（第２面）に形成された第２共通電極（第１対向電極）８１ｂと、アクチュエータプレート５４の上面において第１共通電極８１ａと隣り合って形成された第２個別電極（第２電極）８２ｂと、を備える構成とした。
この構成によれば、第２個別電極８７ｂ及び第２共通電極８１ｂ間に電位差を発生させることで、アクチュエータプレート５４の分極方向に交差する方向に電界を発生させることができる。これにより、アクチュエータプレート５４をシェアモード（ルーフシュート型）でＺ方向に変形させることで、圧力室６１の容積を変化させることができる。また、第１個別電極８７ａ及び第１共通電極８１ａ間に電位差を発生させることで、アクチュエータプレート５４の分極方向にも電界を発生させることができる。これにより、アクチュエータプレート５４をベンドモード（バイモルフ型）でＺ方向に変形させることで、圧力室６１の容積を変化させることができる。すなわち、シェアモード及びベンドモードの双方でアクチュエータプレート５４をＺ方向に変形させることで、インク吐出時における圧力室６１内の発生圧力を向上させることができる。

第１実施形態のヘッドチップ５０において、ノズルプレート５１は金属製である構成とした。
この構成によれば、ノズルプレート５１の剛性を確保し易くなるので、アクチュエータプレート５４の変形に伴う圧力室６１内の圧力変動時において、ノズルプレート５１が変形し難くなる。そのため、アクチュエータプレート５４の変形がインクに伝播し易くなり、所望の発生圧力を得やすい。

第１実施形態のヘッドチップ５０において、ノズルプレート（噴射孔プレート）５１は、流路部材５２の下面に直接接合されている構成とした。
この構成によれば、第２部材をノズルプレート５１の単一部材により構成できる。これにより、流路部材５２への第２部材の接合工程（第５接合工程）を簡略化することができ、低コスト化や歩留まりの向上を図ることができる。また、第５接合工程を簡略化することで、ヘッドチップ５０の組立後において、接合部分に起因したヘッドチップ５０の不具合等の発生を抑制できる。

第１実施形態のインクジェットヘッド５及びプリンタ１では、上述したヘッドチップ５０を備えているので、所望の吐出性能が発揮できる高品質なインクジェットヘッド５及びプリンタ１を提供できる。

（第２実施形態）
図２５は、第２実施形態に係るヘッドチップ５０において、図４に対応する断面図である。図２６は、第２実施形態に係るヘッドチップ５０において、図５に対応する断面図である。図２７は、第２実施形態に係るヘッドチップ５０において、図６に対応する斜視図である。
図２５～図２７に示すヘッドチップ５０において、圧力室６１は、Ｙ方向の全長に亘ってＸ方向から見てＴ字状に形成されている。したがって、圧力室６１の流路断面積は、全体に亘って一様になっている。

隣り合う圧力室６１間は、側壁６２ａ，６２ｂによってＸ方向に仕切られている。側壁６２ａ，６２ｂは、上方に位置するものほどＸ方向の幅が小さい段付き形状に形成されている。具体的に、側壁６２ａ，６２ｂのうち、幅広部６３は、Ｙ方向の全長に亘って、Ｘ方向の幅及びＺ方向の高さが一様に形成されている。側壁６２ａ，６２ｂのうち、幅狭部６４は、Ｙ方向の全長に亘って、Ｘ方向の幅及びＺ方向の高さが一様に形成されている。

入口側連通路６６は、＋Ｙ側端壁６２ｃをＹ方向に貫通している。出口側連通路６８は、－Ｙ側端壁６２ｄをＹ方向に貫通している。入口側連通路６６及び出口側連通路６８は、Ｘ方向から見て圧力室６１と同等の形状に形成されている。すなわち、端壁６２ｃ，６２ｄは、Ｙ方向から見た外形が側壁６２ａ，６２ｂと同等に形成されている。具体的に、端壁６２ｃ，６２ｄは、上方に位置するものほどＸ方向の幅が小さい段付き形状に形成されている。端壁６２ｃ，６２ｄは、それぞれ端壁幅広部２０１と端壁幅狭部２０２とを備えている。なお、第２実施形態において、＋Ｙ側端壁６２ｃは、個別配線用孔９３に対してＹ方向の外側に位置する部分である。－Ｙ側端壁６２ｄは、共通配線用孔９１に対してＹ方向の外側に位置する部分である。

端壁幅広部２０１は、側壁６２ａ，６２ｂの幅広部６３に対してＹ方向に連なっている。端壁幅広部２０１は、側壁６２ａ，６２ｂの幅広部６３とＸ方向の幅及びＺ方向の高さが同等になっている。
端壁幅狭部２０２は、各側壁６２ａ，６２ｂそれぞれについて、端壁幅広部２０１のＸ方向の中央部から上方に突出している。端壁幅狭部２０２は、側壁６２ａ，６２ｂの幅狭部６４に対してＹ方向に連なっている。端壁幅狭部２０２は、側壁６２ａ，６２ｂの幅狭部６４とＸ方向の幅及びＺ方向の高さが同等になっている。

第２実施形態においても、区画壁６２とノズルプレート５１との接合面積を、区画壁６２と第１フィルム５３との接合面積よりも大きくすることができるので、圧力室６１の容積を確保した上で、区画壁６２の剛性を確保できる。これにより、アクチュエータプレート５４の変形に伴う圧力室６１内の圧力変動時において、区画壁６２の変形を抑制できるので、圧力室６１内のインクに対して効果的に弾性エネルギーを伝えることができる。その結果、圧力室６１の発生圧力を向上させることができる。

（第３実施形態）
図２８は、第３実施形態に係るヘッドチップ５０において、図４に対応する断面図である。図２９は、第３実施形態に係るヘッドチップ５０において、図５に対応する断面図である。図３０は、第３実施形態に係るヘッドチップ５０において、図６に対応する斜視図である。
図２８～図３０に示すヘッドチップ５０において、区画壁６２は、向かい合う側壁６２ａ，６２ｂにおける＋Ｙ側端部同士を接続する＋Ｙ側接続部３０１と、向かい合う側壁６２ａ，６２ｂにおける－Ｙ側端部同士を接続する＋Ｙ側接続部３０２と、を備えている。

＋Ｙ側接続部３０１は、圧力室６１内に面している。＋Ｙ側接続部３０１は、＋Ｙ側に向かうに従いＺ方向の高さが漸次高くなっている。具体的に、＋Ｙ側接続部３０１の下面は、幅広部６３の下面と面一に配置されている。＋Ｙ側接続部３０１の上面は、＋Ｙ側に向かうに従い上方に延びる湾曲面（傾斜面）に形成されている。＋Ｙ側接続部３０１の最大高さは、側壁６２ａ，６２ｂの＋Ｙ側端縁において幅広部６３と同等になっている。
－Ｙ側接続部３０２は、圧力室６１内に面している。－Ｙ側接続部３０２は、－Ｙ側に向かうに従いＺ方向の高さが漸次高くなっている。具体的に、－Ｙ側接続部３０２の下面は、幅広部６３の下面と面一に配置されている。－Ｙ側接続部３０２の上面は、－Ｙ側に向かうに従い上方に延びる湾曲面（傾斜面）に形成されている。－Ｙ側接続部３０１の最大高さは、側壁６２ａ，６２ｂの＋Ｙ側端縁において幅広部６３と同等になっている。

各接続部３０１，３０２は、Ｙ方向で互いに離間している。したがって、圧力室６１は、Ｙ方向の中央部において、流路部材５２を貫通している。そして、ノズル孔７１は、平面視で各接続部３０１，３０２と重ならない位置で圧力室６１内に連通している。なお、圧力室６１の流路断面積は、Ｙ方向の中央部に向かうに従い漸次大きくなっている。

入口側連通路６６は、＋Ｙ側端壁６２ｃの上部をＹ方向に貫通している。出口側連通路６８は、－Ｙ側端壁６２ｄの上部をＹ方向に貫通している。入口側連通路６６及び出口側連通路６８のＺ方向の深さは、幅狭部６４のＺ方向の高さと同等になっている。入口側連通路６６及び出口側連通路６８のＸ方向の寸法は、隣り合う幅狭部６４間の距離と同等になっている。したがって、入口側連通路６６及び出口側連通路６８の流路断面積は、圧力室６１の最大流路面積よりも小さくなっている。

第３実施形態では、上述した各実施形態と同様の作用効果を奏することに加え、以下の作用効果を奏する。
すなわち、向かい合う側壁６２ａ，６２ｂ同士が接続部３０１，３０２によって接続されているため、区画壁６２の剛性を向上させることができる。その結果、アクチュエータプレート５４の変形に伴う圧力室６１内の圧力変動時において、区画壁６２の変形を抑制できるので、圧力室６１内のインクに対して効果的に弾性エネルギーを伝えることができる。よって、圧力室６１の発生圧力を向上させることができる。
しかも、流路部材第２加工工程Ｓ１１において、流路部材５２の下面を加工する際に、向かい合う側壁６２ａ，６２ｂ同士が分離しないので、製造効率や歩留まりの向上を図ることができる。

（第４実施形態）
図３１は、第４実施形態に係るヘッドチップ５０において、図４に対応する断面図である。図３２は、第４実施形態に係るヘッドチップ５０において、図５に対応する断面図である。図３３は、第４実施形態に係るヘッドチップ５０において、図６に対応する斜視図である。
図３１～図３３に示すヘッドチップ５０において、側壁６２ａ，６２ｂは、Ｘ方向の幅がＹ方向及びＺ方向の全体に亘って一様に形成されている。

＋Ｙ側接続部３０１は、向かい合う側壁６２ａ，６２ｂ同士の＋Ｙ側端部を接続している。＋Ｙ側接続部３０１は、＋Ｙ側に向かうに従いＺ方向の高さが漸次高くなっている。＋Ｙ側接続部３０１の最大高さは、側壁６２ａ，６２ｂの＋Ｙ側端縁において側壁６２ａ，６２ｂと同等になっている。
－Ｙ側接続部３０２は、向かい合う側壁６２ａ，６２ｂ同士の－Ｙ側端部を接続している。－Ｙ側接続部３０２は、－Ｙ側に向かうに従いＺ方向の高さが漸次高くなっている。－Ｙ側接続部３０２の最大高さは、側壁６２ａ，６２ｂの－Ｙ側端縁において側壁６２ａ，６２ｂと同等になっている。

入口側連通路６６は、＋Ｙ側端壁６２ｃの上部及び＋Ｙ側接続部３０１の上部において、Ｘ方向の中央部をＹ方向に貫通している。出口側連通路６８は、－Ｙ側端壁６２ｄの上部及び－Ｙ側接続部３０２の上部において、Ｘ方向の中央部をＹ方向に貫通している。入口側連通路６６及び出口側連通路６８のＺ方向の深さは、側壁６２ａ，６２ｂの高さよりも浅くなっている。入口側連通路６６及び出口側連通路６８のＸ方向の寸法は、隣り合う側壁６２ａ，６２ｂ間の距離よりも小さくなっている。したがって、入口側連通路６６及び出口側連通路６８の流路断面積は、圧力室６１の最大流路面積よりも小さくなっている。

（その他の変形例）
なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。

上述した実施形態では、Ｚ方向が重力方向に一致する構成について説明したが、この構成のみに限らず、Ｚ方向を水平方向に沿わせてもよい。
上述した実施形態では、シェアモード及びベンドモードの双方の変形モードに起因してアクチュエータプレート５４を変形させる構成について説明したが、この構成に限られない。本開示のヘッドチップ５０は、少なくともアクチュエータプレート５４がＺ方向に変形する構成であればよい。

上述した実施形態では、電圧の印加によって圧力室６１の容積が拡大する方向にアクチュエータプレート５４を変形させた後、アクチュエータプレート５４を復元させることで、インクを吐出させる構成（いわゆる、引き打ち）について説明したが、この構成に限られない。本開示に係るヘッドチップは、電圧の印加によって圧力室６１の容積が縮小する方向にアクチュエータプレート５４を変形させることで、インクを吐出させる構成（いわゆる、押し打ち）であってもよい。押し打ちを行う場合、駆動電圧の印加により、アクチュエータプレート５４は、圧力室６１内に向けて膨出するように変形する。これにより、圧力室６１内の容積が減少することで、圧力室６１内の圧力が増加し、圧力室６１内のインクがノズル孔７１を通じて外部に吐出される。駆動電圧をゼロにすると、アクチュエータプレート５４が復元する。その結果、圧力室６１内の容積が元に戻る。なお、押し打ちのヘッドチップは、アクチュエータプレート５４の分極方向、及び電場の向き（共通電極及び個別電極のレイアウト）の何れかを、引き打ちのヘッドチップに対して逆に設定することで実現可能である。

上述した実施形態では、共通流路６５，６７が圧力室６１に対してＹ方向の両側に配置された構成について説明したが、この構成に限られない。共通流路６５，６７は、圧力室６１に対して上方等に配置されていてもよい。
上述した実施形態では、流路部材５２の上方に第１フィルム５３を介してアクチュエータプレート５４が接合された構成について説明したが、この構成に限られない。アクチュエータプレート５４は、流路部材５２の上方に直接接合してもよい。
上述した実施形態では、流路部材５２の下方にノズルプレート５１を直接接合された構成について説明したが、この構成に限られない。ノズルプレート５１は、流路部材５２の下方に中間プレートを介して接合してもよい。

上述した第１実施形態等では、側壁６２ａ，６２ｂが段付き形状に形成された構成について説明したが、この構成に限られない。側壁６２ａ，６２ｂは、テーパ状等に形成されていてもよい。

その他、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせてもよい。

１：プリンタ（液体噴射記録装置）
５：インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
５０：ヘッドチップ
５１：ノズルプレート（噴射孔プレート、第２部材）
５２：流路部材
５３：第１フィルム（第１部材）
５４：アクチュエータプレート（第１部材）
６１：圧力室
６２：区画壁
６５：入口側共通流路（共通流路）
６６：入口側連通路（連通路）
６７：出口側共通流路（共通流路）
６８：出口側連通路（連通路）
７１：ノズル孔（噴射孔）
８１ｂ：第２共通電極（第１対向電極）
８２ａ：第１個別電極（第１電極）
８２ｂ：第２個別電極（第２電極）
３０１：接続部
３０２：接続部

Claims (10)

1. 第１方向に貫通する圧力室が前記第１方向に交差する第２方向に複数配列された流路部材と、
   前記第１方向に変形可能なアクチュエータプレートを含み、前記圧力室を前記第１方向の第１側から閉塞した状態で前記流路部材上に接合された第１部材と、
   前記圧力室に連通する噴射孔が形成された噴射孔プレートを含み、前記圧力室を前記第１方向のうち第１側と反対側である第２側から閉塞した状態で前記流路部材上に接合された第２部材と、を備え、
   前記流路部材は、隣り合う前記圧力室同士を区画する区画壁を備え、
   前記区画壁と前記第２部材との接合面積は、前記区画壁と前記第１部材との接合面積よりも大きいヘッドチップ。
2. 前記区画壁のうち、隣り合う前記圧力室間を前記第２方向に区画する部分は、前記第１方向の第１側に位置するものほど、前記第２方向の寸法が小さくなる段付き形状に形成されている請求項１に記載のヘッドチップ。
3. 前記流路部材のうち、前記第１方向から見て前記第２方向に交差する第３方向で前記圧力室に対して一方側に位置する部分には、共通流路が形成され、
   前記区画壁には、前記第３方向に延びるとともに、前記共通流路と複数の前記圧力室とを各別に接続する複数の連通路が形成され、
   前記連通路の前記第３方向に直交する流路断面積は、前記圧力室の前記第３方向に直交する流路断面積よりも小さい請求項１又は請求項２に記載のヘッドチップ。
4. 前記圧力室は、前記第３方向で前記連通路から離れるに従い前記第３方向に直交する流路断面積が漸次大きくなっている請求項３に記載のヘッドチップ。
5. 前記流路部材は、前記圧力室に面する部分であって、前記第１方向から見て前記噴射孔と重なり合わない位置に、前記区画壁のうち前記第１方向に交差する方向で向かい合う部分同士を接続する接続部を備えている請求項１又は請求項２に記載のヘッドチップ。
6. 前記アクチュエータプレートは、前記第１方向を分極方向に設定されており、
   前記アクチュエータプレートのうち、前記第１方向の第１側を向く第１面に形成された第１電極と、
   前記アクチュエータプレートのうち、前記第１方向の第２側を向く第２面において、前記第１電極に向かい合って形成され、前記第１電極との間で電位差を生じさせる第１対向電極と、
   前記アクチュエータプレートのうち、前記第２面において前記第１対向電極と隣り合って形成されるとともに、前記第１対向電極との間で電位差を生じさせる第２電極と、を備えている請求項１又は請求項２に記載のヘッドチップ。
7. 前記噴射孔プレートは、金属製である請求項１又は請求項２に記載のヘッドチップ。
8. 前記噴射孔プレートは、前記流路部材に直接接合されている請求項１又は請求項２に記載のヘッドチップ。
9. 請求項１又は２に記載のヘッドチップを備えている液体噴射ヘッド。
10. 請求項９に記載の液体噴射ヘッドを備えている液体噴射記録装置。

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