CN107009741A - 液体喷射头以及液体喷射装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够获得稳定的吐出性能的液体喷射头及液体喷射装置。其特征在于，具有：吐出通道，其沿通道延伸方向，并且填充油墨；虚设通道(62)，其沿通道延伸方向延伸，并且不填充油墨；喷嘴板(51)，其层叠于促动器板(52)，且具有喷嘴孔，该喷嘴孔在吐出通道的通道延伸方向的中央部分处连通于吐出通道内，在促动器板(52)，第一通道列(63)及第二通道列(64)在通道延伸方向上隔开间隔地形成，第一通道列(63)及第二通道列(64)是吐出通道及虚设通道(62)分别在X方向上交替地并列设置而构成的，吐出通道及虚设通道(62)分别相对于通过通道延伸方向的中心与通道延伸方向正交的对称面面对称地形成。

Description

液体喷射头以及液体喷射装置

技术领域

本发明涉及液体喷射头及液体喷射装置。

背景技术

一直以来，作为对记录纸等被记录介质吐出液滴状的油墨，以对被记录介质记录图像、文字的装置，存在具备喷墨头(液体喷射头)的喷墨打印机(液体喷射装置)。喷墨头具备吐出通道及虚设通道(dummy channel)交替地并列设置的促动器板、以及具有各自与吐出通道连通的喷墨孔的喷嘴板。

根据该构成，通过在促动器板之中，将吐出通道和虚设通道之间隔开的驱动壁变形，吐出通道内扩缩变形，将吐出通道内的油墨从喷嘴孔吐出。

在此，例如在下列专利文献1，公开了在通道延伸方向的中央部处使吐出通道内与喷嘴孔连通的，所谓侧射类型(side shoot type)的喷墨头。另外，在专利文献1，公开了为了使得高分解度化、印刷的高速化成为可能，在通道延伸方向上隔开间隔形成两列包括吐出通道及虚设通道的通道列的构成。在该情况下，在促动器板之中，在通道延伸方向上的位于两个通道列之间的部分，形成有将两个通道列之间隔开的隔壁。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-65150号公报。

发明内容

发明要解决的课题

另外，吐出油墨时的吐出通道的变形特性随着驱动壁的形状(虚设通道的内表面形状)而变动。

然而，在上述专利文献1的构成中，由于在促动器板形成有隔壁，故在通道延伸方向上的一端侧与另一端侧处，驱动壁的形状(虚设通道的内表面形状)不同。因此，在吐出油墨时，当吐出通道扩缩变形时，存在在通道延伸方向的一端侧和另一端侧处失去变形的平衡的风险。结果，存在发生油墨的吐出方向偏向等吐出缺陷的风险。

本发明是考虑此种情况而完成的，其目的在于提供能够获得稳定的吐出性能的液体喷射头及液体喷射装置。

用于解决问题的方案

为了解决上述问题，本发明提供以下方案。

本发明所涉及的液体喷射头的特征在于，具有：促动器板；喷射通道，其在所述促动器板形成，沿第一方向延伸，并且填充液体；虚设通道，其在所述促动器板形成，沿第一方向延伸，并且不填充液体；喷射板，其层叠于所述促动器板，且具有喷射孔，所述喷射孔在所述喷射通道的所述第一方向的中途部分处连通于所述喷射通道内，在所述促动器板，第一通道列及第二通道列在所述第一方向上隔开间隔地形成，所述第一通道列及第二通道列是所述喷射通道及所述虚设通道分别在与所述第一方向交叉的第二方向上交替地并列设置而构成的，所述喷射通道相对于通过所述第一方向上的所述喷射通道的中心与所述第一方向正交的面面对称地形成，所述虚设通道相对于通过所述第一方向上的所述虚设通道的中心与所述第一方向正交的面面对称地形成。

根据该构成，在液体喷射时，当喷射通道扩缩变形时，能够使第一方向的一端侧和另一端侧平衡较好地变形。由此，能够抑制发生偏向等吐出缺陷的情况，以获得稳定的喷射性能。

在本发明所涉及的液体喷射头中，还可以是在所述第一通道列及所述第二通道列中，在所述第一方向上相向的所述喷射通道彼此沿所述第一方向配置在同一直线上，在所述第一通道列及所述第二通道列中，在所述第一方向上相向的所述虚设通道彼此在所述第一方向上配置在同一直线上。

根据该构成，与在各通道列中，在第一方向上相向的喷射通道彼此及虚设通道彼此在第二方向上偏移的情况相比，容易面对称地形成喷射通道及虚设通道各自。

在本发明所涉及的液体喷射头中，还可以是所述第一通道列及所述第二通道列的所述虚设通道在所述促动器板的所述第一方向的两端面处分别敞开，在所述促动器板之中位于所述第一通道列与所述第二通道列之间的部分，形成有连通部，所述连通部使所述第一通道列及所述第二通道列的所述虚设通道彼此连通，所述连通部的槽深与所述虚设通道同等地形成。

根据该构成，因为使在各通道列中在第一方向上相向的虚设通道彼此连通的连通部形成为与虚设通道同等的槽深，所以容易更可靠地面对称地形成虚设通道。另外，例如在通过无电解镀等在各通道内形成电极的情况下，假设在电极材料附着于虚设通道、连通部的底面时，能够遍及虚设通道、连通部一起除去该电极材料。由此，能够抑制在各通道列中，形成于虚设通道的内表面之中在第二方向上相向的内侧面的个别电极(個別電極)彼此经由虚设通道的底面而导通。

在本发明所涉及的液体喷射头中，还可以具备：公用电极，其在所述喷射通道的内表面形成；个别电极，其形成于所述虚设通道的内表面之中在所述第二方向上相向的内侧面。

根据该构成，若对各电极施加驱动电压，则通过在限定喷射通道的两个驱动壁发生厚度滑移变形，喷射通道的容积变化。之后，通过使施加于各电极的驱动电压为零，驱动壁复原且喷射通道的容积复原。在上述变形过程中，通过喷射通道的容积增大，液体被引导到喷射通道内。一方面，通过喷射通道的容积缩小，喷射通道内部的压力增加，液体被加压。其结果，液体被通过喷射孔喷射到外部，能够对被记录介质记录文字、图像等。

在本发明所涉及的液体喷射头中，还可以在所述促动器板的主面，或是与所述主面相反的面形成个别焊盘，该个别焊盘连接在之间隔着所述喷射通道在所述第二方向上相向的所述个别焊盘彼此。

在本发明所涉及的液体喷射头中，还可以在所述促动器板的主面，或是与所述主面相反的面，形成连接于所述公用电极的公用焊盘。

根据该构成，在促动器板的主面，或是与主面相反的面，能够经由个别焊盘、公用焊盘进行个别电极、公用电极与外部布线的连接。由此，能够谋求构成的简化。

在本发明所涉及的液体喷射头中，还可以在所述促动器板之中位于所述第一通道列与所述第二通道列之间的部分形成连通部，所述连通部使所述第一通道列及所述第二通道列之中在所述第一方向上相向的所述虚设通道彼此连通，所述个别电极在所述第一通道列及所述第二通道列中对应的所述虚设通道及所述连通部的内表面处形成于避开所述连通部的内表面的部分。

根据该构成，能够防止在各通道列之间，形成于在第一方向上相向的虚设通道的内表面的个别电极彼此经由连通部的内表面而导通。

在本发明所涉及的液体喷射头中，还可以在所述促动器板之中位于所述第一通道列与所述第二通道列之间的部分形成连通部，所述连通部使所述第一通道列及所述第二通道列之中在所述第一方向上相向的所述虚设通道彼此连通，在所述促动器板之中位于所述第一通道列及所述第二通道列之间的部分形成隔断槽，所述隔断槽在所述第一通道列及所述第二通道列中，至少在在所述第一方向上相向的所述虚设通道彼此之间将所述个别电极彼此电气地分离。

根据本构成，例如在通过无电解镀等在各通道内形成电极的情况下，能够通过隔断槽来隔断各通道列彼此的在第一方向上相向的虚设通道内的个别电极彼此。由此，能够防止在经由连通部而连通的虚设通道的内表面形成的个别电极彼此经由连通部的内表面而导通。

在本发明所涉及的液体喷射头中，还可以在所述隔断槽的内表面形成旁通电极，所述旁通电极连接在之间隔着所述喷射通道在所述第二方向上相向的所述个别电极彼此。

根据该构成，通过利用旁通电极来连接在之间隔着喷射通道在第二方向上相向的个别电极彼此，能够确保导通的可靠性。

在本发明所涉及的液体喷射头中，还可以是若将所述喷射通道及所述虚设通道的槽深方向作为第三方向，则所述促动器板由在所述第三方向上极化方向不同的第一压电板及第二压电板在所述第三方向上层叠而构成，所述公用电极在所述喷射通道的内表面处跨越所述第一压电板及所述第二压电板而形成，所述个别电极在所述虚设通道的内表面之中在所述第二方向上相向的内侧面处跨越所述第一压电板及所述第二压电板而形成。

另外，在促动器板中产生的热量与将喷射通道和虚设通道之间隔开的驱动壁的静电电容成比例，且与电压的平方成比例。因此，为了抑制促动器板的发热，优选地以低电压使喷射通道(驱动壁)变形。

因此，在本发明的构成中，通过在各通道的内表面以跨越第一压电板及第二压电板的方式分别形成公用电极及个别电极，能够使各电极的面积增加，以低电压使喷射通道(驱动壁)变形。由此，即使伴随喷射通道的窄间距化而使驱动壁的第二方向的宽度变窄，也能够抑制静电电容的增加所伴随的液体喷射头的发热。

在本发明所涉及的液体喷射头中，还可以是所述喷射孔具有：各自与所述第一通道列的所述喷射通道连通的第一喷射孔；和各自与所述第二通道列的所述喷射通道连通的第二喷射孔，所述第一喷射孔及所述第二喷射孔在所述第二方向上交错地排列。

根据该构成，由于各喷射孔在第二方向上交错地配置，故通过一边使液体喷射头在被记录介质上沿与第一通道列及第二通道列的延伸方向正交的方向扫描，一边使从各喷射孔吐出的液体命中于沿着第二方向的同一直线上，能够提高命中于同一直线上的液体的密度。由此，能够实现高分解度化。

本发明所涉及的液体喷射装置的特征在于具备：上述本发明所涉及的液体喷射头；和使所述液体喷射头与被记录介质相对地移动的移动机构。

根据该构成，由于具备上述本发明所涉及的液体喷射头，故能够提供高性能且可靠性优秀的打印机。

发明效果

根据本发明，能够获得稳定的吐出性能。

附图说明

图1是喷墨打印机的概要构成图；

图2是喷墨头及油墨循环单元的概要构成图；

图3是示出了在第一实施方式所涉及的喷墨头中，将盖板卸下的状态的平面图；

图4是与图3的Ⅳ-Ⅳ线相当的截面图；

图5是与图3的Ⅴ-Ⅴ线相当的截面图；

图6是用于说明第一实施方式所涉及的喷墨头的制造方法的流程图；

图7是用于说明第一实施方式所涉及的喷墨头的制造方法的工序图；

图8是用于说明第一实施方式所涉及的喷墨头的制造方法的工序图；

图9是用于说明第一实施方式所涉及的喷墨头的制造方法的工序图；

图10是用于说明第一实施方式所涉及的喷墨头的制造方法的工序图；

图11是用于说明第一实施方式所涉及的喷墨头的制造方法的工序图；

图12是用于说明第一实施方式所涉及的喷墨头的制造方法的工序图；

图13是用于说明第一实施方式所涉及的喷墨头的制造方法的工序图；

图14是用于说明第一实施方式所涉及的喷墨头的制造方法的工序图；

图15是用于说明第一实施方式所涉及的喷墨头的制造方法的工序图；

图16是用于说明第一实施方式所涉及的喷墨头的制造方法的工序图；

图17是用于说明第一实施方式所涉及的喷墨头的制造方法的工序图；

图18是第二实施方式所涉及的喷墨头的与图4相当的截面图；

图19是第二实施方式所涉及的喷墨头的与图5相当的截面图；

图20是用于说明第二实施方式的喷墨头的制造方法的流程图；

图21是示出了在第三实施方式所涉及的喷墨头中，将盖板卸下的状态的平面图；

图22是与图21的XXII-XXII线相当的截面图；

图23是与图21的XXIII-XXIII线相当的截面图；

图24是用于说明第三实施方式所涉及的喷墨头的制造方法的流程图；

图25是用于说明第三实施方式所涉及的喷墨头的制造方法的工序图；

图26是示出了在第四实施方式所涉及的喷墨头中，将盖板卸下的状态的平面图；

图27是第四实施方式所涉及的喷墨头的与图22相当的截面图；

图28是第五实施方式所涉及的喷墨头的与图23相当的截面图；

图29是用于说明第五实施方式所涉及的喷墨头的制造方法的流程图；

图30是示出了在第六实施方式所涉及的喷墨头中，将盖板卸下的状态的平面图；

图31是示出了在第七实施方式所涉及的喷墨头中，将盖板卸下的状态的平面图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明所涉及的实施方式。在以下实施方式中，作为具备本发明的液体喷射头的液体喷射装置的一例，举利用油墨(液体)对被记录介质进行记录的喷墨打印机(以下，简称为打印机)为例进行说明。此外，在以下说明中使用的附图中，为了使各部件为能够识别的大小，适当地变更了各部件的比例尺。

(第一实施方式)

[打印机]

图1是打印机1的概要构成图。

如图1所示，本实施方式的打印机1具备：运送纸等被记录介质P的一对运送单元2、3；容纳油墨的油墨储罐4；对被记录介质P吐出液滴状油墨的喷墨头(液体喷射头)5；使油墨在油墨储罐4和喷墨头5之间循环的油墨循环单元6；以及使喷墨头5沿与被记录介质P的运送方向(以下，设为X方向)正交的方向(被记录介质P的宽度方向(以下，设为Y方向))扫描的扫描单元(移动机构)7。此外，图中Z方向表示与X方向及Y方向正交的高度方向。

运送单元2具备沿Y方向延伸设置的栅格辊(grid roller)11、与栅格辊11平行地延伸设置的夹送辊(pinch roller)12、以及使栅格辊11绕轴旋转的马达等驱动机构(未图示)。同样，运送单元3具备沿Y方向延伸设置的栅格辊13、与栅格辊13平行地延伸设置的夹送辊14、以及使栅格辊13轴旋转的驱动机构(未图示)。

作为油墨储罐4，例如黄、洋红、青、黑这四色油墨的油墨储罐4Y、4M、4C、4B沿X方向排列设置。

图2是喷墨头5及油墨循环单元6的概要构成图。

如图1、图2所示，油墨循环单元6具备：循环流路23，其具有对喷墨头5供给油墨的油墨供给管21及从喷墨头5排出油墨的油墨排出管22；连接于油墨供给管21的加压泵24；以及连接于油墨排出管22的吸引泵25。此外，油墨供给管21及油墨排出管22由柔性软管构成，该柔性软管具有能够与支撑喷墨头5的扫描单元7的动作对应的可挠性。

加压泵24对油墨供给管21内加压，经由油墨供给管21对喷墨头5送出油墨。由此，相对于喷墨头5，油墨供给管21侧为正压。

吸引泵25对油墨排出管22内减压，从喷墨头5吸引油墨。由此，相对于喷墨头5，油墨排出管22侧为负压。而且，油墨能够通过加压泵24及吸引泵25的驱动而经由循环流路23在喷墨头5与油墨储罐4之间循环。

如图1所示，扫描单元7具备沿Y方向延伸设置的一对导轨31、32、被一对导轨31、32以能够移动的方式支撑的滑架33、以及使滑架33沿Y方向移动的驱动机构34。驱动机构34具备配置于一对导轨31、32之间的一对滑轮35、36、卷绕于一对滑轮35、36之间的无接头带37、以及使一个滑轮35旋转驱动的驱动马达38。

一对滑轮35、36分别配置于一对导轨31、32的两端部之间。无接头带37配置于一对导轨31、32之间。滑架33连结于该无接头带37。作为多个喷墨头5，黄、洋红、青、黑这四色油墨的喷墨头5Y、5M、5C、4B沿Y方向排列并搭载于滑架33。此外，通过上述运送单元2、3及扫描单元7，构成使喷墨头5和被记录介质P相对移动的移动机构。

<喷墨头>

接着，详细地说明上述喷墨头5。此外，喷墨头5Y、5M、5C、5B除了被供给的油墨的颜色以外都包括相同的构成，因而在以下的说明中，共同地作为喷墨头5说明。

图3是示出了在喷墨头5中，将盖板53卸下的状态的平面图。图4是与图3的Ⅳ-Ⅳ线相当的截面图。图5是与图3的Ⅴ-Ⅴ线相当的截面图。

如图3～图5所示，各喷墨头5是从后述吐出通道61的通道延伸方向(第一方向)的中央部吐出油墨的所谓侧射类型之中，在与油墨储罐4之间使油墨循环的循环式的喷墨头5。另外，本实施方式的喷墨头5是由多个喷嘴孔75、76构成的喷嘴列73、74遍及两列形成的两列类型的喷墨头5。

如图4、图5所示，喷墨头5主要具备喷嘴板(喷射孔板)51、促动器板52及盖板53。而且，喷墨头5为这些喷嘴板51、促动器板52及盖板53以此顺序利用粘接剂等沿Z方向层叠的构成。此外，在以下的说明中，在上述Z方向之中，将盖板53侧作为上方，将喷嘴板51侧作为下方进行说明。

<促动器板>

促动器板52是由PZT(钛酸锆酸铅)等压电材料形成的板。促动器板52是其极化方向沿厚度方向(Z方向)在单方向上设定的所谓单极(monopole)基板。在促动器板52，由沿X方向(第二方向)隔开间隔并列设置的多个通道61、62构成的通道列(第一通道列63及第二通道列64)设有两列。此外，在以下的说明中，主要对第一通道列63进行说明，对第二通道列64中的与第一通道列63对应的部位附以相同的符号并省略说明。

如图3所示，第一通道列63具有填充油墨的吐出通道(喷射通道)61、及不填充油墨的虚设通道62。各通道61、62沿X方向交替地排列。在促动器板52之中，位于吐出通道61及虚设通道62之间的部分构成将吐出通道61及虚设通道62之间沿X方向隔开的驱动壁65。

吐出通道61在从Z方向看的平面视图中沿Y方向延伸。具体而言，本实施方式的吐出通道61在从Z方向看的平面视图中沿相对于Y方向交叉的方向(以下，简称为通道延伸方向)延伸。

如图4所示，吐出通道61在从X方向看的平面视图中，形成为朝下方凸出的弯曲形状。具体而言，吐出通道61具有位于通道延伸方向两端部的上切部61a、及位于各上切部61a之间的中间部61b。

上切部61a随着去往通道延伸方向的外侧而一边朝上弯曲一边延伸。

中间部61b沿Z方向贯穿促动器板52。

如图3所示，虚设通道62在促动器板52之中，相对于各吐出通道61在X方向的两侧与吐出通道61平行地延伸。如图5所示，虚设通道62的在Z方向(第三方向)上的槽深遍及整体同样地形成。在本实施方式中，虚设通道62沿Z方向贯穿促动器板52。虚设通道62的通道延伸方向的外侧端部在促动器板52的Y方向的外侧端面上开口。另外，在本实施方式中，虚设通道62的通道延伸方向的长度比吐出通道61长。从而，在从X方向看的侧面视图中，虚设通道62与吐出通道61整体重合，并且通道延伸方向的两端部与吐出通道61相比向通道延伸方向的外侧突出。此外，上述虚设通道62的长度为在通道延伸方向上，从后述连通部89和虚设通道62的边界部分到促动器板52的Y方向的外侧端面的距离。另一方面，吐出通道61的长度为在通道延伸方向上，上切部61a的两端缘之间的距离。

如图3、图4所示，在吐出通道61的内表面，形成有公用电极66。公用电极66在吐出通道61的内表面之中，遍及整个周围(在X方向上相向的内侧面及上切部61a的底面)连续地形成。

此外，如图4所示，上切部61a的终端(通道延伸方向的外侧端缘)的位置与在后述盖板53的入口侧公用油墨室(第一入口侧公用油墨室81a及第二入口侧公用油墨室82a)及出口侧公用油墨室(第一出口侧公用油墨室81b及第二出口侧公用油墨室82b)的Z方向正下方形成的供给狭缝84、87及排出狭缝85、88的开口端(供给狭缝84的通道延伸方向上的附图右侧的端部、供给狭缝87的通道延伸方向上的附图左侧的端部、排出狭缝85的通道延伸方向上的附图左侧的端部及排出狭缝88的通道延伸方向上的附图右侧的端部)一致。因此，公用电极66形成直到上切部61a的终端的位置。

另外，公用电极66形成在从吐出通道61的上端缘到Z方向中央部的范围。

在促动器板52之中，在相对于吐出通道61位于Y方向外侧的部分(以下，简称为尾部)的上表面，形成有公用焊盘67。公用焊盘67形成为沿通道延伸方向延伸的带状。公用焊盘67的通道延伸方向的内侧端部连接于公用电极66，通道延伸方向的外侧端部在尾部上终止。

如图3、图5所示，在促动器板52的驱动壁65之中，在限定各虚设通道62的面(虚设通道62的内表面)形成有个别电极71。个别电极71在虚设通道62的内表面之中各自形成于在X方向上相向的内侧面。从而，在各个别电极71之中，在同一虚设通道62内相向的个别电极71彼此相互电气地分离。另外，个别电极71形成在从虚设通道62的上端缘到Z方向中央部的范围。在图示的例子中，个别电极71遍及虚设通道62的通道延伸方向的整个范围而形成。

如图3所示，在促动器板52的尾部的上表面形成有个别焊盘72，个别焊盘72连接隔着吐出通道61在X方向上相向的个别电极71彼此。个别焊盘72在促动器板52的尾部在与上述公用焊盘67相比位于Y方向外侧的部分沿X方向延伸。个别焊盘72的X方向的一端部在相对于吐出通道61位于X方向一端侧的虚设通道62内连接于在X方向另一端侧形成的个别电极71。另一方面，个别焊盘72的X方向的另一端部在相对于吐出通道61位于X方向另一端侧的虚设通道62内连接于在X方向一端侧形成的个别电极71。

此外，如图4、图5所示，在上述尾部，安装有将未图示的控制单元和各焊盘67、72连接的柔性印刷基板69、70。由此，经由柔性印刷基板69、70从控制单元对各电极66、71施加驱动电压。

第二通道列64与第一通道列63同样，是由吐出通道61及虚设通道62沿X方向交替地排列而构成的。第二通道列64的吐出通道61及虚设通道62以与第一通道列63的吐出通道61及虚设通道62同等的排列间距形成。在该情况下，在各通道列63、64中，在通道延伸方向上相向的吐出通道61彼此的通道延伸方向配置在同一直线上。另外，在各通道列63、64中，在通道延伸方向上相向的虚设通道62彼此的通道延伸方向配置在同一直线上。

<喷嘴板>

如图4、图5所示，喷嘴板51粘接于促动器板52的下表面。在本实施方式中，喷嘴板51从下方堵塞吐出通道61的中间部61b及虚设通道62。

在喷嘴板51，沿X方向相互平行地延伸的喷嘴列(第一喷嘴列73及第二喷嘴列74)在Y方向上隔开间隔配置有两列。

第一喷嘴列73具有沿Z方向贯穿喷嘴板51的多个第一喷嘴孔(第一喷射孔)75。各第一喷嘴孔75在X方向上隔开间隔地并列设置在一条直线上。这些第一喷嘴孔75连通于上述第一通道列63的吐出通道61内。具体而言，第一喷嘴孔75以在第一通道列63的吐出通道61中位于通道延伸方向中央部的方式形成。第一喷嘴孔75在X方向上以与第一通道列63的吐出通道61同等的排列间距形成。

第二喷嘴列74具有沿Z方向贯穿喷嘴板51的多个第二喷嘴孔(第二喷射孔)76。各第二喷嘴孔76与第一喷嘴列73平行地在X方向上隔开间隔地并列设置在一条直线上。各第二喷嘴孔76连通于上述第二通道列64的吐出通道61内。具体而言，第二喷嘴孔76以在第二通道列64的吐出通道61中位于通道延伸方向中央部的方式形成。第二喷嘴孔76在X方向上以与第二通道列64的吐出通道61同等的排列间距形成。从而，各通道列63、64的虚设通道62不连通于喷嘴孔75、76，而是由喷嘴板51从下方覆盖。此外，各喷嘴孔75、76为随着去往下方而逐渐缩小直径的锥状。

如图3所示，各喷嘴孔75、76形成于在X方向上偏移的位置。即，各喷嘴孔75、76在X方向上交错(错列状)地排列。此外，各喷嘴孔75、76的偏移量能够适当地变更设计。例如，各喷嘴孔75、76还可以错离半个间距。

<盖板>

如图4、图5所示，盖板53以堵塞各通道列63、64的方式粘接于促动器板52的上表面。盖板53以Y方向的宽度与上述促动器板52相比短地形成。在该情况下，在促动器板52的尾部之中相对于盖板53位于Y方向外侧的部分，上述公用焊盘67及个别焊盘72露出。而且，上述柔性印刷基板69、70连接于这些公用焊盘67及个别焊盘72。

在盖板53，形成有入口侧公用油墨室(第一入口侧公用油墨室81a及第二入口侧公用油墨室82a)及出口侧公用油墨室(第一出口侧公用油墨室81b及第二出口侧公用油墨室82b)。此外，在以下的说明中，主要针对第一入口侧公用油墨室81a及第一出口侧公用油墨室81b来主要说明。

如图4所示，第一入口侧公用油墨室81a在盖板53之中形成于与第一通道列63(吐出通道61及虚设通道62)的Y方向的内侧端部在Z方向上相向的部分。第一入口侧公用油墨室81a形成为朝下方凹陷，并且沿X方向延伸的凹槽状。第一入口侧公用油墨室81a的X方向两端部与第一通道列63相比位于X方向的外侧。在第一入口侧公用油墨室81a之中，在与吐出通道61对应的位置(在Z方向上相向的位置)，分别形成有沿Z方向贯穿盖板53的供给狭缝84。

第一出口侧公用油墨室81b在盖板53之中形成于与第一通道列63(吐出通道61及虚设通道62)的Y方向的外侧端部在Z方向上相向的部分。第一出口侧公用油墨室81b形成为朝下方凹陷，并且沿X方向延伸的凹槽状。第一出口侧公用油墨室81b的X方向两端部与第一通道列63相比位于X方向的外侧。在第一出口侧公用油墨室81b之中，在与吐出通道61对应的位置(在Z方向上相向的位置)，分别形成有沿Z方向贯穿盖板53的排出狭缝85。

从而，第一入口侧公用油墨室81a及第一出口侧公用油墨室81b分别通过供给狭缝84及排出狭缝85连通于各吐出通道61，另一方面未连通于虚设通道62。即，各虚设通道62由第一入口侧公用油墨室81a及第一出口侧公用油墨室81b的底部堵塞。

第二入口侧公用油墨室82a在盖板53之中形成于与第二通道列64(吐出通道61及虚设通道62)的Y方向内侧端部在Z方向上相向的部分。另外，第二出口侧公用油墨室82b在盖板53之中形成于与第二通道列64(吐出通道61及虚设通道62)的Y方向的外侧端部在Z方向上相向的部分。

在第二入口侧公用油墨室82a及第二出口侧公用油墨室82b之中，在与吐出通道61对应的位置(在Z方向上相向的位置)，分别形成有供给狭缝87及排出狭缝88。

在此，如图3、图5所示，在上述促动器板52中，在位于在各通道列63、64的通道延伸方向上相向的虚设通道62之间的部分，形成有使各虚设通道62内连通的连通部89。连通部89的Z方向上的深度与虚设通道62的槽深同等地形成。即，在促动器板52中，各虚设通道62及连通部89为同样的深度。

在该情况下，各通道列63、64的虚设通道62分别相对于通过通道延伸方向上的中心与通道延伸方向正交的面面对称地形成。

另一方面，关于各通道列63、64的吐出通道61，也分别相对于通过通道延伸方向上的中心与通道延伸方向正交的面面对称地形成。此外，在连通部89的内表面，未形成上述个别电极71。因此，在各通道列63、64之中，形成于在通道延伸方向上相向的虚设通道62的个别电极71由连通部89相互电气地分离。

此外，个别电极71的通道延伸方向的内侧终端与入口侧公用油墨室(第一入口侧公用油墨室81a及第二入口侧公用油墨室82a)正下方的位置相比向通道延伸方向的内侧伸入地形成。另外，不限于本实施方式，个别电极71的通道延伸方向的内侧终端还可以与入口侧公用油墨室(第一入口侧公用油墨室81a及第二入口侧公用油墨室82a)正下方的位置一致。换言之，与上述公用电极66相比较，个别电极71的通道延伸方向的长度可以与公用电极66的通道延伸方向的长度相同，或是比其长。

由此，吐出通道61的驱动壁65在通道延伸方向的整个长度上，由公用电极66及个别电极71夹着，因而驱动壁65的驱动平衡良好，能够从喷嘴孔75、76朝Z方向的正下方喷射液滴状油墨。

[打印机的工作方法]

接着，在下面说明利用如上所述地构成的打印机1来对被记录介质P记录文字、图形等的情况。

此外，作为初始状态，设在图1所示的四个油墨储罐4充分地封入有互不相同的颜色的油墨。另外，油墨储罐4内的油墨为经由油墨循环单元6填充于喷墨头5内的状态。

若在此种初始状态下使打印机1工作，则运送单元2、3的栅格辊11、13旋转，从而在这些栅格辊11、13及夹送辊12、14之间朝运送方向(X方向)运送被记录介质P。另外，与此同时，驱动马达38使滑轮35、36旋转以使无接头带37移动。由此，滑架33一边被导轨31、32引导一边沿Y方向往复移动。

然后在此期间，通过各喷墨头5对被记录介质P适当地吐出四色油墨，能够进行文字、图像等的记录。

在此，以下详细地说明各喷墨头5的动作。

在本实施方式那样的侧射类型之中，在循环式的喷墨头5中，首先通过使图2所示的加压泵24及吸引泵25工作，使油墨在循环流路23内流通。在该情况下，在油墨供给管21内流通的油墨通过各入口侧公用油墨室81a、82a，经由供给狭缝84、87供给到各通道列63、64的吐出通道61内。另外，各吐出通道61内的油墨经由排出狭缝85、88流入各出口侧公用油墨室81b、82b内，之后排出到油墨排出管22。排出到油墨排出管22的油墨在回到油墨储罐4之后，再次供给到油墨供给管21。由此，使油墨在喷墨头5与油墨储罐4之间循环。

而且，若通过滑架33(参照图1)开始往复移动，则控制单元经由柔性印刷基板69、70对电极66、71施加驱动电压。于是，在限定吐出通道61的两个驱动壁65发生厚度滑移变形，这两个驱动壁65以向虚设通道62侧突出的方式变形。即，本实施方式的促动器板52的极化方向为单方向，电极66、71仅形成到驱动壁65的Z方向上的中间部分。因此，通过在各电极66、71之间施加电压，将驱动壁65的Z方向中间部作为中心V字状地屈曲变形。由此，吐出通道61好像膨胀一样变形。

如此，通过两个驱动壁65的因压电厚度滑移效果引起的变形，吐出通道61的容积增大。而且，通过吐出通道61的容积增大，贮留在入口侧公用油墨室81a、82a内的油墨被引导到吐出通道61内。然后，被引导到吐出通道61内部的油墨成为压力波而传播到吐出通道61内部，在该压力波到达喷嘴孔75、76的定时，使对电极66、71施加的驱动电压为零。由此，驱动壁65复原，暂时增大的吐出通道61的容积回到原来的容积。通过该动作，吐出通道61内部的压力增加，油墨被加压。结果，通过喷嘴孔75、76对外部吐出液滴状油墨，从而能够如上所述地对被记录介质P记录文字、图像等。

[喷墨头的制造方法]

接着，说明上述喷墨头5的制造方法。此外，在以下的说明中，主要针对促动器板52的制造方法进行说明。图6是用于说明喷墨头5的制造方法的流程图。图7～图17是用于说明喷墨头5的制造方法的工序图。

如图6～图8所示，首先在促动器板52的上表面形成在后述电极形成工序(S5)中使用的第一掩模91(第一掩模工序(S1))。具体而言，首先例如将感光性干膜等掩模材料粘贴于促动器板52的上表面。之后，使用光刻(photolithography)技术对掩模材料进行图案形成，从而除去掩模材料之中位于上述各焊盘67、72的形成区域的部分的掩模材料。由此，形成第一掩模91，第一掩模91在位于各焊盘67、72的形成区域的部分具有开口部。

接着，如图6、图9所示，在促动器板52形成成为吐出通道61的第一凹部90(第一凹部形成工序(S2))。本实施方式的第一凹部形成工序(S2)通过使用切割刀片的切削加工来形成第一凹部90。具体而言，使切割刀片从促动器板52的上表面侧进入，在促动器板52形成既定深度的第一凹部90。此外，第一凹部90在从X方向看的侧面视图中为仿照切割刀片曲率半径的圆弧状，并且Z方向上的深度为不使促动器板52贯穿的程度的深度。

之后，对促动器板52，沿X方向及上述通道延伸方向隔开间隔地形成上述第一凹部90。此时，在通道延伸方向上相邻的第一凹部90彼此(各通道列63、64的各吐出通道之中，在通道延伸方向上相向的吐出通道61彼此)以配置在同一直线上的方式形成。

接着，如图6、图10所示，对促动器板52形成成为虚设通道62及连通部89的第二凹部92(第二凹部形成工序(S3))。第二凹部形成工序(S3)与上述第一凹部形成工序(S2)同样，通过使用切割刀片的切削加工等来进行。具体而言，使切割刀片从上表面侧进入在促动器板52之中相对于第一凹部90位于X方向两侧的部分。此时，第二凹部92以同样的深度形成促动器板52的通道延伸方向整体。

接着，如图6、图11、图12所示，在促动器板52的上表面设置在后述电极形成工序(S5)中使用的第二掩模94(第二掩模工序(S4))。在第二掩模工序(S4)中，以覆盖促动器板52的上表面之中，Y方向上的各通道列63、64之间的部分的方式设置第二掩模94。在该情况下，如图11所示，第一凹部90通过第二掩模94而全部开口。另一方面，如图12所示，第二凹部92仅与虚设通道62相当的部分通过第二掩模94而开口(与连通部89相当的部分由第二掩模94覆盖)。此外，作为第二掩模94，能够使用例如金属掩模、感光性干膜等。

接着，如图6、图13、图14所示，对促动器板52形成各电极66、71及各焊盘67、72(电极形成工序(S5))。在电极形成工序(S5)中，从促动器板52的上方进行斜向蒸镀法。于是，在促动器板52的上表面、各凹部90、92的内表面，通过各掩模91、94的开口部形成电极材料的膜。此时，在第二凹部92内，与连通部89相当的部分由第二掩模94覆盖，因而不会对形成电极材料的膜。此外，在电极形成工序(S5)的结束之后，从促动器板52的上表面除去掩模91、94。

接着，如图6、图15所示，将盖板53接合于促动器板52的上表面(盖板接合工序(S6))。具体而言，以各供给狭缝84、87在第一凹部90的通道延伸方向内侧端部处分别连通，且各排出狭缝85、88在第一凹部90的通道延伸方向外侧端部处分别连通的方式，将盖板53接合于促动器板52。

接着，如图6、图16、图17所示，以各凹部90、92贯穿促动器板52的方式，从下表面研磨促动器板52(研磨工序(S7))。由此，在促动器板52形成吐出通道61及虚设通道62。另外，在促动器板52之中位于各通道列63、64的虚设通道62之间的部分，形成使各虚设通道62彼此连通的连通部89。

之后，如图4～图6所示，将喷嘴板51接合于促动器板52的下表面(喷嘴板接合工序(S8))。

而且，将柔性印刷基板69、70安装于促动器板52的尾部。

通过以上，制作本实施方式的喷墨头5。此外，在上述实施方式中，对通过第二掩模94覆盖第二凹部92之中与连通部89相当的部分的构成进行了说明，但不限于此。例如，还可以用第一掩模91覆盖第二凹部92之中与连通部89相当的部分。

如此，在本实施方式中，采用吐出通道61及虚设通道62分别相对于通过通道延伸方向的中心与通道延伸方向正交的面面对称地形成的构成。

根据该构成，在吐出油墨时，当吐出通道61扩缩变形时，能够使通道延伸方向的一端侧和另一端侧平衡较好地变形。由此，能够抑制发生偏向等吐出缺陷的情况，以获得稳定的吐出性能。而且，在本实施方式中，由于虚设通道62与吐出通道61相比在通道延伸方向上较长地形成，故能够使吐出通道61的通道延伸方向整体平稳地变形。

另外，在本实施方式中，采用各通道列63、64的在通道延伸方向上相向的吐出通道61彼此及虚设通道62彼此分别配置在同一直线上的构成。

根据该构成，例如与吐出通道61彼此及虚设通道62彼此在X方向上偏移的情况相比，容易面对称地形成吐出通道61及虚设通道62各自。

特别是在各通道列63、64中，因为使在通道延伸方向上相向的虚设通道62彼此连通的连通部89形成为与虚设通道62同等的槽深，所以容易更可靠地面对称地形成虚设通道62。

另外，在本实施方式中，通过蒸镀法形成各电极66、71、焊盘67、72，能够谋求低成本化。而且，通过利用掩模91、94进行蒸镀法，能够在第二凹部92内表面之中避开通道延伸方向上的连通部89内表面的部分形成个别电极71。结果，能够防止在各通道列63、64之间，在通道延伸方向上相向的虚设通道62的内表面形成的个别电极71彼此经由连通部89的内表面而导通。

而且，由于各焊盘67、72形成在促动器板52的上表面，故能够经由各焊盘67、72进行各电极66、71与柔性印刷基板69、70的连接。由此，能够谋求构成的简化。

而且，采用各喷嘴列73、74的喷嘴孔75、76在X方向及通道延伸方向上交错地配置的构成。

根据该构成，通过一边使喷墨头5在被记录介质P上沿Y方向扫描，一边使从喷嘴孔75、76吐出的油墨命中于沿着X方向(各通道列63、64的延伸方向)的同一直线上，能够提高油墨的密度。由此，能够实现高分解度化。

而且，在本实施方式的打印机1中，由于具备上述喷墨头5，故能够提供高性能且可靠性优秀的打印机1。

(第二实施方式)

接下来，说明本发明的第二实施方式。在本实施方式中，在公用电极66a、个别电极71a形成于各通道61、62的下半部分这一点上与上述实施方式不同。此外，在以下的说明中，对与上述第一实施方式同样的构成附以相同的符号并省略说明。

图18是第二实施方式所涉及的喷墨头5的与图4相当的截面图。

在图18所示的喷墨头5中，公用电极66a形成于各吐出通道61的内表面之中在X方向上相向的内侧面。公用电极66a在Z方向上形成在从各吐出通道61的下端缘到中央部的范围。另外，公用电极66在通道延伸方向上形成在与吐出通道61的中间部61b同等的范围。

在促动器板52之中尾部的下表面，形成有公用焊盘67a。公用焊盘67a的通道延伸方向的内侧端部在吐出通道61的下端开口缘处连接于公用电极66a，通道延伸方向的外侧端部在尾部的下表面上终止。

图19是第二实施方式所涉及的喷墨头5的与图5相当的截面图。

另一方面，如图19所示，个别电极71a形成于各虚设通道62的内表面之中在X方向上相向的内侧面。个别电极71a在Z方向上形成在从各虚设通道62的下端缘到中央部的范围。另外，个别电极71a遍及通道延伸方向上的整个范围形成。此外，在本实施方式中，电极材料也不附着于连通部89，通过连通部89在通道延伸方向上相向的虚设通道62的个别电极71a彼此由连通部89电气地隔断。

在促动器板52之中尾部的下表面形成有个别焊盘72a，个别焊盘72a连接隔着吐出通道61在X方向上相向的个别电极71a彼此。个别焊盘72a在尾部的下表面在与上述公用焊盘67a相比位于Y方向外侧的部分沿X方向延伸。

而且，上述柔性印刷基板69、70在尾部的下表面处连接于各焊盘67a、72a。

图20是用于说明第二实施方式的喷墨头5的制造方法的流程图。此外，在以下的说明中，对与上述第一实施方式同样的工序，省略说明。

如图20所示，在本实施方式中，在将盖板接合工序(S6)及研磨工序(S7)在电极形成工序(S4)之前进行这一点上，与上述第一实施方式不同。

即，在本实施方式的喷墨头5中，在研磨工序(S7)的结束之后，在促动器板52的下表面配置未图示的第一掩模及第二掩模。在该状态下，从促动器板52的下表面侧进行蒸镀法。由此，在促动器板52的下表面形成各焊盘67a、72a。在促动器板52的各通道61、62内的下半部分分别形成各电极66a、71a。

(第三实施方式)

接下来，说明本发明的第三实施方式。在第三实施方式中，在通过无电解镀形成上述各电极66、71、焊盘67、72这一点上，与上述第一实施方式不同。此外，在以下的说明中，对与上述第一实施方式同样的构成附以相同的符号并省略说明。

图21是示出了在第三实施方式所涉及的喷墨头5中，将盖板53卸下的状态的平面图。图22是与图21的XXII-XXII线相当的截面图。图23是与图21的XXIII-XXIII线相当的截面图。

如图21～图23所示，在本实施方式的喷墨头5中，促动器板152是将极化方向在Z方向上不同的两片压电板(第一压电板152a及第二压电板152b)层叠而构成的所谓人字纹(chevron)基板。

在该情况下，公用电极166遍及吐出通道61的内表面整体而形成。另外，个别电极171在虚设通道62的内表面之中，各自形成于在X方向上相向的内侧面整体。即，个别电极171未形成于虚设通道62的底面(喷嘴板51的上表面之中，露出于虚设通道62内的部分)。因此，在同一虚设通道62内，在X方向上相向的个别电极171彼此电气地分离。

另外，在促动器板152中，在位于各通道列63、64之间的部分(连通部89处于的部分)，形成有将各通道列63、64之间隔断的隔断槽101。隔断槽101的槽深与虚设通道62、连通部89的槽深同等地形成。隔断槽101遍及促动器板152的X方向整体而形成。但是，隔断槽101的X方向外侧端部还可以与各通道列63、64相比位于X方向外侧。另外，隔断槽101还可以至少将各通道列63、64的在通道延伸方向上相向的虚设通道62之间隔断。

接着，说明第三实施方式的喷墨头5的制造方法。图24是用于说明第三实施方式所涉及的喷墨头5的制造方法的流程图。图25是用于说明喷墨头5的制造方法的工序图。此外，在以下的说明中，对与上述第一实施方式同样的工序，省略说明。

如图24、图25所示，在本实施方式的电极形成工序(S5)中，通过无电解镀形成各电极166、171、焊盘67、72。在电极形成工序(S5)中，首先对在促动器板152之中各电极166、171、焊盘67、72的形成区域(从第一掩模103的开口部露出的区域)赋予催化剂。具体而言，使其浸渍于氯化亚锡(塩化第１錫)水溶液，以进行使氯化亚锡吸附于促动器板152表面的敏化(sensitizing)处理。接着，通过水洗等轻轻地洗净促动器板152。之后，使促动器板152浸渍于氯化钯水溶液，以使氯化钯吸附于促动器板152的表面。于是，通过在吸附于促动器板152表面的氯化钯、和在上述敏化处理中吸附的氯化亚锡之间发生氧化还原反应，作为催化剂析出金属钯(活化处理)。接着，通过使被赋予了催化剂(金属钯)的促动器板152浸渍于镀敷液，在促动器板152之中被赋予了催化剂的部分析出镀敷覆膜110。

接着，对促动器板152形成隔断槽101(隔断槽形成工序(S10))。隔断槽形成工序(S10)例如通过使用切割刀片的切削加工等来进行。具体而言，使切割刀片从上方进入上述促动器板152之中位于各通道列63、64之间的部分，并使促动器板152和切割刀片沿X方向相对移动。由此，在镀敷覆膜110之中，位于连通部89内的部分被除去，各通道列63、64之中在通道延伸方向上相向的虚设通道62的个别电极171彼此被隔断。

之后，与上述第一实施方式同样地进行盖板接合工序(S6)以后的工序。由此，完成第三实施方式的喷墨头5。此外，作为在各通道61、62的内表面遍及Z方向整体地形成电极166、171的方法，在上述实施方式中将无电解镀作为例子进行了说明，但不限于此，还可以通过蒸镀法形成电极166、171。另外，在电极形成工序(S5)之前，还可以与第一实施方式同样地进行第二掩模形成工序(S4)。

根据本实施方式，除了实现与上述第一实施方式同样的作用效果之外，在通过无电解镀在各通道61、62内形成镀敷覆膜110的情况下，能够通过隔断槽101来隔断各通道63、64的在通道延伸方向上相向的虚设通道62内的个别电极171彼此。

另外，在本实施方式中，在电极形成工序(S5)之后，通过进行研磨工序(S7)，能够除去附着于虚设通道62底面的电极材料。由此，能够防止在虚设通道62中形成于在X方向上相向的内侧面的个别电极171经由虚设通道62的底面而导通。

另外，由于连通部89形成为与虚设通道62同等的槽深，故在电极形成工序(S5)中，假设在电极材料附着于第二凹部92(虚设通道62、连通部89)的底面的情况下，能够在研磨工序(S7)中遍及虚设通道62、连通部89一起除去该电极材料。由此，能够抑制在各通道列63、64中，形成于虚设通道62的内表面之中在X方向上相向的内侧面的个别电极171彼此经由虚设通道62的底面而导通。此外，在上述实施方式中，说明了通过研磨工序(S7)将附着于第二凹部92底面的电极材料的构成，但不限于此。例如，还可以通过激光、切割刀片等除去附着于第二凹部92底面的电极材料。

另外，在喷墨头5中，若将在促动器板152中产生的热量设为W，将促动器板152(驱动壁65)的静电电容设为C，将施加于促动器板152的电压设为V，则以下公式(1)的关系成立。

W＝CV² (1)

如上面的公式(1)所示，在促动器板152中产生的热量W与驱动壁65的静电电容C成比例，且与电压V的平方成比例。因此，为了抑制促动器板152的发热，优选地以低电压使吐出通道61(驱动壁65)变形。

相对于此，在本实施方式中，通过在由人字纹基板构成的促动器板152的各通道61、62的内表面遍及Z方向的整体形成电极166、171，能够使各电极166、171的面积增加。由此，由于能够以低电压使吐出通道61(驱动壁65)变形，故随着窄间距化，即使使驱动壁65的X方向宽度变窄，也能够抑制静电电容C的增加所伴随的喷墨头5的发热。

(第四实施方式)

接下来，说明第四实施方式。在本实施方式中，在在隔断槽101的内表面形成旁通电极130这一点上与上述第三实施方式不同。图26是示出了在第四实施方式所涉及的喷墨头5中，将盖板53卸下的状态的平面图。

在图26所示的喷墨头5中，在隔断槽101的内表面(在Y方向上相向的内侧面)形成有旁通电极130。旁通电极130将隔着吐出通道61在X方向上相向的个别电极171彼此连接。旁通电极130遍及隔断槽101的内侧面整体而形成。旁通电极130的X方向一端部连接于在相对于吐出通道61位于X方向一端侧的虚设通道62内在X方向另一端侧形成的个别电极171。另一方面，旁通电极130的X方向的另一端部连接于在相对于吐出通道61位于X方向另一端侧的虚设通道62内在X方向一端侧形成的个别电极171。

此外，在制造本实施方式的喷墨头5的情况下，至少在电极形成工序(S5)之前进行上述隔断槽形成工序(S10)。由此，在电极形成工序(S5)中，与各电极166、171、焊盘67、72的膜形成同时地在隔断槽101的内侧面形成旁通电极130。

根据该构成，实现与上述第二实施方式同样的作用效果，并且通过利用旁通电极130连接个别电极171彼此，能够确保个别电极171彼此的导通的可靠性。

(第五实施方式)

接下来，说明第五实施方式。在本实施方式中，在各焊盘67b、72b在促动器板152的下表面形成这一点上，与上述第四实施方式不同。此外，在以下的说明中，对与上述实施方式同样的构成附以相同的符号并省略说明。

图27是第四实施方式所涉及的喷墨头5的与图22相当的截面图。

在图27所示的喷墨头5中，在促动器板152之中尾部的下表面，形成有公用焊盘67b。公用焊盘67b的通道延伸方向内侧端部在吐出通道61的下端开口缘处连接于公用电极166，通道延伸方向的外侧端部在尾部的下表面上终止。

图28是第五实施方式所涉及的喷墨头5的与图23相当的截面图。

如图27、图28所示，在促动器板152之中尾部的下表面形成有个别焊盘72b，个别焊盘72b连接隔着吐出通道61在X方向上相向的个别电极171彼此的。个别焊盘72b在尾部的下表面在与上述公用焊盘67b相比位于Y方向外侧的部分沿X方向延伸。

图29是用于说明第五实施方式的喷墨头5的制造方法的流程图。此外，在以下的说明中，对与上述第一实施方式同样的工序，省略说明。

如图29所示，在本实施方式中，在首先在促动器板152的上表面配置未图示的上表面侧掩模之后，与上述实施方式同样地进行第一凹部形成工序(S2)及第二凹部形成工序(S3)。

接着，在第一凹部90及第二凹部92的内表面形成成为公用电极166及个别电极171的电极材料(第一电极形成工序(S20))。第一电极形成工序(S20)例如能够通过无电解镀等来进行。此外，在第一电极形成工序(S20)之后，除去上表面侧掩模。

之后，与上述实施方式同样地进行盖板接合工序(S6)及研磨工序(S7)。

接着，在促动器板152的下表面配置在后述第二电极形成工序(S40)中使用的下表面侧掩模(下表面侧掩模工序(S30))。下表面侧掩模在促动器板152的下表面之中位于各焊盘67b、72b的形成位置的部分具有开口部。

接着，在促动器板152形成各焊盘67b、72b(第二电极形成工序(S40))。在第二电极形成工序(S40)中，例如通过蒸镀法等对促动器板152的下表面形成电极材料的膜。于是，通过下表面侧掩模的开口部对促动器板152的下表面形成电极材料的膜，从而形成上述各焊盘67b、72b。此外，在第二电极形成工序(S40)的结束之后，从促动器板152的下表面除去下表面侧掩模。

之后，通过与上述实施方式同样地进行隔断槽形成工序(S10)及喷嘴板接合工序(S8)，完成本实施方式的喷墨头5。

(第六实施方式)

接下来，说明第六实施方式。在本实施方式中，在形成四列通道列200～204这一点上，与上述实施方式不同。此外，在以下的说明中，对与上述实施方式同样的构成附以相同的符号并省略说明。

图30是示出了在第六实施方式所涉及的喷墨头5中，将盖板53卸下的状态的平面图。

在图30所示的喷墨头5中，在促动器板252，多个通道列(第一通道列201、第二通道列202、第三通道列203及第四通道列204)在Y方向上隔开间隔地排列。此外，在各通道列201～204之中，在Y方向上相邻的通道列彼此相对于权利要求的第一通道列及第二通道列。

各通道列201～204分别是吐出通道61及虚设通道652在X方向上交替地排列而形成的。另外，在各通道列201～204中，在通道延伸方向上相向的吐出通道61彼此的通道延伸方向配置在同一直线上。另外，在各通道列201～204中，在通道延伸方向上相向的虚设通道62彼此的通道延伸方向配置在同一直线上。此外，在促动器板252之中，在位于相邻的通道列201～204之间的部分，形成有隔断槽101。

在本实施方式中，在未图示的喷嘴板，形成有各自与各通道列201～204的吐出通道61连通的喷嘴孔211～214。各喷嘴孔211～214在Y方向上的与各通道列201～204对应的位置处在X方向上隔开间隔地排列，以构成喷嘴列(第一喷嘴列221、第二喷嘴列222、第三喷嘴列223及第四喷嘴列224)。

在各喷嘴列221～224中，各喷嘴孔211～214分别在X方向上以同等的间距排列。另外，各喷嘴孔211～214分别在X方向上形成在相互偏移的位置。在该情况下，各喷嘴孔211～214例如各按照各喷嘴孔211～214的排列间距的1/4间距偏移。但是，各喷嘴孔211～214的偏移量能够适当地变更设计。

此外，在各通道列201～204之中，第一通道列201及第四通道列204的各电极166、171在促动器板252的Y方向两端部处经由各焊盘67、72连接于未图示的柔性印刷基板。另外，第二通道列202及第三通道列的各电极166、171在促动器板252的位于第二通道列202及第三通道列203之间的部分处经由各焊盘67、72连接于柔性印刷基板，该柔性印刷基板是通过在未图示的盖板形成的贯穿孔而贯穿插入的。此外，柔性印刷基板和各电极166、171的连接方法能够适当地变更。

根据该构成，能够谋求油墨密度的进一步提高，以实现高分解度化。此外，在上述实施方式中，说明了形成四列通道列的情况，但可以是三列，还可以是五列以上的多列。

(第七实施方式)

接下来，说明本发明的第七实施方式。在本实施方式中，在使各通道61、62的通道延伸方向与Y方向一致这一点上与上述各实施方式不同。图31是示出了在第七实施方式所涉及的喷墨头5中，将盖板53卸下的状态的平面图。

如图31所示，在本实施方式的喷墨头5中，各吐出通道61及虚设通道62分别沿Y方向(通道延伸方向(第一方向))形成为直线状。在各通道列63、64中，各吐出通道61彼此及虚设通道62彼此分别在X方向上以同等的排列间距形成。从而，在各通道列63、64中，吐出通道61彼此及虚设通道62彼此分别在X方向上形成于同等的位置。从而，在喷嘴板51中，各喷嘴列73、74的对应的喷嘴孔75、76彼此在X方向上形成于同等的位置。

根据该构成，由于各通道列63、64的吐出通道61在X方向上形成于同等的位置，故能够使喷墨头5的扫描方向(Y方向)上的喷嘴数增加，能够实现印刷的高速化。此外，在本实施方式中，也能够适当地采用上述第三实施方式～第六实施方式的构成。另外，在本实施方式中，在各通道列63、64各自中，还可以使吐出通道61及虚设通道62双方相对于通过喷嘴孔75、76与Y方向正交的面面对称地形成。

此外，本发明的技术范围并不限于上述实施方式，能够在不脱离本发明的主旨的范围内加以各种变更。

例如，在上述实施方式中，作为液体喷射装置的一例，举喷墨打印机1为例进行了说明，但不限于打印机。例如，还可以是传真机、按需印刷机等。

在上述实施方式中，虽然对公用焊盘及个别焊盘在促动器板的同一个面(上表面或下表面)形成的构成进行了说明，但不限于此。例如还可以在公用焊盘及个别焊盘之中，使任一方的焊盘在促动器板的上表面及下表面之中的一个面形成，且使另一方的焊盘在另一个面形成。

在上述实施方式中，虽然对喷嘴孔在吐出通道的Y方向或通道延伸的中央部处连通于吐出通道内的构成进行了说明，但不限于此。即，喷嘴孔若为在吐出通道的Y方向或通道延伸的中途部分(贯穿促动器板的部分)连通于吐出通道内的构成，则还可以从中央部错离。

在上述实施方式中，对在侧射类型之中，油墨在喷墨头5与油墨储罐4之间循环的循环式进行了说明，但不限于此。

在上述实施方式中，虽然对虚设通道62沿Z方向贯穿促动器板的构成进行了说明，但不限于此。

在上述实施方式中，对形成在各通道列63、64中将各虚设通道62之间连通的连通部89的构成进行了说明，但若虚设通道62面对称地形成，则还可以是不具有连通部89的构成。另外，还可以将吐出通道61及虚设通道62形成为同一形状。

另外，在不脱离本发明的主旨的范围内，能够适当地将上述实施方式中的构成要素替换为公知的构成要素，另外，还可以适当地组合上述各变形例。

符号说明

1 喷墨打印机

2 运送单元(移动机构)

3 运送单元(移动机构)

5、5B、5C、5M、5Y 喷墨头(液体喷射头)

7 扫描单元(移动机构)

51 喷嘴板(喷射孔板)

52、152、252 促动器板

61 吐出通道(喷射通道)

62 虚设通道

63 第一通道列

64 第二通道列

66、66a、166 公用电极

67、67a、67b 公用焊盘

71、71a、171 个别电极

72、72a、72b 个别焊盘

75 第一喷嘴孔(第一喷射孔)

76 第二喷嘴孔(第二喷射孔)

89 连通部

101 隔断槽

130 旁通电极

201 第一通道列(第一通道列、第二通道列)

202 第二通道列(第一通道列、第二通道列)

203 第三通道列(第一通道列、第二通道列)

204 第四通道列(第一通道列、第二通道列)

210 喷嘴孔(喷射孔)

211 喷嘴孔(喷射孔)

212 喷嘴孔(喷射孔)

213 喷嘴孔(喷射孔)

214 喷嘴孔(喷射孔)

Claims (12)

1.一种液体喷射头，其特征在于，具有：

促动器板；

喷射通道，其在所述促动器板形成，沿第一方向延伸，并且填充液体；

虚设通道，其在所述促动器板形成，沿第一方向延伸，并且不填充液体；以及

喷射板，其层叠于所述促动器板，且具有喷射孔，所述喷射孔在所述喷射通道的所述第一方向的中途部分处连通于所述喷射通道内，

在所述促动器板，第一通道列及第二通道列在所述第一方向上隔开间隔地形成，所述第一通道列及第二通道列是所述喷射通道及所述虚设通道分别在与所述第一方向交叉的第二方向上交替地并列设置而构成的，

所述喷射通道相对于通过所述第一方向上的所述喷射通道的中心与所述第一方向正交的面面对称地形成，

所述虚设通道相对于通过所述第一方向上的所述虚设通道的中心与所述第一方向正交的面面对称地形成。

2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

在所述第一通道列及所述第二通道列中，在所述第一方向上相向的所述喷射通道彼此沿所述第一方向配置在同一直线上，

在所述第一通道列及所述第二通道列中，在所述第一方向上相向的所述虚设通道彼此在所述第一方向上配置在同一直线上。

3.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

所述第一通道列及所述第二通道列的所述虚设通道在所述促动器板的所述第一方向的两端面处分别敞开，

在所述促动器板之中位于所述第一通道列与所述第二通道列之间的部分，形成有连通部，所述连通部使所述第一通道列及所述第二通道列的所述虚设通道彼此连通，

所述连通部的槽深与所述虚设通道同等地形成。

4. 根据权利要求1至权利要求3中的任一项所述的液体喷射头，其特征在于，具备：

公用电极，其在所述喷射通道的内表面形成；以及

个别电极，其形成于所述虚设通道的内表面之中在所述第二方向上相向的内侧面。

5.根据权利要求4所述的液体喷射头，其特征在于，

在所述促动器板的主面，或是与所述主面相反的面，形成有个别焊盘，所述个别焊盘连接在之间隔着所述喷射通道在所述第二方向上相向的所述个别电极彼此。

6.根据权利要求4所述的液体喷射头，其特征在于，

在所述促动器板的主面，或是与所述主面相反的面，形成有连接于所述公用电极的公用焊盘。

7.根据权利要求4所述的液体喷射头，其特征在于，

在所述促动器板之中位于所述第一通道列与所述第二通道列之间的部分，形成有连通部，所述连通部使所述第一通道列及所述第二通道列之中在所述第一方向上相向的所述虚设通道彼此连通，

所述个别电极在所述第一通道列及所述第二通道列中对应的所述虚设通道及所述连通部的内表面处形成于避开所述连通部的内表面的部分。

8.根据权利要求4所述的液体喷射头，其特征在于，

在所述促动器板之中位于所述第一通道列与所述第二通道列之间的部分，形成有连通部，所述连通部使所述第一通道列及所述第二通道列之中在所述第一方向上相向的所述虚设通道彼此连通，

在所述促动器板之中位于所述第一通道列与所述第二通道列之间的部分，形成有隔断槽，所述隔断槽在所述第一通道列及所述第二通道列中，至少在在所述第一方向上相向的所述虚设通道彼此之间将所述个别电极彼此电气地分离。

9.根据权利要求8所述的液体喷射头，其特征在于，

在所述隔断槽的内表面形成有旁通电极，所述旁通电极连接在之间隔着所述喷射通道在所述第二方向上相向的所述个别电极彼此。

10. 根据权利要求4所述的液体喷射头，其特征在于，

若将所述喷射通道及所述虚设通道的槽深方向作为第三方向，则

所述促动器板由在所述第三方向上极化方向不同的第一压电板及第二压电板在所述第三方向上层叠而构成，

所述公用电极在所述喷射通道的内表面处跨越所述第一压电板及所述第二压电板而形成，

所述个别电极在所述虚设通道的内表面之中在所述第二方向上相向的内侧面处跨越所述第一压电板及所述第二压电板而形成。

11. 根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，

所述喷射孔具有

各自与所述第一通道列的所述喷射通道连通的第一喷射孔；以及

各自与所述第二通道列的所述喷射通道连通的第二喷射孔，

所述第一喷射孔及所述第二喷射孔在所述第二方向上交错地排列。

12. 一种液体喷射装置，其特征在于，具备：

权利要求1所述的液体喷射头；以及

使所述液体喷射头和被记录介质相对地移动的移动机构。