JP6622540B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。

従来、記録紙等の被記録媒体に液滴状のインクを吐出して、被記録媒体に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）を備えたインクジェットプリンタ（液体噴射装置）がある。インクジェットヘッドは、吐出チャネル及びダミーチャネルが交互に並設されたアクチュエータプレートと、吐出チャネルに各別に連通するノズル孔を有するノズルプレートと、を備えている。
この構成によれば、アクチュエータプレートのうち、吐出チャネルとダミーチャネルとの間を仕切る駆動壁が変形して吐出チャネル内が拡縮変形することで、吐出チャネル内のインクがノズル孔から吐出される。

ここで、例えば下記特許文献１には、チャネル延在方向の中央部で吐出チャネル内とノズル孔とを連通させる、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットが開示されている。また、特許文献１には、高分解能化や印刷の高速化を可能にするために、吐出チャネル及びダミーチャネルからなるチャネル列を、チャネル延在方向に間隔をあけて２列形成する構成が開示されている。この場合、アクチュエータプレートのうち、チャネル延在方向における両チャネル列間に位置する部分には、両チャネル列間を仕切る隔壁が形成されている。

特開２０１４−６５１５０号公報

ところで、インク吐出時における吐出チャネルの変形の挙動は、駆動壁の形状（ダミーチャネルの内面形状）によって変動する。
しかしながら、上述した特許文献１の構成にあっては、アクチュエータプレートに隔壁が形成されているため、チャネル延在方向における一端側と他端側とで駆動壁の形状（ダミーチャネルの内面形状）が異なる。そのため、インク吐出時において、吐出チャネルが拡縮変形する際、チャネル延在方向の一端側と他端側とで変形のバランスが崩れるおそれがある。その結果、インクの吐出方向が偏向する等の吐出不良が発生するおそれがある。

本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、安定した吐出性能を得ることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することである。

本発明に係る液体噴射ヘッドは、アクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに形成され、第１方向に沿って延びるとともに、液体が充填される噴射チャネルと、前記アクチュエータプレートに形成され、第１方向に沿って延びるとともに、液体が充填されないダミーチャネルと、前記アクチュエータプレートに積層され、前記噴射チャネルにおける前記第１方向の中途部分で前記噴射チャネル内に連通する噴射孔を有する噴射プレートと、を有し、前記アクチュエータプレートには、前記噴射チャネル及び前記ダミーチャネルがそれぞれ前記第１方向に交差する第２方向に交互に並設されてなる第１チャネル列及び第２チャネル列が前記第１方向に間隔をあけて形成され、前記噴射チャネルは、前記第１方向における前記噴射チャネルの中心を通り前記第１方向に直交する面に対して面対称に形成され、前記ダミーチャネルは、前記第１方向における前記ダミーチャネルの中心を通り前記第１方向に直交する面に対して面対称に形成されている。また、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列の前記ダミーチャネルは、前記アクチュエータプレートにおける前記第１方向の両端面でそれぞれ開放され、前記アクチュエータプレートのうち、前記第１チャネル列と前記第２チャネル列との間に位置する部分には、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列の前記ダミーチャネル同士を連通させる連通部が形成され、前記連通部は、前記ダミーチャネルと溝深さが同等に形成されている。

この構成によれば、液体噴射時において、噴射チャネルが拡縮変形する際、第１方向の一端側と他端側とをバランスよく変形させることができる。これにより、偏向等の吐出不良が発生するのを抑制し、安定した噴射性能を得ることができる。また、各チャネル列において第１方向で対向するダミーチャネル同士を連通させる連通部がダミーチャネルと同等の溝深さに形成されているため、ダミーチャネルをより確実に面対称に形成し易くなる。更に、例えば無電解めっき等により各チャネル内に電極を形成する場合において、仮にダミーチャネルや連通部の底面に電極材料が付着した際、この電極材料をダミーチャネルや連通部に亘ってまとめて除去できる。これにより、各チャネル列において、ダミーチャネルの内面のうち第２方向で対向する内側面に形成された個別電極同士が、ダミーチャネルの底面を介して導通するのを抑制できる。

本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列において、前記第１方向で対向する前記噴射チャネル同士は、前記第１方向に沿って同一直線上に配置され、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列において、前記第１方向で対向する前記ダミーチャネル同士は、前記第１方向に同一直線上に配置されていてもよい。
この構成によれば、各チャネル列において、第１方向で対向する噴射チャネル同士及びダミーチャネル同士が第２方向にオフセットしている場合に比べて、噴射チャネル及びダミーチャネルそれぞれを面対称に形成し易くなる。

本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記噴射チャネルの内面に形成された共通電極と、前記ダミーチャネルの内面のうち、前記第２方向で対向する内側面に形成された個別電極と、を備えていてもよい。
この構成によれば、各電極に駆動電圧を印加すると、噴射チャネルを画成する２つ駆動壁に厚み滑り変形が生じることで、噴射チャネルの容積が変化する。その後、各電極に印加した駆動電圧をゼロにすることで、駆動壁が復元して噴射チャネルの容積が元に戻る。上述した変形の過程において、噴射チャネルの容積が増大することにより、液体が噴射チャネル内に誘導される。一方、噴射チャネルの容積が縮小することで、噴射チャネルの内部の圧力が増加し、液体が加圧される。その結果、噴射孔を通して液体が外部に噴射され被記録媒体に文字や画像等を記録することができる。

本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記アクチュエータプレートの主面、若しくは前記主面とは反対面には、前記噴射チャネルを間に挟んで前記第２方向で対向する前記個別電極同士を接続する個別パッドが形成されていてもよい。
本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記アクチュエータプレートの主面、若しくは前記主面とは反対面には、前記共通電極に接続された共通パッドが形成されていてもよい。
この構成によれば、アクチュエータプレートの主面、若しくは主面とは反対面において、個別パッドや共通パッドを介して個別電極や共通電極と外部配線との接続を行うことができる。これにより、構成の簡素化を図ることができる。

本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記アクチュエータプレートのうち、前記第１チャネル列と前記第２チャネル列との間に位置する部分には、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列のうち前記第１方向で対向する前記ダミーチャネル同士を連通させる連通部が形成され、前記個別電極は、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列で対応する前記ダミーチャネル及び前記連通部の内面において、前記連通部の内面を回避した部分に形成されていてもよい。
この構成によれば、各チャネル列間において、第１方向で対向するダミーチャネルの内面に形成された個別電極同士が連通部の内面を介して導通するのを防止できる。

本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記アクチュエータプレートのうち、前記第１チャネル列と前記第２チャネル列との間に位置する部分には、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列のうち前記第１方向で対向する前記ダミーチャネル同士を連通させる連通部が形成され、前記アクチュエータプレートのうち、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列間に位置する部分には、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列において、少なくとも前記第１方向で対向する前記ダミーチャネル同士の間で前記個別電極同士を電気的に分離する分断溝が形成されていてもよい。
この構成によれば、例えば無電解めっき等により各チャネル内に電極を形成する場合において、各チャネル列同士の第１方向で対向するダミーチャネル内の個別電極同士を分断溝によって分断できる。これにより、連通部を介して連通するダミーチャネルの内面に形成された個別電極同士が連通部の内面を介して導通するのを防止できる。

本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記分断溝の内面には、前記噴射チャネルを間に挟んで前記第２方向で対向する前記個別電極同士を接続するバイパス電極が形成されていてもよい。
この構成によれば、噴射チャネルを間に挟んで第２方向で対向する個別電極同士をバイパス電極によって接続することで、導通の信頼性を確保できる。

本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記噴射チャネル及び前記ダミーチャネルの溝深さ方向を第３方向とすると、前記アクチュエータプレートは、前記第３方向で分極方向が異なる第１圧電板及び第２圧電板が前記第３方向で積層されて構成され、前記共通電極は、前記噴射チャネルの内面において前記第１圧電板及び前記第２圧電板に跨って形成され、前記個別電極は、前記ダミーチャネルの内面のうち、前記第２方向で対向する内側面で前記第１圧電板及び前記第２圧電板に跨って形成されていてもよい。
ところで、アクチュエータプレートで発生する熱量は、噴射チャネルとダミーチャネルとの間を仕切る駆動壁の静電容量に比例するとともに、電圧の二乗に比例する。そのため、アクチュエータプレートの発熱を抑えるためには、噴射チャネル（駆動壁）を低電圧で変形させることが好ましい。
そこで、本発明の構成では、各チャネルの内面において第１圧電板及び第２圧電板に跨るように共通電極及び個別電極をそれぞれ形成することで、各電極の面積を増加させ噴射チャネル（駆動壁）を低電圧で変形させることができる。これにより、噴射チャネルの狭ピッチ化に伴い駆動壁の第２方向の幅を狭くしたとしても、静電容量の増加に伴う液体噴射ヘッドの発熱を抑えることができる。

本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記噴射孔は、前記第１チャネル列の前記噴射チャネルに各別に連通する第１噴射孔と、前記第２チャネル列の前記噴射チャネルに各別に連通する第２噴射孔と、を有し、前記第１噴射孔及び前記第２噴射孔は、前記第２方向で互い違いに配列されていてもよい。
この構成によれば、各噴射孔が第２方向で互い違いに配置されているため、被記録媒体上において、液体噴射ヘッドを第１チャネル列及び第２チャネル列の延在方向に直交する方向に走査しながら各噴射孔から吐出される液体を第２方向に沿う同一直線上に着弾させることで、同一の直線上に着弾する液体の密度を向上させることができる。これにより、高分解能化を実現できる。

本発明に係る液体噴射装置は、上記本発明に係る液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴としている。
この構成によれば、上記本発明に係る液体噴射ヘッドを備えているため、高性能で信頼性に優れたプリンタを提供できる。

本発明によれば、安定した吐出性能を得ることができる。

インクジェットプリンタの概略構成図である。 インクジェットヘッド及びインク循環手段の概略構成図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッドにおいて、カバープレートを取り外した状態を示す平面図である。 図３のＩＶ−ＩＶ線に相当する断面図である。 図３のＶ−Ｖ線に相当する断面図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明するためのフローチャートである。 第１実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図である。 第１実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図である。 第２実施形態に係るインクジェットヘッドの図４に相当する断面図である。 第２実施形態に係るインクジェットヘッドの図５に相当する断面図である。 第２実施形態のインクジェットヘッドの製造方法を説明するためのフローチャートである。 第３実施形態に係るインクジェットヘッドにおいて、カバープレートを取り外した状態を示す平面図である。 図２１のＸＸＩＩ−ＸＸＩＩ線に相当する断面図である。 図２１のＸＸＩＩＩ−ＸＸＩＩＩ線に相当する断面図である。 第３実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明するためのフローチャートである。 第３実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明するための工程図である。 、第４実施形態に係るインクジェットヘッドにおいて、カバープレートを取り外した状態を示す平面図である。 第４実施形態に係るインクジェットヘッドの図２２に相当する断面図である。 第５実施形態に係るインクジェットヘッドの図２３に相当する断面図である。 第５実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明するためのフローチャートである。 第６実施形態に係るインクジェットヘッドにおいて、カバープレートを取り外した状態を示す平面図である。 第７実施形態に係るインクジェットヘッドにおいて、カバープレートを取り外した状態を示す平面図である。

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、本発明の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の一例として、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

（第１実施形態）
［プリンタ］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、紙等の被記録媒体Ｐを搬送する一対の搬送手段２，３と、インクが収容されたインクタンク４と、被記録媒体Ｐに液滴状のインクを吐出するインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）５と、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させるインク循環手段６と、インクジェットヘッド５を被記録媒体Ｐの搬送方向（以下、Ｘ方向とする。）と直交する方向（被記録媒体Ｐの幅方向（以下、Ｙ方向とする。））に走査させる走査手段（移動機構）７と、を備えている。なお、図中Ｚ方向はＸ方向及びＹ方向と直交する高さ方向を示す。

搬送手段２は、Ｙ方向に延設されたグリッドローラ１１と、グリッドローラ１１に平行に延設されたピンチローラ１２と、グリッドローラ１１を軸回転させるモータ等の駆動機構（不図示）と、を備えている。同様に、搬送手段３は、Ｙ方向に延設されたグリッドローラ１３と、グリッドローラ１３に平行に延設されたピンチローラ１４と、グリッドローラ１３を軸回転させる駆動機構（不図示）と、を備えている。

インクタンク４は、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクのインクタンク４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４ＢがＸ方向に並んで設けられている。

図２はインクジェットヘッド５及びインク循環手段６の概略構成図である。
図１、図２に示すように、インク循環手段６は、インクジェットヘッド５にインクを供給するインク供給管２１及びインクジェットヘッド５からインクを排出するインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備えている。なお、インク供給管２１及びインク排出管２２は、インクジェットヘッド５を支持する走査手段７の動作に対応可能な可撓性を有するフレキシブルホースからなる。

加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を介してインクジェットヘッド５にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インクジェットヘッド５からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。そして、インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を介して循環可能となっている。

図１に示すように、走査手段７は、Ｙ方向に延設された一対のガイドレール３１，３２と、一対のガイドレール３１，３２に移動可能に支持されたキャリッジ３３と、キャリッジ３３をＹ方向に移動させる駆動機構３４と、を備えている。駆動機構３４は、一対のガイドレール３１，３２の間に配設された一対のプーリ３５，３６と、一対のプーリ３５，３６間に巻回された無端ベルト３７と、一方のプーリ３５を回転駆動させる駆動モータ３８と、を備えている。

一対のプーリ３５，３６は、一対のガイドレール３１，３２の両端部間にそれぞれ配設されている。無端ベルト３７は、一対のガイドレール３１，３２間に配設されている。この無端ベルト３７にキャリッジ３３が連結されている。キャリッジ３３には、複数のインクジェットヘッド５として、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクのインクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５ＢがＹ方向に並んで搭載される。なお、上述した搬送手段２，３及び走査手段７により、インクジェットヘッド５と被記録媒体Ｐとを相対的に移動させる移動機構を構成している。

＜インクジェットヘッド＞
次に、上述したインクジェットヘッド５について詳述する。なお、インクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５Ｂは、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成からなるため、以下の説明ではまとめてインクジェットヘッド５として説明する。
図３は、インクジェットヘッド５において、カバープレート５３を取り外した状態を示す平面図である。図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線に相当する断面図である。図５は、図３のＶ−Ｖ線に相当する断面図である。
図３〜図５に示すように、各インクジェットヘッド５は、後述する吐出チャネル６１におけるチャネル延在方向（第１方向）の中央部からインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのうち、インクタンク４との間でインクを循環させる循環式のインクジェットヘッド５である。また、本実施形態のインクジェットヘッド５は、複数のノズル孔７５，７６からなるノズル列７３，７４が二列に亘って形成された二列タイプのインクジェットヘッド５である。

図４、図５に示すように、インクジェットヘッド５は、ノズルプレート（噴射孔プレート）５１、アクチュエータプレート５２及びカバープレート５３を主に備えている。そして、インクジェットヘッド５は、これらノズルプレート５１、アクチュエータプレート５２及びカバープレート５３がこの順で接着剤等によりＺ方向に積層された構成とされている。なお、以下の説明では、上述したＺ方向のうち、カバープレート５３側を上方、ノズルプレート５１側を下方として説明する。

＜アクチュエータプレート＞
アクチュエータプレート５２は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されたプレートである。アクチュエータプレート５２は、その分極方向が厚さ方向（Ｚ方向）に沿って一方向に設定された、いわゆるモノポール基板である。アクチュエータプレート５２には、Ｘ方向（第２方向）に間隔をあけて並設された複数のチャネル６１，６２からなるチャネル列（第１チャネル列６３及び第２チャネル列６４）が２列配設されている。なお、以下の説明では、主に第１チャネル列６３について説明し、第２チャネル列６４における第１チャネル列６３と対応する箇所には同一の符号を付して説明を省略する。

図３に示すように、第１チャネル列６３は、インクが充填される吐出チャネル（噴射チャネル）６１と、インクが充填されないダミーチャネル６２と、を有している。各チャネル６１，６２は、Ｘ方向に交互に並んでいる。アクチュエータプレート５２のうち、吐出チャネル６１及びダミーチャネル６２間に位置する部分は、吐出チャネル６１及びダミーチャネル６２間をＸ方向で仕切る駆動壁６５を構成している。

吐出チャネル６１は、Ｚ方向から見た平面視において、Ｙ方向に沿って延在している。具体的に、本実施形態の吐出チャネル６１は、Ｚ方向から見た平面視において、Ｙ方向に対して交差する方向（以下、単にチャネル延在方向という。）に延在している。

図４に示すように、吐出チャネル６１は、Ｘ方向から見た平面視において、下方に向けて凸の湾曲形状に形成されている。具体的に、吐出チャネル６１は、チャネル延在方向の両端部に位置する切り上がり部６１ａと、各切り上がり部６１ａ間に位置する中間部６１ｂと、を有している。
切り上がり部６１ａは、チャネル延在方向の外側に向かうに従い上方に向けて湾曲しながら延在している。
中間部６１ｂは、アクチュエータプレート５２をＺ方向に貫通している。

図３に示すように、ダミーチャネル６２は、アクチュエータプレート５２のうち、各吐出チャネル６１に対してＸ方向の両側において、吐出チャネル６１と平行に延在している。図５に示すように、ダミーチャネル６２は、Ｚ方向（第３方向）における溝深さが全体に亘って一様に形成されている。本実施形態において、ダミーチャネル６２は、アクチュエータプレート５２をＺ方向に貫通している。ダミーチャネル６２におけるチャネル延在方向の外側端部は、アクチュエータプレート５２におけるＹ方向の外側端面上で開口している。また、本実施形態において、ダミーチャネル６２におけるチャネル延在方向の長さは、吐出チャネル６１よりも長くなっている。したがって、Ｘ方向から見た側面視において、ダミーチャネル６２は、吐出チャネル６１の全体と重なり合うとともに、チャネル延在方向の両端部が吐出チャネル６１よりもチャネル延在方向の外側に突出している。なお、上述したダミーチャネル６２の長さは、チャネル延在方向において、後述する連通部８９とダミーチャネル６２との境界部分からアクチュエータプレート５２におけるＹ方向の外側端面までの距離である。一方、吐出チャネル６１の長さは、チャネル延在方向において、切り上がり部６１ａの両端縁間の距離である。

図３、図４に示すように、吐出チャネル６１の内面には、共通電極６６が形成されている。共通電極６６は、吐出チャネル６１の内面のうち、全周（Ｘ方向で対向する内側面及び切り上がり部６１ａの底面）に亘って連続的に形成されている。
なお、図４に示すように、切り上がり部６１ａの終端（チャネル延在方向の外側端縁）の位置は、後述するカバープレート５３の入口側共通インク室（第１入口側共通インク室８１ａ及び第２入口側共通インク室８２ａ）及び出口側共通インク室（第１出口側共通インク室８１ｂ及び第２出口側共通インク室８２ｂ）のＺ方向真下に形成した供給スリット８４、８７及び排出スリット８５，８８の開口端（供給スリット８４のチャネル延在方向における図面右側の端部、供給スリット８７のチャネル延在方向における図面左側の端部、排出スリット８５のチャネル延在方向における図面左側の端部及び排出スリット８８のチャネル延在方向における図面右側の端部）と一致している。そこで、共通電極６６は、切り上がり部６１ａの終端の位置まで形成されている。
また、共通電極６６は、吐出チャネル６１の上端縁からＺ方向の中央部に至る範囲に形成されている。

アクチュエータプレート５２のうち、吐出チャネル６１に対してＹ方向の外側に位置する部分（以下、単に尾部という。）の上面には、共通パッド６７が形成されている。共通パッド６７は、チャネル延在方向に延びる帯状に形成されている。共通パッド６７は、チャネル延在方向の内側端部が共通電極６６に接続され、チャネル延在方向の外側端部が尾部上で終端している。

図３、図５に示すように、アクチュエータプレート５２の駆動壁６５のうち、各ダミーチャネル６２を画成する面（ダミーチャネル６２の内面）には、個別電極７１が形成されている。個別電極７１は、ダミーチャネル６２の内面のうち、Ｘ方向で対向する内側面に各別に形成されている。したがって、各個別電極７１のうち、同一のダミーチャネル６２内で対向する個別電極７１同士は、互いに電気的に分離されている。また、個別電極７１は、ダミーチャネル６２の上端縁からＺ方向の中央部に至る範囲に形成されている。図示の例において、個別電極７１は、ダミーチャネル６２におけるチャネル延在方向の全域に亘って形成されている。

図３に示すように、アクチュエータプレート５２における尾部の上面には、吐出チャネル６１を挟んでＸ方向で対向する個別電極７１同士を接続する個別パッド７２が形成されている。個別パッド７２は、アクチュエータプレート５２の尾部において、上述した共通パッド６７よりもＹ方向の外側に位置する部分をＸ方向に延在している。個別パッド７２におけるＸ方向の一端部は、吐出チャネル６１に対してＸ方向の一端側に位置するダミーチャネル６２内において、Ｘ方向の他端側に形成された個別電極７１に接続されている。一方、個別パッド７２におけるＸ方向の他端部は、吐出チャネル６１に対してＸ方向の他端側に位置するダミーチャネル６２内において、Ｘ方向の一端側に形成された個別電極７１に形成されている。

なお、図４、図５に示すように、上述した尾部には、図示しない制御手段と各パッド６７，７２とを接続するフレキシブルプリント基板６９，７０が実装される。これにより、フレキシブルプリント基板６９，７０を介して制御手段から各電極６６，７１に駆動電圧が印加される。

第２チャネル列６４は、第１チャネル列６３と同様に、吐出チャネル６１及びダミーチャネル６２がＸ方向に交互に並んで構成されている。第２チャネル列６４の吐出チャネル６１及びダミーチャネル６２は、第１チャネル列６３の吐出チャネル６１及びダミーチャネル６２と同等の配列ピッチで形成されている。この場合、各チャネル列６３，６４において、チャネル延在方向で対向する吐出チャネル６１同士は、そのチャネル延在方向が同一直線上に配置されている。また、各チャネル列６３，６４において、チャネル延在方向で対向するダミーチャネル６２同士は、そのチャネル延在方向が同一直線上に配置されている。

＜ノズルプレート＞
図４、図５に示すように、ノズルプレート５１は、アクチュエータプレート５２の下面に接着されている。本実施形態において、ノズルプレート５１は、吐出チャネル６１の中間部６１ｂ及びダミーチャネル６２を下方から閉塞している。

ノズルプレート５１には、Ｘ方向に互いに平行に延びるノズル列（第１ノズル列７３及び第２ノズル列７４）がＹ方向に間隔をあけて２列配設されている。
第１ノズル列７３は、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数の第１ノズル孔（第１噴射孔）７５を有している。各第１ノズル孔７５は、Ｘ方向に間隔をあけて一直線上に並設されている。これら第１ノズル孔７５は、上述した第１チャネル列６３の吐出チャネル６１内に連通している。具体的に、第１ノズル孔７５は、第１チャネル列６３の吐出チャネル６１において、チャネル延在方向の中央部に位置するように形成されている。第１ノズル孔７５は、Ｘ方向において第１チャネル列６３の吐出チャネル６１と同等の配列ピッチで形成されている。

第２ノズル列７４は、ノズルプレート５１をＺ方向に貫通する複数の第２ノズル孔（第２噴射孔）７６を有している。各第２ノズル孔７６は、第１ノズル列７３と平行にＸ方向に間隔をあけて一直線上に並設されている。各第２ノズル孔７６は、上述した第２チャネル列６４の吐出チャネル６１内に連通している。具体的に、第２ノズル孔７６は、第２チャネル列６４の吐出チャネル６１において、チャネル延在方向の中央部に位置するように形成されている。第２ノズル孔７６は、Ｘ方向において第２チャネル列６４の吐出チャネル６１と同等の配列ピッチで形成されている。したがって、各チャネル列６３，６４のダミーチャネル６２は、ノズル孔７５，７６には連通しておらず、ノズルプレート５１により下方から覆われている。なお、各ノズル孔７５，７６は、下方に向かうに従い漸次縮径するテーパ状とされている。

図３に示すように、各ノズル孔７５，７６は、Ｘ方向にオフセットした位置に形成されている。すなわち、各ノズル孔７５，７６は、Ｘ方向で互い違い（千鳥状）に配列されている。なお、各ノズル孔７５，７６のオフセット量は、適宜設計変更が可能である。例えば、各ノズル孔７５，７６が半ピッチずれていても構わない。

＜カバープレート＞
図４、図５に示すように、カバープレート５３は、各チャネル列６３，６４を閉塞するようにアクチュエータプレート５２の上面に接着されている。カバープレート５３は、上述したアクチュエータプレート５２に対してＹ方向の幅が短く形成されている。この場合、アクチュエータプレート５２の尾部のうち、カバープレート５３に対してＹ方向の外側に位置する部分に上述した共通パッド６７及び個別パッド７２が露出している。そして、これら共通パッド６７及び個別パッド７２に上述したフレキシブルプリント基板６９，７０が接続される。

カバープレート５３には、入口側共通インク室（第１入口側共通インク室８１ａ及び第２入口側共通インク室８２ａ）及び出口側共通インク室（第１出口側共通インク室８１ｂ及び第２出口側共通インク室８２ｂ）が形成されている。なお、以下の説明では、主に第１入口側共通インク室８１ａ及び第１出口側共通インク室８１ｂについて主に説明する。

図４に示すように、第１入口側共通インク室８１ａは、カバープレート５３のうち、第１チャネル列６３（吐出チャネル６１及びダミーチャネル６２）におけるＹ方向の内側端部とＺ方向で対向する部分に形成されている。第１入口側共通インク室８１ａは、下方に向けて窪むとともに、Ｘ方向に延びる凹溝状に形成されている。第１入口側共通インク室８１ａにおけるＸ方向の両端部は、第１チャネル列６３よりもＸ方向の外側に位置している。第１入口側共通インク室８１ａのうち、吐出チャネル６１に対応する位置（Ｚ方向で対向する位置）には、カバープレート５３をＺ方向に貫通する供給スリット８４がそれぞれ形成されている。

第１出口側共通インク室８１ｂは、カバープレート５３のうち、第１チャネル列６３（吐出チャネル６１及びダミーチャネル６２）におけるＹ方向の外側端部とＺ方向で対向する部分に形成されている。第１出口側共通インク室８１ｂは、下方に向けて窪むとともに、Ｘ方向に沿って延設された凹溝状に形成されている。第１出口側共通インク室８１ｂにおけるＸ方向の両端部は、第１チャネル列６３よりもＸ方向の外側に位置している。第１出口側共通インク室８１ｂのうち、吐出チャネル６１に対応する位置（Ｚ方向で対向する位置）には、カバープレート５３をＺ方向に貫通する排出スリット８５がそれぞれ形成されている。
したがって、第１入口側共通インク室８１ａ及び第１出口側共通インク室８１ｂは、それぞれ供給スリット８４及び排出スリット８５を通して各吐出チャネル６１に連通する一方、ダミーチャネル６２には連通していない。すなわち、各ダミーチャネル６２は、第１入口側共通インク室８１ａ及び第１出口側共通インク室８１ｂの底部によって閉塞されている。

第２入口側共通インク室８２ａは、カバープレート５３のうち、第２チャネル列６４（吐出チャネル６１及びダミーチャネル６２）におけるＹ方向の内側端部とＺ方向に対向する部分に形成されている。また、第２出口側共通インク室８２ｂは、カバープレート５３のうち、第２チャネル列６４（吐出チャネル６１及びダミーチャネル６２）におけるＹ方向の外側端部とＺ方向に対向する部分に形成されている。

第２入口側共通インク室８２ａ及び第２出口側共通インク室８２ｂのうち、吐出チャネル６１に対応する位置（Ｚ方向で対向する位置）には、供給スリット８７及び排出スリット８８がそれぞれ形成されている。

ここで、図３、図５に示すように、上述したアクチュエータプレート５２において、各チャネル列６３，６４のチャネル延在方向で対向するダミーチャネル６２間に位置する部分には、各ダミーチャネル６２内を連通させる連通部８９が形成されている。連通部８９は、Ｚ方向における深さがダミーチャネル６２の溝深さと同等に形成されている。すなわち、アクチュエータプレート５２において、各ダミーチャネル６２及び連通部８９が一様な深さになっている。

この場合、各チャネル列６３，６４のダミーチャネル６２それぞれは、チャネル延在方向における中心を通りチャネル延在方向に直交する面に対して面対称に形成されている。
一方、各チャネル列６３，６４の吐出チャネル６１それぞれについても、チャネル延在方向における中心を通りチャネル延在方向に直交する面に対して面対称に形成されている。なお、連通部８９の内面には、上述した個別電極７１は形成されていない。そのため、各チャネル列６３，６４のうち、チャネル延在方向で対向するダミーチャネル６２に形成された個別電極７１は、連通部８９によって互いに電気的に分離されている。

なお、個別電極７１におけるチャネル延在方向の内側終端は、入口側共通インク室（第１入口側共通インク室８１ａ及び第２入口側共通インク室８２ａ）の真下の位置よりもチャネル延在方向の内側に入り込んで形成されている。また、本実施形態に限らず、個別電極７１におけるチャネル延在方向の内側終端は、入口側共通インク室（第１入口側共通インク室８１ａ及び第２入口側共通インク室８２ａ）の真下の位置と一致していても構わない。言い換えれば、上述した共通電極６６と比較して、個別電極７１のチャネル延在方向の長さは、共通電極６６のチャネル延在方向の長さと同じかそれよりも長くなっていれば構わない。
このようにしたことによって、吐出チャネル６１の駆動壁６５は、チャネル延在方向の全長において共通電極６６及び個別電極７１により挟まれているため、駆動壁６５の駆動バランスが良く、液滴状のインクをノズル孔７５，７６からＺ方向の真下に向かって噴射することができる。

［プリンタの動作方法］
次に、上述したように構成されたプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環手段６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。

このような初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、搬送手段２，３のグリッドローラ１１，１３が回転することで、これらグリッドローラ１１，１３及びピンチローラ１２，１４間に被記録媒体Ｐを搬送方向（Ｘ方向）に向けて搬送する。また、これと同時に駆動モータ３８がプーリ３５，３６を回転させて無端ベルト３７を動かす。これにより、キャリッジ３３がガイドレール３１，３２にガイドされながらＹ方向に往復移動する。
そしてこの間に、各インクジェットヘッド５より４色のインクを被記録媒体Ｐに適宜吐出させることで、文字や画像等の記録を行うことができる。

ここで、各インクジェットヘッド５の動きについて、以下に詳細に説明する。
本実施形態のようなサイドシュートタイプのうち、循環式のインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、各入口側共通インク室８１ａ，８２ａを通り、供給スリット８４，８７を介して各チャネル列６３，６４の吐出チャネル６１内に供給される。また、各吐出チャネル６１内のインクは、排出スリット８５．８８を介して各出口側共通インク室８１ｂ，８２ｂ内に流入し、その後インク排出管２２に排出される。インク排出管２２に排出されたインクは、インクタンク４に戻された後、再びインク供給管２１に供給される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクを循環させる。

そして、キャリッジ３３（図１参照）によって往復移動が開始されると、制御手段はフレキシブルプリント基板６９，７０を介して電極６６，７１に駆動電圧を印加する。すると、吐出チャネル６１を画成する２つ駆動壁６５に厚み滑り変形が生じ、これら２つの駆動壁６５がダミーチャネル６２側へ突出するように変形する。すなわち、本実施形態のアクチュエータプレート５２は分極方向が一方向であり、電極６６，７１が駆動壁６５のＺ方向における中間部分までしか形成されていない。そのため、各電極６６，７１間に電圧を印加することで、駆動壁６５におけるＺ方向の中間部分を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル６１があたかも膨らむように変形する。

このように、２つの駆動壁６５の圧電厚み滑り効果による変形によって、吐出チャネル６１の容積が増大する。そして、吐出チャネル６１の容積が増大したことにより、入口側共通インク室８１ａ，８２ａ内に貯留されたインクが吐出チャネル６１内に誘導される。そして、吐出チャネル６１の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル６１の内部に伝播し、この圧力波がノズル孔７５，７６に到達したタイミングで、電極６６，７１に印加した駆動電圧をゼロにする。これにより、駆動壁６５が復元し、一旦増大した吐出チャネル６１の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル６１の内部の圧力が増加し、インクが加圧される。その結果、液滴状のインクがノズル孔７５，７６を通って外部に吐出されることで、上述したように被記録媒体Ｐに文字や画像等を記録することができる。

［インクジェットヘッドの製造方法］
次に、上述したインクジェットヘッド５の製造方法について説明する。なお、以下の説明では、主にアクチュエータプレート５２の製造方法について説明する。図６はインクジェットヘッド５の製造方法を説明するためのフローチャートである。図７〜図１７は、インクジェットヘッド５の製造方法を説明するための工程図である。

図６〜図８に示すように、まずアクチュエータプレート５２の上面に、後述する電極形成工程（Ｓ５）で用いる第１マスク９１を形成する（第１マスク工程（Ｓ１））。具体的には、まず例えば感光性ドライフィルム等のマスク材料をアクチュエータプレート５２の上面に貼り付ける。その後、フォトリソグラフィ技術を用いてマスク材料をパターニングすることで、マスク材料のうち上述した各パッド６７，７２の形成領域に位置する部分のマスク材料を除去する。これにより、各パッド６７，７２の形成領域に位置する部分に開口部を有する第１マスク９１が形成される。

次に、図６、図９に示すように、吐出チャネル６１となる第１凹部９０をアクチュエータプレート５２に形成する（第１凹部形成工程（Ｓ２））。本実施形態の第１凹部形成工程（Ｓ２）は、ダイシングブレードを用いた切削加工により第１凹部９０を形成する。具体的には、アクチュエータプレート５２の上面側からダイシングブレードを進入させ、アクチュエータプレート５２に所定深さの第１凹部９０を形成する。なお、第１凹部９０は、Ｘ方向から見た側面視でダイシングブレードの曲率半径に倣った円弧状とされるとともに、Ｚ方向における深さがアクチュエータプレート５２を貫通させない程度の深さになっている。

その後、アクチュエータプレート５２に対して上述した第１凹部９０をＸ方向及び上述したチャネル延在に間隔をあけて形成する。このとき、チャネル延在方向で隣り合う第１凹部９０同士（各チャネル列６３，６４の各吐出チャネル６１のうち、チャネル延在方向で対向する吐出チャネル６１同士）が、同一直線上に配置されるように形成する。

次に、図６、図１０に示すように、アクチュエータプレート５２に対してダミーチャネル６２及び連通部８９となる第２凹部９２を形成する（第２凹部形成工程（Ｓ３））。第２凹部形成工程（Ｓ３）は、上述した第１凹部形成工程（Ｓ２）と同様に、ダイシングブレードを用いた切削加工等により行う。具体的には、アクチュエータプレート５２のうち、第１凹部９０に対してＸ方向の両側に位置する部分に上面側からダイシングブレードを進入させる。このとき、第２凹部９２は、アクチュエータプレート５２におけるチャネル延在方向の全体を一様な溝深さで形成する。

次に、図６、図１１、図１２に示すように、アクチュエータプレート５２の上面に、後述する電極形成工程（Ｓ５）で用いる第２マスク９４をセットする（第２マスク工程（Ｓ４））。第２マスク工程（Ｓ４）では、アクチュエータプレート５２の上面のうち、Ｙ方向における各チャネル列６３，６４間に位置する部分を覆うように第２マスク９４をセットする。この場合、図１１に示すように、第１凹部９０は、第２マスク９４を通して全て開口している。一方、図１２に示すように、第２凹部９２は、ダミーチャネル６２に相当する部分のみが第２マスク９４を通して開口している（連通部８９に相当する部分は第２マスク９４によって被覆されている。）。なお、第２マスク９４としては、例えばメタルマスクや感光性ドライフィルム等を用いることができる。

続いて、図６、図１３、図１４に示すように、アクチュエータプレート５２に対して各電極６６，７１及び各パッド６７，７２を形成する（電極形成工程（Ｓ５））。電極形成工程（Ｓ５）では、アクチュエータプレート５２の上方から斜め蒸着法を行う。すると、アクチュエータプレート５２の上面や各凹部９０，９２の内面に各マスク９１，９４の開口部を通して電極材料が成膜される。このとき、第２凹部９２内において、連通部８９に相当する部分は第２マスク９４によって被覆されているため、電極材料が成膜されない。なお、電極形成工程（Ｓ５）の終了後には、アクチュエータプレート５２の上面からマスク９１，９４を除去する。

次に、図６、図１５に示すように、アクチュエータプレート５２の上面にカバープレート５３を接合する（カバープレート接合工程（Ｓ６））。具体的には、各供給スリット８４，８７が第１凹部９０におけるチャネル延在方向の内側端部でそれぞれ連通し、かつ各排出スリット８５，８８が第１凹部９０におけるチャネル延在方向の外側端部でそれぞれ連通するように、カバープレート５３をアクチュエータプレート５２に接合する。

続いて、図６、図１６、図１７に示すように、各凹部９０，９２がアクチュエータプレート５２を貫通するように、アクチュエータプレート５２を下面側から研削する（研削工程（Ｓ７））。これにより、アクチュエータプレート５２に吐出チャネル６１及びダミーチャネル６２が形成される。また、アクチュエータプレート５２のうち、各チャネル列６３，６４のダミーチャネル６２間に位置する部分には、各ダミーチャネル６２同士を連通させる連通部８９が形成される。

その後、図４〜図６に示すように、アクチュエータプレート５２の下面にノズルプレート５１を接合する（ノズルプレート接合工程（Ｓ８））。
さらに、アクチュエータプレート５２の尾部にフレキシブルプリント基板６９，７０を実装する。
以上により、本実施形態のインクジェットヘッド５が作製される。なお、上述した実施形態では、第２凹部９２のうち連通部８９に相当する部分を第２マスク９４によって被覆する構成について説明したが、これに限られない。例えば、第２凹部９２のうち連通部８９に相当する部分を第１マスク９１によって被覆しても構わない。

このように、本実施形態では、吐出チャネル６１及びダミーチャネル６２が、それぞれチャネル延在方向の中心を通りチャネル延在方向に直交する面に対して面対称に形成されている構成とした。
この構成によれば、インク吐出時において、吐出チャネル６１が拡縮変形する際、チャネル延在方向の一端側と他端側とをバランスよく変形させることができる。これにより、偏向等の吐出不良が発生するのを抑制し、安定した吐出性能を得ることができる。しかも、本実施形態では、ダミーチャネル６２が吐出チャネル６１に比べてチャネル延在方向に長く形成されているため、吐出チャネル６１におけるチャネル延在方向の全体をスムーズに変形させることができる。

また、本実施形態では、各チャネル列６３，６４のチャネル延在方向で対向する吐出チャネル６１同士及びダミーチャネル６２同士がそれぞれ同一直線上に配置されている構成とした。
この構成によれば、例えば吐出チャネル６１同士及びダミーチャネル６２同士がＸ方向にオフセットしている場合に比べて、吐出チャネル６１及びダミーチャネル６２それぞれを面対称に形成し易くなる。

特に、各チャネル列６３，６４において、チャネル延在方向で対向するダミーチャネル６２同士を連通させる連通部８９がダミーチャネル６２と同等の溝深さに形成されているため、ダミーチャネル６２をより確実に面対称に形成し易くなる。

また、本実施形態では、蒸着法によって各電極６６，７１やパッド６７，７２を形成することで、低コスト化を図ることができる。しかも、マスク９１，９４を用いて蒸着法を行うことにより、第２凹部９２内面のうちチャネル延在方向における連通部８９の内面を回避した部分に個別電極７１を形成することができる。その結果、各チャネル列６３，６４間において、チャネル延在方向で対向するダミーチャネル６２の内面に形成された個別電極７１同士が連通部８９の内面を介して導通するのを防止できる。
さらに、各パッド６７，７２がアクチュエータプレート５２の上面に形成されているため、各パッド６７，７２を介して各電極６６，７１とフレキシブルプリント基板６９，７０との接続を行うことができる。これにより、構成の簡素化を図ることができる。

さらに、各ノズル列７３，７４のノズル孔７５，７６がＸ方向及びチャネル延在方向で互い違いに配置されている構成とした。
この構成によれば、被記録媒体Ｐ上においてインクジェットヘッド５をＹ方向に走査しながら、ノズル孔７５，７６から吐出されるインクをＸ方向（各チャネル列６３，６４の延在方向）に沿う同一直線上に着弾させることで、インクの密度を向上させることができる。これにより、高分解能化を実現できる。

そして、本実施形態のプリンタ１では、上述したインクジェットヘッド５を備えているため、高性能で信頼性に優れたプリンタ１を提供できる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態では、共通電極６６ａや個別電極７１ａが各チャネル６１，６２の下半部に形成されている点で上述した実施形態と相違している。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。

図１８は、第２実施形態に係るインクジェットヘッド５の図４に相当する断面図である。
図１８に示すインクジェットヘッド５において、共通電極６６ａは、各吐出チャネル６１の内面のうちＸ方向で対向する内側面に形成されている。共通電極６６ａは、Ｚ方向において、各吐出チャネル６１の下端縁から中央部に至る範囲に形成されている。また、共通電極６６ａは、チャネル延在方向において、吐出チャネル６１の中間部６１ｂと同等の範囲に形成されている。

アクチュエータプレート５２のうち尾部の下面には、共通パッド６７ａが形成されている。共通パッド６７ａは、チャネル延在方向の内側端部が吐出チャネル６１の下端開口縁で共通電極６６ａに接続され、チャネル延在方向の外側端部が尾部の下面上で終端している。

図１９は、第２実施形態に係るインクジェットヘッド５の図５に相当する断面図である。
一方、図１９に示すように、個別電極７１ａは、各ダミーチャネル６２の内面のうちＸ方向で対向する内側面に形成されている。個別電極７１ａは、Ｚ方向において、各ダミーチャネル６２の下端縁から中央部に至る範囲に形成されている。また、ダミーチャネル６２は、チャネル延在方向における全域に亘って形成されている。なお、本実施形態においても、連通部８９には電極材料が付着しておらず、連通部８９を通してチャネル延在方向で対向するダミーチャネル６２の個別電極７１ａ同士が連通部８９によって電気的に分断されている。

アクチュエータプレート５２のうち尾部の下面には、吐出チャネル６１を挟んでＸ方向で対向する個別電極７１同士を接続する個別パッド７２ａが形成されている。個別パッド７２ａは、尾部の下面において、上述した共通パッド６７ａよりもＹ方向の外側に位置する部分をＸ方向に延在している。

そして、上述したフレキシブルプリント基板６９，７０は、尾部の下面において、各パッド６７ａ，７２ａに接続されている。

図２０は、第２実施形態のインクジェットヘッド５の製造方法を説明するためのフローチャートである。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の工程については、説明を省略する。
図２０に示すように、本実施形態では、カバープレート接合工程（Ｓ６）及び研削工程（Ｓ７）を電極形成工程（Ｓ４）よりも前に行う点で上述した第１実施形態と相違している。
すなわち、本実施形態のインクジェットヘッド５では、研削工程（Ｓ７）の終了後、アクチュエータプレート５２の下面に図示しない第１マスク及び第２マスクを配置する。この状態で、アクチュエータプレート５２の下面側から蒸着法を行う。これにより、アクチュエータプレート５２の下面に各パッド６７ａ，７２ａが形成される。アクチュエータプレート５２の各チャネル６１，６２内の下半部に各電極６６ａ，７１ａがそれぞれ形成される。

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について説明する。第３実施形態では、上述した各電極６６，７１やパッド６７，７２を無電解めっきにより形成する点で、上述した第１実施形態と相違している。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。

図２１は、第３実施形態に係るインクジェットヘッド５において、カバープレート５３を取り外した状態を示す平面図である。図２２は、図２１のＸＸＩＩ−ＸＸＩＩ線に相当する断面図である。図２３は、図２１のＸＸＩＩＩ−ＸＸＩＩＩ線に相当する断面図である。
図２１〜図２３に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド５において、アクチュエータプレート１５２は、分極方向がＺ方向で異なる２枚の圧電板（第１圧電板１５２ａ及び第２圧電板１５２ｂ）を積層してなる、いわゆるシェブロン基板である。

この場合、共通電極１６６は、吐出チャネル６１の内面全体に亘って形成されている。また、個別電極１７１は、ダミーチャネル６２の内面のうち、Ｘ方向で対向する内側面全体に各別に形成されている。すなわち、個別電極１７１は、ダミーチャネル６２の底面（ノズルプレート５１の上面のうち、ダミーチャネル６２内に露出する部分）には形成されていない。そのため、同一のダミーチャネル６２内において、Ｘ方向で対向する個別電極１７１同士は、電気的に分離されている。

また、アクチュエータプレート１５２において、各チャネル列６３，６４間に位置する部分（連通部８９が位置する部分）には、各チャネル列６３，６４間を分断する分断溝１０１が形成されている。分断溝１０１は、その溝深さがダミーチャネル６２や連通部８９の溝深さと同等に形成されている。分断溝１０１は、アクチュエータプレート１５２のＸ方向の全体に亘って形成されている。但し、分断溝１０１は、Ｘ方向の外側端部が各チャネル列６３，６４よりもＸ方向の外側に位置していれば構わない。また、分断溝１０１は、少なくとも各チャネル列６３，６４のチャネル延在方向で対向するダミーチャネル６２間を分断していれば構わない。

次に、第３実施形態のインクジェットヘッド５の製造方法について説明する。図２４は、第３実施形態に係るインクジェットヘッド５の製造方法を説明するためのフローチャートである。図２５は、インクジェットヘッド５の製造方法を説明するための工程図である。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の工程については、説明を省略する。
図２４、図２５に示すように、本実施形態の電極形成工程（Ｓ５）では、各電極１６６，１７１やパッド６７，７２を無電解めっきにより形成する。電極形成工程（Ｓ５）では、まずアクチュエータプレート１５２のうち、各電極１６６，１７１やパッド６７，７２の形成領域（第１マスク１０３の開口部から露出する領域）に対して触媒を付与する。具体的には、塩化第１錫水溶液に浸漬させ、アクチュエータプレート１５２の表面に塩化第１錫を吸着させるセンシタイジング処理を行う。続いて、アクチュエータプレート１５２を水洗等により軽く洗浄する。その後、アクチュエータプレート１５２を塩化パラジウム水溶液に浸漬させ、アクチュエータプレート１５２の表面に塩化パラジウムを吸着させる。すると、アクチュエータプレート１５２の表面に吸着した塩化パラジウムと、上述したセンシタイジング処理で吸着した塩化第１錫と、の間で酸化還元反応が生じることで、触媒として金属パラジウムが析出される（アクチベーティング処理）。次に、触媒（金属パラジウム）が付与されたアクチュエータプレート１５２をめっき液に浸漬させることで、アクチュエータプレート１５２のうち、触媒が付与された部分にめっき被膜１１０が析出される。

続いて、アクチュエータプレート１５２に対して分断溝１０１を形成する（分断溝形成工程（Ｓ１０））。分断溝形成工程（Ｓ１０）は、例えばダイシングブレードを用いた切削加工等により行う。具体的には、アクチュエータプレート１５２のうち、各チャネル列６３，６４間に位置する部分に上方からダイシングブレードを進入させ、アクチュエータプレート１５２とダイシングブレードとをＸ方向に相対移動させる。これにより、めっき被膜１１０のうち、連通部８９内に位置する部分が除去され、各チャネル列６３，６４のうちチャネル延在方向で対向するダミーチャネル６２の個別電極１７１同士が分断される。

その後、上述した第１実施形態と同様に、カバープレート接合工程（Ｓ６）以降の工程を行う。これにより、第３実施形態のインクジェットヘッド５が完成する。なお、各チャネル６１，６２の内面においてＺ方向の全体に亘って電極１６６，１７１を形成する方法として、上述した実施形態では無電解めっきを例にして説明したが、これに限らず、蒸着法によって電極１６６，１７１を形成しても構わない。また、電極形成工程（Ｓ４）の前に、第１実施形態と同様に第２マスク形成工程（Ｓ４）を行っても構わない。

本実施形態によれば、上述した第１実施形態と同様の作用効果を奏することに加え、無電解めっきにより各チャネル６１，６２内にめっき被膜１１０を形成する場合において、各チャネル列６３，６４におけるチャネル延在方向で対向するダミーチャネル６２内の個別電極１７１同士を分断溝１０１によって分断できる。

また、本実施形態では、電極形成工程（Ｓ５）の後、研削工程（Ｓ６）を行うことで、ダミーチャネル６２の底面に付着した電極材料を除去できる。これにより、ダミーチャネル６２においてＸ方向で対向する内側面に形成される個別電極１７１がダミーチャネル６２の底面を介して導通するのを防止できる。
また、連通部８９がダミーチャネル６２と同等の溝深さに形成されているため、電極形成工程（Ｓ５）において、仮に第２凹部９２（ダミーチャネル６２や連通部８９）の底面に電極材料が付着している場合に、この電極材料を研削工程（Ｓ６）においてダミーチャネル６２や連通部８９に亘ってまとめて除去できる。これにより、各チャネル列６３，６４において、ダミーチャネル６２の内面のうちＸ方向で対向する内側面に形成された個別電極１７１同士が、ダミーチャネル６２の底面を介して導通するのを抑制できる。なお、上述した実施形態では、研削工程（Ｓ７）によって第２凹部９２の底面に付着した電極材料を除去する構成について説明したが、これに限られない。例えば、レーザーやダイシングブレード等によって第２凹部９２の底面に付着した電極材料を除去しても構わない。

ところで、インクジェットヘッド５において、アクチュエータプレート１５２で発生する熱量をＷ、アクチュエータプレート１５２（駆動壁６５）の静電容量をＣ、アクチュエータプレート１５２に印加する電圧をＶとすると、以下の式（１）の関係が成立する。
Ｗ＝ＣＶ²…（１）

上式（１）に示すように、アクチュエータプレート１５２で発生する熱量Ｗは駆動壁６５の静電容量Ｃに比例するとともに、電圧Ｖの二乗に比例する。そのため、アクチュエータプレート１５２の発熱を抑えるためには、吐出チャネル６１（駆動壁６５）を低電圧で変形させることが好ましい。
これに対して、本実施形態では、シェブロン基板からなるアクチュエータプレート１５２の各チャネル６１，６２の内面においてＺ方向の全体に亘って電極１６６，１７１を形成することで、各電極１６６，１７１の面積を増加させることができる。これにより、吐出チャネル６１（駆動壁６５）を低電圧で変形させることができるため、狭ピッチ化に伴い駆動壁６５のＸ方向の幅を狭くしたとしても、静電容量Ｃの増加に伴うインクジェットヘッド５の発熱を抑えることができる。

（第４実施形態）
次に、第４実施形態について説明する。本実施形態では、分断溝１０１の内面にバイパス電極１３０が形成されている点で上述した第２実施形態と相違している。図２６は、第４実施形態に係るインクジェットヘッド５において、カバープレート５３を取り外した状態を示す平面図である。
図２６に示すインクジェットヘッド５において、分断溝１０１の内面（Ｙ方向で対向する内側面）には、バイパス電極１３０が形成されている。バイパス電極１３０は、吐出チャネル６１を挟んでＸ方向で対向する個別電極１７１同士を接続している。バイパス電極１３０は、分断溝１０１の内側面全体に亘って形成されている。バイパス電極１３０におけるＸ方向の一端部は、吐出チャネル６１に対してＸ方向の一端側に位置するダミーチャネル６２内において、Ｘ方向の他端側に形成された個別電極１７１に接続されている。一方、バイパス電極１３０におけるＸ方向の他端部は、吐出チャネル６１に対してＸ方向の他端側に位置するダミーチャネル６２内において、Ｘ方向の一端側に形成された個別電極１７１に形成されている。

なお、本実施形態のインクジェットヘッド５を製造する場合は、上述した分断溝形成工程（Ｓ１０）を少なくとも電極形成工程（Ｓ５）よりも前に行う。これにより、電極形成工程（Ｓ５）において、各電極１６６，１７１やパッド６７，７２の成膜と同時に分断溝１０１の内側面にバイパス電極１３０が形成される。

この構成によれば、上述した第２実施形態と同様の作用効果を奏するとともに、バイパス電極１３０によって個別電極１７１同士を接続することで、個別電極１７１同士の導通の信頼性を確保できる。

（第５実施形態）
次に、第５実施形態について説明する。本実施形態では、各パッド６７ｂ，７２ｂがアクチュエータプレート５２の下面に形成されている点で上述した第４実施形態と相違している。なお、以下の説明では、上述した実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。

図２７は、第４実施形態に係るインクジェットヘッド５の図２２に相当する断面図である。
図２７に示すインクジェットヘッド５において、アクチュエータプレート５２のうち尾部の下面には、共通パッド６７ｂが形成されている。共通パッド６７ｂは、チャネル延在方向の内側端部が吐出チャネル６１の下端開口縁で共通電極１６６に接続され、チャネル延在方向の外側端部が尾部の下面上で終端している。

図２８は、第５実施形態に係るインクジェットヘッド５の図２３に相当する断面図である。
図２７、図２８に示すように、アクチュエータプレート５２のうち尾部の下面には、吐出チャネル６１を挟んでＸ方向で対向する個別電極１７１同士を接続する個別パッド７２ｂが形成されている。個別パッド７２ｂは、尾部の下面において、上述した共通パッド６７ｂよりもＹ方向の外側に位置する部分をＸ方向に延在している。

図２９は、第２実施形態のインクジェットヘッド５の製造方法を説明するためのフローチャートである。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の工程については、説明を省略する。
図２９に示すように、本実施形態では、まずアクチュエータプレート５２の上面に図示しない上面側マスクを配置した後、上述した実施形態と同様に第１凹部形成工程（Ｓ２）及び第２凹部形成工程（Ｓ３）を行う。

続いて、第１凹部９０及び第２凹部９２の内面に共通電極６６及び個別電極７１となる電極材料を形成する（第１電極形成工程（Ｓ２０））。第１電極形成工程（Ｓ２０）は、例えば無電解めっき等により行うことができる。なお、第１電極形成工程（Ｓ２０）の後、上面側マスクを除去する。
その後、上述した実施形態と同様にカバープレート接合工程（Ｓ６）及び研削工程（Ｓ７）を行う。

次に、アクチュエータプレート５２の下面に後述する第２電極形成工程（Ｓ４０）で用いる下面側マスクを配置する（下面側マスク工程（Ｓ３０））。下面側マスクは、アクチュエータプレート５２の下面のうち、各パッド６７ｂ，７２ｂの形成領域に位置する部分に開口部を有している。

次に、アクチュエータプレート５２に各パッド６７ｂ，７２ｂを形成する（第２電極形成工程（Ｓ４０））。第２電極形成工程（Ｓ４０）では、例えば蒸着法等によってアクチュエータプレート５２の下面に対して電極材料を成膜する。すると、下面側マスクの開口部を通してアクチュエータプレート５２の下面に電極材料が成膜されることで、上述した各パッド６７ｂ，７２ｂが形成される。なお、第２電極形成工程（Ｓ４０）の終了後、アクチュエータプレート５２の下面から下面側マスクを除去する。

その後、上述した実施形態と同様に分断溝形成工程（Ｓ１０）及びノズルプレート接合工程（Ｓ８）を行うことで、本実施形態のインクジェットヘッド５が完成する。

（第６実施形態）
次に、第６実施形態について説明する。本実施形態では、チャネル列２００〜２０４が４列形成されている点で上述した実施形態と相違している。なお、以下の説明では、上述した実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。

図３０は、第６実施形態に係るインクジェットヘッド５において、カバープレート５３を取り外した状態を示す平面図である。
図３０に示すインクジェットヘッド５において、アクチュエータプレート２５２には、複数のチャネル列（第１チャネル列２０１、第２チャネル列２０２、第３チャネル列２０３及び第４チャネル列２０４）がＹ方向に間隔をあけて配列されている。なお、各チャネル列２０１〜２０４のうち、Ｙ方向で隣り合うチャネル列同士が請求項の第１チャネル列及び第２チャネル列に相当する。

各チャネル列２０１〜２０４は、それぞれ吐出チャネル６１及びダミーチャネル６２がＸ方向に交互に並んで形成されている。また、各チャネル列２０１〜２０４において、チャネル延在方向で対向する吐出チャネル６１同士は、そのチャネル延在方向が同一直線上に配置されている。また、各チャネル列２０１〜２０４において、チャネル延在方向で対向するダミーチャネル６２同士は、そのチャネル延在方向が同一直線上に配置されている。なお、アクチュエータプレート２５２において、隣り合うチャネル列２０１〜２０４間に位置する部分には、分断溝１０１が形成されている。

本実施形態において、図示しないノズルプレートには、各チャネル列２０１〜２０４の吐出チャネル６１に各別に連通するノズル孔２１１〜２１４が形成されている。各ノズル孔２１１〜２１４は、Ｙ方向における各チャネル列２０１〜２０４に対応する位置で、Ｘ方向に間隔をあけて配列されてノズル列（第１ノズル列２２１、第２ノズル列２２２、第３ノズル列２２３及び第４ノズル列２２４）を構成している。

各ノズル列２２１〜２２４は、各ノズル孔２１１〜２１４がそれぞれＸ方向で同等のピッチで配列されている。また、各ノズル孔２１１〜２１４は、それぞれＸ方向に互いにオフセットした位置に形成されている。この場合、各ノズル孔２１１〜２１４は、例えば各ノズル孔２１１〜２１４の配列ピッチの１／４ピッチ毎にオフセットされている。但し、各ノズル孔２１１〜２１４のオフセット量は、適宜設計変更が可能である。

なお、各チャネル列２０１〜２０４のうち、第１チャネル列２０１及び第４チャネル列２０４の各電極１６６，１７１は、アクチュエータプレート２５２におけるＹ方向の両端部において、各パッド６７，７２を介して図示しないフレキシブルプリント基板に接続される。また、第２チャネル列２０２及び第３チャネル列２０３の各電極１６６，１７１は、アクチュエータプレート２５２における第２チャネル列２０２及び第３チャネル列２０３の間に位置する部分において、図示しないカバープレートに形成された貫通孔を通して挿通されるフレキシブルプリント基板に各パッド６７，７２を介して接続される。なお、フレキシブルプリント基板と各電極１６６，１７１との接続方法は適宜変更が可能である。

この構成によれば、インクの密度の更なる向上を図り、高分解能化を実現できる。なお、上述した実施形態では、チャネル列を４列形成した場合について説明したが、３列であっても５列以上の複数列であっても構わない。

（第７実施形態）
次に、本発明の第７実施形態について説明する。本実施形態では、各チャネル６１，６２のチャネル延在方向をＹ方向に一致させた点で上述した各実施形態と相違している。図３１は、第７実施形態に係るインクジェットヘッド５において、カバープレート５３を取り外した状態を示す平面図である。
図３１に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド５において、各吐出チャネル６１及びダミーチャネル６２それぞれは、Ｙ方向（チャネル延在方向（第１方向））に沿って直線状に形成されている。各チャネル列６３，６４において、各吐出チャネル６１同士及びダミーチャネル６２同士は、それぞれＸ方向で同等の配列ピッチで形成されている。したがって、各チャネル列６３，６４において、吐出チャネル６１同士及びダミーチャネル６２同士は、それぞれＸ方向で同等の位置に形成されている。したがって、ノズルプレート５１において、各ノズル列７３，７４の対応するノズル孔７５，７６同士は、Ｘ方向で同等の位置に形成されている。

この構成によれば、各チャネル列６３，６４の吐出チャネル６１がＸ方向で同等の位置に形成されているため、インクジェットヘッド５の走査方向（Ｙ方向）でのノズル数を増加させることができ、印刷の高速化を実現できる。なお、本実施形態においても、上述した第３実施形態〜第６実施形態の構成を適宜採用することが可能である。また、本実施形態では、各チャネル列６３，６４それぞれにおいて、吐出チャネル６１及びダミーチャネル６２の双方を、ノズル孔７５，７６を通りＹ方向に直交する面に対して面対称に形成しても構わない。

なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。

上述した実施形態では、共通パッド及び個別パッドがアクチュエータプレートにおける同一の面（上面若しくは下面）に形成された構成について説明したが、これに限られない。例えば共通パッド及び個別パッドのうち、何れか一方のパッドをアクチュエータプレートの上面及び下面のうち一方の面に形成し、他方のパッドを他方の面に形成しても構わない。
上述した実施形態では、ノズル孔が吐出チャネルにおけるＹ方向若しくはチャネル延在の中央部で吐出チャネル内に連通する構成について説明したが、これに限られない。すなわち、ノズル孔は、吐出チャネルにおけるＹ方向若しくはチャネル延在の中途部分（アクチュエータプレートを貫通している部分）で吐出チャネル内に連通する構成であれば、中央部からずれていても構わない。

上述した実施形態では、サイドシュートタイプのうち、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクが循環する循環式について説明したが、これに限られない。
上述した実施形態では、ダミーチャネル６２がアクチュエータプレートをＺ方向に貫通する構成について説明したが、これに限られない。
上述した実施形態では。各チャネル列６３，６４において、各ダミーチャネル６２間を連通する連通部８９を形成した構成について説明したが、ダミーチャネル６２が面対称に形成されていれば、連通部８９を有さない構成であっても構わない。また、吐出チャネル６１及びダミーチャネル６２を同一形状に形成しても構わない。

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせても構わない。

１…インクジェットプリンタ
２…搬送手段（移動機構）
３…搬送手段（移動機構）
５，５Ｂ，５Ｃ，５Ｍ，５Ｙ…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
７…走査手段（移動機構）
５１…ノズルプレート（噴射孔プレート）
５２，１５２，２５２…アクチュエータプレート
６１…吐出チャネル（噴射チャネル）
６２…ダミーチャネル
６３…第１チャネル列
６４…第２チャネル列
６６，６６ａ，１６６…共通電極
６７，６７ａ，６７ｂ…共通パッド
７１，７１ａ，１７１…個別電極
７２，７２ａ，７２ｂ…個別パッド
７５…第１ノズル孔（第１噴射孔）
７６…第２ノズル孔（第２噴射孔）
８９…連通部
１０１…分断溝
１３０…バイパス電極
２０１…第１チャネル列（第１チャネル列、第２チャネル列）
２０２…第２チャネル列（第１チャネル列、第２チャネル列）
２０３…第３チャネル列（第１チャネル列、第２チャネル列）
２０４…第４チャネル列（第１チャネル列、第２チャネル列）
２１０…ノズル孔（噴射孔）
２１１…ノズル孔（噴射孔）
２１２…ノズル孔（噴射孔）
２１３…ノズル孔（噴射孔）
２１４…ノズル孔（噴射孔）

Claims (11)

1. アクチュエータプレートと、
   前記アクチュエータプレートに形成され、第１方向に沿って延びるとともに、液体が充填される噴射チャネルと、
   前記アクチュエータプレートに形成され、第１方向に沿って延びるとともに、液体が充填されないダミーチャネルと、
   前記アクチュエータプレートに積層され、前記噴射チャネルにおける前記第１方向の中途部分で前記噴射チャネル内に連通する噴射孔を有する噴射プレートと、
   を有し、
   前記アクチュエータプレートには、前記噴射チャネル及び前記ダミーチャネルがそれぞれ前記第１方向に交差する第２方向に交互に並設されてなる第１チャネル列及び第２チャネル列が前記第１方向に間隔をあけて形成され、
   前記噴射チャネルは、前記第１方向における前記噴射チャネルの中心を通り前記第１方向に直交する面に対して面対称に形成され、
   前記ダミーチャネルは、前記第１方向における前記ダミーチャネルの中心を通り前記第１方向に直交する面に対して面対称に形成され、
   前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列の前記ダミーチャネルは、前記アクチュエータプレートにおける前記第１方向の両端面でそれぞれ開放され、
   前記アクチュエータプレートのうち、前記第１チャネル列と前記第２チャネル列との間に位置する部分には、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列の前記ダミーチャネル同士を連通させる連通部が形成され、
   前記連通部は、前記ダミーチャネルと溝深さが同等に形成されている
   液体噴射ヘッド。
2. 前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列において、前記第１方向で対向する前記噴射チャネル同士は、前記第１方向に沿って同一直線上に配置され、
   前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列において、前記第１方向で対向する前記ダミーチャネル同士は、前記第１方向に同一直線上に配置されている
   請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記噴射チャネルの内面に形成された共通電極と、
   前記ダミーチャネルの内面のうち、前記第２方向で対向する内側面に形成された個別電極と、
   を備えている
   請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記アクチュエータプレートの主面、若しくは前記主面とは反対面には、前記噴射チャネルを間に挟んで前記第２方向で対向する前記個別電極同士を接続する個別パッドが形成されている
   請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記アクチュエータプレートの主面、若しくは前記主面とは反対面には、前記共通電極に接続された共通パッドが形成されている
   請求項３又は請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記個別電極は、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列で対応する前記ダミーチャネル及び前記連通部の内面において、前記連通部の内面を回避した部分に形成されている
   請求項３から請求項５の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記アクチュエータプレートのうち、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列間に位置する部分には、前記第１チャネル列及び前記第２チャネル列において、少なくとも前記第１方向で対向する前記ダミーチャネル同士の間で前記個別電極同士を電気的に分離するする分断溝が形成されている
   請求項３から請求項５の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
8. 前記分断溝の内面には、前記噴射チャネルを間に挟んで前記第２方向で対向する前記個別電極同士を接続するバイパス電極が形成されている
   請求項７に記載の液体噴射ヘッド。
9. 前記噴射チャネル及び前記ダミーチャネルの溝深さ方向を第３方向とすると、
   前記アクチュエータプレートは、前記第３方向で分極方向が異なる第１圧電板及び第２圧電板が前記第３方向で積層されて構成され、
   前記共通電極は、前記噴射チャネルの内面において前記第１圧電板及び前記第２圧電板に跨って形成され、
   前記個別電極は、前記ダミーチャネルの内面のうち、前記第２方向で対向する内側面で前記第１圧電板及び前記第２圧電板に跨って形成されている
   請求項３から請求項８の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
10. 前記噴射孔は、
    前記第１チャネル列の前記噴射チャネルに各別に連通する第１噴射孔と、
    前記第２チャネル列の前記噴射チャネルに各別に連通する第２噴射孔と、
    を有し、
    前記第１噴射孔及び前記第２噴射孔は、前記第２方向で互い違いに配列されている
    請求項１から請求項９の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
11. 請求項１から請求項１０の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドと、
    前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、
    を備えている液体噴射装置。

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