JP6314056B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。

従来、記録紙（被記録媒体）に液滴状のインクを吐出して、記録紙に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）を備えたインクジェットプリンタ（液体噴射装置）がある。

上述したインクジェットヘッドは、インクが充填される吐出チャネル及びインクが充填されないダミーチャネルが交互に並設されたチャネル列を有するアクチュエータプレートと、アクチュエータプレートに積層されるとともに、吐出チャネル内に各別に連通するノズル孔を有するノズルプレートと、を備えている。また、アクチュエータプレートの各チャネルを画成する駆動壁のうち、吐出チャネルを画成する部分には駆動電位Ｖｄｄとする個別電極が形成され、ダミーチャネルを画成する部分には基準電位ＧＮＤとなる共通電極が形成されている。
この構成によれば、フレキシブルプリント基板等の外部配線を介して各電極間に電圧を印加すると、駆動壁が変形することで、吐出チャネル内の圧力が高まり、吐出チャネル内に収容されたインクがノズル孔を通して吐出されるようになっている。

近時では、被記録媒体に記録される文字や画像の高密度記録化等を図るために、上述したチャネル列を２列（第１チャネル列及び第２チャネル列）配設するとともに、隣り合うチャネル列の吐出チャネル同士及びダミーチャネル同士を千鳥状に配列する構成が知られている（例えば、下記特許文献１参照）。

特許文献１において、アクチュエータプレート上には、第１チャネル列のうち、各個別電極をアクチュエータプレートの一端部に引き出す第１個別配線、及び各共通電極同士を接続する第１共通配線と、第２チャネル列のうち、各個別電極をアクチュエータプレートの一端部に引き出す第２個別配線、及び各共通電極同士を接続する第２共通配線と、が形成されている。第２個別配線は、第１チャネル列のダミーチャネル及び第１共通配線を跨いでアクチュエータプレートの一端部まで引き出され、一端部において、第１個別配線とともにフレキシブルプリント基板等の外部配線に接続されている。
また、各共通配線は、チャネルの並設方向に沿って延在するとともに、アクチュエータプレートにおける各ダミーチャネルに対して他端側に位置する部分で共通電極に接続されている。

国際公開２００９／１３９２７３号

しかしながら、上述した特許文献１の構成にあっては、第２個別配線が第１チャネル列のダミーチャネル及び第１共通配線を跨いでアクチュエータプレートの一端部まで引き出されているため、配線パターンが複雑になる。この場合、仮に第２個別配線と第１共通配線とがその交差部分で短絡すると、ノズル孔から液体を吐出させることができなくなる。
また、上述した特許文献１の構成では、ダミーチャネルの共通電極と共通配線とをダミーチャネルの延在方向に沿って延びる引き出し部を介して接続する必要があり、これによっても配線パターンが複雑になる。

本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、高密度記録化等を図った上で、配線パターンの簡素化を実現できる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することである。

本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を提供する。
本発明に係る液体噴射ヘッドは、第１方向に沿って延在するとともに、液体が充填される噴射チャネル及び液体が充填されないダミーチャネルが、第１方向に直交する第２方向に交互に並設されてなる第１チャネル列及び第２チャネル列が第１方向に間隔をあけて配設されたアクチュエータプレートと、前記噴射チャネルの内面に形成された個別電極と、前記アクチュエータプレートの一方の主面上で前記個別電極に接続された個別配線と、前記ダミーチャネルの内面に形成された共通電極と、前記一方の主面上で前記共通電極に接続された共通配線と、を備え、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列間の前記ダミーチャネル同士は、第１方向から見て重ならず、かつ第１方向の内側端部同士が第２方向から見て重なり合う位置にそれぞれ配設され、前記共通配線は、前記一方の主面上において、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列の前記ダミーチャネル同士が第２方向から見て重なり合うラップ領域上を第２方向に沿って延在して、前記共通電極に接続されるとともに、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列に対して第１方向の外側に位置する尾部のうち、少なくとも一方の尾部に引き出され、外部配線に接続されていることを特徴とする。

この構成によれば、共通配線がラップ領域上を延在することで、ダミーチャネルとの交差部分で共通電極に接続されることになるので、共通電極と共通配線とを接続する引き回し部分を共通配線に形成する必要がない。
したがって、高密度記録化等を図った上で、配線パターンの簡素化及び製造効率の向上を実現できる。

また、前記個別配線のうち、前記第１チャネル列側の前記個別配線は、前記一方の主面上において、前記第１チャネル列に対して第１方向の外側に位置する第１尾部で第１外部配線に接続され、前記第２チャネル列側の前記個別配線は、前記一方の主面上において、前記第２チャネル列に対して第１方向の外側に位置する第２尾部で第２外部配線に接続されていてもよい。
この構成によれば、各チャネル列の個別配線が第１方向の外側に向けて互いに逆方向に引き出されているため、同一方向に引き出す場合と異なり、一方のチャネル列の個別配線が共通配線や、他方のチャネル列のダミーチャネルと交差することがない。これによっても、配線パターンの簡素化及び製造効率の向上を図ることができる。

また、前記共通配線は、前記一方の主面上において、第１尾部及び前記第２尾部まで引き出されるとともに、前記第１外部配線及び前記第２外部配線にそれぞれ接続されていてもよい。
この場合、共通配線が各外部配線に接続されているため、共通配線のインピーダンスを抑制できる。

また、第１方向において、前記第１チャネル列の前記噴射チャネルが前記第２チャネル列の前記ダミーチャネルが対向し、前記第１チャネル列の前記ダミーチャネルが前記第２チャネル列の前記噴射チャネルに対向していてもよい。
この場合、各チャネル列の吐出チャネル同士及びダミーチャネル同士が千鳥状に配列されることになるので、印刷時のドットのピッチをより狭くすることが可能になり、更なる高密度記録化を図ることができる。

また、前記アクチュエータプレートの前記一方の主面上に積層されるとともに、前記噴射チャネルに各別に連通する複数の噴射孔を有する噴射孔プレートを備え、前記噴射チャネルは、第１方向の中央部から内側端部に向かうに従い前記アクチュエータプレートの他方の主面側に向けて延びる噴射側傾斜部を有し、前記ダミーチャネルは、第１方向の中央部から内側端部に向かうに従い前記アクチュエータプレートの前記一方の主面側に向けて延びるダミー側傾斜部を有し、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列間において、第１方向で対向する前記噴射チャネル及び前記ダミーチャネルは、前記噴射側傾斜部及び前記ダミー側傾斜部同士が、前記アクチュエータプレートの厚さ方向で重なり合う位置に相互に近接配置されていてもよい。
この場合、隣り合うチャネル列間において、第１方向で対向する吐出チャネル及びダミーチャネルの噴射側傾斜部及びダミー側傾斜部同士がアクチュエータプレートの厚さ方向で重なり合う位置に相互に近接配置されているため、アクチュエータプレートの第１方向への小型化が可能となる。この場合、例えば複数のアクチュエータプレートをウエハレベルで一括して作成し、最後に各アクチュエータプレート毎に分割する場合には、１枚のウエハから作成できるアクチュエータプレートの取り個数も増加できる。そのため、液体噴射ヘッドの低コスト化を実現できる。

また、前記ダミー側傾斜部は、前記ラップ領域上に位置していてもよい。
この場合、ダミー側傾斜部が、ラップ領域上に位置しているため、共通電極と共通配線とが滑らかに接続されることになる。これにより、共通電極及び共通配線間の安定した導通を確保できる。

また、前記噴射チャネルの内面には、前記個別電極を被覆する絶縁膜が形成されていてもよい。
この構成によれば、液体を介して各電極間が短絡するのを抑制できるため、水性インク等の導電性を有するインクを用いる等、汎用性を向上させることができる。

本発明に係る液体噴射装置は、上記本発明に係る液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴としている。
この構成によれば、上記本発明に係る液体噴射ヘッドを備えているため、高密度記録化等に対応できるとともに、信頼性の高い液体噴射装置を提供できる。

本発明によれば、高密度記録化を図った上で、配線パターンの簡素化を実現できる。

インクジェットプリンタの概略構成図である。 インクジェットヘッド及びインク循環手段の概略構成図である。 インクジェットヘッドの分解斜視図である。 ノズルプレートを取り外した状態におけるインクジェットヘッドの底面図である。 図４のＶ−Ｖ線に相当する断面図である。 図４のＶＩ−ＶＩ線に相当する断面図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するためのフローチャートである。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図６に相当する断面図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図６に相当する断面図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図６に相当する断面図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図６に相当する断面図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図６に相当する断面図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図６に相当する断面図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図５に相当する断面図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図５に相当する断面図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図５に相当する断面図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図５に相当する断面図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図５に相当する断面図である。 インクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図であって、図５に相当する断面図である。

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、本発明の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の一例として、インク（液体）を利用して記録紙に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

［プリンタ］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、紙等の記録紙（被記録媒体）Ｐを搬送する一対の搬送手段（移動機構）２，３と、インクが収容されたインクタンク４と、記録紙Ｐに液滴状のインクを吐出するインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させるインク循環手段６と、インクジェットヘッド５を記録紙Ｐの搬送方向（以下、Ｘ方向とする）と直交する方向（記録紙Ｐの幅方向、以下、Ｙ方向とする）に走査させる走査手段（移動機構）７と、を備えている。なお、図中Ｚ方向はＸ方向及びＹ方向と直交する高さ方向を示す。

搬送手段２は、Ｙ方向に延設されたグリッドローラ１１と、グリッドローラ１１に平行に延設されたピンチローラ１２と、グリッドローラ１１を軸回転させるモータ等の駆動機構（不図示）と、を備えている。同様に、搬送手段３は、Ｙ方向に延設されたグリッドローラ１３と、グリッドローラ１３に平行に延設されたピンチローラ１４と、グリッドローラ１３を軸回転させる駆動機構（不図示）と、を備えている。

インクタンク４は、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクのインクタンク４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４ＢがＸ方向に並んで設けられている。なお、本実施形態では、油性インク等の導電性が低いインクが好適に用いられている。

図２はインクジェットヘッド５及びインク循環手段６の概略構成図である。
図１、図２に示すように、インク循環手段６は、インクジェットヘッド５にインクを供給するインク供給管２１、及びインクジェットヘッド５からインクを排出するインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。なお、インク供給管２１及びインク排出管２２は、インクジェットヘッド５を支持する走査手段７の動作に対応可能な可撓性を有するフレキシブルホースからなる。

加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を介してインクジェットヘッド５の後述する入口側共通インク室９０（図３参照）にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インクジェットヘッド５の後述する出口側共通インク室９１ａ，９１ｂ（図３参照）からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。そして、インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を介して循環可能となっている。

図１に示すように、走査手段７は、Ｙ方向に延設された一対のガイドレール３１，３２と、一対のガイドレール３１，３２に移動可能に支持されたキャリッジ３３と、キャリッジ３３をＹ方向に移動させる駆動機構３４と、を備えている。駆動機構３４は、一対のガイドレール３１，３２の間に配設された一対のプーリ３５，３６と、一対のプーリ３５，３６間に巻回された無端ベルト３７と、一方のプーリ３５を回転駆動させる駆動モータ３８と、を備えている。

一対のプーリ３５，３６は、一対のガイドレール３１，３２の両端部間にそれぞれ配設される。無端ベルト３７は、一対のガイドレール３１，３２間に配設され、この無端ベルト３７にキャリッジ３３が連結される。キャリッジ３３には、複数のインクジェットヘッド５として、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクのインクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５ＢがＹ方向に並んで搭載される。なお、上述した搬送手段２，３及び走査手段７により、インクジェットヘッド５と記録紙Ｐとを相対的に移動させる移動機構を構成している。

＜インクジェットヘッド＞
次に、上述したインクジェットヘッド５について詳述する。なお、インクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５Ｂは、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成からなるため、以下の説明では、まとめてインクジェットヘッド５として説明する。
図３はインクジェットヘッド５の分解斜視図、図４はノズルプレート５１を取り外した状態におけるインクジェットヘッド５の底面図である。
図３、図４に示すように、各インクジェットヘッド５は、後述する吐出チャネル７１における延在方向（Ｙ方向（第１方向））の中央部からインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのうち、インクタンク４との間でインクを循環させる循環式のインクジェットヘッド５である。また、本実施形態のインクジェットヘッド５は、複数のノズル孔（噴射孔）８５，８６からなるノズル列８７，８８が二列に亘って形成された二列タイプのインクジェットヘッド５である。

インクジェットヘッド５は、ノズルプレート（噴射孔プレート）５１、アクチュエータプレート５２、及びカバープレート５３を主に備えている。そして、インクジェットヘッド５は、これらノズルプレート５１、アクチュエータプレート５２、及びカバープレート５３がこの順で接着剤等によりＺ方向に積層された構成とされている。なお、以下の説明では、上述したＺ方向のうち、ノズルプレート５１側を一端側、カバープレート５３側を他端側として説明する。

＜アクチュエータプレート＞
図５は図４のＶ−Ｖ線に相当する断面図、図６は図４のＶＩ−ＶＩ線に相当する断面図である。
図５、図６に示すように、アクチュエータプレート５２は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成され、その分極方向が厚さ方向（Ｚ方向）に沿って一方向に設定されている。このアクチュエータプレート５２には、Ｘ方向（第２方向）に間隔をあけて並設された複数のチャネル７１，７２からなるチャネル列（第１チャネル列６３及び第２チャネル列６４）が２列配設されている。なお、以下の説明では、主に第１チャネル列６３について説明し、第２チャネル列６４における第１チャネル列６３と対応する箇所には同一の符号を付して説明を省略する。

第１チャネル列６３は、Ｙ方向に沿って延在する複数のチャネル７１，７２が、Ｘ方向に間隔をあけて互いに平行に並んで構成されている。すなわち、各チャネル７１，７２は、Ｙ方向に直線状、かつＸ方向に等間隔に形成されるとともに、圧電体（アクチュエータプレート５２）からなる駆動壁６５によってそれぞれ画成されている。

具体的に、複数のチャネル７１，７２は、インクが充填される吐出チャネル（噴射チャネル）７１と、インクが充填されないダミーチャネル７２と、を有している。そして、これら吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２は、Ｘ方向で交互に並んで配列されている。
図３、図６に示すように、吐出チャネル７１は、Ｘ方向から見た側面視において、Ｚ方向の一端側に向けて凸の湾曲形状を呈している。具体的に、吐出チャネル７１は、Ｙ方向の両端部から中央部に向かうに従いＺ方向の一端側に向けて湾曲しながら延びる切り上がり部（吐出側傾斜部）６６と、各切り上がり部６６間に位置する中間部６７と、を有している。吐出チャネル７１は、中間部６７を通してアクチュエータプレート５２におけるＺ方向の一端側に位置する第１主面５２ａ上に開口し、切り上がり部６６及び中間部６７を通してＺ方向の他端側に位置する第２主面５２ｂ上に開口している。すなわち、アクチュエータプレート５２において、吐出チャネル７１の中間部６７に位置する部分は、Ｚ方向に貫通している。

ダミーチャネル７２は、Ｘ方向から見た側面視において、Ｚ方向の他端側に向けて凸の湾曲形状を呈している。すなわち、ダミーチャネル７２は、吐出チャネル７１に対してＺ方向に反転した形状になっている。具体的に、ダミーチャネル７２は、Ｙ方向の両端部から中央部に向かうに従いＺ方向の他端側に向けて湾曲しながら延びる切り上がり部（ダミー側傾斜部）６８と、各切り上がり部６８間に位置する中間部６９と、を有している。ダミーチャネル７２は、切り上がり部６８及び中間部６９を通してアクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上に開口し、中間部６９を通してアクチュエータプレート５２の第２主面５２ｂ上に開口している。すなわち、アクチュエータプレート５２において、ダミーチャネル７２の中間部６９に位置する部分は、Ｚ方向に貫通している。

したがって、吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２は、アクチュエータプレート５２における両主面５２ａ，５２ｂ上でのＹ方向における開口長がそれぞれ異なっている。第１チャネル列６３は、図４に示すように、第１主面５２ａ上においてダミーチャネル７２の開口長が吐出チャネル７１の開口長よりも長くなり、図３に示すように、第２主面５２ｂ上において吐出チャネル７１の開口長がダミーチャネル７２の開口長よりも長くなっている。この場合、図４に示すように、第１主面５２ａ上ではダミーチャネル７２が両切り上がり部６８の長さ分だけ吐出チャネル７１よりもＹ方向の両側に突出している。また、図３に示すように、第２主面５２ｂ上では、吐出チャネル７１が両切り上がり部６６の長さ分だけダミーチャネル７２よりもＹ方向の両側に突出している。

図３、図４に示すように、第２チャネル列６４は、上述した第１チャネル列６３と同様に吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２が交互に並設されてなり、第１チャネル列６３に対してＹ方向に間隔をあけて配設されている。具体的に、第２チャネル列６４の吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２は、第１チャネル列６３の吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２の配列ピッチに対して半ピッチずれて配列されている。したがって、本実施形態のインクジェットヘッド５では、第１チャネル列６３及び第２チャネル列６４の吐出チャネル７１同士、並びに第１チャネル列６３及び第２チャネル列６４のダミーチャネル７２同士が千鳥状（互い違い）に配置されている。すなわち、隣り合うチャネル列６３，６４間において、吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２同士がＹ方向で対向している。なお、アクチュエータプレート５２のうち、Ｙ方向の両端部（各チャネル列６３，６４に対してＹ方向の外側に位置する部分はそれぞれ尾部（第１尾部７０Ａ及び第２尾部７０Ｂ）を構成している。

ここで、図３、図６に示すように、隣り合うチャネル列６３，６４間において、Ｙ方向で対向する吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２は、Ｙ方向の内側端部同士がＺ方向で重なり合う位置に相互に近接配置されている。具体的に、Ｙ方向で対向する第１チャネル列６３の吐出チャネル７１及び第２チャネル列６４のダミーチャネル７２は、Ｙ方向の内側に位置する切り上がり部６６，６８の一部同士がＺ方向で重なり合っている。一方、Ｙ方向で対向する第１チャネル列６３のダミーチャネル７２及び第２チャネル列６４の吐出チャネル７１は、Ｙ方向の内側に位置する切り上がり部６８，６６の一部同士がＺ方向で重なり合っている。

そして、各チャネル列６３，６４における吐出チャネル７１のＹ方向の内側端部同士は、Ｚ方向の他端部（第２主面５２ｂ側）において、Ｘ方向から見て互いに重なり合っている。この場合、アクチュエータプレート５２の第２主面５２ｂ上において、各チャネル列６３，６４の吐出チャネル７１同士がＸ方向で重なり合う領域は、吐出側ラップ領域Ｒ１を構成している。
一方、図４、図６に示すように、各チャネル列６３，６４におけるダミーチャネル７２のＹ方向の内側端部同士は、Ｚ方向の一端部（第１主面５２ａ側）において、Ｘ方向から見て互いに重なり合っている。この場合、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上において、各チャネル列６３，６４のダミーチャネル７２同士がＸ方向で重なり合う領域は、ダミー側ラップ領域Ｒ２を構成している。

図３〜図６に示すように、アクチュエータプレート５２の駆動壁６５のうち、各吐出チャネル７１に面する内側面（吐出チャネル７１の内面のうち、Ｙ方向で対向する面）には、個別電極７３がそれぞれ形成されている。これら個別電極７３は、Ｚ方向における幅が吐出チャネル７１の半分程度とされ、各吐出チャネル７１の内側面において、Ｚ方向の一端縁から中間部分に至る範囲に形成されている。なお、個別電極７３は、Ｙ方向における長さが吐出チャネル７１の中間部６７と同等（第１主面５２ａ上における吐出チャネル７１の開口長と同等）とされている。

図４、図６に示すように、アクチュエータプレート５２における第１主面５２ａ上の尾部７０Ａ，７０Ｂには、個別電極７３と、後述するフレキシブルプリント基板８０，８１の個別電極用配線８２と、を電気的に接続する複数の個別配線７４が形成されている。個別配線７４は、Ｙ方向に沿って互いに平行に延在する帯状とされ、そのＹ方向の内側端部が吐出チャネル７１の個別電極７３に接続されるとともに、吐出チャネル７１に対してＹ方向の外側に向けて引き出されている。すなわち、個別配線７４は、各吐出チャネル７１の個別電極７３ごとに電気的に分離されるとともに、各チャネル列６３，６４間で互いにＹ方向の逆向きに引き出されている。

また、図３、図５、図６に示すように、アクチュエータプレート５２の駆動壁６５のうち、各ダミーチャネル７２の内面には、共通電極７５が形成されている。これら共通電極７５は、Ｚ方向における幅がダミーチャネル７２の半分程度とされ、各ダミーチャネル７２の内面のうち、Ｙ方向で対向する内側面及び切り上がり部６８の底面上において、Ｚ方向の一端縁から中間部分に至る範囲に形成されている。

ここで、図４、図６に示すように、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上には、共通電極７５と、フレキシブルプリント基板８０，８１の共通電極用配線８３と、を電気的に接続する共通配線７６が形成されている。共通配線７６は、Ｚ方向から見た平面視でＨ字状を呈し、各共通電極７５にまとめて接続される接続配線７７と、接続配線７７を尾部７０Ａ，７０Ｂまで引き出す複数の引出配線７８と、を有している。

接続配線７７は、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上において、各チャネル列６３，６４の間に位置する部分をＸ方向に沿って直線状に延在している。具体的に、接続配線７７は、上述したダミー側ラップ領域Ｒ２上を延在し、各ダミーチャネル７２のＹ方向の内側端部との交差部分において、ダミーチャネル７２の共通電極７５に接続されている。接続配線７７におけるＹ方向の幅は、少なくともダミー側ラップ領域Ｒ２上に形成されていれば、隣り合うチャネル列６３，６４における吐出チャネル７１間の第１主面５２ａ上での離間距離よりも狭い範囲で適宜設計変更が可能である。この場合、図示の例において、接続配線７７におけるＹ方向の幅は、ダミー側ラップ領域Ｒ２よりも広くなっている。なお、接続配線７７は、Ｘ方向の両端部が各チャネル列６３，６４よりもＸ方向の外側に位置している。

各引出配線７８は、接続配線７７の両端部からＹ方向の両側に向けてそれぞれ延在している。各引出配線７８におけるＹ方向の外側端部は、尾部７０Ａ，７０Ｂ上にそれぞれ位置している。

図４に示すように、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上において、第１尾部７０Ａには、第１フレキシブルプリント基板（第１外部配線）８０が実装されている。第１フレキシブルプリント基板８０には、第１チャネル列６３側の個別電極７３に各別に接続される複数の個別電極用配線８２と、共通電極７５に接続される共通電極用配線８３と、が形成されている。

個別電極用配線８２は、第１尾部７０Ａにおいて第１チャネル列６３側の各個別配線７４に各別に接続され、各個別配線７４を介して個別電極７３を駆動電位Ｖｄｄとする。共通電極用配線８３は、各引出配線７８のうち、第１尾部７０Ａに引き出された引出配線７８に接続され、共通配線７６を介して各共通電極７５を基準電位ＧＮＤとする。

また、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上において、第２尾部７０Ｂには、第２フレキシブルプリント基板（第２外部配線）８１が実装されている。第２フレキシブルプリント基板８１は、上述した第１フレキシブルプリント基板８０と同様に個別電極用配線８２及び共通電極用配線８３を有している。第２フレキシブルプリント基板８１のうち、個別電極用配線８２は、第２チャネル列６４側の各個別配線７４に各別に接続され、共通電極用配線８３は、各引出配線７８のうち、第２尾部７０Ｂに引き出された引出配線７８に接続されている。
このように、本実施形態において、各チャネル列６３，６４の個別電極７３は、対応するフレキシブルプリント基板８０，８１の個別電極用配線８２に接続されている。一方、共通電極７５は、複数の引出配線７８を介して各フレキシブルプリント基板８０，８１に接続されている。

＜ノズルプレート＞
図３に示すように、ノズルプレート５１は、厚みが５０μｍ程度のポリイミド等のフィルム材からなり、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上に接着されている。なお、ノズルプレート５１は、Ｙ方向における幅がアクチュエータプレート５２よりも狭くなっており、アクチュエータプレート５２におけるＹ方向の外側端部（尾部７０Ａ，７０Ｂ）を露出させている。そして、アクチュエータプレート５２のうち、ノズルプレート５１から露出した部分に上述したフレキシブルプリント基板８０，８１がそれぞれ実装されている。

ノズルプレート５１には、Ｘ方向に間隔をあけて並設された複数のノズル孔（第１ノズル孔８５及び第２ノズル孔８６）からなるノズル列（第１ノズル列８７及び第２ノズル列８８）が２列配設されている。

第１ノズル列８７は、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数の第１ノズル孔８５を有し、これら第１ノズル孔８５がＸ方向に間隔をあけて一直線上に並んで構成されている。これら第１ノズル孔８５は、上述した第１チャネル列６３の吐出チャネル７１内に連通している。具体的に、第１ノズル孔８５は、第１チャネル列６３の吐出チャネル７１において、Ｙ方向の中央部に位置するように形成され、吐出チャネル７１と同ピッチで形成されている。

第２ノズル列８８は、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数の第２ノズル孔８６を有し、上述した第１ノズル列８７と平行に配設されている。各第２ノズル孔８６は、上述した第２チャネル列６４の吐出チャネル７１内に連通している。具体的に、第２ノズル孔８６は、第２チャネル列６４の吐出チャネル７１において、Ｙ方向の中央部に位置するように形成され、吐出チャネル７１と同ピッチで形成されている。したがって、各ダミーチャネル７２は、ノズル孔８５，８６には連通しておらず、ノズルプレート５１によりＺ方向の一端側から覆われている。なお、各ノズル孔８５，８６は、Ｚ方向の一端側に向かうに従い漸次縮径するテーパ状とされている。

＜カバープレート＞
図３に示すように、カバープレート５３は、各チャネル列６３，６４を閉塞するようにアクチュエータプレート５２の第２主面５２ｂ上に接着された板状とされている。
図３、図６に示すように、カバープレート５３には、入口側共通インク室９０及び出口側共通インク室（第１出口側共通インク室９１ａ、及び第２出口側共通インク室９１ｂ）が形成されている。

入口側共通インク室９０は、カバープレート５３をＸ方向に沿って延びるスリットとされ、各チャネル列６３，６４の上述した吐出側ラップ領域Ｒ１とＺ方向で対向している。そして、入口側共通インク室９０は、各チャネル列６３，６４の吐出チャネル７１におけるＹ方向の内側端部において、各チャネル列６３，６４の吐出チャネル７１内にまとめて連通している。

第１出口側共通インク室９１ａは、カバープレート５３をＸ方向に沿って延びるスリットとされ、第１チャネル列６３の吐出チャネル７１におけるＹ方向の外側端部とＺ方向で対向している。そして、第１出口側共通インク室９１ａは、第１チャネル列６３の吐出チャネル７１におけるＹ方向の外側端部において、第１チャネル列６３の吐出チャネル７１内にまとめて連通している。
第２出口側共通インク室９１ｂは、第２チャネル列６４の吐出チャネル７１におけるＹ方向の外側端部とＺ方向で対向する部分に形成されている。そして、第２出口側共通インク室９１ｂは、第２チャネル列６４の吐出チャネル７１におけるＹ方向の外側端部において、第２チャネル列６４の吐出チャネル７１内にまとめて連通している。

したがって、入口側共通インク室９０及び各出口側共通インク室９１ａ，９１ｂは、それぞれ各吐出チャネル７１に連通する一方、ダミーチャネル７２には連通していない。

［プリンタの動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、記録紙Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環手段６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。

このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、搬送手段２，３のグリッドローラ１１，１３が回転することで、これらグリッドローラ１１，１３及びピンチローラ１２，１４間に記録紙Ｐを搬送方向（Ｘ方向）に向けて搬送する。また、これと同時に駆動モータ３８がプーリ３５，３６を回転させて無端ベルト３７を動かす。これにより、キャリッジ３３がガイドレール３１，３２にガイドされながらＹ方向に往復移動する。
そしてこの間に、各インクジェットヘッド５より４色のインクを記録紙Ｐに適宜吐出させることで、文字や画像等の記録を行うことができる。

ここで、各インクジェットヘッド５の動きについて、以下に詳細に説明する。
本実施形態のようなサイドシュートタイプのうち、循環式のインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、入口側共通インク室９０を通り、各チャネル列６３，６４の吐出チャネル７１内に供給される。また、各吐出チャネル７１内のインクは、各出口側共通インク室９１ａ，９１ｂ内に流入し、その後インク排出管２２に排出される。インク排出管２２に排出されたインクは、インクタンク４に戻された後、再びインク供給管２１に供給される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させる。

そして、キャリッジ３３（図１参照）によって往復移動が開始されると、個別電極７３を駆動電位Ｖｄｄとし、共通電極７５を基準電位ＧＮＤとして各電極７３，７５間に電圧を印加する。すると、吐出チャネル７１を画成する２つ駆動壁６５に厚み滑り変形が生じ、これら２つの駆動壁６５が吐出チャネル７１にダミーチャネル７２側へ突出するように変形する。すなわち、本実施形態のアクチュエータプレート５２は分極方向が一方向であり、電極７３，７５が駆動壁６５のＺ方向における中間部分までしか形成されていない。そのため、各電極７３，７５間に電圧を印加することで、駆動壁６５におけるＺ方向の中間部分を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル７１があたかも膨らむように変形する。

このように、２つの駆動壁６５の圧電厚み滑り効果による変形によって、吐出チャネル７１の容積が増大する。そして、吐出チャネル７１の容積が増大したことにより、入口側共通インク室９０内に貯留されたインクが吐出チャネル７１内に誘導される。そして、吐出チャネル７１の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル７１の内部に伝播し、この圧力波がノズル孔８５，８６に到達したタイミングで、電極７３，７５間に印加した電圧をゼロにする。これにより、駆動壁６５が復元し、一旦増大した吐出チャネル７１の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル７１の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、液滴状のインクがノズル孔８５，８６を通って外部に吐出されることで、上述したように記録紙Ｐに文字や画像等を記録することができる。
なお、本実施形態におけるインクを吐出チャネル７１の内部に循環させる動作と、吐出チャネル７１からインクを吐出する動作は、個別に実施しても、同時に実施しても構わない。

［インクジェットヘッドの製造方法］
次に、上述したインクジェットヘッド５の製造方法について説明する。なお、以下の説明では、アクチュエータプレート５２の製造方法を主として説明する。図７はインクジェットヘッド５の製造方法を説明するためのフローチャートである。図８〜図１９は、インクジェットヘッド５の製造方法を説明するための工程図であって、図８〜図１３は図６に相当する断面図、図１４〜図１９は図５に相当する断面図である。

図７、図８、図１４に示すように、まず吐出チャネル７１となる凹部９５をアクチュエータプレート５２に形成する（凹部形成工程（Ｓ１））。本実施形態の凹部形成工程（Ｓ１）は、ダイシングブレード９６を用いた切削加工により凹部９５を形成する。具体的には、アクチュエータプレート５２に対して第２主面５２ｂ側からダイシングブレード９６を進入させ、アクチュエータプレート５２に所定深さの凹部９５を形成する。

その後、上述した凹部９５の形成をＸ方向及びＹ方向に間隔をあけて繰り返し行う。このとき、Ｙ方向で隣り合う凹部９５同士を、Ｘ方向に半ピッチずらすとともに、Ｙ方向の内側端部同士がＸ方向から見た側面視で重なり合うように形成する。なお、凹部９５は、Ｘ方向から見た側面視でダイシングブレード９６の曲率半径に倣った円弧状とされるとともに、Ｚ方向における深さがアクチュエータプレート５２を貫通させない程度の深さになっている。

次に、図７、図９、図１５に示すように、アクチュエータプレート５２の第２主面５２ｂ上にカバープレート５３を接合する（カバープレート接合工程（Ｓ２））。具体的には、入口側共通インク室９０が各凹部９５におけるＹ方向の内側端部でまとめて連通し、かつ各出口側共通インク室９１ａ，９１ｂがＸ方向で隣り合う凹部９５におけるＹ方向の外側端部でそれぞれ連通するように、カバープレート５３をアクチュエータプレート５２に接合する。

続いて、図７、図１０、図１６に示すように、凹部９５がアクチュエータプレート５２を貫通するように、アクチュエータプレート５２を第１主面５２ａ側から研削する（研削工程（Ｓ３））。これにより、アクチュエータプレート５２に吐出チャネル７１が形成される。

次に、図７、図１１、図１７に示すように、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上に、後述する電極形成工程（Ｓ６）で用いるマスク９７を形成する（マスク形成工程（Ｓ４））。具体的には、まずアクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上に、感光性ドライフィルム等からなるマスク材料を貼り付ける。次に、フォトリソグラフィ技術を用いてマスク材料をパターニングすることにより、マスク材料のうち、各個別配線７４及び共通配線７６の形成領域、並びに吐出チャネル７１の第１主面５２ａ側の開口部に相当する部分のマスク材料を除去する。なお、マスク形成工程（Ｓ４）では、マスク材料のうち、ダミーチャネル７２の第１主面５２ａ側の開口部に相当する部分のマスク材料を除去しても構わない。

続いて、図７、図１２、図１８に示すように、アクチュエータプレート５２に対してダミーチャネル７２を形成する（ダミーチャネル形成工程（Ｓ５））。ダミーチャネル形成工程（Ｓ５）は、上述した凹部形成工程（Ｓ１）と同様に、ダイシングブレード９６を用いた切削加工等により行う。具体的には、アクチュエータプレート５２のうち、吐出チャネル７１に対してＸ方向の両側に位置する部分に第１主面５２ａ側からダイシングブレード９６を進入させる。これにより、吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２がＸ方向に交互に並んで形成される。なお、本実施形態において、ダイシングブレード９６は、アクチュエータプレート５２をＺ方向で貫通する位置まで進入させる。

次に、図７、図１３、図１９に示すように、アクチュエータプレート５２に対して個別電極７３及び共通電極７５、並びに個別配線７４及び共通配線７６を形成する（電極形成工程（Ｓ６））。具体的には、斜め蒸着法等により、Ｚ方向に対してＸ方向に傾斜する方向からアクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ側に向けて電極材料を蒸着する。すると、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上、及び吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２の内面上に、マスク９７の開口部を通して電極材料が成膜される。これにより、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上に個別配線７４及び共通配線７６が形成されるとともに、各チャネル７１，７２のＺ方向における中間部分から一端縁に至る部分に個別電極７３及び共通電極７５がそれぞれ形成される。

次に、図７に示すように、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上に形成されたマスク９７を除去する（リフトオフ工程（Ｓ７））。
その後、図５〜図７に示すように、アクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上にノズルプレート５１を接合する（ノズルプレート接合工程（Ｓ８））。
さらに、アクチュエータプレート５２の尾部７０Ａ，７０Ｂのうち、ノズルプレート５１から露出した部分にフレキシブルプリント基板８０，８１を実装する。
以上により、本実施形態のインクジェットヘッド５が作製される。

このように、本実施形態では、個別電極７３がアクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上の尾部７０Ａ，７０Ｂに個別配線７４を介して引き出され、共通電極７５がアクチュエータプレート５２の第１主面５２ａ上でダミー側ラップ領域Ｒ２を介して共通配線７６に接続されている構成とした。
この構成によれば、各チャネル列６３，６４の個別配線７４がＹ方向で互いに逆方向に引き出されているため、同一方向に引き出す場合と異なり、一方のチャネル列６３，６４の個別配線７４が共通配線７６や、他方のチャネル列６３，６４のダミーチャネル７２と交差することがない。さらに、共通配線７６がダミー側ラップ領域Ｒ２上を延在し、ダミー側ラップ領域Ｒ２で共通電極７５に接続されるため、共通電極７５と共通配線７６とを接続する引き回し部分を共通配線７６に形成する必要がない。
したがって、高密度記録化等を図った上で、配線パターンの簡素化及び製造効率の向上を実現できる。

しかも、本実施形態では、共通配線７６が引出配線７８を介して各フレキシブルプリント基板８０，８１に接続されているため、共通配線７６のインピーダンスを抑制できる。

また、本実施形態では、各チャネル列６３，６４の吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２が千鳥状に配列されているため、印刷時のドットのピッチをより狭くすることが可能になり、更なる高密度記録化を図ることができる。

さらに、隣り合うチャネル列６３，６４間において、Ｙ方向で対向する吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２の切り上がり部６６，６８同士がＺ方向で重なり合う位置に相互に近接配置されているため、アクチュエータプレート５２のＹ方向への小型化が可能となる。この場合、例えば複数のアクチュエータプレート５２をウエハレベルで一括して作成し、最後に各アクチュエータプレート５２毎に分割する場合には、１枚のウエハから作成できるアクチュエータプレート５２の取り個数も増加できる。そのため、インクジェットヘッド５の低コスト化を実現できる。

さらに、ダミーチャネル７２におけるＹ方向の内側に位置する切り上がり部６８の一部が、ダミー側ラップ領域Ｒ２に位置しているため、共通電極７５と共通配線７６とが滑らかに接続されることになる。これにより、共通電極７５及び共通配線７６間の安定した導通を確保できる。

そして、本実施形態のプリンタ１では、上述したインクジェットヘッド５を備えているため、高密度記録化に対応できるとともに、信頼性に優れたプリンタを提供できる。

なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。

また、上述した実施形態では、ノズル列８７，８８がそれぞれＸ方向に沿って直線状に延在している場合について説明したが、これに限らず、例えばノズル列８７，８８が斜めに延在していてもよい。
また、ノズル孔８５，８６の形状に関しても、円形に限定されるものではない。例えば、三角等の多角形状や、楕円形状や星型形状でも構わない。
また、上述した実施形態では、各チャネル列６３，６４間において、吐出チャネル７１同士及びダミーチャネル７２同士が半ピッチずれた千鳥状に配列された構成について説明したが、これに限られない。吐出チャネル７１同士及びダミーチャネル７２同士が、Ｘ方向で異なる位置に形成されていれば構わない。
さらに、上述した実施形態では、吐出チャネル７１同士及びダミーチャネル７２同士が半ピッチずれた構成について説明したが、これに限らず、各チャネル列６３，６４の少なくともダミーチャネル７２同士がＹ方向で重ならない構成であれば構わない。すなわち、各チャネル列６３，６４の吐出チャネル７１同士は、Ｙ方向で重なる構成であっても構わない。

さらに、上述した実施形態では、ノズル列８７，８８が二列並んだ二列タイプのインクジェットヘッド５について説明したが、これに限らず、三列以上の複数列のノズル列を有するインクジェットヘッド５としてもよい。

また、上述した実施形態では、サイドシュートタイプのうち、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクが循環する循環式について説明したが、これに限られない。
また、上述した実施形態では、切り上がり部６６，６８を円弧状に形成した場合について説明したが、これに限らず、Ｙ方向の中央部から内側端部に向かうに従い傾斜して延在していれば構わない。

さらに、上述した実施形態では、分極方向が厚さ方向に一方向のアクチュエータプレート５２を用いた場合について説明したが、これに限られない。例えば、分極方向が異なる２枚の圧電体を積層した、いわゆるシェブロン方式のアクチュエータプレート５２を用いても構わない。この場合には、無電解めっき等を用いて、吐出チャネル７１及びダミーチャネル７２のうち、Ｚ方向の全体に亘って電極７３，７５を形成することが好ましい。

また、上述した実施形態では、共通配線７６が複数の引出配線７８を介して各フレキシブルプリント基板８０，８１に接続された構成について説明したが、これに限らず、少なくとも一方のフレキシブルプリント基板８０，８１に接続されていれば構わない。
さらに、上述した実施形態では、引出配線７８がチャネル列６３，６４に対してＸ方向の外側に配置された構成について説明したが、これに限らず、引出配線７８の位置は個別配線７４と交差しない位置であれば適宜設計変更が可能である。

また、各電極７３，７５や配線７４，７６のうち、少なくとも個別電極７３等のインクが接する部分に個別電極７３を被覆するパリレン（登録商標）等の絶縁膜を形成しても構わない。
この構成によれば、インクを介して各電極７３，７５が短絡するのを抑制できるため、水性インク等の導電性を有するインクを用いる等、汎用性を向上させることができる。

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせても構わない。

１…インクジェットプリンタ（液体噴射装置）
２，３…搬送手段（移動機構）
５，５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５Ｂ…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
７…走査手段（移動機構）
５１…ノズルプレート（噴射孔プレート）
５２…アクチュエータプレート
５２ａ…第１主面（一方の主面）
５２ｂ…第２主面（他方の主面）
６３…第１チャネル列
６４…第２チャネル列
６６…切り上がり部（吐出側傾斜部）
６８…切り上がり部（ダミー側傾斜部）
７０Ａ…第１尾部（尾部）
７０Ｂ…第２尾部（尾部）
７１…吐出チャネル（噴射チャネル）
７２…ダミーチャネル
７３…個別電極
７４…個別配線
７５…共通電極
７６…共通配線
８０…第１フレキシブルプリント基板（第１外部配線、外部配線）
８１…第２フレキシブルプリント基板（第２外部配線、外部配線）
８５…第１ノズル孔（噴射孔）
８６…第２ノズル孔（噴射孔）
Ｒ２…ダミー側ラップ領域（ラップ領域）

Claims (8)

1. 第１方向に沿って延在するとともに、液体が充填される噴射チャネル及び液体が充填されないダミーチャネルが、第１方向に直交する第２方向に交互に並設されてなる第１チャネル列及び第２チャネル列が第１方向に間隔をあけて配設されたアクチュエータプレートと、
   前記噴射チャネルの内面に形成された個別電極と、
   前記アクチュエータプレートの一方の主面上で前記個別電極に接続された個別配線と、
   前記ダミーチャネルの内面に形成された共通電極と、
   前記一方の主面上で前記共通電極に接続された共通配線と、を備え、
   前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列間の前記ダミーチャネル同士は、第１方向から見て重ならず、かつ第１方向の内側端部同士が第２方向から見て重なり合う位置にそれぞれ配設され、
   前記共通配線は、前記一方の主面上において、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列の前記ダミーチャネル同士が第２方向から見て重なり合うラップ領域上を第２方向に沿って延在して、前記共通電極に接続されるとともに、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列に対して第１方向の外側に位置する尾部のうち、少なくとも一方の尾部に引き出され、外部配線に接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記個別配線のうち、前記第１チャネル列側の前記個別配線は、前記一方の主面上において、前記第１チャネル列に対して第１方向の外側に位置する第１尾部で第１外部配線に接続され、前記第２チャネル列側の前記個別配線は、前記一方の主面上において、前記第２チャネル列に対して第１方向の外側に位置する第２尾部で第２外部配線に接続されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記共通配線は、前記一方の主面上において、前記第１尾部及び前記第２尾部まで引き出されるとともに、前記第１外部配線及び前記第２外部配線にそれぞれ接続されていることを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 第１方向において、前記第１チャネル列の前記噴射チャネルが前記第２チャネル列の前記ダミーチャネルが対向し、前記第１チャネル列の前記ダミーチャネルが前記第２チャネル列の前記噴射チャネルに対向していることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記アクチュエータプレートの前記一方の主面上に積層されるとともに、前記噴射チャネルに各別に連通する複数の噴射孔を有する噴射孔プレートを備え、
   前記噴射チャネルは、第１方向の中央部から内側端部に向かうに従い前記アクチュエータプレートの他方の主面側に向けて延びる噴射側傾斜部を有し、
   前記ダミーチャネルは、第１方向の中央部から内側端部に向かうに従い前記アクチュエータプレートの前記一方の主面側に向けて延びるダミー側傾斜部を有し、
   前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列間において、第１方向で対向する前記噴射チャネル及び前記ダミーチャネルは、前記噴射側傾斜部及び前記ダミー側傾斜部同士が、前記アクチュエータプレートの厚さ方向で重なり合う位置に相互に近接配置されていることを特徴とする請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記ダミー側傾斜部は、前記ラップ領域上に位置していることを特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記噴射チャネルの内面には、前記個別電極を被覆する絶縁膜が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項６の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
8. 請求項１から請求項７の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドと、
   前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴とする液体噴射装置。

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