CN104723682B - 液体喷射头及液体喷射装置 - Google Patents

Abstract

本发明的液体喷射头（1）具备压电体基板（2），该压电体基板（2）具有多个沿基准方向（K）交替排列的细长的吐出槽（3）和细长的非吐出槽（4）的槽列（5），在邻接的槽列（5）内，一侧的槽列（5）所包含的吐出槽（3）的另一侧的端部在压电体基板（2）的厚度方向（T）上不与另一侧的槽列（5）所包含的非吐出槽（4）的一侧的端部重叠，且，一侧的槽列（5）所包含的吐出槽（3）的另一侧的端部与另一侧的槽列（5）所包含的吐出槽（3）的一侧的端部连通或在基准方向（K）上重叠。从而，高密度地配置吐出槽（3），并增加从压电体晶圆获取压电体基板（2）的个数，降低制造成本。

Description

液体喷射头及液体喷射装置

技术领域

本发明涉及向被记录介质喷射液滴而记录的液体喷射头及液体喷射装置。

背景技术

近年来，使用对记录纸等吐出墨滴而记录字符、图形的，或者对元件基板的表面吐出液体材料而形成功能性薄膜的喷墨方式的液体喷射头。该方式中，经由供给管将墨、液体材料等的液体从液体罐引导至通道，对填充在通道的液体施加压力而从与通道连通的喷嘴吐出液体。在吐出液体时，移动液体喷射头或被记录介质而形成记录字符、图形的，或者既定形状的功能性薄膜。

图9是专利文献1中记载的这种液体喷射头的说明图。图9（a）是通道部的截面示意图，图9（b）是除去喷嘴板后的通道部的立体图。在基体1502之上设有压电导电材料1501。压电导电材料1501具备被工作侧壁1507划分而交替排列的发射通道1508和非发射通道1510。发射通道1508在上部连续而构成通道延伸区1504，并在上部开口。发射通道1508和非发射通道1510上下交替地开口。在通道延伸区1504的上部粘接有喷嘴1506开口的喷嘴板1505。即，构成从发射通道1508向基体1502的表面沿垂直方向发射液滴的侧喷射型的液体喷射头。墨等液体以从各通道的长度方向的一侧到另一侧循环的方式被填充。在划分发射通道1508和非发射通道1510的工作侧壁1507的表面形成有电极1511，向该电极1511施加驱动信号而使工作侧壁1507工作，对发射通道1508内的墨施加压力而从喷嘴1506吐出墨滴。

在专利文献2～5中记载了与上述专利文献1同样地，构成通道的槽沿通道的长度方向的上下方向交替开口的液体喷射头。专利文献2～5中，记载了由沿与各通道的长度方向正交的方向排成一列的通道列构成，并从发射通道的长度方向的一侧的端部发射液滴的边缘喷射型的液体喷射头。

专利文献1：日本特表2009－500209号公报

专利文献2：日本特开平7－205422号公报

专利文献3：日本特开平8－258261号公报

专利文献4：日本特开平11－314362号公报

专利文献5：日本特开平10－86369号公报。

发明内容

专利文献1中，记载了沿与各通道的长度方向正交的方向排成一列的通道列，但是并未记载形成多个通道列，或者将多个通道列的间隔较窄地高密度形成。专利文献2～5中也同样如此，并未记载形成多个通道列，以及将多个通道列的间隔较窄地形成。

另外，专利文献1中记载的液体喷射头，液体填充到发射通道1508和非发射通道1510两者中，因此液体与两者通道的电极表面接触。因此，在使用导电性的吐出液体的情况下，需要在电极1511或基体1502的表面上设置保护膜等，使得制造工序复杂且长。

本发明的液体喷射头，其中具备压电体基板，所述压电体基板具有多个沿基准方向交替排列细长的吐出槽和细长的非吐出槽的槽列，在邻接的所述槽列内，一侧的所述槽列所包含的所述吐出槽的另一侧的端部，在所述压电体基板的厚度方向上不与另一侧的所述槽列所包含的所述非吐出槽的一侧的端部重叠，且，一侧的所述槽列所包含的所述吐出槽的另一侧的端部与另一侧的所述槽列所包含的所述吐出槽的一侧的端部连通或在基准方向上重叠。

另外，在邻接的所述槽列内，一侧的所述槽列所包含的所述非吐出槽的另一侧的端部与另一侧的所述槽列所包含的所述非吐出槽的一侧的端部连通或在基准方向上重叠。

另外，在邻接的所述槽列内，一侧的所述槽列所包含的所述吐出槽的另一侧的端部具备向所述压电体基板的上表面的侧向上切的倾斜面，一侧的所述槽列所包含的所述非吐出槽的另一侧的端部具备向与所述压电体基板的所述上表面相反的侧的下表面的一侧向下切的倾斜面。

另外，在邻接的所述槽列内，一侧的所述槽列所包含的所述非吐出槽的一侧的端部在所述压电体基板的侧面开口。

一侧的所述槽列所包含的所述吐出槽与另一侧的所述槽列所包含的所述非吐出槽之间的最接近距离不小于10μm。

另外，具有与所述吐出槽连通的液室，并具备与所述压电体基板的上表面接合的盖板。

所述液室包含共同液室，所述共同液室在一侧的所述槽列所包含的所述吐出槽的另一侧的端部中连通。

另外，所述液室包含个别液室，所述个别液室在一侧的所述槽列所包含的所述吐出槽的一侧的端部中连通。

另外，对应于所述槽列而具有多个排列有与所述吐出槽连通的喷嘴的喷嘴列，并具备与所述压电体基板的下表面接合的喷嘴板。

另外，所述吐出槽及所述非吐出槽，在比所述压电体基板的厚度的大致1/2靠上表面的一侧的侧面不设置驱动电极，而在比所述压电体基板的厚度的大致1/2靠下表面的一侧的侧面设置有驱动电极。

另外，设置在所述吐出槽的所述驱动电极，在槽方向上位于所述吐出槽在所述压电体基板的下表面开口的开口部的区域内。

本发明的液体喷射装置具备：上述液体喷射头；使所述液体喷射头和被记录介质相对移动的移动机构；向所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及向所述液体供给管供给所述液体的液体罐。

依据本发明的液体喷射头，具备压电体基板，所述压电体基板具有多个沿基准方向交替排列细长的吐出槽和细长的非吐出槽的槽列，在邻接的槽列内，一侧的槽列所包含的吐出槽的另一侧的端部在压电体基板的厚度方向上不与另一侧的槽列所包含的非吐出槽的一侧的端部重叠，且，一侧的槽列所包含的吐出槽的另一侧的端部与另一侧的槽列所包含的吐出槽的一侧的端部连通或在基准方向上重叠。由此，高密度地配置吐出槽，增加从压电体晶圆获取压电体基板2的个数并使制造成本下降。进而，简化与压电体基板的上表面接合的盖板的构造。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头的压电体基板的示意性立体图。

图2是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头的压电体基板的说明图。

图3是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头的压电体基板的示意性立体图。

图4是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头的压电体基板的说明图。

图5是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的示意性分解立体图。

图6是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的槽方向的截面示意图。

图7是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的说明图。

图8是本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射装置的示意性立体图。

图9是现有公知的液体喷射头的说明图。

[标号说明]

1 液体喷射头；2 压电体基板；3 吐出槽；3a 第一吐出槽；3b 第二吐出槽；4 非吐出槽；4a 第一非吐出槽；4b 第二非吐出槽；5 槽列；5a 第一槽列；5b 第二槽列；5c 第三槽列；6、6’、7、7’ 倾斜面；8 盖板；9 液室；9a 共同液室；9b、9c 个别液室；10 喷嘴板；11 喷嘴；11a 第一喷嘴；11b 第二喷嘴；12a 第一喷嘴列；12b 第二喷嘴列；13 驱动电极；14 开口部；16 共同端子；16a 第一共同端子；16b 第二共同端子；17 个别端子；17a 第一个别端子；17b 第二个别端子；K 基准方向；T 厚度方向；US 上表面；LS 下表面；SS 侧面；P 间距。

具体实施方式

（第一实施方式）

图1是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头的压电体基板2的示意性立体图。图2是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头的压电体基板2的说明图。图2（a）是压电体基板2的槽方向的截面示意图，图2（b）是压电体基板2的部分俯视示意图。此外，在压电体基板2的上表面US设置盖板，在压电体基板2的下表面LS设置喷嘴板而构成液体喷射头，但是本第一实施方式中对作为本发明的基本构成的压电体基板2进行说明。

如图1所示，压电体基板2具备邻接的、沿基准方向K交替排列细长的第一吐出槽3a和细长的第一非吐出槽4a的第一槽列5a和沿基准方向K交替排列细长的第二吐出槽3b和细长的第二非吐出槽4b的第二槽列5b。在邻接的第一及第二槽列5a、5b内，第一槽列5a所包含的第一吐出槽3a的另一侧的端部在压电体基板2的厚度方向T上不与第二槽列5b所包含的第二非吐出槽4b的一侧的端部重叠。同样如此，在邻接的第一及第二槽列5a、5b内，第一槽列5a所包含的第一非吐出槽4a的另一侧的端部在压电体基板2的厚度方向T上不与第二槽列5b所包含的第二吐出槽3b的一侧的端部重叠。而且，第一槽列5a所包含的第一吐出槽3a的另一侧的端部与第二槽列5b所包含的第二吐出槽3b的一侧的端部连通。同样如此，第一槽列5a所包含的第一非吐出槽4a的另一侧的端部与第二槽列5b所包含的第二非吐出槽4b的一侧的端部连通。

这样，使第一吐出槽3a和第二吐出槽3b，以及第一非吐出槽4a和第二非吐出槽4b分别连通并使第一槽列5a和第二槽列5b接近。由此，高密度地配置吐出槽，增加从压电体晶圆获取压电体基板2的个数，从而能够降低制造成本。

参照图2进行具体说明。图2（a）表示第一吐出槽3a和第二吐出槽3b的截面形状（图2（b）的AA部分的截面）。在基准方向K（进入纸面方向）邻接的第一非吐出槽4a和第二非吐出槽4b用虚线表示。压电体基板2能够使用PZT（钛锆酸铅）陶瓷。压电体基板2至少使作为驱动壁发挥功能的侧壁由压电体材料构成即可。在不形成吐出槽3或非吐出槽4的周围区域或盖板8的液室9（参照图5）对应的区域使用非压电材料的情况下，以下也称为压电体基板2。各槽是用向圆盘的外周埋入金刚石等的切削磨粒的切割刀（也称为金刚石刀）切削而形成。第一吐出槽3a、第二吐出槽3b是从压电体基板2的上表面US朝着下表面LS切削，第一非吐出槽4a、第二非吐出槽4b是从压电体基板2的下表面LS朝着上表面US切削。因此，第一及第二吐出槽3a、3b从上表面US朝着下表面LS呈凸形状，第一及第二非吐出槽4a、4b从下表面LS朝着上表面US呈凸形状。

第一及第二吐出槽3a、3b和第一及第二非吐出槽4a、4b全都从压电体基板2的上表面US贯通到下表面LS。此外，本发明中第一及第二非吐出槽4a、4b必须在下表面LS侧开口，但是不一定在上表面US侧开口。第一及第二吐出槽3a、3b的上表面US侧的开口宽于下表面LS侧的开口。同样如此，第一及第二非吐出槽4a、4b的下表面LS侧的开口宽于上表面US侧的开口。具体而言，第一及第二吐出槽3a、3b端部呈向压电体基板2的上表面US侧向上切的倾斜面6、6’，第一及第二非吐出槽4a、4b端部呈向压电体基板2的下表面LS侧向下切的倾斜面7、7’。

如图2（b）所示，压电体基板2具备沿基准方向K并列的第一槽列5a和第二槽列5b。第一吐出槽3a和第一非吐出槽4a，以及第二吐出槽3b和第二非吐出槽4b沿基准方向K等间隔交替排列。将第一吐出槽3a的排列间距设为间距P（第二吐出槽3b的排列间距也相同。），第一槽列5a和第二槽列5b在基准方向K大致偏离（P/8）间距而设置。而且，通过使第一吐出槽3a与第二吐出槽3b连通、使第一非吐出槽4a与第二非吐出槽4b连通，缩小第一槽列5a和第二槽列5b的间隔。

另外，第一非吐出槽4a的一侧的端部在压电体基板2的一侧的侧面SS开口。同样如此，第二非吐出槽4b的另一侧的端部在压电体基板2的另一侧的侧面SS开口。这样，通过使非吐出槽4在压电体基板2的侧面SS开口，容易将设置在非吐出槽4的侧面的驱动电极13（参照图6）引出到侧面SS附近的下表面LS。

在此，第一吐出槽3a与第二非吐出槽4b之间的最接近距离不小于10μm。同样如此，第一非吐出槽4a与第二吐出槽3b之间的最接近距离不小于10μm。当吐出槽3与非吐出槽4之间的距离小于10μm时，会经由在压电体基板2内的空隙连通，就是为了避免此情况。

例如，使第一及第二吐出槽3a、3b的槽形状和第一及第二非吐出槽4a、4b的槽形状除了侧面SS附近以外成为上下反转的相同形状，将压电体基板2的厚度t1，即第一、第二吐出槽3a、3b、第一、第二非吐出槽4a、4b的各槽的深度设为例如360μm。例如用半径为25.7mm的切割刀切削各槽的情况下，倾斜面6、6’及倾斜面7、7’的槽方向的长度成为约3.5mm。因此，如果将第一吐出槽3a的另一侧的端部的倾斜面6和第二吐出槽3b的一侧的端部的倾斜面6’在基准方向K上重叠，同样地，将第一非吐出槽4a的另一侧的端部的倾斜面7和第二非吐出槽4b的一侧的端部的倾斜面7’在基准方向K上重叠而形成，就能使合第一槽列5a和第二槽列5b的槽方向的长度最大缩短约3.5mm。如果考虑在压电体基板2的上表面US或下表面LS形成电极端子等的情况，就能得到更大的缩短效果。

另外，如图2（b）所示，在第一非吐出槽4a在上表面US开口的开口部的另一侧的端部与第二非吐出槽4b在上表面US开口的开口部的一侧的端部之间的区域Ra，第一吐出槽3a的另一侧的端部和第二吐出槽3b的一侧的端部开口。另外，在比第一非吐出槽4a在上表面US开口的开口部的一侧的端部靠一侧的区域Rb，第一吐出槽3a开口。同样地，在比第二非吐出槽4b在上表面US开口的开口部的另一侧的端部靠另一侧的区域Rc，第二吐出槽3b开口。如果在这些区域Ra、Rb、Rc使图5、图6中说明的盖板8的共同液室9a和两个个别液室9b、9c分别对应而设置，则第一非吐出槽4a、第二非吐出槽4b不在各区域Ra、Rb、Rc开口。其结果是，无需在盖板8的共同液室9a和两个个别液室9b、9c设置狭缝，因此能够简化盖板8的构造。

另外，优选第一及第二非吐出槽4a、4b形成得在压电体基板2的侧面SS附近从下表面LS起的深度比压电体基板2的厚度t1的大致t1/2深。由此，能够将形成在第一或第二非吐出槽4a、4b的两侧面的驱动电极电隔离而引出到压电体基板2的外周侧。此外，将第一及第二非吐出槽4a、4b延伸设置到侧面SS并不是本发明的必要条件，也可以不用延伸设置到侧面SS，并且也可以是将第一及第二吐出槽3a、3b上下反转的相同形状。另外，虽然对2列的槽列的情况进行了说明，但是本发明并不限定于2列的槽列，也可以设置3列以上的槽列。

另外，本发明并不限定于将第一槽列5a和第二槽列5b在基准方向K错开（P/8）间距而构成的情况。本发明中，一侧的槽列5所包含的吐出槽3的另一侧的端部在压电体基板2的厚度方向T不与另一侧的槽列5所包含的非吐出槽4的一侧的端部重叠，且，一侧的槽列5所包含的吐出槽3的另一侧的端部与另一侧的槽列5所包含的吐出槽3的一侧的端部连通，或在基准方向K重叠。因此，将吐出槽3的基准方向K的间隔设为间距P，将吐出槽3的槽宽度设为Wt，将非吐出槽4的槽宽度设为Wd时，第一槽列5a与第二槽列5b之间的基准方向K的位置偏差Δ处于式（1）的范围。

－（P－Wd－Wt）/2＜Δ＜＋（P－Wd－Wt）/2 （1）。

（第二实施方式）

图3是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头的压电体基板2的示意性立体图。图4是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头的压电体基板2的说明图。图4（a）是压电体基板2的槽方向的截面示意图，图4（b）是压电体基板2的部分俯视示意图。此外，在压电体基板2的上表面US设置盖板并且在下表面LS设置喷嘴板而构成液体喷射头，本第二实施方式中与第一实施方式同样地，对作为本发明的基本构成的压电体基板2进行说明。

与第一实施方式的不同点是第一吐出槽3a和第二吐出槽3b，以及第一非吐出槽4a和第二非吐出槽4b不连通这一点。另外，是第一吐出槽3a和第二吐出槽3b，以及第一非吐出槽4a和第二非吐出槽4b在基准方向K端部重叠这一点。其他的构成与第一实施方式同样。因此，以下，主要对与第一实施方式的不同点进行说明，对于相同的结构省略说明。对于相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。

如图3所示，压电体基板2具备邻接的、沿基准方向K交替排列细长的第一吐出槽3a和细长的第一非吐出槽4a的第一槽列5a、以及沿基准方向K交替排列细长的第二吐出槽3b与细长的第二非吐出槽4b的第二槽列5b。在邻接的第一及第二槽列5a、5b内，第一吐出槽3a的另一侧的端部在压电体基板2的厚度方向T上不与第二非吐出槽4b的一侧的端部重叠。同样地，在邻接的第一及第二槽列5a、5b内，第一非吐出槽4a的另一侧的端部在压电体基板2的厚度方向T上不与第二吐出槽3b的一侧的端部重叠。而且，第一吐出槽3a的另一侧的端部在基准方向K与第二吐出槽3b的一侧的端部重叠。同样地，第一非吐出槽4a的另一侧的端部在基准方向K与第二非吐出槽4b的一侧的端部重叠。

这样，使第一吐出槽3a的另一侧的端部和第二吐出槽3b的一侧的端部，以及第一非吐出槽4a的另一侧的端部和第二非吐出槽4b的一侧的端部分别在基准方向K上重叠并使第一槽列5a与第二槽列5b接近。由此，高密度地配置吐出槽，增加从压电体晶圆获取压电体基板2的个数，从而能够降低制造成本。

参照图4进行具体说明。如图4（b）所示，第一及第二吐出槽3a、3b、第一及第二非吐出槽4a、4b的各槽宽度比第一吐出槽3a与第一非吐出槽4a之间的侧壁的壁宽度、第二吐出槽3b与第二非吐出槽4b之间的侧壁的壁宽度窄。而且，配置为不使第一吐出槽3a与第二吐出槽3b，以及第一非吐出槽4a与第二非吐出槽4b连通，且，不使第一吐出槽3a与第二非吐出槽4b，以及第一非吐出槽4a与第二吐出槽3b在压电体基板2的厚度方向T重叠。进而，如图4（a）所示（图4（b）的BB部分的截面），配置为使第一吐出槽3a的另一侧的端部与第二吐出槽3b的一侧的端部，以及第一非吐出槽4a的另一侧的端部与第二非吐出槽4b的一侧的端部在基准方向K上重叠。其结果是，第一槽列5a接近第二槽列5b。

此外，压电体基板2的材料、吐出槽3及非吐出槽4的形状等与第一实施方式同样。另外，第一吐出槽3a与第二非吐出槽4b之间，或第一非吐出槽4a与第二吐出槽3b之间的最接近距离不小于10μm，这也与第一实施方式同样。另外，第一槽列5a与第二槽列5b之间的基准方向K的位置偏差Δ满足式（1）。

（第三实施方式）

图5是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头1的示意性分解立体图。图6是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头1的槽方向的截面示意图。图7是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头1的说明图。图7（a）是从盖板8的法线方向观看液体喷射头1的部分平面示意图，图7（b）是压电体基板2的下表面LS的部分平面示意图。与第一实施方式的不同点是在压电体基板2的上表面US设置有盖板8，在压电体基板2的下表面LS设置有喷嘴板10这一点。压电体基板2为与第一实施方式同样的构造，因此省略详细的说明。对于相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。

如图5所示，液体喷射头1具备：具有第一槽列5a和第二槽列5b的压电体基板2；具有液室9的盖板8；以及具有喷嘴11的喷嘴板10。盖板8具有与第一及第二吐出槽3a、3b连通的液室9，与压电体基板2的上表面US接合。喷嘴板10具有对应于第一槽列5a而排列与第一吐出槽3a连通的喷嘴11a的第一喷嘴列12a；以及对应于第二槽列5b而排列与第二吐出槽3b连通的喷嘴11b的第二喷嘴列12b，与压电体基板2的下表面LS接合。

液室9包含共同液室9a和两个个别液室9b、9c。共同液室9a在第一吐出槽3a的另一侧的端部和第二吐出槽3b的一侧的端部中连通。另外，个别液室9b在第一吐出槽3a的一侧的端部中连通。个别液室9c在第二吐出槽3b的另一侧的端部中连通。

在此，在第一吐出槽3a和第二吐出槽3b在上表面US开口的区域Ra（参照图2（b）），第一及第二非吐出槽4a、4b不开口。因此，使第一及第二吐出槽3a、3b对共同液室9a连通，无需设置用于堵塞第一及第二非吐出槽4a、4b的狭缝。流入共同液室9a的液体不会流入第一及第二非吐出槽4a、4b，而流过第一吐出槽3a后向个别液室9b流出，流过第二吐出槽3b后向个别液室9c流出。另外，流入第一及第二吐出槽3a、3b的液体的一部分从与第一及第二吐出槽3a、3b分别连通的喷嘴11a、11b吐出。

进而，如图7（a）所示，第一吐出槽3a的第二槽列5b侧的端部，以及第二吐出槽3b的第一槽列5a侧的端部，优选位于共同液室9a的压电体基板2侧的开口部的区域内。同样地，第一吐出槽3a的与第二槽列5b侧相反一侧的端部，以及第二吐出槽3b的与第一槽列5a侧相反一侧的端部，优选分别位于个别液室9b及个别液室9c的压电体基板2侧的开口部的区域内。由此，能够减少第一及第二吐出槽3a、3b的内部区域或共同液室9a及个别液室9b、9c的流路内的液滞留，并减少气泡滞留。

如图6所示，在第一及第二吐出槽3a、3b和第一及第二非吐出槽4a、4b的，比压电体基板2的厚度的大致1/2靠上表面US的一侧的侧面不形成驱动电极13，而在比大致1/2靠下表面LS的一侧的侧面形成驱动电极13。特别是，设置在第一或第二吐出槽3a、3b的侧面的驱动电极13，位于槽方向上第一或第二吐出槽3a、3b在下表面LS开口的开口部14的区域内。另外，形成在第一及第二非吐出槽4a、4b的两侧面的驱动电极13，互相电隔离，并且延伸设置到压电体基板2的侧面SS。

此外，在本实施方式中，虽然示出了采用同样在上表面US或下表面LS的垂直方向实施极化处理的压电体基板2，在槽的下半部分形成驱动电极13的例子，但是代替该情况，在槽的上半部分形成驱动电极13也可。另外，能够使用粘合沿上表面US或下表面LS的垂直方向实施极化处理的压电体基板和沿与之相反方向实施极化处理的压电体基板的燕尾型的压电体基板2。在该情况下，驱动电极13能够从比极化边界靠上方的位置形成到下表面LS的一侧的侧面，或者，能够从比极化边界靠下方的位置形成到上表面US的一侧的侧面。

如图7（b）所示，第一非吐出槽4a延伸设置到与第二槽列5b侧相反一侧的压电体基板2的一侧的侧面SS，设置在第一非吐出槽4a的侧面的驱动电极13电隔离而延伸设置到压电体基板2的一侧的侧面SS。同样地，第二非吐出槽4b延伸设置到与第一槽列5a侧相反一侧的压电体基板2的另一侧的侧面SS，设置在第二非吐出槽4b的侧面的驱动电极13电隔离而延伸设置到压电体基板2的另一侧的侧面SS。在压电体基板2的下表面LS，设置有与设置在第一吐出槽3a的两侧面的驱动电极13电连接的第一共同端子16a和与第一非吐出槽4a的驱动电极13电连接的第一个别端子17a。进而，在压电体基板2的下表面LS，设置有与第二吐出槽3b的驱动电极13电连接的第二共同端子16b和与第二非吐出槽4b的驱动电极13电连接的第二个别端子17b。第一共同端子16a和第一个别端子17a设置在压电体基板2的下表面LS的一侧的端部附近，第二共同端子16b和第二个别端子17b设置在压电体基板2的下表面LS的另一侧的端部附近。这些第一及第二共同端子16a、16b、第一及第二个别端子17a、17b与未图示的柔性电路基板连接而被供给驱动信号。

更具体而言，在第一槽列5a中，设置在第一吐出槽3a的两侧面的驱动电极13与第一共同端子16a连接。设置在夹住第一吐出槽3a的两个第一非吐出槽4a的第一吐出槽3a的一侧的侧面的两个驱动电极13经由第一个别端子17a电连接。第一个别端子17a设置在压电体基板2的第一槽列5a侧的下表面LS的端部，第一共同端子16a设置在第一个别端子17a与第一吐出槽3a之间的下表面LS。在第二槽列5b中，第二共同端子16b及第二个别端子17b也与第一共同端子16a及第一个别端子17a同样地配置。

此外，在本实施方式中，构成为在压电体基板2的下表面LS设置第一及第二共同端子16a、16b、第一及第二个别端子17a、17b，并且与未图示的柔性电路基板连接而能够供给驱动信号，但本发明不限于此。例如，能够构成为使喷嘴板10兼有柔性电路基板的功能，并经由喷嘴板10提供驱动信号。

如图6所示，将在共同液室9a与个别液室9b或9c之间盖板8和压电体基板2的上表面US接合的槽方向的区域设为接合区域jw，则设置在第一或第二吐出槽3a、3b的侧面的驱动电极13，优选构成为在槽方向上与接合区域jw相同或包括在接合区域jw。由此，能够使第一或第二吐出槽3a、3b的内部的液体有效率地感应到压力波。

液体喷射头1如下驱动。向共同液室9a供给的液体流入第一及第二吐出槽3a、3b并充满第一及第二吐出槽3a、3b。液体进而从第一吐出槽3a流出到个别液室9b，另外，从第二吐出槽3b流出到个别液室9c地循环。压电体基板2预先沿厚度方向T实施了极化处理。例如，在从与第一吐出槽3a连通的喷嘴11a吐出液滴的情况下，向驱动电极13供给驱动信号而使第一吐出槽3a的两侧壁进行厚度滑移变形，从而使第一吐出槽3a的容积发生变化，从与第一吐出槽3a连通的第一喷嘴11a吐出液滴。更具体而言，向第一共同端子16a与第一个别端子17a之间供给驱动信号而使第一吐出槽3a的两侧壁进行厚度滑移变形。实际上，将第一共同端子16a固定于GND电平的电位，向第一个别端子17a供给驱动信号。此外，也可以使液体以从个别液室9b、9c流入并从共同液室9a流出的方式循环，并且也可以从共同液室9a、个别液室9b、9c的全部进行供给。

此外，在第一及第二非吐出槽4a、4b中不填充液体，另外，在第一及第二个别端子17a、17b与设置在第一及第二非吐出槽4a、4b的侧面的驱动电极13之间的各布线不与液体接触。因此，在使用导电性的液体的情况下，施加在第一或第二个别端子17a、17b与第一或第二共同端子16a、16b之间的驱动信号也不会经由液体泄漏，也不会发生使驱动电极13、布线电解等的不良。

通过这样构成压电体基板2，能够使第一槽列5a与第二槽列5b的距离靠近，因此能够高密度地配置吐出槽，并增加从压电体晶圆获取压电体基板2的个数，从而降低制造成本。如在第一实施方式中已说明的那样，如果将压电体基板2的厚度t1形成为360μm，则吐出槽3的倾斜面6的槽方向的长度成为约3.5mm。构成为使第一吐出槽3a和第二吐出槽3b连通，且，在基准方向K重叠。另外，构成为使第一非吐出槽4a和第二非吐出槽4b连通，且，在基准方向K重叠。由此，能够使第一槽列5a和第二槽列5b最多接近到约3.5mm。如果厚度t1为300μm，则倾斜面6的槽方向的长度为约3.1mm，能够使第一槽列5a和第二槽列5b最多接近到约3.1mm。如果考虑在盖板8设置液室9，或者在压电体基板2设置共同端子16、个别端子17，则能够将压电体基板2的宽度缩小为重叠部的长度以上，并能增加从压电体晶圆获取的个数。

另外，在第一吐出槽3a的另一侧的端部与第二吐出槽3b的一侧的端部连通的，或者在基准方向K重叠的上表面US的区域Ra（参照图2（b）），第一非吐出槽4a及第二非吐出槽4b不开口。另外，在第一吐出槽3a的一侧的端部的区域Rb、第二吐出槽3b的另一侧的端部的区域Rc，第一及第二非吐出槽4a、4b也不开口。因此，无需设置用于堵塞第一非吐出槽4a、第二非吐出槽4b的狭缝，能够极为简化盖板8的构造。此外，在本实施方式中，在压电体基板2的下表面LS设置第一及第二共同端子16a、16b和第一及第二个别端子17a、17b，但是代替该情况，在压电体基板2的上表面US设置第一及第二共同端子16a、16b或第一及第二个别端子17a、17b也可。在该情况下，驱动电极13设置在至少比槽的深度的大致1/2靠上表面US的一侧的侧面。

另外，本发明的槽列5不限于2列而可为3列以上。在该情况下，能够构成为在第一槽列5a与第二槽列5b之间满足本发明的情况，同时，在第二槽列5b与第三槽列5c之间也满足本发明的情况。在该情况下，能够在喷嘴板10或盖板8形成贯通电极，并在喷嘴板10或盖板8的外表面设置与共同端子16或个别端子17电连接的布线。

对本发明的液体喷射头1的制造方法进行说明。关于液体喷射头1，首先，在吐出槽形成工序中，利用圆盘状的切割刀从压电体基板2的上表面US侧切削压电体基板2而形成多个第一吐出槽3a和第二吐出槽3b。接着，在盖板接合工序中，向压电体基板2的上表面US接合盖板8。在盖板8，预先形成共同液室9a、个别液室9b、9c。接着，在基板下表面磨削工序中，磨削压电体基板2的下表面LS而使第一及第二吐出槽3a、3b在下表面LS的一侧开口。接着，在非吐出槽形成工序中，利用切割刀从压电体基板2的下表面LS的一侧切削压电体基板2而形成多个第一非吐出槽4a和第二非吐出槽4b。

由此，形成沿基准方向K交替排列第一吐出槽3a和第一非吐出槽4a的第一槽列5a，以及沿基准方向K交替排列第二吐出槽3b和第二非吐出槽4b的第二槽列5b。而且，在邻接的第一及第二槽列5a、5b内，第一吐出槽3a的另一侧的端部在压电体基板2的厚度方向T上不与第二非吐出槽4b的一侧的端部重叠，且，第一吐出槽3a的另一侧的端部与第二吐出槽3b的一侧的端部连通，或者在基准方向K上重叠。同样地，在邻接的第一及第二槽列5a、5b内，第一非吐出槽4a的另一侧的端部在压电体基板2的厚度方向T上不与第二吐出槽3b的一侧的端部重叠，且，第一非吐出槽4a的另一侧的端部与第二非吐出槽4b的一侧的端部连通，或者在基准方向K上重叠。

接着，在导电材料沉积工序中，从压电体基板2的下表面LS的垂直方向利用导电材料的斜蒸镀法，在第一及第二吐出槽3a、3b的侧面，以及第一及第二非吐出槽4a、4b的侧面沉积导电材料而形成导电膜。在该情况下，在第一吐出槽3a与第二吐出槽3b，以及第一非吐出槽4a与第二非吐出槽4b连通的，或者第一吐出槽3a与第二吐出槽3b，以及第一非吐出槽4a与第二非吐出槽4b在基准方向K上重叠的区域Ra设置掩模，以使导电材料不会沉积。接着，在导电膜图案形成工序中，进行导电膜的构图，形成共同端子16、个别端子17。接着，在喷嘴板接合工序中，向压电体基板2的下表面LS接合喷嘴板10，使形成在喷嘴板10的喷嘴11和吐出槽3连通，从而完成液体喷射头1。

（第四实施方式）

图8是本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射装置30的示意性立体图。液体喷射装置30具备：使液体喷射头1、1’往复移动的移动机构40；向液体喷射头1、1’供给液体并从液体喷射头1、1’排出液体的流路部35、35’；与流路部35、35’连通的液体泵33、33’及液体罐34、34’。各液体喷射头1、1’具备邻接的多个槽列，一侧的槽列所包含的吐出槽的另一侧的端部在压电体基板的厚度方向上不与另一侧的槽列所包含的非吐出槽的一侧的端部重叠，且，一侧的槽列所包含的吐出槽的另一侧的端部与另一侧的槽列所包含的吐出槽的一侧的端部连通，或者在基准方向上重叠。液体喷射头1、1’使用已说明的第一～第三实施方式的任一个。

液体喷射装置30具备：将纸等被记录介质44向主扫描方向输送的一对输送单元41、42；向被记录介质44吐出液体的液体喷射头1、1’；承载液体喷射头1、1’的滑架单元43；按压积存在液体罐34、34’的液体而向流路部35、35’供给的液体泵33、33’；以及使液体喷射头1、1’沿与主扫描方向正交的副扫描方向扫描的移动机构40。未图示的控制部控制驱动液体喷射头1、1’、移动机构40、输送单元41、42。

一对输送单元41、42具备沿副扫描方向延伸的、使辊面接触的同时旋转的栅格辊和压紧辊。利用未图示的电动机使栅格辊和压紧辊绕轴移转，从而将夹入辊间的被记录介质44沿主扫描方向输送。移动机构40具备：沿副扫描方向延伸的一对导轨36、37；能够沿着一对导轨36、37滑动的滑架单元43；连结滑架单元43并向副扫描方向移动的无接头带38；以及使该无接头带38围绕未图示的带轮而旋转的电动机39。

滑架单元43承载多个液体喷射头1、1’，吐出例如黄色、品红色、青色，黑色这4种液滴。液体罐34、34’积存对应颜色的液体，经由液体泵33、33’、流路部35、35’而向液体喷射头1、1’供给。各液体喷射头1、1’响应驱动信号而吐出各色的液滴。通过控制从液体喷射头1、1’吐出液体的定时、驱动滑架单元43的电动机39的旋转及被记录介质44的输送速度，能够在被记录介质44上记录任意的图案。

此外，本实施方式是移动机构40使滑架单元43和被记录介质44移动而记录的液体喷射装置30，但是取代此情况，也可以固定滑架单元，移动机构使被记录介质二维移动而记录的液体喷射装置。即，移动机构只要使液体喷射头和被记录介质相对移动即可。

Claims (12)

1.一种液体喷射头，其中具备压电体基板，所述压电体基板具有多个沿基准方向交替排列的细长的吐出槽和细长的非吐出槽的槽列，

所述吐出槽和所述非吐出槽分别在沿所述基准方向直行的方向的一侧具有一侧的端部，并且在沿所述基准方向直行的方向的另一侧具有另一侧的端部，

在邻接的所述槽列内，一侧的所述槽列所包含的所述吐出槽的所述另一侧的端部，在所述压电体基板的厚度方向上不与另一侧的所述槽列所包含的所述非吐出槽的所述一侧的端部重叠，并且，一侧的所述槽列所包含的所述吐出槽的所述另一侧的端部与另一侧的所述槽列所包含的所述吐出槽的所述一侧的端部连通或在基准方向上重叠。

2.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，

在邻接的所述槽列内，一侧的所述槽列所包含的所述非吐出槽的所述另一侧的端部与另一侧的所述槽列所包含的所述非吐出槽的所述一侧的端部连通或在基准方向上重叠。

3.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，

在邻接的所述槽列内，一侧的所述槽列所包含的所述吐出槽的所述另一侧的端部具备向所述压电体基板的上表面的侧向上切的倾斜面，一侧的所述槽列所包含的所述非吐出槽的所述另一侧的端部具备向与所述压电体基板的所述上表面相反的侧的下表面的侧向下切的倾斜面。

4.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，

在邻接的所述槽列内，一侧的所述槽列所包含的所述非吐出槽的所述一侧的端部在所述压电体基板的侧面开口。

5.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，

一侧的所述槽列所包含的所述吐出槽与另一侧的所述槽列所包含的所述非吐出槽之间的最接近距离不小于10μm。

6.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，

具有与所述吐出槽连通的液室，并具备与所述压电体基板的上表面接合的盖板。

7.如权利要求6所述的液体喷射头，其中，

所述液室包含共同液室，所述共同液室在一侧的所述槽列所包含的所述吐出槽的所述另一侧的端部中连通。

8.如权利要求6所述的液体喷射头，其中，

所述液室包含个别液室，所述个别液室在一侧的所述槽列所包含的所述吐出槽的所述一侧的端部中连通。

9.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，

对应于所述槽列而具有多个排列有与所述吐出槽连通的喷嘴的喷嘴列，并具备与所述压电体基板的下表面接合的喷嘴板。

10.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，

所述吐出槽及所述非吐出槽，在比所述压电体基板的厚度的大致1/2靠上表面的侧的侧面不设置驱动电极，而在比所述压电体基板的厚度的大致1/2靠下表面的侧的侧面设置有驱动电极。

11.如权利要求10所述的液体喷射头，其中，

设置在所述吐出槽的所述驱动电极，在槽方向上位于所述吐出槽在所述压电体基板的下表面开口的开口部的区域内。

12.一种液体喷射装置，其中具备：

权利要求1所述的液体喷射头；

使所述液体喷射头和被记录介质相对移动的移动机构；

向所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及

向所述液体供给管供给所述液体的液体罐。