JP2022097797A - ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】電気的な信頼性を確保し、耐久性を向上させることができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供する。【解決手段】本開示の一態様に係るヘッドチップ５０は、アクチュエータプレート５３において、吐出チャネル６１の両側に従動壁７５を隔てて配置された一対の第１電極チャネル６２と、第１電極チャネル６２に対して吐出チャネル６１とは反対側に、駆動壁７８を隔てて配置された一対の第２電極チャネル６４と、が形成されている。アクチュエータプレート５３において、従動壁７５及び駆動壁７８の間には、駆動壁７８の屈曲変形に伴いＸ方向に変位することで、従動壁７５に対してＸ方向への荷重を伝達する伝達部８０が設けられている。【選択図】図３

Description

本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置に関する。

インクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドは、インクジェットヘッドに搭載されるヘッドチップを通じて被記録媒体にインクを吐出する。ヘッドチップは、吐出チャネル及び非吐出チャネルが形成されたアクチュエータプレートと、吐出チャネルに連通するノズル孔を有するノズルプレートと、を備えている。吐出チャネル及び非吐出チャネルは、駆動壁を隔てて交互に配列されている。
ヘッドチップにおいて、インクを吐出させるには、駆動壁に形成された電極間に電圧を印加して、駆動壁を厚み滑り変形させる。これにより、吐出チャネル内の容積が変化することで、吐出チャネル内のインクがノズル孔を通じて吐出される。

下記特許文献１には、吐出チャネルの内面に、電極を覆う絶縁性を有する保護膜が形成された構成が開示されている。この構成によれば、導電性インクを用いる場合であっても、吐出チャネル内においてインクを介して電極が短絡すること等を抑制できるとも考えられる。

特開平６－１２６９５７号公報

しかしながら、上述した従来技術にあっては、電気的な信頼性を確保する点で未だ改善の余地があった。従来のヘッドチップでは、例えば保護膜にピンホール等の欠陥が生じている場合、欠陥部分を通じて電極が露出する可能性がある。この場合には、欠陥部分を通じてインクが電極に到達することで、電極の断線やショートが生じる可能性がある。

本開示は、電気的な信頼性を確保し、耐久性を向上させることができるヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供する。

上記課題を解決するために、本開示は以下の態様を採用した。
（１）本開示の一態様に係るヘッドチップは、第１方向に延びるとともに、液体が供給される噴射チャネルが形成されたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに重ね合わされるとともに、前記噴射チャネルに連通する噴射孔が形成された噴射孔プレートと、を備え、前記アクチュエータプレートには、前記第１方向に交差する第２方向において前記噴射チャネルの両側に、第１仕切部を隔てて配置され、第１電極が形成された内面を有する一対の第１電極チャネルと、前記第２方向において前記第１電極チャネルに対して前記噴射チャネルとは反対側に、第２仕切部を隔てて配置され、第２電極が形成された内面を有する一対の第２電極チャネルと、が形成され、前記第１仕切部は、前記第２方向に屈曲変形するように構成され、前記第２仕切部は、前記第１電極及び前記第２電極間に印加される電圧によって前記第２方向に屈曲変形するように構成され、前記第１仕切部と前記第２仕切部との間には、前記第２仕切部の屈曲変形に伴い前記第２方向に変位することで、前記第１仕切部に対して前記第２方向への荷重を伝達する伝達部が設けられている。

本態様によれば、第１電極及び第２電極間に印加される電圧によって第２仕切部が屈曲変形することで、伝達部が第２方向に変位する。これにより、伝達部を介して第１仕切部に第２方向への荷重を伝達できる。その結果、第２仕切部の変形に伴い、噴射チャネルが拡大又は縮小する方向に第１仕切部を変形させ、噴射チャネル内の圧力を変動させることができる。よって、噴射チャネルの内面に電極を形成することなく、噴射孔を通じて噴射チャネル内の液体を噴射できる。したがって、噴射チャネルの内面に電極を形成する場合に比べ、電極の短絡や腐食等の発生を抑制し、電気的信頼性や耐久性に優れたヘッドチップを提供できる。

（２）上記（１）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記伝達部は、前記第１仕切部及び前記第２仕切部間を連結していることが好ましい。
本態様によれば、第２仕切部から第１仕切部に対し、伝達部を介して効率的に荷重を伝達できる。その結果、噴射圧力を確保し、高性能なヘッドチップを提供できる。

（３）上記（１）又は（２）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記アクチュエータプレートは、分極方向が前記第１方向から見て前記第２方向に交差する厚さ方向の一方側を向く第１圧電基板と、前記第１圧電基板に対して前記厚さ方向で重ね合わされ、分極方向が前記厚さ方向の他方側を向く第２圧電基板と、を備え、前記伝達部は、前記第１圧電基板及び前記第２圧電基板の境界部分を含んでいることが好ましい。
本態様によれば、第１圧電基板と第２圧電基板との境界部分を含むように伝達部を設けることで、第２仕切部の屈曲変形に伴う伝達部の第２方向への変位量を確保し易い。そのため、第２仕切部から第１仕切部に対し、伝達部を介して効率的に荷重を付与できる。その結果、噴射圧力を確保し、高性能なヘッドチップを提供できる。

（４）上記（３）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記第１電極チャネルは、前記伝達部に対して前記厚さ方向の一方側に位置する第１区画チャネルと、前記伝達部に対して前記厚さ方向の他方側に位置する第２区画チャネルと、を有し、前記第１電極は、前記第１区画チャネルの内面に形成された第１区画電極と、前記第２区画チャネルの内面に形成された第２区画電極と、を備えていることが好ましい。
本態様によれば、第２仕切部のうち、伝達部に対して一方側に位置する部分、及び伝達部に対して他方側に位置する部分をそれぞれ効果的に変形させることができる。

（５）上記（４）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記アクチュエータプレートのうち、前記噴射チャネルに対して前記第１方向の外側に位置する部分は、尾部を構成し、前記第１電極チャネルのうち、前記第１方向の端部には、前記第１区画チャネル及び前記第２区画チャネル間を前記厚さ方向に連通させる連通部が形成され、前記連通部の内面には、前記第１区画電極及び前記第２区画電極を接続する接続電極が形成され、前記尾部のうち前記厚さ方向の一方側を向く面には、前記第１区画電極に接続される端子部が形成されていることが好ましい。
本態様によれば、接続電極を通じて第１区画電極及び第２区画電極を共通化させることで、尾部にのうち厚さ方向の一方側を向く面上において、端子部を通じて外部配線（フレキシブルプリント基板等）に一体で接続することができる。これにより、配線の引き回し等について構成の簡素化を図ることができる。

（６）上記（１）又は（２）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記アクチュエータプレートは、前記第１方向から見て前記第２方向に交差する厚さ方向に沿って一方向に分極された圧電基板であり、前記噴射チャネル、前記第１電極チャネル及び前記第２電極チャネルは、前記アクチュエータプレートにおける前記厚さ方向の一方側を向く面上で開口していることが好ましい。
本態様によれば、全てのチャネルを厚さ方向の一方側から加工できるので、従来のヘッドチップに比べて製造工数の増加を抑制できる。

（７）上記（１）から（６）の何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記第１電極は、前記第１電極及び前記第２電極間への電圧印加時に基準電位となる共通電極であり、前記第２電極は、前記第１電極及び前記第２電極間への電圧印加時に前記第１電極との間に電位差を生じさせる駆動電極であることが好ましい。
本態様によれば、第１電極チャネルは、伝達部が形成される分だけ第２電極チャネルよりも浅く形成される傾向になる。そのため、第１電極チャネルよりも比較的深く形成される第２電極チャネルの内面に駆動電極を形成することで、例えば蒸着法等により第２電極チャネルの内面に駆動電極を形成するにあたり、第２電極チャネルの底面に駆動電極が付着し難い。そのため、例えば隣り合う吐出チャネルに対応して駆動電極を設けるにあたり、第２電極チャネルの底面で駆動電極を分離させる工程を別途設ける必要がなく、製造効率の向上を図ることができる。

（８）上記（１）から（６）の何れかの態様に係るヘッドチップにおいて、前記第２電極は、前記第１電極及び前記第２電極間への電圧印加時に基準電位となる共通電極であり、前記第１電極は、前記第１電極及び前記第２電極間への電圧印加時に前記第２電極との間に電位差を生じさせる駆動電極であることが好ましい。
本態様によれば、第１電極チャネルは、伝達部が形成される分だけ第２電極チャネルよりも浅く形成される傾向になる。この場合、駆動電極のうち第１電極チャネルの底面に形成された部分と、共通電極と、の間でも電界を生じさせることができる。そのため、第１電極チャネルの深さが浅い場合であっても、駆動力を確保できる。また、第１電極を駆動電極として機能させる場合には、第１電極の電極材料のうち、第１電極チャネルの底面に形成された部分を除去する必要がないので、製造効率の向上も図ることができる。

（９）上記（７）又は（８）の態様に係るヘッドチップにおいて、前記伝達部は、前記第１仕切部及び前記第２仕切部間を連結し、前記第１電極は、前記第１電極チャネルの内面のうち、前記第２電極チャネルと前記第２方向で向かい合う内側面及び前記伝達部のうち前記第１電極チャネル内に露呈する面上に亘って形成されていることが好ましい。
本態様によれば、第２仕切部に対して効果的に電界を発生させることができ、第２仕切部及び伝達部を介して第１仕切部を効果的に変形させることができる。

（１０）本開示の一態様に係る液体噴出ヘッドは、上記（１）から（９）の何れかの態様に係るヘッドチップを備えている。
本態様によれば、電気的信頼性や耐久性に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。

（１１）本開示の一態様に係る液体噴射記録装置は、上記（１０）の態様に係る液体噴射ヘッドを備えている。
本態様によれば、電気的信頼性や耐久性に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。

本開示の一態様によれば、吐出圧力を確保した上で、電気的信頼性や耐久性に優れたヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供できる。

第１実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図である。 図２のＩＩＩ矢視図である。 図３のＩＶ－ＩＶ線に対応する断面図である。 図３のＶ－Ｖ線に対応する断面図である。 図３のＶＩ－ＶＩ線に対応する断面図である。 第１実施形態に係るアクチュエータプレートの平面図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの動作説明図であって、図４に対応する正面図である。 第１チップの製造方法を説明するフローチャートである。 第１チップの製造方法を説明するための工程図であって、図３に対応する正面図である。 第１チップの製造方法を説明するための工程図であって、図３に対応する正面図である。 第１チップの製造方法を説明するための工程図であって、図３に対応する正面図である。 第１チップの製造方法を説明するための工程図であって、図３に対応する正面図である。 第１チップの製造方法を説明するための工程図であって、図３に対応する正面図である。 変形例に係るアクチュエータプレートの平面図である。 図１５のＸＶＩ－ＸＶＩ線に対応する断面図である。 変形例に係るヘッドチップの正面図である。 第２実施形態に係るヘッドチップの正面図である。 第２実施形態に係るヘッドチップの動作説明図であって、図４に対応する正面図である。 第３実施形態に係るヘッドチップの断面図である。 第３実施形態に係るヘッドチップの断面図である。 第３実施形態に係るヘッドチップの断面図である。

以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する実施形態や変形例において、対応する構成については同一の符号を付して説明を省略する場合がある。なお、以下の説明において、例えば「平行」や「直交」、「中心」、「同軸」等の相対的又は絶対的な配置を示す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差や同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。以下の実施形態では、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

（第１実施形態）
［プリンタ１］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、第1実施形態のプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インク供給機構４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、走査機構６と、を備えている。

以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。この場合、Ｘ方向（第１方向）は被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向（副走査方向）に一致している。Ｙ方向（第２方向）は走査機構６の走査方向（主走査方向）に一致している。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する高さ方向（重力方向）を示している。以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のうち、図中矢印側をプラス（＋）側とし、矢印とは反対側をマイナス（－）側として説明する。本明細書において、＋Ｚ側は重力方向の上方に相当し、－Ｚ側は重力方向の下方に相当する。

搬送機構２，３は、被記録媒体Ｐを＋Ｘ側に搬送する。搬送機構２，３は、例えばＹ方向に延びる一対のローラ１１，１２をそれぞれ含んでいる。
インク供給機構４は、インクが収容されたインクタンク１５と、インクタンク１５とインクジェットヘッド５とを接続するインク配管１６と、を備えている。インクタンク１５には、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク１５に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。なお、インクとしては、溶剤に水を使用した水性インクを用いることも可能である。

走査機構６は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。走査機構６は、ガイドレール２２と、Ｙ方向に移動可能にガイドレール２２に支持されたキャリッジ２３と、を備えている。インクジェットヘッド５は、被記録媒体Ｐへの印字動作の際において、キャリッジ２３に搭載された状態でＹ方向に往復移動する。

＜インクジェットヘッド５＞
インクジェットヘッド５は、一つのキャリッジ２３にＹ方向に並んで搭載されている。インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ５０（図３参照）と、インクタンク１５及びヘッドチップ５０間を接続するインク供給部（不図示）と、ヘッドチップ５０に駆動電圧を印加する制御部（不図示）と、を備えている。

＜ヘッドチップ５０＞
図２は、ヘッドチップ５０の分解斜視図である。図３は、図２のＩＩＩ矢視図である。
図２、図３に示すヘッドチップ５０は、後述する吐出チャネル６１における延在方向（Ｚ方向）の端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのヘッドチップ５０である。ヘッドチップ５０は、第１チップ５０Ａと、第２チップ５０Ｂと、ノズルプレート５１（図４等参照）と、を備えている。第１チップ５０Ａ及び第２チップは、Ｙ方向の向きを互いに反対向きにした状態で重ね合わされている。したがって、以下の説明では、第１チップ５０Ａを例にして説明し、第２チップ５０Ｂのうち第１チップ５０Ａと対応する構成については適宜説明を省略する。なお、ヘッドチップ５０は、第１チップ５０Ａ及び第２チップ５０Ｂの何れかのチップのみを有する構成であってもよい。

第１チップ５０Ａは、アクチュエータプレート５３と、カバープレート５４と、を備えている。
アクチュエータプレート５３は、第１プレート（第１圧電基板）５５、第２プレート（第２圧電基板）５６及びバックプレート５７が＋Ｙ側から－Ｙ側に順に積層された構成である。本実施形態において、各プレート５５～５７は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されている。アクチュエータプレート５３は、第１プレート５５及び第２プレート５６の分極方向がＹ方向で異なる、いわゆるシェブロンタイプである。すなわち、第１プレート５５の分極方向はＹ方向の一方側を向き、第２プレート５６の分極方向がＹ方向の他方側を向いている。本実施形態では、少なくとも第１プレート５５及び第２プレート５６が同等の厚さに設定されている。但し、各プレート５５～５７は、それぞれ同等の厚さであってもよく、異なる厚さであってもよい。

アクチュエータプレート５３には、吐出チャネル６１、一対の第１電極チャネル６２及び一対の第２電極チャネル６４が形成されている。各チャネル６１，６２，６４は、アクチュエータプレート５３において、Ｘ方向に間隔をあけた状態で、それぞれＺ方向に延びている。各チャネル６１，６２，６４は、アクチュエータプレート５３のうち－Ｚ側を向く端面上でそれぞれ開放されている。なお、本実施形態では、チャネル延在方向がＺ方向に一致する構成について説明するが、チャネル延在方向がＺ方向に交差していてもよい。

吐出チャネル６１は、インクが充填されるチャネルである。
一対の第１電極チャネル６２は、吐出チャネル６１に対してＸ方向の両側に配置されている。一対の電極チャネル６２は、インクが充填されないチャネルである。
一対の第２電極チャネル６４は、吐出チャネル６１に対して第１電極チャネル６２よりもＸ方向の外側にそれぞれ配置されている。一対の第２電極チャネル６４は、インクが充填されないチャネルである。

以下、各チャネル６１，６２，６４について、詳細に説明する。以下の説明において、＋Ｙ側を表面側とし、－Ｙ側を裏面側とし、＋Ｚ側を上側とし、－Ｚ側を下側として説明する。したがって、上述した第１プレート５５の表面がアクチュエータプレート５３の表面を構成し、バックプレート５７の裏面がアクチュエータプレート５３の裏面を構成している。

図４は、図３のＩＶ－ＩＶ線に対応する断面図である。
図４に示すように、吐出チャネル６１は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の表面側から進入させて形成される。吐出チャネル６１は、アクチュエータプレート５３の表面上で開口するとともに、Ｚ方向に延びている。吐出チャネル６１は、延在部６１ａと、切り上がり部６１ｂと、を備えている。
延在部６１ａは、Ｙ方向の深さが一様な部分である。延在部６１ａの下端は、アクチュエータプレート５３の下端面において開放されている。なお、本実施形態において、延在部６１ａは、第１プレート５５及び第２プレート５６をＹ方向に貫通している。したがって、延在部６１ａの底面は、バックプレート５７の表面によって形成されている。

切り上がり部６１ｂは、延在部６１ａの上端に連なっている。切り上がり部６１ｂは、上方に向かうに従いＹ方向の深さが漸次浅くなっている。具体的に、切り上がり部６１ｂの底面は、上方に向かうに従い表面側に向けて湾曲しながら延びる傾斜面に形成されている。

次に、一対の第２電極チャネル６４について、一方の第２電極チャネル６４を例にして説明する。図５は、図３のＶ－Ｖ線に対応する断面図である。
図５に示すように、第２電極チャネル６４は、第１電極チャネル６２を間に挟んで吐出チャネル６１とＸ方向で向かい合っている。第２電極チャネル６４は、アクチュエータプレート５３の表面上で開口するとともに、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。なお、本実施形態において、第２電極チャネル６４は、第１プレート５５及び第２プレート５６をＹ方向に貫通している。したがって、第２電極チャネル６４の底面は、バックプレート５７の表面によって形成されている。

次に、第１電極チャネル６２について、一方の第１電極チャネル６２を例にして説明する。図６は、図３のＶＩ－ＶＩ線に対応する断面図である。
図６に示すように、第１電極チャネル６２は、アクチュエータプレート５３において、吐出チャネル６１と第２電極チャネル６４との間に配置されている。第１電極チャネル６２は、表面側区画チャネル（第１区画チャネル）７１、裏面側区画チャネル（第２区画チャネル）７２及び連通部７３を備えている。

表面側区画チャネル７１は、第１プレート５５に形成されている。具体的に、表面側区画チャネル７１は、アクチュエータプレート５３（第１プレート５５）の表面上で開口するとともに、第１プレート５５をＺ方向に延びている。表面側区画チャネル７１は、Ｙ方向の深さが一様に形成されている。本実施形態において、表面側区画チャネル７１の深さは、第１プレート５５の厚さよりも薄くなっている。図示の例において、表面側区画チャネル７１の深さは、第１プレート５５の厚さの半分程度になっている。したがって、表面側区画チャネル７１の内面は、第１プレート５５によって形成されている。

裏面側区画チャネル７２は、第２プレート５６に形成されている。具体的に、裏面側区画チャネル７２は、第２プレート５６の裏面上で開口するとともに、第２プレート５６の裏面上での開口部がバックプレート５７により閉塞されている。裏面側区画チャネル７２は、第２プレート５６の裏面からのＹ方向の深さが一様に形成されている。本実施形態において、裏面側区画チャネル７２の深さは、第２プレート５６の厚さよりも薄くなっている。図示の例において、裏面側区画チャネル７２の深さは、第２プレート５６の厚さの半分程度になっている。したがって、裏面側区画チャネル７２の内面は、第２プレート５６によって形成されている。なお、表面側区画チャネル７１及び裏面側区画チャネル７２の高さ（上端位置）は、吐出チャネル６１と同等以上の高さに設定されていればよい。

連通部７３は、アクチュエータプレート５３の上端部において、表面側区画チャネル７１及び裏面側区画チャネル７２同士を連通させている。具体的に、連通部７３は、第１プレート５５及び第２プレート５６をＹ方向に貫通している。したがって、連通部７３は、表面側開口部が第１プレート５５の表面上で開口する一方、裏面側開口部がバックプレート５７によって閉塞されている。図示の例において、連通部７３は、アクチュエータプレート５３の上端面上で開口している。

図３に示すように、アクチュエータプレート５３のうち、吐出チャネル６１及び一方の第１電極チャネル６２間に位置する部分、及び吐出チャネル６１及び他方の第１電極チャネル６２間に位置する部分は、それぞれ従動壁（第１仕切部）７５を構成している。本実施形態において、従動壁７５は、第１プレート５５により形成された第１従動壁７５ａと、第２プレート５６により形成された第２従動壁７５ｂと、を備えている。すなわち、第１従動壁７５ａ及び第２従動壁７５ｂは、第１プレート５５及び第２プレート５６との境界面（境界部分）を起点にＹ方向の両側に延びている。

アクチュエータプレート５３のうち、一方の第１電極チャネル６２及び一方の第２電極チャネル６４間に位置する部分、及び他方の第１電極チャネル６２及び他方の第２電極チャネル６４間に位置する部分は、それぞれ駆動壁（第２仕切部）７８を構成している。駆動壁７８は、第１プレート５５により形成された第１駆動壁７８ａと、第２プレート５６により形成された第２駆動壁７８ｂと、を含んでいる。すなわち、第１駆動壁７８ａ及び第２駆動壁７８ｂは、第１プレート５５及び第２プレート５６との境界面を起点にＹ方向の両側に延びている。

アクチュエータプレート５３のうち、表面側区画チャネル７１及び裏面側区画チャネル７２の間に位置する部分は、伝達部８０を構成している。伝達部８０は、第１プレート５５及び第２プレート５６との境界面を含む厚さになっている。図示の例において、第１プレート５５及び第２プレート５６との境界面は、伝達部８０におけるＹ方向の中心に位置している。但し、第１プレート５５及び第２プレート５６との境界面は、伝達部８０の中心に対してずれていてもよい。図示の例において、伝達部８０の厚さは、表面側区画チャネル７１及び裏面側区画チャネル７２の深さよりも厚くなっている。但し、伝達部８０の厚さは、表面側区画チャネル７１及び裏面側区画チャネル７２の深さよりも薄くなっていてもよい。

伝達部８０は、従動壁７５及び駆動壁７８におけるＹ方向の中央部同士を一体に架け渡している。具体的に、伝達部８０は、Ｘ方向に直線状に延びている。吐出チャネル６１に対して＋Ｘ側に位置する伝達部８０に関し、－Ｘ側端部は従動壁７５のうち第１従動壁７５ａ及び第２従動壁７５ｂに跨った状態で一体に連なっている。吐出チャネル６１に対して＋Ｘ側に位置する伝達部８０に関し、＋Ｘ側端部は駆動壁７８のうち第１駆動壁７８ａ及び第２駆動壁７８ｂに跨った状態で一体に連なっている。

本実施形態において、アクチュエータプレート５３のうち、一対の第２電極チャネル６４間に位置する部分は、吐出セル６７を構成している。具体的に、一の吐出セル６７は、一の吐出チャネル６１と、一の吐出チャネル６１に対してＸ方向の両側にそれぞれ配置された従動壁７５、駆動壁７８及び伝達部８０と、を含んでいる。したがって、アクチュエータプレート５３には、複数の吐出セル６７が第２電極チャネル６４を隔ててＸ方向に並んで構成されている。すなわち、隣り合う吐出セル６７同士は、第２電極チャネル６４を共用している。但し、各吐出セル６７は、第２電極チャネル６４を別々に備えていてもよい。

図７は、アクチュエータプレート５３の平面図である。
図２、図７に示すように、アクチュエータプレート５３には、共通配線８１及び駆動配線８３が形成されている。各配線８１，８３は、Ｔｉ／ＡｌやＡｌ等により形成されている。

図３、図６、図７に示すように、共通配線８１は、共通電極（第１電極）８５と、共通端子（端子部）８６と、を備えている。
共通電極８５は、第１電極チャネル６２の内面にそれぞれ形成されている。第１電極チャネル６２において、共通電極８５は、表面側区画電極（第１区画電極）８５ａ、裏面側区画電極（第２区画電極）８５ｂ及び接続電極８５ｃを備えている。
表面側区画電極８５ａは、表面側区画チャネル７１の内面に形成されている。本実施形態において、表面側区画電極８５ａは、表面側区画チャネル７１の内面の全域（Ｘ方向で向かい合う内側面、及び底面）に形成されている。但し、表面側区画電極８５ａは、表面側区画チャネル７１の内面のうち、第２電極チャネル６４と向かい合う内側面（第１駆動壁７８ａにより構成された部分）又は底面に少なくとも形成されていればよい。

裏面側区画電極８５ｂは、裏面側区画チャネル７２の内面に形成されている。本実施形態において、裏面側区画電極８５ｂは、裏面側区画チャネル７２の内面の全域（Ｘ方向で向かい合う内側面、及び底面）に形成されている。但し、裏面側区画電極８５ｂは、裏面側区画チャネル７２の内面のうち、第２電極チャネル６４と向かい合う内側面（第２駆動壁７８ｂにより構成された部分）又は底面に少なくとも形成されていればよい。

図６に示すように、接続電極８５ｃは、連通部７３の内面のうち、Ｘ方向で向かい合う内側面に形成されている。接続電極８５ｃは、連通部７３の内側面において、表面側区画電極８５ａ及び裏面側区画電極８５ｂ間を接続している。接続電極８５ｃは、連通部７３における表面側開口縁まで達している。なお、接続電極８５ｃは、連通部７３の底面に形成されていてもよい。

図７に示すように、共通端子８６は、アクチュエータプレート５３のうち、吐出チャネル６１に対して上方に位置する部分（以下、尾部８８という。）の表面上に形成されている。共通端子８６は、尾部８８の表面上において帯状に形成されている。共通端子８６は、一対の第１電極チャネル６２の表面側開口縁において、一対の第１電極チャネル６２の接続電極８５ｃ同士を接続している。

図３、図５、図７に示すように、駆動配線８３は、個別電極（第２電極）９１と、個別端子９２と、を備えている。
個別電極９１は、駆動壁７８のうち第２電極チャネル６４に面する内側面に形成されている。個別電極９１は、第２電極チャネル６４に面する内側面において、Ｚ方向及びＹ方向の全域に亘って形成されている。したがって、個別電極９１は、駆動壁７８を間に挟んで共通電極８５と向かい合っている。なお、一の吐出セル６７を構成する個別電極９１と、一の吐出セル６７に隣り合う他の吐出セル６７を構成する個別電極９１と、は第２電極チャネル６４の底面で分離されている。

図５、図７に示すように、個別端子９２は、尾部８８の表面のうち駆動壁７８に位置する部分に形成されている。個別端子９２は、Ｚ方向に延びる帯状とされている。個別端子９２におけるＸ方向の幅は、駆動壁７８よりも狭い。個別端子９２は、第２電極チャネル６４の表面側開口縁において、第２電極チャネル６４の内面に形成された個別電極９１に接続されている。一方、個別端子９２は、表面側区画チャネル７１の表面側開口縁に対してＸ方向に離れている。なお、一の吐出セル６７を構成する個別端子９２と、一の吐出セル６７を構成する個別端子９２と、は第２電極チャネル６４を隔てて配置されている。

図４～図６に示すように、尾部８８の表面には、フレキシブルプリント基板９４が圧着されている。フレキシブルプリント基板９４は、尾部８８の表面において、共通端子８６及び個別端子９２に接続されている。フレキシブルプリント基板９４は、上方に引き出されている。

＜カバープレート５４＞
図２～図４に示すように、カバープレート５４は、アクチュエータプレート５３の表面に接着等により固定されている。具体的に、カバープレート５４は、Ｙ方向を厚さ方向として配置されている。カバープレート５４は、尾部８８の表面を露出させた状態で各チャネル６１，６２，６４の表面側開口部を閉塞している。Ｚ方向において、カバープレート５４の下端面は、アクチュエータプレート５３の下端面と面一に配置されている。Ｚ方向において、カバープレート５４の上端面は、吐出チャネル６１の上端よりも上方に位置している。なお、各チャネル６１，６２，６４は、吐出チャネル６１の表面側開口部がカバープレート５４により全体が覆われていれば、カバープレート５４よりも上方において第１電極チャネル６２及び第２電極チャネル６４の表面側開口部が開放されていれもよい。

カバープレート５４において、吐出チャネル６１の上端部とＹ方向から見て重なり合う位置には、入口共通インク室１００が形成されている。入口共通インク室１００は、例えば各吐出セル６７を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の表面上で開口している。
入口共通インク室１００において、吐出チャネル６１とＹ方向から見て重なり合う位置には、入口スリット１０１が形成されている。入口スリット１０１は、各吐出チャネル６１の上端部と、入口共通インク室１００内と、の間を各別に連通している。入口スリット１０１は、切り上がり部６１ｂとＹ方向に向かい合っている。したがって、入口スリット１０１は、それぞれ各吐出チャネル６１に連通する一方、各電極チャネル６２，６４には連通していない。

図２に示すように、第１チップ５０Ａ及び第２チップ５０Ｂは、バックプレート５７同士を向かい合わせた状態で、接着等により固定されている。本実施形態において、第２チップ５０Ｂの吐出チャネル６１は、第１チップ５０Ａの吐出チャネル６１の配列ピッチに対して半ピッチずれて配列されている。すなわち、各チップ５０Ａ，５０Ｂの吐出チャネル６１同士は、千鳥状に配列されている。この場合、第１チップ５０Ａの吐出チャネル６１と、第２チップ５０Ｂの第２電極チャネル６４と、がＹ方向で対向している。なお、各チップ５０Ａ，５０Ｂ間において、吐出チャネル６１の配列ピッチは適宜変更可能である。すなわち、各チップ５０Ａ，５０Ｂ間において、吐出チャネル６１同士は、Ｘ方向で同等の位置に形成されていても、異なる位置に形成されていても構わない。

図４に示すように、ノズルプレート５１は、第１チップ５０Ａ及び第２チップ５０Ｂの下端面に接着等によって固定されている。ノズルプレート５１は、Ｚ方向を厚さ方向とし、Ｘ方向を長手方向として配置されている。ノズルプレート５１は、各チャネル６１，６２，６４の下端開口部を閉塞している。本実施形態において、ノズルプレート５１は、ポリイミド等の樹脂材料により厚さが５０μｍ程度に形成されている。但し、ノズルプレート５１は、樹脂材料の他、金属材料（ＳＵＳやＮｉ－Ｐｄ等）、ガラス、シリコン等による単層構造、又は積層構造であってもよい。

ノズルプレート（噴射孔プレート）５１には、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する上述したノズル孔（噴射孔）９７が形成されている。ノズル孔９７は、ノズルプレート５１のうち、第１チップ５０Ａの吐出チャネル６１、第２チップ５０Ｂの吐出チャネル６１にＺ方向で対向する位置に各別に形成されている。したがって、ノズル孔９７は、各チップ５０Ａ，５０Ｂの吐出チャネル６１同士と同様に、千鳥状に配列されている。なお、各ノズル孔９７，９８は、上方から下方に向かうに従い漸次先細るテーパ状に形成されている。

［プリンタ１の動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク１５にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク１５内のインクは、インク配管１６を通じてインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。

このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、被記録媒体Ｐが搬送機構２，３のローラ１１，１２に挟み込まれながら＋Ｘ側に搬送される。また、これと同時にキャリッジ２３がＹ方向に移動することで、キャリッジ２３に搭載されたインクジェットヘッド５がＹ方向に往復移動する。
インクジェットヘッド５が往復移動する間に、各インクジェットヘッド５よりインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させる。これにより、被記録媒体Ｐに対して文字や画像等の記録を行うことができる。

ここで、ヘッドチップ５０の動作について、以下に詳細に説明する。図８は、ヘッドチップ５０の動作説明図であって、図４に対応する正面図である。なお、以下の説明では、電極８５，９１に電圧が印加されていない状態（図３に示す状態）を初期位置とする。
キャリッジ２３（図１参照）の移動によってインクジェットヘッド５の往復移動が開始されると、フレキシブルプリント基板９４を介して共通電極８５及び個別電極９１間に駆動電圧が印加される。この際、個別電極９１を駆動電位Ｖｄｄとし、共通電極８５を基準電位ＧＮＤとして各電極間に駆動電圧を印加する。すると、駆動壁７８は、いわゆる逆圧電効果によって厚み滑り変形が生じる。具体的に、本実施形態のヘッドチップ５０では、分極方向が異なる第１駆動壁７８ａ及び第２駆動壁７８ｂに対して、同一方向に電位差を発生させる。そのため、各駆動壁７８ａ，７８ｂは、第１プレート５５及び第２プレート５６との境界面に向かうに従い吐出チャネル６１から離間する向きに変形する。その結果、駆動壁７８は、第１プレート５５及び第２プレート５６との境界面を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。

駆動壁７８の変形に伴い、伝達部８０がＸ方向において吐出チャネル６１から離間する向きに変位する。これにより、従動壁７５におけるＹ方向の中央部には、従動壁７５を吐出チャネル６１から離間させる向きに引っ張る引張荷重が、伝達部８０から伝達される。すると、従動壁７５は、第１プレート５５及び第２プレート５６との境界面を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。その結果、吐出チャネル６１の容積が拡大する。吐出チャネル６１の容積が拡大することで、吐出チャネル６１内の圧力が負圧になり、入口スリット１０１を通じて吐出チャネル６１内にインクが導入される。

吐出チャネル６１の容積を増大させた後、共通電極８５及び個別電極９１間に印加した電圧をゼロにする。すると、駆動壁７８が復元することで、伝達部８０が吐出チャネル６１に接近する向きに変位する（初期位置に復帰する）。これにより、従動壁７５が伝達部８０によって押し戻され、一旦増大した吐出チャネル６１の容積が元の容積に戻る。すると、吐出チャネル６１内の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、吐出チャネル６１内のインクがノズル孔９７を通じて液滴状に吐出される。ノズル孔９７から吐出されたインクが被記録媒体Ｐ上に着弾することで、被記録媒体Ｐに文字や画像等を記録することができる。

上述した実施形態では、吐出チャネル６１の容積を増大させた後、初期位置に復帰させる際にインクを吐出させる構成について説明したが、この構成に限られない。例えば、吐出チャネル６１の容積が、初期位置に対し減少させることで、インクを吐出させる構成であってもよい。

＜第１チップ５０Ａの製造方法＞
次に、上述した第１チップ５０Ａの製造方法について、簡単に説明する。図９は、第１チップ５０Ａの製造方法を説明するフローチャートである。図１０～図１４は、第１チップ５０Ａの製造方法を説明するための工程図であって、図３に対応する正面図である。以下の説明では、便宜上、第１チップ５０Ａをチップレベルで製造する場合を例にして説明する。
図９に示すように、第１チップ５０Ａは、例えば第１重ね合わせ工程、裏面加工工程、第１成膜工程、第２重ね合わせ工程、表面加工工程、第２成膜工程及び吐出チャネル形成工程を経て製造される。

図１０に示す第１重ね合わせ工程では、第１プレート５５及び第２プレート５６を貼り合わせた中間接合体１５０を形成する。第１重ね合わせ工程では、第１プレート５５及び第２プレート５６を貼り合わせた後、第２プレート５６に対してグラインド加工を施し、第２プレート５６の厚さを調整する。第２プレート５６の加工量は、グラインド後の第２プレート５６の厚さがヘッドチップ５０としての仕上がり厚さと同等になるように設定する。

裏面加工工程では、第２プレート５６の裏面側からダイサーを進入させ、裏面側区画チャネル７２、連通部７３及び第２電極チャネル６４を形成する。この際、連通部７３及び第２電極チャネル６４は、第１プレート５５の仕上がり厚さよりも深くなるように形成する。

図１１に示す第１成膜工程では、裏面側区画チャネル７２や連通部７３の内面に共通配線８１（裏面側区画電極８５ｂや接続電極８５ｃ）を形成するとともに、第２電極チャネル６４の内面に個別電極９１の一部を形成する。第１成膜工程では、不図示のマスクパターンを通じて、第２プレート５６の裏面側から電極材料を成膜する。この際、例えば斜め蒸着等によって第２プレート５６の裏面に対してＸ方向に傾斜した方向から電極材料を成膜する。

図１２に示す第２重ね合わせ工程では、第２プレート５６の裏面にバックプレート５７を貼り合わせる。これにより、裏面側区画チャネル７２の裏面側開口部が閉塞される。その後、第１プレート５５に対してグラインド加工を施し、第１プレート５５の厚さを調整する。この際、第１プレート５５の加工量は、グラインド後の第１プレート５５の厚さがヘッドチップ５０としての仕上がり厚さと同等になるように設定する。これにより、連通部７３及び第２電極チャネル６４が第１プレート５５の表面上で開口する。

図１３に示すように、表面加工工程では、第１プレート５５の表面側からダイサーを進入させ、表面側区画チャネル７１を形成する。これにより、表面側区画チャネル７１及び裏面側区画チャネル７２が、連通部７３を通じて連通する。

図１４に示す第２成膜工程では、表面側区画チャネル７１及び第２電極チャネル６４の内面に各種電極（表面側区画電極８５ａや接続電極８５ｃ、共通端子８６、個別電極９１、個別端子９２）を形成する。第２成膜工程では、不図示のマスクパターンを通じて、第１プレート５５の表面側から電極材料を成膜する。この際、例えば斜め蒸着等によって第１プレート５５の表面に対してＸ方向に傾斜した方向から電極材料を成膜する。なお、第２成膜工程において、各種電極は、マスクパターンを用いる方法に限らず、全体に対して成膜後、不要な部分をレーザ等で除去してもよい。

吐出チャネル形成工程では、アクチュエータプレート５３のうち、第１電極チャネル６２間に位置する部分にダイサーを進入させ、吐出チャネル６１を形成する。
以上により、第１チップ５０Ａが完成する。

このように、本実施形態のヘッドチップ５０は、アクチュエータプレート５３において、吐出チャネル６１の両側に従動壁７５を隔てて配置された一対の第１電極チャネル６２と、第１電極チャネル６２に対して吐出チャネル６１とは反対側に、駆動壁７８を隔てて配置された一対の第２電極チャネル６４と、が形成され、従動壁７５及び駆動壁７８の間には、駆動壁７８の屈曲変形に伴いＸ方向に変位することで、従動壁７５に対してＸ方向への荷重を伝達する伝達部８０が設けられている構成とした。
この構成によれば、共通電極８５及び個別電極９１間に印加される電圧によって駆動壁７８が屈曲変形することで、伝達部８０がＸ方向に変位する。これにより、伝達部８０を介して従動壁７５にＸ方向への荷重を伝達できる。その結果、駆動壁７８の変形に伴い、吐出チャネル６１が拡大又は縮小する方向に従動壁７５を変形させ、吐出チャネル６１内の圧力を変動させることができる。よって、吐出チャネル６１の内面に電極を形成することなく、ノズル孔９７を通じて吐出チャネル６１内のインクを吐出できる。したがって、吐出チャネル６１の内面に電極を形成する場合に比べ、電極の短絡や腐食等の発生を抑制し、電気的信頼性や耐久性に優れたヘッドチップ５０を提供できる。

本実施形態のヘッドチップ５０は、伝達部８０が従動壁７５及び駆動壁７８間を連結している構成とした。
この構成によれば、駆動壁７８から従動壁７５に対し、伝達部８０を介して効率的に荷重を伝達できる。その結果、吐出圧力を確保し、高性能なヘッドチップ５０を提供できる。

本実施形態では、アクチュエータプレート５３が、分極方向がＹ方向の一方側を向く第１プレート５５と、分極方向がＹ方向の他方側を向く第２プレート５６と、を備え、伝達部８０は、第１プレート５５及び第２プレート５６の境界部分を含んでいる構成とした。
この構成によれば、第１プレート５５と第２プレート５６との境界部分を含むように伝達部８０を設けることで、駆動壁７８の屈曲変形に伴う伝達部８０のＸ方向への変位量を確保し易い。そのため、駆動壁７８から従動壁７５に対し、伝達部８０を介して効率的に荷重を付与できる。その結果、吐出圧力を確保し、高性能なヘッドチップ５０を提供できる。

本実施形態では、第１電極チャネル６２は、伝達部８０に対して表面側に位置する表面側区画チャネル７１と、伝達部８０に対して裏面側に位置する裏面側区画チャネル７２と、を有している。共通電極８５は、表面側区画チャネル７１の内面に形成された表面側区画電極８５ａと、裏面側区画チャネル７２の内面に形成された裏面側区画電極８５ｂと、を備えている。
この構成によれば、駆動壁７８のうち、伝達部８０に対して表面側に位置する第１駆動壁７８ａ、及び伝達部８０に対して裏面側に位置する第２駆動壁７８ｂをそれぞれ効果的に変形させることができる。

本実施形態では、第１電極チャネル６２の上端部には、表面側区画チャネル７１及び裏面側区画チャネル７２間をＹ方向に連通させる連通部７３が形成され、連通部７３の内面には、表面側区画電極８５ａ及び裏面側区画電極８５ｂを接続する接続電極８５ｃが形成され、尾部８８の表面には、表面側区画電極８５ａに接続される共通端子８６が形成されている構成とした。
この構成によれば、接続電極８５ｃを通じて表面側区画電極８５ａ及び裏面側区画電極８５ｂを共通化させることで、尾部８８の表面上において、共通端子８６を通じてフレキシブルプリント基板９４に一体で接続することができる。これにより、配線の引き回し等について構成の簡素化を図ることができる。

本実施形態のヘッドチップ５０では、電圧印加時に基準電位となる共通電極８５が第１電極チャネル６２に形成され、電圧印加時に共通電極８５との間に電位差を生じさせる個別電極９１が第２電極チャネル６４に形成された構成とした。
この構成によれば、第１電極チャネル６２は、伝達部８０が形成される分だけ第２電極チャネル６４よりも浅く形成される傾向にある。そのため、第１電極チャネル６２よりも比較的深く形成される第２電極チャネル６４の内面に個別電極９１を形成することで、例えば蒸着法等により第２電極チャネル６４の内面に個別電極９１を形成するにあたり、第２電極チャネル６４の底面に個別電極９１が付着し難い。そのため、例えば隣り合う吐出チャネル６１に対応して個別電極９１を設けるにあたり、第２電極チャネル６４の底面で個別電極９１を分離させる工程を別途設ける必要がなく、製造効率の向上を図ることができる。

本実施形態のヘッドチップ５０において、共通電極８５は、第１電極チャネル６２の内面のうち、第２電極チャネル６４と向かい合う内側面及び伝達部８０のうち第１電極チャネル６２内に露呈する面（底面）上に亘って形成されている構成とした。
この構成によれば、駆動壁７８に対して効果的に電界を発生させることができ、駆動壁７８及び伝達部８０を介して従動壁７５を効果的に変形させることができる。

本実施形態のインクジェットヘッド５及びプリンタ１では、上述したヘッドチップ５０を備えているため、電気的信頼性や耐久性に優れたインクジェットヘッド５及びプリンタ１を提供できる。

（変形例）
上述した実施形態では、同一の吐出セル６７に対応する個別端子９２が尾部８８に別個に引き出されている構成について説明したが、この構成に限られない。例えば、同一の吐出セル６７に対応する個別端子９２は、尾部８８の表面で接続されていてもよい。具体的には、図１５、図１６に示すように、個別端子９２は、尾部８８の表面上において、共通端子８６よりも上方に位置する部分に形成されている。個別端子９２は、吐出チャネル６１を間に挟んでＸ方向で向かい合う第２電極チャネル６４の表面側開口縁において、吐出チャネル６１を間に挟んでＸ方向で向かい合う個別電極９１同士を接続している。本変形例において、図１６に示すように、連通部７３の表面側開口部は、個別端子９２よりも下方で終端している。

尾部８８において、共通端子８６と個別端子９２との間に位置する部分には、区画溝１０５が形成されている。区画溝１０５は、尾部８８の表面上で開口するとともに、Ｘ方向に延びている。区画溝１０５は、共通端子８６と個別端子９２との間をそれぞれ分離している。

このように、同一の吐出セル６７に対応する共通配線８１についても、ヘッドチップ５０上で共通化しておくことで、端子面積を確保し易くなり、フレキシブルプリント基板９４との接続作業を行い易くなる。但し、各共通端子８６や個別端子９２は、ヘッドチップ５０で共通化するのではなく、フレキシブルプリント基板９４内で結線する構成であってもよい。また、各共通端子８６は、アクチュエータプレート５３の表面及び裏面でそれぞれ外部配線に接続されていてもよい。

上述した第１実施形態では、伝達部８０が従動壁７５及び駆動壁７８間を一体で連結している構成について説明したが、この構成に限られない。伝達部８０は、駆動壁７８の変形によって従動壁７５に荷重を伝達する構成であれば、従動壁７５や駆動壁７８とは別体で形成されていてもよい。また、伝達部８０は、駆動壁７８の変形によって従動壁７５に荷重を伝達する構成であれば、初期位置において駆動壁７８及び従動壁７５の何れか一方のみに連結されている構成であってもよい。この場合、駆動壁７８の変形に伴い、伝達部８０が駆動壁７８及び従動壁７５の他方に接触して、従動壁７５に荷重が伝達される。

上述した第１実施形態では、伝達部８０が第１プレート５５及び第２プレート５６の境界面を含んでいる構成について説明したが、この構成に限られない。伝達部８０は、駆動壁７８の変形に伴う荷重を従動壁７５に伝達する構成であれば、Ｙ方向の任意の位置に、任意の数設けてもよい。

上述した実施形態では、第１電極チャネル６２に共通電極８５を形成し、第２電極チャネル６４に個別電極９１を形成した場合について説明したが、この構成に限られない。図１７に示すヘッドチップ５０のように、第１電極チャネル６２に個別電極（第１電極）９１を形成し、第２電極チャネル６４に共通電極（第２電極）８５を形成してもよい。
この構成によれば、第１電極チャネル６２は、伝達部８０が形成される分だけ第２電極チャネル６４よりも浅く形成される傾向になる。この場合、個別電極９１のうち第１電極チャネル６２の底面に形成された部分と、共通電極８５と、の間でも電界を生じさせることができる。そのため、第１電極チャネル６２の深さが浅い場合であっても、駆動力を確保できる。また、第１電極チャネル６２の内面に形成された電極を個別電極９１として機能させる場合には、電極材料のうち、第１電極チャネル６２の底面に形成された部分を除去する必要がないので、製造効率の向上も図ることができる。

（第２実施形態）
図１８は、第２実施形態に係るヘッドチップ５０の正面図である。第２実施形態に係るヘッドチップ５０は、アクチュエータプレート５３として、いわゆるモノポールタイプを採用している点で、上述した第１実施形態と相違している。
図１８に示すように、モノポールタイプのアクチュエータプレート５３は、分極方向がＹ方向の全域で一様（一方向）に設定された一枚の圧電材料で形成されている。但し、アクチュエータプレート５３は、少なくともチャネル６１，６２，６４の形成範囲のみで分極方向が一様に設定されていれば、チャネル６１，６２，６４の底面よりも裏面側に位置する部分は、分極方向が異なっていてもよい。

本実施形態のアクチュエータプレート５３には、上述した第１実施形態と同様に、吐出チャネル６１、一対の第１電極チャネル６２及び一対の第２電極チャネル６４が形成されている。

本実施形態の第１電極チャネル６２は、アクチュエータプレート５３の表面側に開口し、深さが吐出チャネル６１の半分程度に形成されている。したがって、アクチュエータプレート５３のうち、吐出チャネル６１及び第２電極チャネル６４間に位置する部分であって、第１電極チャネル６２，６３よりも裏面側に位置する部分は、従動壁７５及び駆動壁７８間を連結する伝達部８０として機能する。なお、第１電極チャネル６２の深さは、吐出チャネル６１及び第２電極チャネル６４よりも浅ければ適宜変更が可能である。また、第１電極チャネル６２の内面には、共通電極８５が形成されている。

第２電極チャネル６４には、個別電極９１が形成されている。個別電極９１は、第２電極チャネル６４の内側面のうち、アクチュエータプレート５３の表面側からＹ方向の半分以上であって、第２電極チャネル６４の底面に到達しない程度の深さに形成されている。

本実施形態のヘッドチップ５０においても、図１９に示すインク吐出時には、個別電極９１を駆動電位Ｖｄｄとし、共通電極８５を基準電位ＧＮＤとして各電極間に駆動電圧を印加する。すると、駆動壁７８のうち共通電極８５が形成されている部分（以下、電極形成領域という。）が吐出チャネル６１から離間する向きに変形する。これにより、駆動壁７８のうち共通電極８５が形成されていない部分（以下、非形成領域という。）が電極形成領域の変形に追従して、吐出チャネル６１から離間する向きに変形する。その結果、伝達部８０がＸ方向において吐出チャネル６１から離間する向きに変位する。これにより、従動壁７５には、従動壁７５を吐出チャネル６１から離間させる向きに引っ張る引張荷重が、伝達部８０から伝達される。その結果、従動壁７５は、Ｙ方向の中央部（図示の例では、中心よりも表面側に位置する部分）を起点にしてＶ字状に屈曲変形する。その後、共通電極８５及び個別電極９１間に印加した電圧をゼロにして、駆動壁７８が復元させることで、従動壁７５が伝達部８０によって押し戻される。その結果、吐出チャネル６１内のインクがノズル孔９７を通じて液滴状に吐出される。

本実施形態のヘッドチップ５０では、モノポールタイプのアクチュエータプレート５３において、吐出チャネル６１、第１電極チャネル６２及び第２電極チャネル６４は、アクチュエータプレート５３の表面上で開口している構成とした。
この構成によれば、ヘッドチップ５０の製造時において、全てのチャネル６１，６２，６４をＹ方向の一方側から加工できるので、従来のヘッドチップに比べて製造工数の増加を抑制できる。

（第３実施形態）
第３実施形態は、本開示に係るヘッドチップ５０を循環式のヘッドチップ５０に採用している点で、上述した第１実施形態と相違している。図２０～図２２は、第３実施形態に係るヘッドチップ５０の断面図である。図２０～図２２のうち、図２０は図４に対応する断面を示し、図２１は図５に対応する断面を示し、図２２は図６に対応する断面を示している。
図２０～図２２に示すヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１やアクチュエータプレート５３、カバープレート５４に加え、流路プレート２００と、帰還プレート２０１と、を備えている。

流路プレート２００は、カバープレート５４の表面に重ね合わされている。流路プレート２００には、入口マニホールド２０２及び出口マニホールド２０３が形成されている。入口マニホールド２０２は、流路プレート２００のうち、入口共通インク室１００とＹ方向から見て重なり合う部分に形成されている。具体的に、入口マニホールド２０２は、流路プレート２００の裏面上で開口するとともに、Ｘ方向に延びている。入口マニホールド２０２は、裏面側開口部を通じて入口共通インク室１００に連通している。一方、入口マニホールド２０２は、例えば流路プレート２００におけるＸ方向における一方の端部に設けられた入口ポート（不図示）等を通じてインクタンク１５に接続されている。

出口マニホールド２０３は、流路プレート２００の下端面上で開口するとともに、Ｘ方向に延びている。出口マニホールド２０３は、例えば流路プレート２００におけるＸ方向における他方の端部に設けられた出口ポート（不図示）等を通じてインクタンク１５に接続されている。

帰還プレート２０１は、アクチュエータプレート５３とノズルプレート５１との間に配置されている。具体的に、帰還プレート２０１の上端面は、アクチュエータプレート５３、カバープレート５４及び流路プレート２００の下端面にまとめて接合されている。帰還プレート２０１の下端面には、ノズルプレート５１が接合されている。

図２０に示すように、帰還プレート２０１において、Ｚ方向から見て少なくとも吐出チャネル６１と重なり合う位置には、循環路２０８が各別に形成されている。循環路２０８は、対応する吐出チャネル６１及びノズル孔９７同士、並びに吐出チャネル６１及び出口マニホールド２０３同士を連通させている。循環路２０８は、帰還プレート２０１をＺ方向に貫通するとともに、Ｙ方向に延びている。各循環路２０８は、－Ｙ側端部において、対応する吐出チャネル６１に各別に連通している。各循環路２０８は、＋Ｙ側端部において、出口マニホールド２０３にまとめて連通している。

本実施形態のヘッドチップ５０において、入口マニホールド２０２を流れるインクは、入口共通インク室１００を通過した後、各入口スリット１０１を経て吐出チャネル６１内に流入する。吐出チャネル６１内を流れるインクは、循環路２０８内に流入する。各循環路２０８内を流れるインクのうち、一部のインクは上述した駆動壁７８の厚み滑り変形に伴う従動壁７５の変形により、ノズル孔９７から吐出される。一方、各循環路２０８内を流れるインクのうち、残りのインクは、出口マニホールド２０３内に流入する。出口マニホールド２０３内に流入したインクは、出口ポートを経てインクタンク１５に戻される。その後、インクタンク１５に戻されたインクは、再びヘッドチップ５０に供給される。

本実施形態のように、循環式のヘッドチップ５０においても、上述した第１実施形態と同様の作用効果を奏する。
なお、本実施形態では、ノズルプレート５１とアクチュエータプレート５３との間に帰還プレート２０１が配置された構成を説明したが、この構成に限られない。循環式以外のヘッドチップ５０において、ノズルプレート５１とアクチュエータプレート５３との間に中間プレートを単数又は複数配置してもよい。この場合、中間プレートには、吐出チャネル６１とノズル孔９７とを連通させる連通孔が形成される。

（その他の変形例）
なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。

上述した実施形態では、Ｚ方向が重力方向に一致する構成について説明したが、この構成のみに限らず、Ｚ方向を水平方向に沿わせてもよい。
上述した実施形態では、第１方向がＺ方向に一致し、第２方向がＸ方向に一致する構成について説明したが、この構成に限られない。第１方向及び第２方向は、Ｘ方向及びＺ方向とは別に定めてもよい。
上述した実施形態では、本開示に係るヘッドチップ５０をエッジシュートタイプに適用した場合について説明したが、これに限られない。例えば、吐出チャネルにおける延在方向の中央部からインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのヘッドチップに本開示を適用しても構わない。

その他、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせてもよい。

１…インクジェットプリンタ（液体噴射記録装置）
５…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
５０…ヘッドチップ
５１…ノズルプレート（噴射孔プレート）
５３…アクチュエータプレート
５５…第１プレート（第１圧電基板）
５６…第２プレート（第２圧電基板）
６１…吐出チャネル（噴射チャネル）
６２…第１電極チャネル
６４…第２電極チャネル
７１…表面側区画チャネル（第１区画チャネル）
７２…裏面側区画チャネル（第２区画チャネル）
７３…連通部
７５…従動壁（第１仕切部）
７８…駆動壁（第２仕切部）
８０…伝達部
８５…共通電極（第１電極、第２電極）
８５ａ…表面側区画電極（第１区画電極）
８５ｂ…裏面側区画電極（第２区画電極）
８５ｃ…接続電極
８６…共通端子（端子部）
８８…尾部
９１…個別電極（第２電極、第１電極）
９７…ノズル孔（噴射孔）

Claims (11)

1. 第１方向に延びるとともに、液体が供給される噴射チャネルが形成されたアクチュエータプレートと、
   前記アクチュエータプレートに重ね合わされるとともに、前記噴射チャネルに連通する噴射孔が形成された噴射孔プレートと、を備え、
   前記アクチュエータプレートには、
   前記第１方向に交差する第２方向において前記噴射チャネルの両側に、第１仕切部を隔てて配置され、第１電極が形成された内面を有する一対の第１電極チャネルと、
   前記第２方向において前記第１電極チャネルに対して前記噴射チャネルとは反対側に、第２仕切部を隔てて配置され、第２電極が形成された内面を有する一対の第２電極チャネルと、が形成され、
   前記第１仕切部は、前記第２方向に屈曲変形するように構成され、
   前記第２仕切部は、前記第１電極及び前記第２電極間に印加される電圧によって前記第２方向に屈曲変形するように構成され、
   前記第１仕切部と前記第２仕切部との間には、前記第２仕切部の屈曲変形に伴い前記第２方向に変位することで、前記第１仕切部に対して前記第２方向への荷重を伝達する伝達部が設けられているヘッドチップ。
2. 前記伝達部は、前記第１仕切部及び前記第２仕切部間を連結している請求項１に記載のヘッドチップ。
3. 前記アクチュエータプレートは、
   分極方向が前記第１方向から見て前記第２方向に交差する厚さ方向の一方側を向く第１圧電基板と、
   前記第１圧電基板に対して前記厚さ方向で重ね合わされ、分極方向が前記厚さ方向の他方側を向く第２圧電基板と、を備え、
   前記伝達部は、前記第１圧電基板及び前記第２圧電基板の境界部分を含んでいる請求項１又は請求項２に記載のヘッドチップ。
4. 前記第１電極チャネルは、
   前記伝達部に対して前記厚さ方向の一方側に位置する第１区画チャネルと、
   前記伝達部に対して前記厚さ方向の他方側に位置する第２区画チャネルと、を有し、
   前記第１電極は、
   前記第１区画チャネルの内面に形成された第１区画電極と、
   前記第２区画チャネルの内面に形成された第２区画電極と、を備えている請求項３に記載のヘッドチップ。
5. 前記アクチュエータプレートのうち、前記噴射チャネルに対して前記第１方向の外側に位置する部分は、尾部を構成し、
   前記第１電極チャネルのうち、前記第１方向の端部には、前記第１区画チャネル及び前記第２区画チャネル間を前記厚さ方向に連通させる連通部が形成され、
   前記連通部の内面には、前記第１区画電極及び前記第２区画電極を接続する接続電極が形成され、
   前記尾部のうち前記厚さ方向の一方側を向く面には、前記第１区画電極に接続される端子部が形成されている請求項４に記載のヘッドチップ。
6. 前記アクチュエータプレートは、前記第１方向から見て前記第２方向に交差する厚さ方向に沿って一方向に分極された圧電基板であり、
   前記噴射チャネル、前記第１電極チャネル及び前記第２電極チャネルは、前記アクチュエータプレートにおける前記厚さ方向の一方側を向く面上で開口している請求項１又は請求項２に記載のヘッドチップ。
7. 前記第１電極は、前記第１電極及び前記第２電極間への電圧印加時に基準電位となる共通電極であり、
   前記第２電極は、前記第１電極及び前記第２電極間への電圧印加時に前記第１電極との間に電位差を生じさせる駆動電極である請求項１から請求項６の何れか１項に記載のヘッドチップ。
8. 前記第２電極は、前記第１電極及び前記第２電極間への電圧印加時に基準電位となる共通電極であり、
   前記第１電極は、前記第１電極及び前記第２電極間への電圧印加時に前記第２電極との間に電位差を生じさせる駆動電極である請求項１から請求項６の何れか１項に記載のヘッドチップ。
9. 前記伝達部は、前記第１仕切部及び前記第２仕切部間を連結し、
   前記第１電極は、前記第１電極チャネルの内面のうち、前記第２電極チャネルと前記第２方向で向かい合う内側面及び前記伝達部のうち前記第１電極チャネル内に露呈する面上に亘って形成されている請求項７又は請求項８に記載のヘッドチップ。
10. 請求項１から請求項９の何れか１項に記載のヘッドチップを備えている液体噴射ヘッド。
11. 請求項１０に記載の液体噴射ヘッドを備えている液体噴射記録装置。

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