JP2022082421A - ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及びヘッドチップの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】インクによる電極の短絡を抑制して、長期に亘って優れた吐出性能を維持できるヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及びヘッドチップの製造方法を提供する。
【解決手段】本開示の一態様に係るヘッドチップ５０は、アクチュエータプレート５３と、カバープレート５４と、中間プレート５２と、を備えている。アクチュエータプレート５３において、非噴射チャネル７６ＡにおけるＹ方向の両端部には、非吐出チャネル７６Ａの内外を連通させる開放口５３ａ，９０ａＡが形成されている。アクチュエータプレート５３において、非吐出チャネル７６ＢにおけるＹ方向の両端部には、非吐出チャネル７６Ｂの内外を連通させる開放口５３ｂ，９０ａＢが形成されている。
【選択図】図１０

Description

本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及びヘッドチップの製造方法に関する。

インクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドは、インクジェットヘッドに搭載されるヘッドチップを通じて被記録媒体にインクを吐出する。ヘッドチップは、吐出チャネル及び非吐出チャネルが交互に形成されたアクチュエータプレートと、アクチュエータプレートに接合されたノズルプレートと、を備えている。アクチュエータプレートにおいて、吐出チャネル及び非吐出チャネルの内面には、それぞれ電極が形成されている。
ヘッドチップでは、電極に印加される電圧によって吐出チャネル内の容積が変化することで、吐出チャネル内のインクがノズルプレートに形成されたノズル孔を通じて吐出される。

例えば下記特許文献１，２には、吐出チャネルの内面に、電極を覆う絶縁性を有する保護膜が形成された構成が開示されている。この構成によれば、導電性インクを用いる場合であっても、吐出チャネル内においてインクを介して電極が短絡するのを抑制できるとも考えられる。

特開２０１２－１３１１７５号公報 特開２０１７－１３６７２４号公報

ところで、ヘッドチップでは、アクチュエータプレートのボイドや、アクチュエータプレートと他の部材との接合部分等を通じて吐出チャネル内から非吐出チャネル内に導電性インクが流入する可能性がある。
しかしながら、従来の構成では、非吐出チャネルの内面に積極的に保護膜を形成する点で未だ改善の余地があった。仮に非吐出チャネル内にインクが流入した場合には、非吐出チャネルの内面に形成された電極がインクを介して短絡する可能性がある。

本開示は、インクによる電極の短絡を抑制して、長期に亘って優れた吐出性能を維持できるヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置及びヘッドチップの製造方法を提供する。

上記課題を解決するために、本開示は以下の態様を採用した。
（１）本開示の一態様に係るヘッドチップは、第１方向に延びる第１噴射チャネル及び第１非噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に配列された第１チャネル領域、並びに前記第１方向に延びる第２噴射チャネル及び第２非噴射チャネルが前記第２方向に配列された第２チャネル領域が前記第１方向に並んで設けられたアクチュエータプレートと、前記第１噴射チャネルに連通する第１液体流路、及び前記第２噴射チャネルに連通する第２液体流路を有し、前記アクチュエータプレートに重ね合わされたカバープレートと、前記第１噴射チャネルに前記第１方向の中央部で連通する第１連通孔、及び前記第２噴射チャネルに前記第１方向の中央部で連通する第２連通孔を有し、前記アクチュエータプレートに対して前記カバープレートとは反対側に重ね合わされた連通プレートと、を備え、前記第１噴射チャネルの内面、前記第１非噴射チャネルの内面、前記第２噴射チャネルの内面及び前記第２非噴射チャネルの内面には、保護膜がそれぞれ形成され、前記アクチュエータプレートにおいて、前記第１非噴射チャネルにおける前記第１方向の両端部には、前記第１非噴射チャネルの内外を連通させる第１開放口が形成され、前記アクチュエータプレートにおいて、前記第２非噴射チャネルにおける前記第１方向の両端部には、前記第２非噴射チャネルの内外を連通させる第２開放口が形成されている。

本態様によれば、第１非噴射チャネルの両端部に形成された第１開放口を通じて第１非噴射チャネル内に保護膜の形成材料を導入することで、第１非噴射チャネルの内面に効果的に保護膜を形成できる。第２非噴射チャネルの両端部に形成された第２開放口を通じて第２非噴射チャネル内に保護膜の形成材料を導入することで、第２非噴射チャネルの内面に効果的に保護膜を形成できる。
その結果、例えば非噴射チャネル内に進入した液体等によって非噴射チャネルの内面に形成された電極が短絡等することを抑制できる。

（２）上記（１）の態様のヘッドチップにおいて、前記第１開放口は、前記第１非噴射チャネルのうち前記第１方向における前記第２チャネル領域側の端部に位置する第１内側開放口と、前記第１非噴射チャネルのうち前記第１方向における前記第２チャネル領域側と反対側の端部に位置する第１外側開放口と、を含み、前記第２開放口は、前記第２非噴射チャネルのうち前記第１方向における前記第１チャネル領域側の端部に位置する第２内側開放口と、前記第２非噴射チャネルのうち前記第１方向における前記第１チャネル領域側と反対側の端部に位置する第２外側開放口と、を含み、前記アクチュエータプレート及び前記連通プレートのうち、前記第１方向における前記第１チャネル領域と前記第２チャネル領域との間に位置する境界部分には、複数の前記第１非噴射チャネルにおける前記第１内側開放口、及び複数の前記第２非噴射チャネルの前記第２内側開放口を連通させるとともに、前記第２方向に延びる共通溝が形成されていることが好ましい。
本態様によれば、保護膜の形成材料が共通溝から各内側開放口を経て各非噴射チャネル内に導入される。これにより、各内側開放口を通じて各非噴射チャネル内に個別に保護膜の形成材料を導入する場合に比べ、効率的に保護膜を形成することができる。

（３）上記（２）の態様のヘッドチップにおいて、前記カバープレートには、前記共通溝に連通する連通溝が形成されていることが好ましい。
本態様によれば、各開放口に至る空間の圧力損失が小さくできるので、各内側開放口を通じて非噴射チャネル内に保護膜の形成材料を効率的に導入できる。

（４）上記（３）の態様のヘッドチップにおいて、前記連通溝における前記第１方向の幅は、前記共通溝よりも広くなっており、前記連通溝は、前記アクチュエータプレートに対して前記連通プレートとは反対側から前記第１内側開放口及び前記第２内側開放口に連通していることが好ましい。
本態様によれば、共通溝を通過して連通溝内に進入した保護膜の形成材料は、アクチュエータプレートに対して連通プレートとは反対側から各内側開放口を経て各非噴射チャネル内に導入される。これにより、各非噴射チャネル内には、共通溝を通じて直接的、又は連通溝を通じて間接的に保護膜の形成材料が導入される。その結果、非噴射チャネルの内面に効率的に保護膜を形成することができる。

（５）上記（３）又は（４）の態様のヘッドチップにおいて、前記カバープレートは、複数の前記第１液体流路にまとめて連通する第１共通流路と、複数の前記第２液体流路にまとめて連通する第２共通流路と、を備え、前記カバープレートのうち、前記第１液体流路及び前記第２共通流路の間に位置する部分は、前記第１共通流路及び前記第２共通流路間を仕切るとともに、前記第２方向に延びる梁部を構成していることが好ましい。
本態様によれば、梁部によってカバープレートの強度を確保し易くなる。そのため、アクチュエータプレートとカバープレートとを貼り合わせる際に、アクチュエータプレートとカバープレートとの間に貼り合わせ荷重を効果的に付与することができる。その結果、アクチュエータプレートとカバープレートとを確実に接合し、アクチュエータプレートとカバープレートとの間を通じたインクの漏れ等を抑制できる。

（６）上記（５）の態様のヘッドチップにおいて、前記連通溝は、前記梁部に形成され、
前記連通溝における前記第１方向の幅は、前記梁部における前記第１方向の幅よりも狭いことが好ましい。
本態様によれば、梁部に連通溝を形成することで、連通溝の深さを確保し易くなる。そのため、各開放口を通じて非噴射チャネル内に保護膜の原料ガスを効率的に導入できる。
しかも、連通溝における第１方向の幅は、梁部における第１方向の幅よりも狭いため、梁部のうち、連通溝に対して外側に位置する部分が受圧領域を構成する。受圧領域は、アクチュエータプレートとカバープレートとを貼り合わせる際に、アクチュエータプレートとカバープレートとの間に作用する荷重を受ける受圧面として機能する。これにより、アクチュエータプレートとカバープレートとの間に効果的に貼り合わせ荷重を付与することができる。その結果、アクチュエータプレートとカバープレートとの間を通じたインクの漏れ等を抑制できる。

（７）上記（６）の態様のヘッドチップにおいて、前記連通溝と、前記第１共通流路及び前記第２共通流路と、は、前記アクチュエータプレートと前記カバープレートとが重ね合わされた重ね合わせ方向に重なり合っていることが好ましい。
本態様によれば、連通溝の深さを確保し易くなるので、各開放口を通じて非噴射チャネル内に保護膜の原料ガスを効率的に導入できる。

（８）上記（２）から（７）の何れかの態様のヘッドチップにおいて、前記第１非噴射チャネルは、前記第１方向に延びる第１延在部と、前記第１延在部から前記第１方向における前記第２チャネル領域側に向かうに従い溝深さが漸次浅くなる第１切り上がり部と、を備え、前記第２非噴射チャネルは、前記第１方向に延びる第２延在部と、前記第２延在部から前記第１方向の前記第１チャネル領域側に向かうに従い溝深さが漸次浅くなる第２切り上がり部と、を備え、前記第１切り上がり部は、前記共通溝を前記第１方向に横断するとともに、前記共通溝との連通部分が前記第１内側開放口を構成し、前記第２切り上がり部は、前記共通溝を前記第１方向に横断するとともに、前記共通溝との連通部分が前記第２内側開放口を構成していることが好ましい。
本態様によれば、共通溝が切り上がり部の端部で連通する場合に比べ、内側開放口の開口面積を確保し易い。これにより、各内側開放口を通じて非噴射チャネル内に保護膜の形成材料を効率的に導入できる。

（９）本態様に係る液体噴射ヘッドは、上記（１）から（７）の何れかの態様に係るヘッドチップを備えている。
本態様によれば、上記何れかの態様に係るヘッドチップを備えているので、液体による電極の短絡等を抑制して、長期に亘って優れた噴射性能を維持できる。

（１０）本態様に係る液体噴射記録装置は、上記（９）の態様に係る液体噴射ヘッドを備えている。
本態様によれば、上記態様に係る液体噴射ヘッドを備えているので、液体による電極の短絡等を抑制して、長期に亘って優れた噴射性能を維持できる。

（１１）本開示の一態様に係るヘッドチップの製造方法は、前記開放口を通じて前記非噴射チャネル内に前記保護膜の形成材料を導入するヘッドチップの製造方法は、第１方向に延びる噴射チャネル及び非噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に配列されたアクチュエータプレートと、前記噴射チャネルに連通する液体流路を有し、前記アクチュエータプレートに重ね合わされたカバープレートと、前記噴射チャネルに前記第１方向の中央部で連通する連通孔を有し、前記アクチュエータプレートに対して前記カバープレートとは反対側に重ね合わされた連通プレートと、を備えたヘッドチップの製造方法であって、前記アクチュエータプレートにおいて、前記非噴射チャネルにおける前記第１方向の両端部には、前記非噴射チャネルの内外を連通させる開放口が形成され、前記噴射チャネルの内面及び前記非噴射チャネルの内面に保護膜を形成する保護膜形成工程を有し、前記保護膜形成工程は、前記液体流路及び前記連通孔を通じて前記噴射チャネル内に前記保護膜の形成材料を導入し、前記開放口を通じて前記非噴射チャネル内に前記保護膜の形成材料を導入する。

本態様によれば、液体流路及び連通孔を通じて噴射チャネル内に保護膜の形成材料を導入し、開放口を通じて非噴射チャネル内に保護膜の形成材料を導入することで、噴射チャネルの内面及び非噴射チャネルの内面に効果的に保護膜を形成できる。
その結果、例えば噴射チャネルや非噴射チャネル内に進入した液体等によって噴射チャネルや非噴射チャネルの内面に形成された電極が短絡等することを抑制できる。

本開示の一態様によれば、液体による電極の短絡を抑制して、長期に亘って優れた噴射性能を維持できる。

第１実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッド及びインク循環機構の概略構成図である。 第１実施形態に係るノズルプレートを取り外した状態におけるヘッドチップを－Ｚ側から見た斜視図である。 第１実施形態に係るヘッドチップの分解斜視図である。 第１実施形態に係るアクチュエータプレートの底面図である。 図５のＶＩ－ＶＩ線に相当する断面図である。 図５のＶＩＩ－ＶＩＩ線に相当する断面図である。 図７のＶＩＩＩ部拡大図である。 図４のＩＸ－ＩＸ線に沿う断面図である。 第１実施形態に係るプレート接合体の拡大断面図である。 第２実施形態に係るヘッドチップの拡大断面図である。 第２実施形態の他の構成に係るヘッドチップの拡大断面図である。 変形例に係るヘッドチップの拡大断面図である。

以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する実施形態や変形例において、対応する構成については同一の符号を付して説明を省略する場合がある。なお、以下の説明において、例えば「平行」や「直交」、「中心」、「同軸」等の相対的又は絶対的な配置を示す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差や同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。以下の実施形態では、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

（第１実施形態）
［プリンタ１］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ（液体噴射記録装置）１は、一対の搬送機構２，３と、インクタンク４と、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インク循環機構６と、走査機構７と、を備えている。

以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。この場合、Ｘ方向（第２方向）は被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向（副走査方向）に一致している。Ｙ方向（第１方向）は走査機構７の走査方向（主走査方向）に一致している。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する高さ方向（重力方向）を示している。以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のうち、図中矢印側をプラス（＋）側とし、矢印とは反対側をマイナス（－）側として説明する。本実施形態において、＋Ｚ側は重力方向の上方に相当し、－Ｚ側は重力方向の下方に相当する。

搬送機構２，３は、被記録媒体Ｐを＋Ｘ側に搬送する。搬送機構２，３は、例えばＹ方向に延びる一対のローラ１１，１２をそれぞれ含んでいる。
インクタンク４は、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。各インクジェットヘッド５は、接続されたインクタンク４に応じてイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクをそれぞれ吐出可能に構成されている。なお、インクタンク４に収容されるインクは、導電性インクであっても、非導電性インクであってもよい。

図２は、インクジェットヘッド５及びインク循環機構６の概略構成図である。
図１、図２に示すように、インク循環機構６は、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させる。具体的に、インク循環機構６は、インク供給管２１及びインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。

加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を通してインクジェットヘッド５にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インク排出管２２内を通してインクジェットヘッド５からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を通して循環可能となっている。

走査機構７は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。走査機構７は、Ｙ方向に延びるガイドレール２８と、ガイドレール２８に移動可能に支持されたキャリッジ２９と、を備えている。

＜インクジェットヘッド５＞
図１に示すように、インクジェットヘッド５は、キャリッジ２９に搭載されている。図示の例では、複数のインクジェットヘッド５が、一つのキャリッジ２９にＹ方向に並んで搭載されている。インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ５０（図３参照）と、インク循環機構６及びヘッドチップ５０間を接続するインク供給部（不図示）と、ヘッドチップ５０に駆動電圧を印加する制御部（不図示）と、を備えている。

＜ヘッドチップ５０＞
図３は、ノズルプレート５１を取り外した状態におけるヘッドチップ５０を－Ｚ側から見た斜視図である。図４は、ヘッドチップ５０の分解斜視図である。
図３、図４に示すヘッドチップ５０は、インクタンク４との間でインクを循環させるとともに、後述する吐出チャネル７５における延在方向（Ｙ方向）の中央部からインクを吐出する、いわゆる循環式サイドシュートタイプのヘッドチップ５０である。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１（図４参照）と、中間プレート（連通プレート）５２と、アクチュエータプレート５３と、カバープレート５４と、を備えている。ヘッドチップ５０は、ノズルプレート５１、中間プレート５２、アクチュエータプレート５３及びカバープレート５４が、この順番にＺ方向に積層された構成である。以下の説明では、Ｚ方向のうち、ノズルプレート５１からカバープレート５４に向かう方向（＋Ｚ側）を裏側とし、カバープレート５４からノズルプレート５１に向かう方向（－Ｚ側）を表側として説明する場合がある。

アクチュエータプレート５３は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されている。アクチュエータプレート５３は、例えば分極方向がＺ方向で異なる２枚の圧電板を積層してなる、いわゆるシェブロン基板である。但し、アクチュエータプレート５３は、分極方向がＺ方向の全域で一方向な、いわゆるモノポール基板であってもよい。

図５は、アクチュエータプレート５３の底面図である。
図４、図５に示すように、アクチュエータプレート５３には、複数（例えば、４列）のチャネル列６１～６４が形成されている。各チャネル列６１～６４は、Ｘ方向に延びるとともに、Ｙ方向に間隔をあけて配列されている。本実施形態において、チャネル列６１～６４は、第１チャネルＡ列（第１チャネル領域）６１、第１チャネルＢ列（第２チャネル領域）６２、第２チャネルＡ列（第１チャネル領域）６３及び第２チャネルＢ列（第２チャネル領域）６４である。第１チャネルＡ列６１及び第１チャネルＢ列６２は、第１チャネル群６６を構成している。第２チャネルＡ列６３及び第２チャネルＢ列６４は、第２チャネル群６７を構成している。

図５に示すように、アクチュエータプレート５３において、各チャネル群６６，６７間に位置する部分には、群分離溝７１が形成されている。群分離溝７１は、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通するとともに、Ｘ方向に延びている。群分離溝７１は、各チャネル群６６，６７間を分離している。なお、ヘッドチップ５０は、群分離溝７１に対してＹ方向の両側でそれぞれ同様の構成をなしている。したがって、以下の説明では、群分離溝７１に対して－Ｙ側の構成について主に説明し、＋Ｙ側の構成については適宜説明を省略する。

アクチュエータプレート５３において、第１チャネルＡ列６１及び第１チャネルＢ列６２間に位置する部分、並びに第２チャネルＡ列６３及び第２チャネルＢ列６４間に位置する部分には、列分離溝７２がそれぞれ形成されている。列分離溝７２は、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通するとともに、Ｘ方向に延びている。列分離溝７２は、群分離溝７１よりもＹ方向の幅が狭くなっている。なお、各分離溝７１，７２は、Ｘ方向においてアクチュエータプレート５３を貫通していない。

以下では、チャネル列６１～６４の構成について、第１チャネルＡ列６１を例にして説明する。以下の説明において、各チャネル列６１～６４のうち、Ａ列に関する構成には符号の末尾にＡを付し、Ｂ列に関する構成には符号の末尾にＢを付して、Ａ列及びＢ列で同一又は対応する構成について説明を省略する場合がある。また、各チャネル列６１～６４において、Ａ列及びＢ列を区別する必要がない場合は、符号の末尾のＡ又はＢを省略する。
第１チャネルＡ列６１は、アクチュエータプレート５３のうち列分離溝７２に対して群分離溝７１とは反対側（－Ｙ側）に形成されている。第１チャネルＡ列６１は、インクが充填される吐出チャネル（第１噴射チャネル）７５Ａと、インクが充填されない非吐出チャネル（第１非噴射チャネル）７６Ａと、を有している。各チャネル７５Ａ，７６Ａは、Ｚ方向から見た平面視において、それぞれＹ方向に直線状に延びるとともに、Ｘ方向に間隔をあけて交互に並んでいる。アクチュエータプレート５３のうち、吐出チャネル７５Ａ及び非吐出チャネル７６Ａ間に位置する部分は、吐出チャネル７５Ａ及び非吐出チャネル７６Ａ間をＸ方向で仕切る駆動壁７０（図４参照）を構成している。なお、本実施形態では、チャネル延在方向がＹ方向に一致する構成について説明するが、チャネル延在方向がＹ方向に交差していてもよい。

図６は、図５のＶＩ－ＶＩ線に相当する断面図である。
図６に示すように、吐出チャネル７５Ａは、Ｘ方向から見た側面視において、表面側に向けて凸の湾曲形状に形成されている。吐出チャネル７５は、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の裏面側（＋Ｚ側）から進入させることで形成される。具体的に、吐出チャネル７５Ａは、Ｙ方向の両端部に位置する切り上がり部７５ａと、各切り上がり部７５ａ間に位置する貫通部７５ｂと、を有している。
切り上がり部７５ａは、Ｘ方向から見て例えばダイサーの曲率半径に倣って延びる曲率半径が一様な円弧状である。切り上がり部７５ａは、Ｙ方向において貫通部７５ｂから離れるに従い裏側に向けて湾曲しながら延びている。
貫通部７５ｂは、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。

図７は、図５のＶＩＩ－ＶＩＩ線に相当する断面図である。
図７に示すように、非吐出チャネル７６Ａは、駆動壁７０を間に挟んで吐出チャネル７５ＡとＸ方向で隣り合っている。非吐出チャネル７６Ａは、例えば円板状のダイサーをアクチュエータプレート５３の裏面側（＋Ｚ側）から進入させることで形成される。非吐出チャネル７６Ａは、貫通部（第１延在部）７６ａと、切り上がり部（第１切り上がり部）７６ｂと、を備えている。
貫通部７６ａは、アクチュエータプレート５３をＺ方向に貫通している。すなわち、貫通部７６ａは、Ｚ方向における溝深さが一様に形成されている。貫通部７６ａは、非吐出チャネル７６のうち＋Ｙ側端部以外の部分を構成している。
切り上がり部７６ｂは、非吐出チャネル７６のうち＋Ｙ側端部を構成している。切り上がり部７６ｂは、Ｘ方向から見て例えばダイサーの曲率半径に倣って延びる曲率半径が一様な円弧状である。切り上がり部７６ｂは、Ｙ方向において貫通部７６ａから離れるに従い裏側に向けて湾曲しながら延びている。

図６、図７に示すように、非吐出チャネル７６ＡのＹ方向の寸法は、吐出チャネル７５Ａよりも長くなっている。具体的に、非吐出チャネル７６Ａのうち、貫通部７６ａの－Ｙ側端部が吐出チャネル７５Ａよりも－Ｙ側に位置し、切り上がり部７６ｂの＋Ｙ側端部が吐出チャネル７５Ａよりも＋Ｙ側に位置している。

図５に示すように、第１チャネルＢ列６２は、アクチュエータプレート５３において群分離溝７１と列分離溝７２との間に設けられている。第１チャネルＢ列６２は、上述した第１チャネルＡ列６１と同様に吐出チャネル（第２噴射チャネル）７５Ｂ及び非吐出チャネル（第２非噴射チャネル）７６ＢがＸ方向に交互に並んだ構成である。具体的に、吐出チャネル７５Ｂ及び非吐出チャネル７６Ｂは、吐出チャネル７５Ａ及び非吐出チャネル７６Ａの配列ピッチに対して半ピッチずれて配列されている。したがって、本実施形態のインクジェットヘッド５では、第１チャネルＡ列６１及び第１チャネルＢ列６２の吐出チャネル７５同士、並びに第１チャネルＡ列６１及び第１チャネルＢ列６２の非吐出チャネル７６同士が千鳥状（互い違い）に配置されている。すなわち、隣り合うチャネル列６１，６２間において、吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６同士がＹ方向で向かい合っている。但し、各チャネル列６１，６２間において、吐出チャネル７５同士及び非吐出チャネル７６同士がＹ方向で向かい合って配置されていてもよい。なお、各チャネル列６１～６４は、第１チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５Ａ及び非吐出チャネル７６Ａの配列ピッチに対してそれぞれ１／４ピッチ毎ずれて配列されていてもよい。

各チャネル列６１，６２において、吐出チャネル７５は、列分離溝７２におけるＹ方向の中心を通るＸＺ平面に対して面対称に形成されている。
各チャネル列６１，６２において、非吐出チャネル７６は、列分離溝７２におけるＹ方向の中心を通るＸＺ平面に対して面対称に形成されている。

アクチュエータプレート５３のうち、第１チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５Ａ（貫通部７５ｂ）に対して－Ｙ側に位置する部分は、第１外側領域８１を構成している。アクチュエータプレート５３のうち、第１チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５Ａに対して＋Ｙ側に位置する部分と、列分離溝７２と、の間に位置する部分は、第１内側領域８２を構成している。
アクチュエータプレート５３のうち、第１チャネルＢ列６２の吐出チャネル７５Ｂに対して－Ｙ側に位置する部分と、列分離溝７２と、の間に位置する部分は、第２内側領域８５を構成している。アクチュエータプレート５３のうち、第１チャネルＢ列６２の吐出チャネル７５Ｂに対して＋Ｙ側に位置する部分と、群分離溝７１と、の間に位置する部分は、第２外側領域８６を構成している。

図７に示すように、第１チャネルＡ列６１において、非吐出チャネル７６Ａの貫通部７６ａは、第１外側領域８１をＹ方向及びＺ方向に貫通している。貫通部７６ａのうち、第１外側領域８１の外面上での開口部は、非吐出チャネル７６Ａの内外を連通させる開放口（第１外側開放口）５３ａを構成している。

図８は、図７のＶＩＩＩ部拡大図である。
図８に示すように、第１チャネルＡ列６１において、非吐出チャネル７６Ａの切り上がり部７６ｂは、列分離溝７２をＹ方向に横断している。したがって、切り上がり部７６ｂの一部（＋Ｙ側端部）は、第１チャネルＢ列６２の第２内側領域８５に達している。具体的に、非吐出チャネル７６Ａの切り上がり部７６ｂのうち第１内側領域８２に位置する部分は、貫通部７６ａと列分離溝７２とを連通させる連通部９０Ａを構成している。連通部９０Ａは、開放口（第１内側開放口）９０ａＡを通じて列分離溝７２内に開放されている。非吐出チャネル７６Ａの切り上がり部７６ｂのうち第２内側領域８５に達する部分は、列分離溝７２によって分断された分断部９１Ａを構成している。

図６に示すように、第１チャネルＢ列６２において、非吐出チャネル７６Ｂの貫通部７６ａは、第２外側領域８６をＹ方向及びＺ方向に貫通している。貫通部７６ａのうち、第２外側領域８６の外面上での開口部は、非吐出チャネル７６Ｂの内外を連通させる開放口（第２外側開放口）５３ｂを構成している。

図８に示すように、第１チャネルＢ列６２において、非吐出チャネル７６Ｂの切り上がり部（第２切り上がり部）７６ｂは、列分離溝７２をＹ方向に横断している。したがって、切り上がり部７６ｂの一部（－Ｙ側端部）は、第１チャネルＡ列６１の第１内側領域８２に達している。具体的に、第１チャネルＢ列６２を構成する切り上がり部７６ｂのうち第２内側領域８５に位置する部分は、貫通部（第２延在部）７６ａと列分離溝７２とを連通させる連通部９０Ｂを構成している。連通部９０Ｂは、開放口９０ａＢを通じて列分離溝７２内に開放されている。非吐出チャネル７６Ｂの切り上がり部７６ｂのうち第１内側領域８２に達する部分は、列分離溝７２によって分断された分断部９１Ｂを構成している。なお、切り上がり部７６ｂは、少なくとも列分離溝７２内に連通する構成であれば、列分離溝７２を横断していなくてもよい。すなわち、切り上がり部７６ｂは、分断部９１を有さない構成であってもよい。

図９は、図４のＩＸ－ＩＸ線に沿う断面図である。
図９に示すように、アクチュエータプレート５３の駆動壁７０のうち、各吐出チャネル７５に面する内側面（吐出チャネル７５の内面のうち、Ｘ方向で対向する面）には、共通電極９５がそれぞれ形成されている。共通電極９５は、吐出チャネル７５の内側面においてＺ方向の全域に亘って形成されている。共通電極９５は、Ｙ方向における長さが吐出チャネル７５の貫通部７５ｂと同等（アクチュエータプレート５３の表面における吐出チャネル７５の開口長と同等）とされている。

図５に示すように、アクチュエータプレート５３の表面には、複数の共通端子９６が形成されている。共通端子９６は、Ｙ方向に沿って互いに平行に延在する帯状とされている。各共通端子９６は、対応する吐出チャネル７５の開口縁において一対の共通電極９５にそれぞれ接続されている。各共通端子９６は、対応する外側領域８１，８６内で終端している。

図９に示すように、アクチュエータプレート５３の駆動壁７０のうち、各非吐出チャネル７６に面する内側面（非吐出チャネル７６のうち、Ｘ方向で対向する面）には、個別電極９７が形成されている。個別電極９７は、非吐出チャネル７６の内側面において、Ｚ方向の全域に亘って形成されている。

図５に示すように、外側領域８１，８６の表面において、共通端子９６よりもＹ方向の外側に位置する部分には、個別端子９８が形成されている。個別端子９８は、Ｘ方向に延在する帯状とされている。個別端子９８は、吐出チャネル７５を間に挟んでＸ方向で対向する非吐出チャネル７６の開口縁において、吐出チャネル７５を間に挟んでＸ方向で対向する個別電極９７同士を接続している。なお、外側領域８１，８６において、共通端子９６と個別端子９８との間に位置する部分には、区画溝９９が形成されている。区画溝９９は、各外側領域８１，８６において、Ｘ方向に延びている。区画溝９９は、共通端子９６と個別端子９８とを分離している。なお、図３、図４等については、各電極９５，９７及び各端子９６，９８は一部のみ示している。

図６に示すように、第１外側領域８１の表面には、第１フレキシブルプリント基板１００が圧着されている。第１フレキシブルプリント基板１００は、第１外側領域８１の表面において、第１チャネルＡ列６１に対応する共通端子９６と個別端子９８に接続されている。第１フレキシブルプリント基板１００は、アクチュエータプレート５３の外側を通って＋Ｚ側に引き出されている。

第２外側領域８６の表面には、第２フレキシブルプリント基板１０１が圧着されている。第２フレキシブルプリント基板１０１は、第２外側領域８６の表面において、第１チャネルＢ列６２に対応する共通端子９６と個別端子９８に接続されている。第２フレキシブルプリント基板１０１は、群分離溝７１内を通じて＋Ｚ側に引き出されている。

図９に示すように、吐出チャネル７５の内面には、第１保護膜１１０が形成されている。第１保護膜１１０は、吐出チャネル７５の内面全体に亘って形成されている。第１保護膜１１０は、共通電極９５を覆っている。第１保護膜１１０は、例えば共通電極９５とインクとの接触を抑制する。なお、第１保護膜１１０は、吐出チャネル７５の内側面において、少なくとも共通電極９５を覆っていればよい。

非吐出チャネル７６の内面には、第２保護膜１１１が形成されている。第２保護膜１１１は、非吐出チャネル７６の内面全体に亘って形成されている。第２保護膜１１１は、個別電極９７を覆っている。第２保護膜１１１は、例えば個別電極９７とインクとの接触等を抑制する。なお、第２保護膜１１１は、非吐出チャネル７６の内側面において、少なくとも個別電極９７を覆っていればよい。

保護膜１１０，１１１は、例えば、パラキシリレン系樹脂材料（例えば、パリレン（登録商標））等の有機絶縁材料を含んでいる。保護膜ＰＦは、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、窒化シリコン（ＳｉＮ）、炭化シリコン（ＳｉＣ）、酸化シリコン（ＳｉＯ２）又はダイヤモンドライクカーボン（Ｄｉａｍｏｎｄ－ｌｉｋｅ ｃａｒｂｏｎ）等により構成されていてもよく、これらの少なくともいずれか一つを含んでいてもよい。

＜カバープレート５４＞
図３、図４に示すように、カバープレート５４は、各チャネル群６６，６７を閉塞するようにアクチュエータプレート５３の裏面に接着されている。カバープレート５４において、各チャネル列６１～６４と対応する位置には、入口共通インク室１２０及び出口共通インク室１２１がそれぞれ形成されている。
入口共通インク室１２０は、例えば第１チャネルＡ列６１において吐出チャネル７５Ａの＋Ｙ側端部と平面視で重なる位置に形成されている。入口共通インク室１２０は、例えば第１チャネルＡ列６１を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の裏面上で開口している。
出口共通インク室１２１は、例えば第１チャネルＡ列６１において吐出チャネル７５Ａの－Ｙ側端部と平面視で重なる位置に形成されている。入口共通インク室１２０は、チャネルＡ列６１を跨る長さでＸ方向に延びるとともに、カバープレート５４の裏面上で開口している。

入口共通インク室１２０において、第１チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５Ａと対応する位置には、入口スリット（第１液体流路、第２液体流路）１２５が形成されている。入口スリット１２５は、各吐出チャネル７５Ａの＋Ｙ側端部と、入口共通インク室１２０内と、の間を各別に連通している。
出口共通インク室１２１において、第１チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５Ａと対応する位置には、出口スリット（第１液体流路、第２液体流路）１２６が形成されている。出口スリット１２６は、各吐出チャネル７５Ａの－Ｙ側端部と、出口共通インク室１２１内と、の間を各別に連通している。したがって、入口スリット１２５及び出口スリット１２６は、それぞれ各吐出チャネル７５Ａに連通する一方、非吐出チャネル７６Ａには連通していない。

カバープレート５４において、隣り合う入口共通インク室（第１共通流路、第２共通流路）１２０の間は、梁部１２８を構成している。梁部１２８は、Ｘ方向に沿って直線状に延びている。梁部１２８は、隣り合う入口共通インク室１２０の間を仕切っている。

図８に示すように、カバープレート５４（梁部１２８）の表面において、列分離溝７２と平面視で重なる位置には、連通溝１２７が形成されている。連通溝１２７は、カバープレート５４の表面上で開口して、列分離溝７２内に連通している。連通溝１２７は、チャネル列６１～６４を横断する長さでＸ方向に延びている。連通溝１２７のＹ方向における寸法は、列分離溝７２よりも長くなっている。したがって、連通溝１２７は、アクチュエータプレート５３の裏面上で非吐出チャネル７６の連通部９０に連通している。

＜中間プレート５２＞
中間プレート５２は、各チャネル群６６，６７を閉塞するようにアクチュエータプレート５３の表面に接着されている。中間プレート５２は、アクチュエータプレート５３と同様にＰＺＴ等の圧電材料により形成されている。中間プレート５２は、Ｚ方向での厚さがアクチュエータプレート５３よりも薄い。中間プレート５２は、Ｙ方向の寸法がアクチュエータプレート５３よりも短くなっている。したがって、中間プレート５２に対してＹ方向の両側には、アクチュエータプレート５３におけるＹ方向の両端部（例えば、第１外側領域８１）が露出する。アクチュエータプレート５３におけるＹ方向の両端部において、中間プレート５２から露出した部分は、フレキシブルプリント基板１００，１０１の圧着領域として機能する。

中間プレート５２において、各吐出チャネル７５の貫通部７５ｂと平面視で重なり合う部分には、連通孔１３０が形成されている。連通孔１３０は、吐出チャネル７５Ａに連通するＡ列連通孔１３０Ａ、及び吐出チャネル７５Ｂに連通するＢ列連通孔１３０Ｂである。連通孔１３０は、アクチュエータプレート５３の表面側において、対応する吐出チャネル７５の貫通部７５ｂ内に各別に連通している。連通孔１３０は、Ｙ方向を長手方向とする長円形状に形成されている。連通孔１３０におけるＹ方向の寸法は、貫通部７５ｂよりも短い。一方、連通孔１３０におけるＸ方向の寸法は、貫通部７５ｂよりも広い。但し、連通孔１３０におけるＸ方向の寸法は、貫通部７５ｂよりも短くてもよい。

中間プレート５２において、平面視で群分離溝７１と重なる位置には、第１開放溝１３１が形成されている。第１開放溝１３１は、群分離溝７１を開放させるとともに、第１チャネルＢ列６２の第２外側領域８６及び第２チャネルＡ列６３の第１外側領域８１を露出させる。第１開放溝１３１は、群分離溝７１と同等の長さを有するＸ方向に延びる帯状に形成されている。

中間プレート５２において、平面視で列分離溝７２と重なる位置には、第２開放溝１３２が形成されている。第２開放溝１３２は、少なくとも列分離溝７２を開放させる。第２開放溝１３２は、列分離溝７２と同等の長さを有するＸ方向に延びる帯状に形成されている。なお、第２開放溝１３２のＹ方向の長さは、列分離溝７２の少なくとも一部が第２開放溝１３２を通じて開放される構成であれば、列分離溝７２よりも狭くても広くてもよい。本実施形態において、第２開放溝１３２及び列分離溝７２のＹ方向の長さは、それぞれ同等になっている。

図４に示すように、ノズルプレート５１は、中間プレート５２の表面に接着等によって固定されている。ノズルプレート５１は、Ｙ方向における幅が中間プレート５２と同等になっている。本実施形態において、ノズルプレート５１は、ポリイミド等の樹脂材料により厚さが５０μｍ程度に形成されている。但し、ノズルプレート５１は、樹脂材料の他、金属材料（ＳＵＳやＮｉ－Ｐｄ等）、ガラス、シリコン等による単層構造、又は積層構造であってもよい。

ノズルプレート５１には、Ｘ方向に延びるノズル列（第１ノズルＡ列１４１、第１ノズルＢ列１４２、第２ノズルＡ列１４３及び第２ノズルＢ列１４４）がＹ方向に間隔をあけて４列形成されている。
各ノズル列１４１～１４４は、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数のノズル孔（第１ノズルＡ孔１４５、第１ノズルＢ孔１４６、第２ノズルＡ孔１４７及び第２ノズルＢ孔１４８）を有している。各ノズル孔１４５～１４８は、それぞれＸ方向に間隔をあけて配置されている。各ノズル孔１４５～１４８は、例えば裏側から表側に向かうに従い内径が漸次縮小するテーパ状に形成されている。各ノズル孔１４５～１４８の最大内径は、吐出チャネル７５のＹ方向の幅と同等になっている。

図６、図９に示すように、第１ノズルＡ孔１４５は、第１チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５ＡのうちＹ方向の中央部に、Ａ列連通孔（第１連通孔）１３０Ａを通じて各別に連通している。第１ノズルＢ孔１４６は、第１チャネルＢ列６２の吐出チャネル７５ＢのうちＹ方向の中央部に、Ｂ列連通孔（第２連通孔）１３０Ｂを通じて各別に連通している。第２ノズルＡ孔１４７は、第２チャネルＡ列６３の吐出チャネル７５ＡのうちＹ方向の中央部に、Ａ列連通孔１３０Ａを通じて各別に連通している。第２ノズルＢ孔１４８は、第２チャネルＢ列６４の吐出チャネル７５ＢのうちＹ方向の中央部に、Ｂ列連通孔１３０Ｂを通じて各別に連通している。したがって、各非吐出チャネル７６は、ノズル孔１４５～１４８には連通しておらず、ノズルプレート５１により表面側から覆われている。

［プリンタ１の動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環機構６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。

このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、被記録媒体Ｐが搬送機構２，３のローラ１１，１２に挟み込まれながら＋Ｘ側に搬送される。また、これと同時にキャリッジ２９がＹ方向に移動することで、キャリッジ２９に搭載されたインクジェットヘッド５がＹ方向に往復移動する。
インクジェットヘッド５が往復移動する間に、各インクジェットヘッド５よりインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させる。これにより、被記録媒体Ｐに対して文字や画像等の記録を行うことができる。

ここで、各インクジェットヘッド５の動きについて、以下に詳細に説明する。
本実施形態のような循環式サイドシュートタイプのインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、入口共通インク室１２０及び入口スリット１２５を通して各吐出チャネル７５内に供給される。各吐出チャネル７５内に供給されたインクは、各吐出チャネル７５をＹ方向に流通する。その後、インクは、出口スリット１２６を通じて出口共通インク室１２１に排出された後、インク排出管２２を通してインクタンク４に戻される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させることができる。

そして、キャリッジ２９（図１参照）の移動によってインクジェットヘッド５の往復移動が開始されると、フレキシブルプリント基板１００，１０１を介して電極９５，９７に駆動電圧が印加される。この際、個別電極９７を駆動電位Ｖｄｄとし、共通電極９５を基準電位ＧＮＤとして各電極９５，９７間に駆動電圧を印加する。すると、吐出チャネル７５を画成する２つ駆動壁７０に厚み滑り変形が生じ、これら２つの駆動壁７０が非吐出チャネル７６側へ突出するように変形する。すなわち、各電極９５，９７間に電圧を印加することで、駆動壁７０がＺ方向の中間部分を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル７５の容積が増大する。そして、吐出チャネル７５の容積が増大したことにより、入口共通インク室１２０内に貯留されたインクが入口スリット１２５を通じて吐出チャネル７５内に誘導される。吐出チャネル７５の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル７５の内部に伝播する。圧力波がノズル孔１４５～１４８に到達したタイミングで、電極９５，９７間に印加した電圧をゼロにする。これにより、駆動壁７０が復元し、一旦増大した吐出チャネル７５の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル７５の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、液滴状のインクが連通孔１３０及びノズル孔１４５～１４８を通って外部に吐出されることで、上述したように被記録媒体Ｐに文字や画像等を記録することができる。

＜ヘッドチップ５０の製造方法＞
次に、上述したヘッドチップ５０の製造方法について説明する。以下の説明では、便宜上、ヘッドチップ５０をチップレベルで製造する場合を例にして説明する。図１０は、プレート接合体２００の拡大側面図である。
ヘッドチップ５０の製造方法は、重ね合わせ工程と、保護膜形成工程と、ノズルプレート貼付工程と、を備えている。なお、各プレート５１～５４には、重ね合わせ工程以前に必要な加工は既に施しているものとする。

重ね合わせ工程では、アクチュエータプレート５３と、カバープレート５４と、中間プレート５２と、を接着剤等により貼り合わせる。この際、アクチュエータプレート５３とカバープレート５４とは、各チャネル列６１～６４の吐出チャネル７５が対応するスリット１２５，１２６に連通するように貼り合わせる。また、アクチュエータプレート５３と中間プレート５２とは、各チャネル列６１～６４の吐出チャネル７５が対応する連通孔１３０に連通するように貼り合わせる。アクチュエータプレート５３と、カバープレート５４と、中間プレート５２と、が貼り合わされることで、プレート接合体２００が形成される。この状態において、吐出チャネル７５は、スリット１２５，１２６及び連通孔１３０を通じて吐出チャネル７５の外部に連通する。非吐出チャネル７６は、外側領域８１，８６において貫通部７６ａが非吐出チャネル７６の外部に連通し、列分離溝７２及び第２開放溝１３２を通じて開放口９０ａが非吐出チャネル７６の外部に連通している。

保護膜形成工程では、吐出チャネル７５に第１保護膜１１０を形成するとともに、非吐出チャネル７６の内面に保護膜１１１を形成する。保護膜１１０，１１１は、例えば化学蒸着法（ＣＶＤ）等を用いてパラキシリレン系樹脂材料を成膜することにより行う。具体的には、プレート接合体２００をチャンバ（不図示）にセットした状態で、保護膜１１０，１１１の形成材料となる原料ガスを導入する。この際、吐出チャネル７５には、スリット１２５，１２６や連通孔１３０を通じて原料ガスが導入される。すなわち、原料ガスは、共通インク室１２０，１２１及びスリット１２５，１２６を通じて吐出チャネル７５のＹ方向の両端部から導入される（矢印Ｑ１ａ参照）。原料ガスは、連通孔１３０を通じて吐出チャネル７５のＹ方向の中央部から導入される（矢印Ｑ１ｂ参照）。吐出チャネル７５内に導入された原料ガスが吐出チャネル７５の内面に付着することで、吐出チャネル７５の内面上に第１保護膜１１０が堆積する。

非吐出チャネル７６には、貫通部７６ａや連通部９０を通じて原料ガスが導入される。すなわち、原料ガスは、貫通部７６ａのうち外側領域８１，８６で開放された部分（開放口５３ａ，５３ｂ）を通じて非吐出チャネル７６内に導入される（矢印Ｑ２ａ参照）。原料ガスは、第２開放溝１３２及び列分離溝７２内に進入した後、開放口９０ａを通じて非吐出チャネル７６内に導入される（矢印Ｑ２ｂ参照）。また、列分離溝７２内に進入した原料ガスは、連通溝１２７内に進入した後、アクチュエータプレート５３の裏面側から開放口９０ａを通じて非吐出チャネル７６内に導入される。非吐出チャネル７６内に導入された原料ガスが非吐出チャネル７６の内面に付着することで、第２保護膜１１１が堆積される。なお、保護膜形成工程では、少なくともチャネル７５，７６の内面に保護膜１１０，１１１が形成されれば、チャネル７５，７６の内面以外の部分に保護膜が堆積されてもよい。

その後、ノズルプレート貼付工程では、ノズル孔１４５～１４８が対応するチャネル列６１～６４の吐出チャネル７５に連通孔１３０を通じて連通するように、ノズルプレート５１とアクチュエータプレート５３とを貼り合わせる。
以上により、ヘッドチップ５０が製造される。

なお、ヘッドチップ５０は、ウエハレベルで製造してもよい。ウエハレベルで製造する場合には、まず複数のアクチュエータプレート５３が連なるアクチュエータウエハと、複数のカバープレート５４が連なるカバーウエハと、複数の中間プレート５２が連なる中間ウエハと、を接合してウエハ接合体を形成する。その後、ウエハ接合体に対して保護膜１１０，１１１を形成した後、ウエハ接合体を切断することにより複数のヘッドチップ５０が形成される。

このように、本実施形態では、同一のチャネル群（例えば、第１チャネル群６６）において、第１チャネルＡ列６１の吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６の内面、第１チャネルＢ列６２の吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６の内面に、保護膜１１０，１１１がそれぞれ形成されている構成とした。
この構成によれば、吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６の内面に保護膜１１０，１１１が形成されることで、吐出チャネル７５及び非吐出チャネル７６の内面に形成される電極９５，９７とインクとの接触を抑制できる。これにより、各電極９５，９７がインクによって短絡するのを抑制し、長期に亘って優れた吐出性能を維持できる。

特に、本実施形態では、アクチュエータプレート５３において、第１チャネルＡ列６１の非吐出チャネル７６ＡにおけるＹ方向の両端部には、非吐出チャネル７６Ａの内外を連通させるとともに、第２保護膜１１１の形成材料を非吐出チャネル７６Ａ内に導入可能な開放口５３ａ，９０ａＡが形成されている。一方、アクチュエータプレート５３において、第１チャネルＢ列６２の非吐出チャネル７６ＢにおけるＹ方向の両端部には、非吐出チャネル７６Ｂの内外を連通させるとともに、第２保護膜１１１の形成材料を非吐出チャネル７６Ｂ内に導入可能な開放口５３ｂ，９０ａＢが形成されている構成とした。
この構成によれば、開放口５３ａ，９０ａＡ及び開放口５３ｂ，９０ａＢを通じて非吐出チャネル７６内に第２保護膜１１１の形成材料を導入することで、非吐出チャネル７６の内面にも効果的に第２保護膜１１１を形成できる。
その結果、例えば非吐出チャネル７６内に進入したインク等によって非吐出チャネル７６の内面に形成された電極が短絡等することを抑制できる。

しかも、本実施形態では、スリット１２５，１２６及び連通孔１３０を通じて吐出チャネル７５内に第１保護膜１１０の形成材料を導入し、開放口５３ａ，５３ｂ，９０ａを通じて非吐出チャネル７６内に第２保護膜１１１の形成材料を導入する。これにより、吐出チャネル７５の内面及び非吐出チャネル７６の内面に効果的に保護膜１１０，１１１を形成できる。

本実施形態において、アクチュエータプレート５３及び中間プレート５２には、第１チャネルＡ列６１における非吐出チャネル７６Ａの開放口９０ａＡと、第１チャネルＢ列６２における非吐出チャネル７６Ｂの開放口９０ａＢと、を連通させる列分離溝７２及び第２開放溝１３２が形成されている構成とした。
この構成によれば、第２保護膜１１１の原料ガスが列分離溝７２及び第２開放溝１３２から開放口９０ａを経て各非吐出チャネル７６内に導入される。これにより、各開放口９０ａを通じて各非吐出チャネル７６内に個別に保護膜の形成材料を導入する場合に比べ、効率的に第２保護膜１１１を形成することができる。

本実施形態において、カバープレート５４には、列分離溝７２に連通する連通溝１２７が形成されている構成とした。
この構成によれば、プレート接合体２００において、各開放口９０ａに至る空間の圧力損失が小さくできるので、各開放口９０ａを通じて非吐出チャネル７６内に第２保護膜１１１の原料ガスを効率的に導入できる。

本実施形態において、連通溝１２７におけるＸ方向の幅は、列分離溝７２よりも広くなっており、連通溝１２７は、アクチュエータプレート５３の裏面側から開放口９０ａに連通している。
この構成によれば、列分離溝７２を通過して連通溝１２７内に進入した第２保護膜１１１の原料ガスは、アクチュエータプレート５３の裏面側から開放口９０ａを経て各非吐出チャネル７６内に導入される。これにより、各非吐出チャネル７６内には、列分離溝７２を通じて直接的、又は連通溝１２７を通じて間接的に第２保護膜１１１の原料ガスが導入される。その結果、非吐出チャネル７６の内面に効率的に第２保護膜１１１を形成することができる。

本実施形態では、カバープレート５４において、隣り合う入口共通インク室１２０の間に梁部１２８が設けられている構成とした。
この構成によれば、梁部１２８によってカバープレート５４の強度を確保し易くなる。そのため、アクチュエータプレート５３とカバープレート５４とを貼り合わせる際に、アクチュエータプレート５３とカバープレート５４との間に貼り合わせ荷重を効果的に付与することができる。その結果、アクチュエータプレート５３とカバープレート５４とを確実に接合し、アクチュエータプレート５３とカバープレート５４との間を通じたインクの漏れ等を抑制できる。
また、梁部１２８に連通溝１２７を形成することで、連通溝１２７の深さを確保し易くなる。そのため、各開放口９０ａを通じて非吐出チャネル７６内に第２保護膜１１１の原料ガスを効率的に導入できる。

本実施形態において、第１チャネルＡ列６１の切り上がり部７６ｂは、列分離溝７２をＹ方向に横断するとともに、列分離溝７２との連通部分が開放口９０ａＡを構成し、第１チャネルＢ列６２の切り上がり部７６ｂは、列分離溝７２をＹ方向に横断するとともに、列分離溝７２との連通部分が開放口９０ａＢを構成している。
この構成によれば、列分離溝７２が切り上がり部７６ｂの端部で連通する場合に比べ、開放口の開口面積を確保し易い。これにより、各開放口９０ａを通じて非吐出チャネル７６内に第２保護膜１１１の原料ガスを効率的に導入できる。

本実施形態のインクジェットヘッド５及びプリンタ１では、上述したヘッドチップ５０を備えているので、インクによる電極の短絡を抑制して、長期に亘って優れた吐出性能を維持できる。

（第２実施形態）
図１１に示すヘッドチップ５０において、連通溝１２７は、梁部１２８のＹ方向の中央部に設けられている。連通溝１２７におけるＹ方向の幅Ｄ１は、梁部１２８におけるＹ方向の幅Ｄ２よりも狭い。したがって、梁部１２８の表面において、連通溝１２７に対して外側に位置する部分は、アクチュエータプレート５３に接合される受圧領域Ｔ１として機能する。なお、入口共通インク室１２０の底面は、連通溝１２７の頂面よりも裏面側に位置している。したがって、入口共通インク室１２０と連通溝１２７とは、Ｚ方向にずれて配置されている（重なり合っていない。）。

本実施形態では、梁部１２８のうち、連通溝１２７に対して外側に位置する部分に受圧領域Ｔ１が設けられている。受圧領域Ｔ１は、アクチュエータプレート５３とカバープレート５４とを貼り合わせる際に、アクチュエータプレート５３とカバープレート５４との間に作用する荷重を受ける受圧面として機能する。これにより、アクチュエータプレート５３とカバープレート５４との間に貼り合わせ荷重を効果的に付与することができる。その結果、アクチュエータプレートとカバープレートとをより確実に接合できる。

図１２に示すように、入口共通インク室１２０と連通溝１２７とは、Ｚ方向に重なり合ってもよい。これにより、連通溝１２７の深さを確保し易くなるので、各開放口９０ａを通じて非吐出チャネル７６内に第２保護膜１１１の原料ガスを効率的に導入できる。

なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射記録装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であってもよい。
上述した実施形態では、印刷時にインクジェットヘッドが被記録媒体に対して移動する構成（いわゆる、シャトル機）を例にして説明をしたが、この構成に限られない。本開示に係る構成は、インクジェットヘッドを固定した状態で、インクジェットヘッドに対して被記録媒体を移動させる構成（いわゆる、固定ヘッド機）に採用してもよい。
上述した実施形態では、被記録媒体Ｐが紙の場合について説明したが、この構成に限られない。被記録媒体Ｐは、紙に限らず、金属材料や樹脂材料であってもよく、食品等であってもよい。
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドが液体噴射記録装置に搭載された構成について説明したが、この構成に限られない。すなわち、液体噴射ヘッドから噴射される液体は、被記録媒体に着弾させるものに限らず、例えば調剤中に配合する薬液や、食品に添加する調味料や香料等の食品添加物、空気中に噴射する芳香剤等であってもよい。

上述した実施形態では、Ｚ方向が重力方向に一致する構成について説明したが、この構成のみに限らず、Ｚ方向を水平方向に沿わせてもよい。
上述した実施形態では、第１チャネルＡ列６１及び第１チャネルＢ列６２（若しくは第２チャネルＡ列６３及び第２チャネルＢ列６４）において、第１チャネルＡ列６１の非吐出チャネル７６と第１チャネルＢ列６２の非吐出チャネル７６が共通の列分離溝７２で開口する構成とした。但し、第１チャネルＡ列６１の非吐出チャネル７６と第１チャネルＢ列６２の非吐出チャネル７６は、それぞれ別の溝を通じて非吐出チャネル７６の内外を連通させてもよい。

上述した実施形態では、カバープレート５４において、連通溝１２７の幅が列分離溝７２よりも広い構成について説明したが、連通溝１２７の幅は列分離溝７２よりも広くても狭くてもよい。また、カバープレート５４は、連通溝１２７を有さない構成であってもよい。
上述した実施形態では、非吐出チャネル７６は、両端部において外部に連通してれば、開放口５３ａ，９０ａ以外の部分を通じて連通していてもよい。
上述した実施形態では、電極保護用の保護膜を例にして説明したが、電極の有無に限らず、保護膜を形成してもよい。

上述した実施形態では、各チャネル列毎に入口共通インク室１２０が設けられている構成について説明したが、この構成に限られない。例えば図１３に示すように、隣り合うチャネル列６１，６２について、一つの入口共通インク室１２０を共用してもよい。この場合、入口共通インク室１２０には、一のチャネル列６１の吐出チャネル７５Ａに連通する入口スリット１２５と、他のチャネル列６２の吐出チャネル７５Ｂに連通する入口スリット１２５と、が開口する。このような構成においても、カバープレート５４の表面において、列分離溝７２と平面視で重なる位置（入口共通インク室１２０に対して－Ｚ側に位置する部分）に、連通溝１２７を形成することができる。

その他、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせてもよい。

１…インクジェットプリンタ（液体噴射記録装置）
５…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
５０…ヘッドチップ
５２…中間プレート（連通プレート）
５３…アクチュエータプレート
５３ａ…開放口（第１開放口、第１外側開放口、開放口）
５３ｂ…開放口（第２開放口、第２外側開放口、開放口）
５４…カバープレート
６１…第１チャネルＡ列（第１チャネル領域）
６２…第１チャネルＢ列（第２チャネル領域）
６３…第２チャネルＡ列（第１チャネル領域）
６４…第２チャネルＢ列（第２チャネル領域）
７２…列分離溝（共通溝）
７５……吐出チャネル（第１噴射チャネル、第２噴射チャネル、噴射チャネル）
７５Ａ…吐出チャネル（第１噴射チャネル、噴射チャネル）
７５Ｂ…吐出チャネル（第２噴射チャネル、噴射チャネル）
７６…非吐出チャネル（第１非噴射チャネル、第２非噴射チャネル、非噴射チャネル）
７６Ａ…非吐出チャネル（第１非噴射チャネル、噴射チャネル）
７６Ｂ…非吐出チャネル（第２非噴射チャネル、噴射チャネル）
７６ａ…貫通部（第１延在部、第２延在部）
７６ｂ…切り上がり部（第１切り上がり部、第２切り上がり部）
９０ａ…開放口（開放口、第１内側開放口、第２内側開放口）
９０ａＡ…開放口（第１開放口、第１内側開放口、開放口）
９０ａＢ…開放口（第２開放口、第２内側開放口、開放口）
１１０…第１保護膜（保護膜）
１１１…第２保護膜（保護膜）
１２０…入口共通インク室（第１共通流路、第２共通流路）
１２５…入口スリット（第１液体流路、第２液体流路、液体流路）
１２６…出口スリット（第１液体流路、第２液体流路、液体流路）
１２７…連通溝
１２８…梁部
１３０Ａ…連通孔（第１連通孔、連通孔）
１３０Ｂ…連通孔（第２連通孔、連通孔）

Claims (11)

1. 第１方向に延びる第１噴射チャネル及び第１非噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に配列された第１チャネル領域、並びに前記第１方向に延びる第２噴射チャネル及び第２非噴射チャネルが前記第２方向に配列された第２チャネル領域が前記第１方向に並んで設けられたアクチュエータプレートと、
   前記第１噴射チャネルに連通する第１液体流路、及び前記第２噴射チャネルに連通する第２液体流路を有し、前記アクチュエータプレートに重ね合わされたカバープレートと、 前記第１噴射チャネルに前記第１方向の中央部で連通する第１連通孔、及び前記第２噴射チャネルに前記第１方向の中央部で連通する第２連通孔を有し、前記アクチュエータプレートに対して前記カバープレートとは反対側に重ね合わされた連通プレートと、を備え、
   前記第１噴射チャネルの内面、前記第１非噴射チャネルの内面、前記第２噴射チャネルの内面及び前記第２非噴射チャネルの内面には、保護膜がそれぞれ形成され、
   前記アクチュエータプレートにおいて、前記第１非噴射チャネルにおける前記第１方向の両端部には、前記第１非噴射チャネルの内外を連通させる第１開放口が形成され、
   前記アクチュエータプレートにおいて、前記第２非噴射チャネルにおける前記第１方向の両端部には、前記第２非噴射チャネルの内外を連通させる第２開放口が形成されているヘッドチップ。
2. 前記第１開放口は、
   前記第１非噴射チャネルのうち前記第１方向における前記第２チャネル領域側の端部に位置する第１内側開放口と、
   前記第１非噴射チャネルのうち前記第１方向における前記第２チャネル領域側と反対側の端部に位置する第１外側開放口と、を含み、
   前記第２開放口は、
   前記第２非噴射チャネルのうち前記第１方向における前記第１チャネル領域側の端部に位置する第２内側開放口と、
   前記第２非噴射チャネルのうち前記第１方向における前記第１チャネル領域側と反対側の端部に位置する第２外側開放口と、を含み、
   前記アクチュエータプレート及び前記連通プレートのうち、前記第１方向における前記第１チャネル領域と前記第２チャネル領域との間に位置する境界部分には、複数の前記第１非噴射チャネルにおける前記第１内側開放口、及び複数の前記第２非噴射チャネルの前記第２内側開放口を連通させるとともに、前記第２方向に延びる共通溝が形成されている請求項１に記載のヘッドチップ。
3. 前記カバープレートには、前記共通溝に連通する連通溝が形成されている請求項２に記載のヘッドチップ。
4. 前記連通溝における前記第１方向の幅は、前記共通溝よりも広くなっており、
   前記連通溝は、前記アクチュエータプレートに対して前記連通プレートとは反対側から前記第１内側開放口及び前記第２内側開放口に連通している請求項３に記載のヘッドチップ。
5. 前記カバープレートは、
   複数の前記第１液体流路にまとめて連通する第１共通流路と、
   複数の前記第２液体流路にまとめて連通する第２共通流路と、を備え、
   前記カバープレートのうち、前記第１液体流路及び前記第２共通流路の間に位置する部分は、前記第１共通流路及び前記第２共通流路間を仕切るとともに、前記第２方向に延びる梁部を構成している請求項３又は請求項４に記載のヘッドチップ。
6. 前記連通溝は、前記梁部に形成され、
   前記連通溝における前記第１方向の幅は、前記梁部における前記第１方向の幅よりも狭い請求項５に記載のヘッドチップ。
7. 前記連通溝と、前記第１共通流路及び前記第２共通流路と、は、前記アクチュエータプレートと前記カバープレートとが重ね合わされた重ね合わせ方向に重なり合っている請求項６に記載のヘッドチップ。
8. 前記第１非噴射チャネルは、
   前記第１方向に延びる第１延在部と、
   前記第１延在部から前記第１方向における前記第２チャネル領域側に向かうに従い溝深さが漸次浅くなる第１切り上がり部と、を備え、
   前記第２非噴射チャネルは、
   前記第１方向に延びる第２延在部と、
   前記第２延在部から前記第１方向の前記第１チャネル領域側に向かうに従い溝深さが漸次浅くなる第２切り上がり部と、を備え、
   前記第１切り上がり部は、前記共通溝を前記第１方向に横断するとともに、前記共通溝との連通部分が前記第１内側開放口を構成し、
   前記第２切り上がり部は、前記共通溝を前記第１方向に横断するとともに、前記共通溝との連通部分が前記第２内側開放口を構成している請求項２から請求項７の何れか１項に記載のヘッドチップ。
9. 請求項１から請求項８の何れか１項に記載のヘッドチップを備えている液体噴射ヘッド。
10. 請求項９に記載の液体噴射ヘッドを備えている液体噴射記録装置。
11. 第１方向に延びる噴射チャネル及び非噴射チャネルが前記第１方向に交差する第２方向に配列されたアクチュエータプレートと、
    前記噴射チャネルに連通する液体流路を有し、前記アクチュエータプレートに重ね合わされたカバープレートと、
    前記噴射チャネルに前記第１方向の中央部で連通する連通孔を有し、前記アクチュエータプレートに対して前記カバープレートとは反対側に重ね合わされた連通プレートと、を備えたヘッドチップの製造方法であって、
    前記アクチュエータプレートにおいて、前記非噴射チャネルにおける前記第１方向の両端部には、前記非噴射チャネルの内外を連通させる開放口が形成され、
    前記噴射チャネルの内面及び前記非噴射チャネルの内面に保護膜を形成する保護膜形成工程を有し、
    前記保護膜形成工程は、前記液体流路及び前記連通孔を通じて前記噴射チャネル内に前記保護膜の形成材料を導入し、前記開放口を通じて前記非噴射チャネル内に前記保護膜の形成材料を導入するヘッドチップの製造方法。
    

Images