CN105415887A - 液体喷射头、液体喷射装置及液体喷射头的制造方法 - Google Patents

液体喷射头、液体喷射装置及液体喷射头的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及液体喷射头、液体喷射装置及液体喷射头的制造方法。减小吐出通道（C）的两隔壁（3）的变形量的偏差，并提高记录质量。液体喷射头（1）具备：夹着隔壁（3）交替排列而构成通道列（CR）的吐出通道（C）及伪通道（D）；以及在隔壁（3）的侧面从隔壁（3）的上端沿深度方向定位的驱动电极（6），位于吐出通道（C）的对置的侧面的两个驱动电极（6）的平均深度Tmc，与位于邻接吐出通道（C）的伪通道（D）的对置的侧面的两个驱动电极（6）的平均深度Tmd不同。

Description

液体喷射头、液体喷射装置及液体喷射头的制造方法
技术领域
本发明涉及对被记录介质喷射液滴而记录的液体喷射头、液体喷射装置及液体喷射头的制造方法。
背景技术
近年来，使用对记录纸等吐出墨滴而记录字符、图形的，或者对元件基板的表面吐出液体材料而形成功能性薄膜的喷墨方式的液体喷射头。该方式中，经由供给管将墨、液体材料等的液体从液体罐供给至液体喷射头的通道，对通道的液体施加压力而作为液滴从与通道连通的喷嘴吐出。在吐出液滴时，移动液体喷射头或被记录介质而形成记录字符、图形的、或者既定形状的功能性薄膜或三维构造。
作为这种液体喷射头已知剪切模式型的液体喷射头。剪切模式型在压电体基板的表面交替形成吐出通道和伪通道，使吐出通道与伪通道之间的隔壁瞬间变形而使液滴从与吐出通道连通的喷嘴吐出。近年来，要求液体喷射头高质量印字，而吐出的液滴的体积会小至数皮升。为了稳定地吐出这样的微小的液滴，致力于减小通道间的液滴量的偏差、吐出速度的偏差。
例如，在专利文献1中记载有剪切模式型的液体喷射头。图17是专利文献1中记载的液体喷射头100的立体图。图18是用于说明液体喷射头100的特征的图。图18（a）是示出从通道壁103的左右上端起的电极105的深度的图，图18（b）是示出施加电压的图。液体喷射头100按每个通道104而用于驱动通道壁103的电极105的深度不同，随之产生液滴的吐出偏差。因此，记载了按照各通道104的电极105的深度而改变施加的施加电压，从而减小该液滴的吐出偏差。
专利文献1：日本特开2001－334657号公报。
发明内容
在专利文献1中，按照通道壁103的位置而连续改变施加到通道壁103的电极105的施加电压。因此，需要许多驱动电压的电位电平，驱动电路会变得复杂。另外，通过斜向蒸镀法在通道壁103形成电极105时，如果采用相对于基座部件101的尺寸能够采取充分大的从蒸镀源起的距离的成膜装置，则使电极105的深度也均匀。然而，随着喷嘴数的增加，基座部件101的尺寸会变大，因此需要充分增大成膜室。另外，对蒸镀电源要求复杂的结构。其结果，成膜装置变得高价并且制造成本变高。
本发明的液体喷射头，具备：夹着隔壁交替排列而构成通道列的吐出通道及伪通道；以及在所述隔壁的侧面从所述隔壁的上端沿深度方向定位的驱动电极，位于所述吐出通道的对置的侧面的两个所述驱动电极的平均深度Tmc，与位于邻接所述吐出通道的所述伪通道的对置的侧面的两个所述驱动电极的平均深度Tmd不同。
另外，所述平均深度Tmc和所述平均深度Tmd满足式（1）的关系：
Tmc＞Tmd（1）。
另外，所述吐出通道的槽宽度宽于所述伪通道的槽宽度。
另外，在所述吐出通道与邻接于所述吐出通道的两侧的所述伪通道之间，满足所述式（1）的关系。
另外，在位于所述通道列的两端侧的所述吐出通道与所述伪通道之间满足所述式（1）的关系。
另外，在所述通道列的邻接的全部的所述吐出通道与所述伪通道之间满足所述式（1）的关系。
另外，所述平均深度Tmc与所述平均深度Tmd满足式（2）的关系：
Tmc＜Tmd（2）。
另外，所述吐出通道的槽宽度窄于所述伪通道的槽宽度。
另外，在所述吐出通道与邻接于所述吐出通道的两侧的所述伪通道之间满足所述式（2）的关系。
另外，在位于所述通道列的两端侧的所述吐出通道与所述伪通道之间满足所述式（2）的关系。
另外，在所述通道列的邻接的全部的所述吐出通道与所述伪通道之间满足所述式（2）的关系。
另外，在所述伪通道的一个侧面具备的所述驱动电极的深度，随着所述伪通道从所述通道列的一端位于另一端逐渐变深，在所述伪通道的另一侧面具备的所述驱动电极的深度，随着所述伪通道从所述通道列的一端位于另一端逐渐变浅。
另外，在所述吐出通道的一个侧面具备的所述驱动电极的深度，随着所述吐出通道从所述通道列的一端位于另一端逐渐变深，在所述吐出通道的另一侧面具备的所述驱动电极的深度，随着所述吐出通道从所述通道列的一端位于另一端逐渐变浅。
本发明的液体喷射装置，具备：上述任一项记载的液体喷射头；使所述液体喷射头和被记录介质相对移动的移动机构；向所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及向所述液体供给管供给所述液体的液体罐。
本发明的液体喷射头的制造方法，具备：在促动器基板的表面形成吐出槽和非吐出槽交替排列的槽列的槽形成工序；利用斜向蒸镀法在所述促动器基板的表面和所述吐出槽及所述非吐出槽的侧面沉积电极材料的第一电极材料沉积工序；以及设置遮蔽所述非吐出槽或所述吐出槽的任一个的掩模，利用斜向蒸镀法在所述促动器基板的表面和所述吐出槽或所述非吐出槽的侧面沉积电极材料的第二电极材料沉积工序，所述第二电极材料沉积工序中的所述电极材料相对于所述促动器基板的表面的法线的入射角，小于所述第一电极材料沉积工序中的所述电极材料相对于所述促动器基板的表面的法线的入射角。
本发明的液体喷射头的制造方法，具备：在促动器基板的表面形成吐出槽和槽宽度与所述吐出槽不同的非吐出槽交替排列的槽列的槽形成工序；以及利用斜向蒸镀法在所述促动器基板的表面和所述吐出槽及所述非吐出槽的侧面沉积电极材料的电极材料沉积工序。
本发明的液体喷射头的制造方法，具备：在促动器基板的表面形成树脂膜的图案的树脂膜图案形成工序；在所述促动器基板的表面形成吐出槽和非吐出槽交替排列的槽列的槽形成工序；以及利用斜向蒸镀法在所述促动器基板的表面和所述吐出槽及所述非吐出槽的侧面沉积电极材料的电极材料沉积工序，所述树脂膜图案形成工序，在使所述吐出槽与所述非吐出槽之间的隔壁区域之中，所述非吐出槽或所述吐出槽的任一个的一侧残留所述树脂膜，并从另一侧除去所述树脂膜。
另外，所述槽形成工序是将所述吐出槽从所述促动器基板的一端形成到另一端的跟前的工序，还具备：向所述促动器基板的表面接合盖板的盖板接合工序；以及向所述促动器基板的端面粘接喷嘴板的喷嘴板粘接工序。
另外，还具备向所述促动器基板的背面接合盖板的盖板接合工序和向所述促动器基板的表面粘接喷嘴板的喷嘴板粘接工序的所述槽形成工序，包含：在所述促动器基板形成所述吐出槽的吐出槽形成工序；以及在所述促动器基板形成所述非吐出槽的非吐出槽形成工序，在所述吐出槽形成工序之后进行所述盖板接合工序，在所述树脂膜图案形成工序之后进行所述非吐出槽形成工序。
另外，所述树脂膜图案形成工序，在所述隔壁区域之中，所述非吐出槽的一侧残留所述树脂膜，并从所述吐出槽的一侧除去所述树脂膜。
另外，还包含树脂膜除去工序，从所述促动器基板的表面除去所述树脂膜，在所述吐出槽及所述非吐出槽的侧面形成驱动电极，在所述促动器基板的表面，形成与位于所述吐出槽的两侧面的所述驱动电极电连接的共同端子、和与位于夹着所述吐出槽的两个所述非吐出槽的所述吐出槽一侧的侧面的所述驱动电极电连接的个别端子。
依据本发明的液体喷射头，具备：夹着隔壁交替排列而构成通道列的吐出通道及伪通道；以及在隔壁的侧面从隔壁的上端沿深度方向定位的驱动电极，位于吐出通道的对置的侧面的两个驱动电极的平均深度Tmc，与位于邻接于吐出通道的伪通道的对置的侧面的两个驱动电极的平均深度Tmd不同。由此，无需使用多个电位电平的驱动电压而减小吐出通道的两隔壁的位移量的偏差，并提高记录质量。
附图说明
图1是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头的说明图。
图2是从表示图1（c）所示的基板位置与电极深度的关系的图表，绘制夹着隔壁的两个驱动电极之中较浅的驱动电极的图表。
图3是表示吐出通道的基板位置与隔壁的最大位移的关系的图表。
图4是表示吐出通道的基板位置与隔壁的位移面积的关系的图表。
图5是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头的示意性的分解立体图。
图6是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的说明图。
图7是本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的工序图。
图8是本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的说明图。
图9是本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的说明图。
图10是本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的工序图。
图11是本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的说明图。
图12是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的工序图。
图13是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的说明图。
图14是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的说明图。
图15是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的说明图。
图16是本发明的第七实施方式所涉及的液体喷射装置的示意性的立体图。
图17是现有公知的液体喷射头的立体图。
图18是现有公知的液体喷射头的说明图。
具体实施方式
＜液体喷射头＞
（第一实施方式）
图1是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头1的说明图。图1（a）是夹着吐出通道C的伪通道D的驱动电极6的说明图，图1（b）是液体喷射头1的通道列CR方向的截面示意图，图1（c）是表示通道（吐出通道C或伪通道D）的基板位置与驱动电极6的电极深度之间的关系的图表。
如图1（b）所示，液体喷射头1具备：夹着隔壁3交替排列而构成通道列CR的吐出通道C及伪通道D；以及在隔壁3的侧面从隔壁3的上端沿深度方向定位的驱动电极6。而且，如图1（a）所示，位于吐出通道C的对置的侧面的两个驱动电极6的深度Tc1、Tc2的平均深度Tmc＝（Tc1＋Tc2）/2，深于位于与吐出通道C邻接的伪通道D的对置的侧面的两个驱动电极6的深度Td1、Td2的平均深度Tmd＝（Td1＋Td2）/2。即，满足Tmc＞Tmd（称为式（1）。后面相同）的关系。在吐出通道C与邻接于该吐出通道C的两侧的伪通道D之间，满足该吐出通道C的两个驱动电极6的平均深度Tmc和与该吐出通道C邻接的伪通道D的两个驱动电极6的平均深度Tmd之间的关系。另外，在通道列CR的邻接的全部吐出通道C与伪通道D之间，满足该吐出通道C的两个驱动电极6的平均深度Tmc和邻接于该吐出通道C的伪通道D的两个驱动电极6的平均深度Tmd之间的关系。由此，无需使用多个电位电平的驱动电压而减小吐出通道C的两隔壁3的位移量的偏差，并能提高记录质量。
以下，进行具体说明。吐出通道C被左右隔壁3和上下的第一基板Pa及第二基板Pb包围。同样地，伪通道D被左右隔壁3和上下的第一基板Pa及第二基板Pb包围。吐出通道C和伪通道D邻接并交替排列，构成通道列CR。隔壁3能够使用由压电体材料例如钛锆酸铅（PZT）、钛酸钡（BaTiO3）构成的陶瓷。对于压电体材料从下方到上方或从上方到下方同样地实施极化处理。另外，能够使用以大致1/2深度且沿相反方向实施极化处理的、所谓人字纹型的压电体材料。第一基板Pa或第二基板Pb能够使用与构成隔壁3的压电体材料相同的材料或者不同的材料。例如，利用切割刀对一块由压电体材料构成的促动器基板的表面进行磨削加工而夹着隔壁3交替形成吐出通道C用的吐出槽4和伪通道D用的非吐出槽5，在底部残留促动器基板，将它作为第二基板Pb。吐出通道C及伪通道D在进入纸面方向具有既定长度例如3mm～8mm，通道列CR方向的通道宽度为20μm～100μm，通道高度为100μm～400μm。电极6采用由金属材料或半导体材料构成的导电材料，利用斜向蒸镀法来形成。能够使用例如Ti、Ni、Al、Au、Ag、Si、C、Pt、Ta、Sn、In等。图1所示的吐出通道C和伪通道D在通道列CR方向的宽度相同。
驱动电极6利用导电材料的斜向蒸镀法来形成（后面详细地进行说明）。在本实施方式中，在隔壁3的上端面接合第一基板Pa之前，从相对于隔壁3的上端面的法线角度θ1的右斜上方进行导电材料的斜向蒸镀（第一次的斜向蒸镀），在吐出通道C及伪通道D的左侧面形成第一驱动电极6a。进而，从相对于隔壁3的上端面的法线角度θ1的左斜上方进行导电材料的斜向蒸镀（第二次的斜向蒸镀），在吐出通道C及伪通道D的右侧面形成第二驱动电极6b。接着，在伪通道D的上部开口设置遮蔽掩模，在吐出通道C的上部开口不设置遮蔽掩模而成为开口状态。而且，从相对于隔壁3的上端面的法线比角度θ1小的角度θ2的右斜上方进行导电材料的斜向蒸镀（第三次的斜向蒸镀），在吐出通道C的左侧面比第一驱动电极6a更深地形成第三驱动电极6c。进而，从相对于隔壁3的上端面的法线比角度θ1小的角度θ2的左斜上方进行导电材料的斜向蒸镀（第四次的斜向蒸镀），在吐出通道C的右侧面比第二驱动电极6b更深地形成第四驱动电极6d（关于角度θ1、θ2参照图8）。
在本实施方式中，吐出通道C及伪通道D的深度为300μm，在基板位置的中央（0mm），利用各通道的第一次及第二次的斜向蒸镀法形成的驱动电极6a、6b的电极深度约为130μm，利用第三次及第四次的斜向蒸镀形成的吐出通道C的驱动电极6c、6d的电极深度约为150μm。此外，当隔壁3的极化方向在上方或下方同样的情况下，优选在隔壁3的两侧面形成的两个驱动电极6之中，电极深度较浅的驱动电极6将深度设为不超过通道的1/2深度。若较浅的驱动电极6超过通道的1/2深度，则因施加在超过1/2深度的区域的电场而抑制隔壁3的变形，成为造成液滴吐出条件的偏差的原因。
图1（c）表示利用上述第四次的斜向蒸镀形成的驱动电极6的电极深度与通道的基板位置之间的关系。横轴表示吐出通道C或伪通道D的基板位置（单位mm），纵轴表示驱动电极6的电极深度。各图表分别表示吐出通道C的第三驱动电极6c的电极深度Tc1、吐出通道C的第四驱动电极6d的电极深度Tc2、右伪通道D的第一驱动电极6a的电极深度Td1、左伪通道D的第二驱动电极6b的电极深度Td2。位于隔壁3的右侧面的第一及第三驱动电极6a、6c，随着基板位置从左（－）向右（＋）变化而电极深度减少，位于隔壁3的左侧面的第二及第四驱动电极6b、6d，随着基板位置从左（－）向右（＋）变化而电极深度增加。
即，在伪通道D的一个侧面具备的驱动电极6的深度，随着伪通道D从通道列CR的一端向另一端定位而逐渐变深，在伪通道D的另一侧面具备的驱动电极6的深度，随着伪通道D从通道列CR的一端向另一端定位而逐渐变浅。同样地，在吐出通道C的一个侧面具备的驱动电极6的深度，随着吐出通道C从通道列CR的一端向另一端定位而逐渐变深，在吐出通道C的另一侧面具备的驱动电极6的深度，随着吐出通道C从通道列CR的一端向另一端定位而逐渐变浅。这是因为利用斜向蒸镀法形成驱动电极6。此外，在图1（c）中，实线的图表为左侧的隔壁3的驱动电极6（6b、6c），虚线的图表为右侧的隔壁3的驱动电极6（6a、6d）。
隔壁3因对夹着隔壁3的驱动电极6施加电压而进行厚度滑移变形。对隔壁3施加的电压的施加面积越宽，厚度滑移变形量就越大。对隔壁3施加的电压的施加面积取决于夹着隔壁3的两个驱动电极6的重叠的面积，因此最终由夹着隔壁3的两个驱动电极6之中电极深度较浅的驱动电极6决定厚度滑移变形量。因此，在图1（a）所示的情况下，吐出通道C的左侧的隔壁3的厚度滑移变形量取决于第三驱动电极6c，右侧的隔壁3的厚度滑移变形量取决于第一驱动电极6a。即，隔壁3的驱动电极6较浅的驱动电极6成为有效的电极深度。此外，吐出通道C的变形量由左侧的隔壁3的变形量和右侧的隔壁3的变形量之和来表示。因此，为了减小各吐出通道C的变形量的偏差，使各吐出通道C的左右隔壁3的变形量之和的偏差减小。换言之，吐出通道C的变形量依赖于左侧的隔壁3的较浅的驱动电极6的电极深度和右侧的隔壁3的较浅的驱动电极6的电极深度的总计值（平均深度），因此要减小各吐出通道C的变形量的偏差时，使该总计值（平均深度）的偏差减小。
利用图2～图4，说明将吐出通道C的第三及第四驱动电极6c、6d的平均深度Tmc＝（Tc1＋Tc2）/2形成为比与吐出通道C邻接的伪通道D的第一及第二驱动电极6a、6b的平均深度Tmd＝（Td1＋Td2）/2深的、图1（c）的情况下的效果。
图2是从表示图1（c）所示的基板位置与电极深度的关系的图表，描绘夹着隔壁3的两个驱动电极6之中电极深度较浅的驱动电极6的图表。横轴表示通道的基板位置，纵轴表示电极深度。实线的图表表示左侧的隔壁3的较浅的电极深度，虚线的图表表示右侧的隔壁3的较浅的电极深度。单点划线的图表表示左侧的隔壁3的较浅的电极深度与右侧的隔壁3的较浅的电极深度的平均深度。为了减少液滴的吐出偏差，优选使以单点划线表示的平均电极深度不管基板位置如何都恒定。
如图2所示，在本实施方式中，左侧的隔壁3的较浅的驱动电极6的深度成为最深的（实线的图表成为最大的）基板位置，与右侧的隔壁3的较浅的驱动电极6的深度成为最深的（虚线的图表成为最大的）基板位置偏离，从而出现两个峰值。相对于此不设置第三及第四驱动电极6c、6d的现有方法中仅有第一及第二驱动电极6a、6b（参照图1（a）），在通道的基板位置为左侧（－）的区域，吐出通道C的两侧的隔壁3中第二驱动电极6b较浅（参照图1（c）），在通道的基板位置为右侧（＋）的区域，吐出通道C的两侧的隔壁3中第一驱动电极6a较浅。因此，在现有方法中左侧及右侧的隔壁3的较浅的驱动电极6的深度成为最深的基板位置为中央（0），随着隔壁3的基板位置向两端侧（－侧、＋侧）定位，电极深度逐渐变浅。能够容易从图2理解的那样，与现有的驱动电极6相比，本发明的驱动电极6的对隔壁3的位移量产生影响的有效的驱动电极6的电极深度的偏差减少，关于吐出通道C的基板位置能够使液滴的吐出条件均等。此外，两个峰值为150μm以下，比通道的深度300μm的二分之一还浅。因此，能够使用上方或下方同样地被实施极化处理的隔壁3。
图3是表示吐出通道C的基板位置与隔壁3的最大位移的关系的图表。实线为模拟使用本发明的液体喷射头1的驱动电极6时的结果，虚线为模拟使用现有的液体喷射头1的驱动电极6时的结果。纵轴表示隔壁3在水平方向上的最大位移量，横轴表示通道的基板位置。关于吐出通道C，将左侧的隔壁3的水平方向的最大位移量设为Δd1，将右侧的隔壁3的水平方向的最大位移量设为Δd2，则平均位移量Δdm＝（Δd1＋Δd2）/2。
如图3所示，若比较本发明的平均位移量Δdm和现有方法的平均位移量Δdm，则平均位移量Δdm在任何情况下都是基板位置的中央（0）最大，向基板位置的两端方向（－方向、＋方向）逐渐下降。然而，平均位移量Δdm的最大值与最小值之差在本发明的驱动电极6小到约0.07×10-8，与之相对，在现有的驱动电极6为0.165×10-8，大到2倍以上。即，在本发明的驱动电极6中，平均位移量Δdm的偏差比现有方法大幅降低，关于吐出通道C的基板位置能够使液滴的吐出条件均等，并且能够提高记录质量。
图4是表示吐出通道C的基板位置与隔壁3的位移面积的关系的图表。实线为模拟使用本发明的液体喷射头1的驱动电极6时的结果，虚线为模拟使用现有的液体喷射头1的驱动电极6时的结果。纵轴表示位移面积比，横轴表示通道的基板位置。位移面积是指将隔壁3的变形量换算为吐出通道C的截面积的量，利用基板位置为中央的隔壁3的位移面积来标准化位移面积比。关于吐出通道C，将左侧的隔壁3的位移面积设为Δs1，将右侧的隔壁3的位移面积设为Δs2，则平均位移量Δsm＝（Δs1＋Δs2）/2。能够容易从图4理解的那样，关于平均位移量Δsm的最大值与最小值之差，与现有的驱动电极6相比本发明的驱动电极6小，且平均变形量Δsm的偏差减小。例如，在基板位置为两端（－54mm，＋54mm）位置的吐出通道C的情况下，与现有的驱动电极6相比，本发明的驱动电极6的平均变形量Δsm的偏差约改善30％。
此外，在图2～图4所示的情况下，在通道列CR的邻接的全部吐出通道C与伪通道D之间，位于吐出通道C的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmc，深于位于与吐出通道C邻接的伪通道D的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmd（Tmc＞Tmd）。另一方面，图2～图4所示的电极深度、位移量及位移面积比，相对于基板位置为中央附近的值，在基板位置的两端附近的值都是最小的。因此，在基板位置的两端侧（－侧，＋侧），即比通道列CR的既定位置更位于两端侧的吐出通道C与邻接于该吐出通道C的两侧的伪通道D之间满足上述关系（Tmc＞Tmd），即便在基板位置的其他区域，即位于通道列CR的中央附近的吐出通道C的驱动电极6和伪通道D的驱动电极6与现有相同，电极的深度、位移量及位移面积比的偏差减少也是明显的。例如，在只有基板位置比－30mm位于－侧以及基板位置比＋30mm位于＋侧的吐出通道C满足上述关系（Tmc＞Tmd）的情况下，液滴的吐出偏差也减少。
另外，在本实施方式中，对使位于吐出通道C的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmc，深于位于与吐出通道C邻接的伪通道D的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmd，即满足Tmc＞Tmd的关系的情况进行了说明。取而代之，在使位于吐出通道C的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmc，浅于位于与吐出通道C邻接的伪通道D的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmd，即满足Tmc＜Tmd（称为式（2）。以下同样）的关系的情况下，也能得到同样的结果。在吐出通道C与邻接于吐出通道C的两侧的伪通道D之间满足Tmc＜Tmd的关系。另外，在通道列CR的邻接的全部吐出通道C与伪通道D之间满足。另外，在位于通道列CR的两端侧的吐出通道C与邻接于吐出通道C的两侧的伪通道D之间满足。另外，在本实施方式中，利用4次的斜向蒸镀法来形成驱动电极6，但是也能代替为利用2次的斜向蒸镀法来形成驱动电极6。例如，能够以使吐出通道C与伪通道D的槽宽度不同的方式形成。
（第二实施方式）
图5是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头1的示意性的分解立体图。液体喷射头1为边缘喷射型。对于相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。
如图5所示，液体喷射头1具备：促动器基板2；与促动器基板2的上表面UP接合的盖板10；以及与促动器基板2的前方端面粘接的喷嘴板13。促动器基板2由压电体材料构成，能够使用例如PZT或BaTiO3的陶瓷。对促动器基板2从下方到上方或从上方到下方一样地实施极化处理。促动器基板2具备：在上表面UP夹着隔壁3交替排列而构成槽列MR的吐出槽4和非吐出槽5；以及在隔壁3的侧面从隔壁3的上端沿深度方向定位的驱动电极6。
吐出槽4从促动器基板2的前方端延伸至后方端的跟前，非吐出槽5从促动器基板2的前方端笔直延伸至后方端。吐出槽4在促动器基板2的前方端面开口，后方端的一侧成为从吐出槽4的底面向上表面UP切上来倾斜面，在上表面UP终端。非吐出槽5在促动器基板2的前方端面和后方端面开口。促动器基板2在后方端附近的上表面UP具备共同端子15a和个别端子15b。共同端子15a与位于吐出槽4的两侧面的驱动电极6电连接，位于吐出槽4的一侧，个别端子15b电连接位于夹着吐出槽4的两个非吐出槽5的吐出槽4侧的侧面的两个驱动电极6，比共同端子15a位于后方端的一侧。
盖板10具备液室11和从液室11的底面向促动器基板2侧贯通的多个狭缝12。盖板10使共同端子15a、个别端子15b及非吐出槽5的后方侧的一部分露出并与促动器基板2的上表面UP接合。各狭缝12分别与吐出槽4的后方侧连通。因此，液室11经由各狭缝12而与各个吐出槽4连通，不与非吐出槽5连通。喷嘴板13在与各吐出槽4对应的位置具备喷嘴14，粘接在促动器基板2及盖板10的前方端面。各喷嘴14分别与吐出槽4连通。吐出槽4被盖板10和喷嘴板13包围而构成吐出通道C，非吐出槽5被盖板10覆盖而构成伪通道D。作为盖板10能够使用PZT陶瓷或BaTiO3陶瓷材料或塑料材料。作为喷嘴板13，能够使用聚酰亚胺膜等的塑料材料或金属材料。
在此，位于吐出槽4（吐出通道C）的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmc，深于位于与吐出槽4（吐出通道C）邻接的非吐出槽5（伪通道D）的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmd。即，满足Tmc＞Tmd的关系。另外，在吐出槽4与邻接于吐出槽4的两侧的非吐出槽5之间满足Tmc＞Tmd的关系。进而，在槽列MR（通道列）的邻接的全部吐出槽4与非吐出槽5之间满足Tmc＞Tmd的关系。另外，也可以在比槽列MR的既定位置位于两端侧的吐出槽4与非吐出槽5之间满足Tmc＞Tmd的关系。
液体喷射头1如下驱动。若向液室11供给液体，则液体经由各狭缝12流入各吐出槽4。而且，若向共同端子15a和个别端子15b供给驱动电压，则首先吐出槽4的两个隔壁3进行厚度滑移变形而使吐出槽4（吐出通道C）的容积增加，从而从液室11取入液体，接着，使吐出槽4的容积减少而从喷嘴14吐出液滴。依据本发明的驱动电极6的结构，减小对隔壁3的变形量产生影响的有效的驱动电极6的电极深度的偏差，随之减小两个隔壁3的平均位移量Δdm、平均变形量Δsm的偏差。其结果，关于吐出通道C的基板位置能够使液滴吐出条件均等。
此外，在使位于吐出通道C的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmc，浅于位于与吐出通道C邻接的伪通道D的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmd，即满足Tmc＜Tmd的关系的情况下，也能得到同样的结果，这与第一实施方式中的说明同样。
（第三实施方式）
图6是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头1的说明图。图6（a）是液体喷射头1的示意性的分解立体图，图6（b）是吐出槽4的截面示意图。液体喷射头1是侧面喷射型。对于与相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。
如图6所示，液体喷射头1具备：促动器基板2；与促动器基板2的上表面UP粘接的喷嘴板13；以及与促动器基板2的下表面LP接合的盖板10。促动器基板2具备：夹着隔壁3交替排列而构成槽列MR的吐出槽4和非吐出槽5；以及在隔壁3的侧面从隔壁3的上端沿深度方向定位的驱动电极6。吐出槽4和非吐出槽5在x方向（槽方向）细长、在y方向交替排列而构成槽列MR（通道列CR）。吐出槽4及非吐出槽5沿促动器基板2的板厚方向贯通。吐出槽4从促动器基板2的x方向的一端的跟前延伸至另一端的跟前。吐出槽4的中央部以在上表面UP的x方向细长的形状开口，两端部成为从上表面UP向下表面LP扩展的倾斜面。非吐出槽5从促动器基板2的槽方向的一端延伸至另一端。非吐出槽5的中央部具有使吐出槽4的上下反转的形状，两端部从上表面UP具有恒定的深度。即，非吐出槽5从上表面UP的一端到另一端以细长的形状开口。吐出槽4的两侧面的驱动电极6对应地位于吐出槽4在上表面UP开口的开口部。
促动器基板2在x方向的一端附近的上表面UP具备共同端子15a和个别端子15b。共同端子15a位于吐出槽4的开口部附近，经由沿着吐出槽4的开口部向槽方向延伸的未图示的布线16而与位于吐出槽4的两侧面的驱动电极6电连接。个别端子15b比共同端子15a还位于另一端的一侧，电连接位于夹着吐出槽4的两个非吐出槽5的吐出槽4侧的侧面的两个驱动电极6。
盖板10具备两个液室11a、11b。一个液室11a与吐出槽4的一端部连通，另一个液室11b与吐出槽4的另一端部连通。非吐出槽5不在两个液室11a、11b开口的促动器基板2侧的开口区域开口。因此，无需在两个液室11a、11b设置狭缝。喷嘴板13具备喷嘴14。喷嘴板13以堵塞吐出槽4的开口部并露出共同端子15a和个别端子15b的方式粘接在促动器基板2的上表面UP。喷嘴14与在上表面UP开口的吐出槽4连通。吐出槽4被盖板10和喷嘴板13包围而构成吐出通道C，非吐出槽5被盖板10和喷嘴板13覆盖而构成伪通道D。沿y方向排列的槽列MR构成通道列CR。
作为促动器基板2能够使用PZT、BaTiO3等的陶瓷。作为盖板10能够使用PZT陶瓷或其他陶瓷材料或塑料材料。作为喷嘴板13，能够使用聚酰亚胺膜等的塑料材料或金属材料。电极6采用由金属材料或半导体材料构成的导电材料，利用斜向蒸镀法形成。能够使用例如Ti、Ni、Al、Au、Ag、Si、C、Pt、Ta、Sn、In等。通道的长度在x方向为3mm～8mm，通道的宽度为20μm～100μm，通道的高度h为100μm～400μm。
在此，位于吐出槽4（吐出通道C）的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmc，深于位于与吐出槽4（吐出通道C）邻接的非吐出槽5（伪通道D）的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmd。即，满足Tmc＞Tmd的关系。另外，在吐出槽4与邻接于该吐出槽4的两侧的非吐出槽5之间满足Tmc＞Tmd的关系。另外，在槽列（通道列CR）的邻接的全部吐出槽4与非吐出槽5之间满足Tmc＞Tmd的关系。另外，也可以在比槽列MR的既定位置还位于两端侧的吐出槽4与非吐出槽5之间满足Tmc＞Tmd的关系。
液体喷射头1如下驱动。从外部向液室11a（或液室11b）供给液体，向各吐出槽4（吐出通道C）填充液体。进而，液体从各吐出槽4向液室11b（或液室11a）流出，并从液室11b（或液室11a）向外部排出。即，使液体循环。而且，若向共同端子15a与个别端子15b之间供给驱动电压，则首先使吐出槽4的两个隔壁3厚度滑移变形而增加吐出通道C（吐出槽4）的容积，从液室11a、11b取入液体。接着，缩小吐出通道C的容积，从而从喷嘴14吐出液滴。依据本发明的驱动电极6的结构，减小对隔壁3的变形量产生影响的有效的驱动电极6的电极深度的偏差，随之减小两个隔壁3的平均位移量Δdm、平均变形量Δsm的偏差。其结果，关于吐出通道C的基板位置使液滴吐出条件均等，并且能够提高记录质量。
此外，在使位于吐出通道C的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmc，浅于位于与吐出通道C邻接的伪通道D的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmd，即满足Tmc＜Tmd的关系的情况下，也能得到同样的结果，这与在第一实施方式中的说明同样。
＜液体喷射头的制造方法＞
（第四实施方式）
图7～图9是本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射头1的制造方法的说明图。图7是液体喷射头1的制造方法的工序图。图8及图9是液体喷射头1的制造方法的说明图。图8（a）是促动器基板2的俯视示意图，图8（b）～（d）是促动器基板2的槽列MR方向的截面示意图。图9（a）是促动器基板2的槽列MR方向的截面示意图，图9（b）是促动器基板2的俯视示意图，图9（c）是液体喷射头1的吐出槽4的槽方向的截面示意图。对于相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。
本第四实施方式所涉及的液体喷射头1的基本制造方法，具备：在促动器基板2的表面（上表面UP）形成吐出槽4和非吐出槽5交替排列的槽列的槽形成工序S2；利用第一斜向蒸镀法沉积电极材料的第一电极材料沉积工序S31；以及利用第二斜向蒸镀法沉积电极材料的第二电极材料沉积工序S32。槽形成工序S2在促动器基板2的表面形成吐出槽4和非吐出槽5交替排列的槽列MR。第一电极材料沉积工序S31利用第一斜向蒸镀法在促动器基板2的表面和吐出槽4及非吐出槽5的侧面沉积电极材料。第二电极材料沉积工序S32设置遮蔽非吐出槽5或吐出槽4的任一个的掩模17，并利用第二斜向蒸镀法在促动器基板2的表面和吐出槽4或非吐出槽5的侧面沉积电极材料。第二斜向蒸镀法中的电极材料相对于促动器基板2的表面的法线的入射角θ2，小于第一斜向蒸镀法中的电极材料相对于促动器基板2的表面的法线的入射角θ1。
其结果，位于吐出槽4（或非吐出槽5）的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度，深于位于与吐出槽4（或非吐出槽5）邻接的非吐出槽5（或吐出槽4）的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度。在吐出槽4与邻接于该吐出槽4的非吐出槽5之间满足该关系。另外，在槽列MR的全部吐出槽4与非吐出槽5之间满足该关系。其结果，如在第一实施方式中说明的那样，减小隔壁3的有效的驱动电极6的电极深度的基板位置依赖性，并减小两个隔壁3的平均位移量Δdm、平均变形量Δsm的偏差，从而使吐出通道C的液滴吐出条件均等。
以下，利用图7～图9进行具体说明。如图7及图8（a）所示，在树脂膜图案形成工序S1中，在促动器基板2的表面形成树脂膜7的图案。促动器基板2使用例如PZT陶瓷、BaTiO3陶瓷等的压电体材料。树脂膜7是将感光性树脂膜例如抗蚀剂膜粘贴在促动器基板2的上表面UP，并且利用光刻工序来形成图案。在本实施方式中，从应该作为共同端子15a及个别端子15b的区域除去树脂膜7。
接着，如图7及图8（b）所示，槽形成工序S2中，在促动器基板2的表面形成夹着隔壁3交替排列吐出槽4和非吐出槽5的槽列MR。吐出槽4和非吐出槽5的磨削能够使用例如外周埋入金刚石等的磨削用砥粒的切割刀进行磨削而形成。使吐出槽4和非吐出槽5的槽宽度为20μm～100μm、槽的深度为100μm～400μm，能够以相同的槽宽度形成。
接着，如图7及图8（c）所示，在第一电极材料沉积工序S31中，利用第一斜向蒸镀法在促动器基板2的表面和吐出槽4及非吐出槽5的侧面沉积电极材料。此外，图8（c）的中央图为槽列MR的中央的位置、左图为槽列MR的左的位置、右图为槽列MR的右的位置的截面示意图。第一斜向蒸镀法中，从相对于促动器基板2的表面的法线在槽列MR方向倾斜角度θ1的右斜上方进行导电材料的第一次的斜向蒸镀。接着，以促动器基板2的中央的法线为中心轴旋转180°后进行第二次的斜向蒸镀。图中，进行相对于法线在槽列MR方向倾斜角度θ1的左斜向蒸镀。此时，根据槽列MR中的吐出槽4和非吐出槽5的位置，倾斜角会连续变化，倾斜角成为θ1’＞θ1＞θ1”的关系。因此，随着吐出槽4和非吐出槽5的位置从槽列MR的左向右变化，各槽的左侧的侧面的电极8的深度依次变深，右侧的侧面的电极8的深度依次变浅。此外，位于槽列MR的中央的吐出槽4或非吐出槽5，两侧面的电极8的深度相等。
接着，如图7及图8（d）所示，第二电极材料沉积工序S32中，将遮蔽非吐出槽5的掩模17设置在非吐出槽5的上部开口，利用第二斜向蒸镀法在促动器基板2的表面和吐出槽4及非吐出槽5的侧面沉积电极材料。第二斜向蒸镀法中，电极材料相对于促动器基板2的表面的法线的入射角（倾斜角θ2），小于第一斜向蒸镀法中的电极材料的入射角（倾斜角θ1）。因此，在吐出槽4的两侧面能够比第一斜向蒸镀法中的电极8的深度还深地形成电极8’。在第二斜向蒸镀法中，也与第一斜向蒸镀法同样，成为θ2’＞θ2＞θ2”的关系。此外，第二电极材料沉积工序S32中，也可以在槽列MR的中央部设置掩模，仅在比槽列MR的既定位置更靠近两端侧沉积电极材料。在该情况下，如在第一实施方式中说明的那样，在比槽列MR的既定位置还位于两端侧的吐出槽4与非吐出槽5之间满足Tmc＞Tmd的关系。
接着，如图7及图9（a）、（b）所示，树脂膜除去工序S4中，除去树脂膜7，同时还除去沉积在树脂膜7的上表面的导电材料（剥离法）。其结果，在吐出槽4及非吐出槽5的两侧面作为驱动电极6残留电极8或8’，促动器基板2的上表面UP的电极8及8’作为共同端子15a和个别端子15b而残留。因此，与第一实施方式中的说明同样，位于吐出槽4（吐出通道C）的对置的侧面的两个驱动电极6的深度Tc1、Tc2的平均深度（Tmc），会深于位于与吐出槽4（吐出通道C）邻接的非吐出槽5（伪通道D）的对置的侧面的两个驱动电极6的深度的平均深度（Tmd）。即，满足Tmc＞Tmd的关系。在吐出槽4与在该吐出槽4邻接于两侧的非吐出槽5之间满足该吐出槽4（吐出通道C）的两个驱动电极6的平均深度Tmc和与该吐出槽4邻接的非吐出槽5（伪通道D）的两个驱动电极6的平均深度Tmd之间的关系。另外，在槽列MR（通道列CR）的邻接的全部吐出槽4与非吐出槽5之间的关系中满足该关系。
接着，如图7及图9（c）所示，盖板接合工序S5中，在促动器基板2的上表面UP（表面）接合盖板10。盖板10具备液室11和从液室11的底面向促动器基板2侧贯通的多个狭缝12。各狭缝12与各吐出槽4的另一侧的端部分别连通。接着，喷嘴板粘接工序S6中，将喷嘴板13粘接于促动器基板2及盖板10的前方端面。喷嘴板13具备多个喷嘴14，各喷嘴14与在促动器基板2的前方端面开口的各吐出槽4分别连通。通过吐出槽4、盖板10和喷嘴板13构成吐出通道C。通过非吐出槽5和盖板10构成伪通道D。这样能够制造出图5所示的液体喷射头1。由此，能够减小吐出通道C的两隔壁3的变形量的偏差，并能谋求提高记录质量。
此外，电极材料沉积工序也可以先进行第二电极材料沉积工序S32，接着，进行第一电极材料沉积工序S31。另外，将在吐出槽4的两个侧面形成的驱动电极6的平均深度Tmc形成为比位于与吐出槽4邻接的非吐出槽5的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmd浅，并且以满足Tmc＜Tmd的关系的方式形成，也能得到同样的效果。在吐出通道C与邻接于该吐出通道C的两侧的伪通道D之间满足Tmc＜Tmd的关系。另外，在通道列CR的邻接的全部吐出通道C与伪通道D之间满足Tmc＜Tmd的关系。
（第五实施方式）
图10及图11是本发明的第五实施方式所涉及的液体喷射头1的制造方法的说明图。图10是液体喷射头1的制造方法的工序图，图11是液体喷射头1的制造方法的说明图，是促动器基板2的槽列MR方向的截面示意图。对于相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。
本第五实施方式所涉及的液体喷射头1的基本制造方法，具备：在促动器基板2的表面（上表面UP）形成吐出槽4和槽宽度与吐出槽4不同的非吐出槽5交替排列的槽列MR的槽形成工序S21；以及利用斜向蒸镀法在促动器基板2的上表面UP和吐出槽4及非吐出槽5的侧面沉积电极材料的电极材料沉积工序S3。由此，位于吐出槽4（非吐出槽5）的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度，会深于位于与吐出槽4（非吐出槽5）邻接的非吐出槽5（吐出槽4）的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度。在吐出槽4与邻接于该吐出槽4的两侧的非吐出槽5之间满足该关系。另外，在槽列MR的全部吐出槽4与非吐出槽5之间满足该关系。其结果，如在第一实施方式中说明的那样，减小隔壁3的有效的驱动电极6的电极深度的基板位置依赖性，并减小两个隔壁3的平均位移量Δdm、平均变形量Δsm的偏差，从而使吐出通道C的液滴吐出条件均等。
以下，利用图10及图11进行具体说明。首先，树脂膜图案形成工序S1中，在促动器基板2的上表面UP（表面）形成树脂膜7的图案。促动器基板2、树脂膜7及树脂膜7的图案形状与第四实施方式的树脂膜图案形成工序S1同样，因此省略说明。
接着，如图11（a）所示，槽形成工序S21中，在促动器基板2的上表面UP夹着隔壁3沿槽列MR方向交替形成槽宽度Wc的吐出槽4和槽宽度Wd比槽宽度Wc窄的非吐出槽5。具体而言，利用宽度较宽的切割刀将吐出槽4一并磨削而形成，接着，利用宽度较窄的切割刀能够一并非磨削而形成吐出槽5。或者，利用宽度较窄的非吐出槽5用的切割刀，一底形成槽之后使切割刀从上表面UP浮起并向槽列MR方向稍许移动，重复磨削槽，从而能够形成比切割刀的宽度还宽的宽度的吐出槽4。促动器基板2能够使用例如PZT陶瓷、BaTiO3陶瓷。吐出槽4及非吐出槽5能够将槽宽度设为20μm～100μm、将槽的深度设为100μm～400μm。
接着，如图11（b）所示，电极材料沉积工序S3中，利用斜向蒸镀法在促动器基板2的上表面UP和吐出槽4及非吐出槽5的侧面沉积电极材料。在该情况下，以使槽宽度Wc较宽的吐出槽4的侧壁比槽宽度Wd窄的非吐出槽5的侧壁深的方式沉积电极8。接着，如图11（c）所示，树脂膜除去工序S4中，除去树脂膜7，同时还除去在树脂膜7的上表面沉积的导电材料（剥离法）。其结果，在吐出槽4及非吐出槽5的两侧面沉积的电极8作为驱动电极6而残留，促动器基板2的上表面UP的电极8作为未图示的共同端子15a及个别端子15b而残留。因此，与第一实施方式中的说明同样，位于吐出槽4的对置的侧面的两个驱动电极6的深度Tc1、Tc2的平均深度（Tmc），会深于位于与吐出槽4邻接的非吐出槽5的对置的侧面的两个驱动电极6的深度Td1、Td2的平均深度（Tmd）。即，满足Tmc＞Tmd的关系。在吐出槽4与邻接于该吐出槽4的两侧的非吐出槽5之间满足该吐出槽4的两个驱动电极6的平均深度Tmc与邻接于该吐出槽4的非吐出槽5的两个驱动电极6的平均深度Tmd之间的关系。另外，在槽列MR的邻接的全部吐出槽4与非吐出槽5之间满足上述关系。以下，盖板接合工序S5及喷嘴板粘接工序S6与第四实施方式同样，因此省略说明。
（第六实施方式）
图12～图15是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射头1的制造方法的说明图。图12是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射头1的制造方法的工序图，图13～图15是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射头1的制造方法的说明图。对于相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。
本第六实施方式所涉及的液体喷射头1的基本制造方法，具备树脂膜图案形成工序S1、槽形成工序S2和电极材料沉积工序S3。树脂膜图案形成工序S1在促动器基板2的表面（上表面UP）形成树脂膜7的图案。在该情况下，在吐出槽4与非吐出槽5之间的隔壁区域Rw之中，非吐出槽5或吐出槽4的任一个的一侧残留树脂膜7，从另一侧除去树脂膜7。槽形成工序S2在促动器基板2的表面形成吐出槽4和非吐出槽5交替排列的槽列MR。电极材料沉积工序S3利用斜向蒸镀法在促动器基板2的表面和吐出槽4及非吐出槽5的侧面沉积电极材料。此外，槽形成工序S2也可以分离吐出槽4和非吐出槽5的形成工序。即，也可以在形成吐出槽4或非吐出槽5之后进行其他工序，接着形成非吐出槽5或吐出槽4。另外，槽形成工序S2也可以在树脂膜图案形成工序S1之前进行。
例如，在树脂膜图案形成工序S1之际，在隔壁区域Rw的非吐出槽5侧残留树脂膜7，从隔壁区域Rw的吐出槽4侧除去树脂膜7。其结果，在进行电极材料沉积工序S3中的电极材料的斜向蒸镀时，在吐出槽4的两侧面沉积的电极材料，以比在非吐出槽5的两侧面沉积的电极材料更深树脂膜7的厚度的量地沉积。如果在隔壁区域Rw的、吐出槽4侧残留树脂膜7，从非吐出槽5侧除去树脂膜7，则在非吐出槽5的两侧面沉积的电极材料会比在吐出槽4的两侧面沉积的电极材料还深树脂膜7的厚度的量地沉积。即，位于吐出槽4（或非吐出槽5）的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度，深于位于与吐出槽4（或非吐出槽5）邻接的非吐出槽5（或吐出槽4）的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度。在吐出槽4与邻接于该吐出槽4的两侧的非吐出槽5之间满足该关系。另外，在槽列MR的全部吐出槽4与非吐出槽5之间满足上述关系。其结果，如在第一实施方式中说明的那样，减小隔壁3的有效的驱动电极6的电极深度的基板位置依赖性，并减小两个隔壁3的平均位移量Δdm、平均变形量Δsm的偏差，从而使吐出通道C的液滴吐出条件均等。
以下，利用图12～图15进行具体说明。图13（a）及（b）是促动器基板2的吐出槽4的槽方向的截面示意图。图13（c）及（d）是促动器基板2的上表面UP的示意图。图14（a）及（b）是促动器基板2的非吐出槽5及吐出槽4的槽方向的截面示意图。图14（c）及（d）是促动器基板2的槽列MR方向的截面示意图。图14（e）是促动器基板2的吐出槽4的槽方向的截面示意图。图15（a）是促动器基板2的上表面UP的示意图。图15（b）是促动器基板2的槽列MR方向的截面示意图。图15（c）及（d）是促动器基板2的吐出槽4的槽方向的截面示意图。
如图12及图13（a）所示，吐出槽形成工序S22中，在促动器基板2的表面（下表面LP）形成吐出槽4。吐出槽4在进入纸面的槽列MR方向排列多个。促动器基板2使用例如PZT陶瓷或BaTiO3陶瓷等的压电体材料，预先向表面的法线方向或其相反方向实施极化处理。吐出槽4能够使用切割刀等来形成。吐出槽4也可以不从下表面LP（背面）贯通到上表面UP（表面），后面，对上表面UP进行磨削而使之贯通。
接着，如图12及图13（b）所示，盖板接合工序S5中，在促动器基板2的下表面LP接合盖板10。盖板10具备在进入纸面的槽列MR方向细长、且互相分离的两个平行的液室11a、11b。一个液室11a与多个吐出槽4的一端部连通，另一个液室11b与多个吐出槽4的另一端部连通。
接着，如图12及图13（c）所示，树脂膜图案形成工序S11中，在促动器基板2的上表面UP设置由抗蚀剂等构成的感光性树脂膜，接着，通过光刻工序形成树脂膜7的图案。树脂膜7的图案使吐出槽4与非吐出槽5之间的形成隔壁3的隔壁区域Rw之中，非吐出槽5的一侧的树脂膜7，除去吐出槽4的一侧的树脂膜7。同时，从形成共同端子15a及个别端子15b的区域除去树脂膜7。形成共同端子15a的区域位于吐出槽4的槽方向的端部与促动器基板2的另一端之间的吐出槽4侧，形成个别端子15b的区域，位于吐出槽4的槽方向的端部与促动器基板2的另一端之间的另一端侧。树脂膜7的膜厚为吐出槽4的电极深度与邻接的非吐出槽的电极深度之间的差。例如，相对于位于吐出槽4的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度，在使位于与该吐出槽4邻接的非吐出槽5的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度之差为20μm的情况下，使树脂膜7的膜厚为20μm。此外，在本实施方式中，在隔壁区域Rw之中，残留非吐出槽5的一侧的树脂膜7并除去吐出槽4的一侧的树脂膜7，但是取而代之，也可以残留吐出槽4的一侧的树脂膜7，并除去非吐出槽5的一侧的树脂膜7。
此外，树脂膜图案形成工序S11中，残留非吐出槽5或吐出槽4的任一个的一侧的树脂膜7，从另一侧除去树脂膜7的区域，仅为比槽列MR的既定位置更靠两端侧的区域，在其他区域中残留非吐出槽5及吐出槽4两者一侧的树脂膜7，或者，也可以除去两者一侧的树脂膜7也可。
接着，如图12及图13（d）所示，非吐出槽形成工序S23中，在两个吐出槽之间的促动器基板2的上表面UP，利用切割刀等来对非吐出槽5进行磨削而形成。非吐出槽5如图14（a）所示，槽方向的中央部具有吐出槽4的上下反转的形状，槽方向的两端部从上表面UP以恒定深度的浅底形成。非吐出槽5从促动器基板2的上表面UP的一端、延伸至另一端。非吐出槽5具有在槽方向的中央部中具有贯通动器基板2，并达到盖板10的深度。然而，不与盖板10的两个液室11a、11b连通。另外，如图14（b）及（c）所示，在构成非吐出槽5的两隔壁3的上端面的非吐出槽5侧残留有树脂膜7。相对于此，在构成吐出槽4的两隔壁3的上端面的吐出槽4侧不残留树脂膜7。在促动器基板2的上表面UP的形成共同端子15a或个别端子15b的区域残留有树脂膜7。
接着，如图12及图14（d）、（e）所示，电极材料沉积工序S3中，利用斜向蒸镀法在促动器基板2的上表面UP和吐出槽4及非吐出槽5的侧面沉积电极材料。具体而言，相对于隔壁3的上端面的法线从角度θ1的右斜上方进行导电材料的斜向蒸镀，接着，相对于隔壁3的上端面的法线从相同的角度θ1的左斜上方进行导电材料的斜向蒸镀。如已经说明的那样，在促动器基板2的左位置和右位置中蒸镀方向不同，成为θ1’＞θ1＞θ1”的关系。在夹着吐出槽4的两个隔壁3的、吐出槽4侧的上表面UP不存在树脂膜7，而在夹着非吐出槽5的两个隔壁3的、非吐出槽5侧的上表面UP存储在树脂膜7。因此，吐出槽4的侧面的电极8会比非吐出槽5的侧面的电极8更深树脂膜7的厚度的量而沉积。即，在吐出槽4的侧面具备的两个电极8的平均的深度，会比在与该吐出槽4邻接的非吐出槽5的侧面具备的两个电极8的平均深度更深树脂膜7的厚度的量，该关系满足槽列MR的邻接的全部吐出槽4与非吐出槽5之间的关系。
接着，如图12及图15（a）、（b）、（c）所示，树脂膜除去工序S4中，从促动器基板2的上表面UP除去树脂膜7，从而在吐出槽4及非吐出槽5的侧面形成驱动电极6，在促动器基板2的上表面UP，形成与位于非吐出槽5的两侧面的驱动电极6电连接的共同端子15a以及位于夹着吐出槽4的两个非吐出槽5的吐出槽4一侧的侧面的驱动电极6电连接的个别端子15b。此外，吐出槽4的驱动电极6和上表面UP的共同端子15a，经由位于吐出槽4的开口端附近的上表面UP的布线16电连接。
接着，如图12及图15（d）所示，喷嘴板粘接工序S6中，在促动器基板2的上表面UP粘接喷嘴板13。喷嘴板13具备与吐出槽4连通的喷嘴14。喷嘴板13比促动器基板2的槽方向的宽度窄，并且以使共同端子15a的一部分以及个别端子15b露出的方式粘接于上表面UP。由此，能够制造出图6所示的本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头1。此外，液体喷射头1的特征在第一及第三实施方式中进行了详细说明，因此省略在此说明。
在本实施方式中，能够利用2次的斜向蒸镀法成批地形成驱动电极6、布线16、共同端子15a及个别端子15b，因此制造方法容易。另外，通过控制树脂膜7的厚度，能够高精度地控制吐出槽4的驱动电极6的电极深度和与该吐出槽4邻接的非吐出槽5的驱动电极6的电极深度之间的差。
此外，与本实施方式同样，能够制造图5所示的第二实施方式的液体喷射头1。在该情况下，通过树脂膜图案形成工序S1→槽形成工序S2→电极材料沉积工序S3→树脂膜除去工序S4→盖板接合工序S5→喷嘴板粘接工序S6能够制造液体喷射头1。即，树脂膜图案形成工序S1中，在吐出槽4与非吐出槽5之间的隔壁区域Rw之中，非吐出槽5或吐出槽4的任一个的一侧残留树脂膜7，从另一侧除去树脂膜7。槽形成工序S2中，在促动器基板2的上表面UP形成吐出槽4和非吐出槽5交替排列的槽列MR。电极材料沉积工序S3及树脂膜除去工序S4与本实施方式同样。盖板接合工序S5及喷嘴板粘接工序S6与第四实施方式同样。
＜液体喷射装置＞
（第七实施方式）
图16是本发明的第七实施方式所涉及的液体喷射装置30的示意性立体图。液体喷射装置30具备：使液体喷射头1、1’往复移动的移动机构40；向液体喷射头1、1’供给液体并从液体喷射头1、1’排出液体的流路部35、35’；与流路部35、35’连通的液体泵33、33’及液体罐34、34’。各液体喷射头1、1’使用已说明的第一～第六实施方式的任一个。
液体喷射装置30具备：将纸等的被记录介质44向主扫描方向输送的一对输送单元41、42；向被记录介质44吐出液体的液体喷射头1、1’；承载液体喷射头1、1’的滑架单元43；按压积存在液体罐34、34’的液体而向流路部35、35’供给的液体泵33、33’；以及使液体喷射头1、1’沿与主扫描方向正交的副扫描方向扫描的移动机构40。未图示的控制部控制驱动液体喷射头1、1’、移动机构40、输送单元41、42。
一对输送单元41、42具备沿副扫描方向延伸的、使辊面接触的同时旋转的栅格辊和压紧辊。利用未图示的电动机使栅格辊和压紧辊绕轴旋转，从而将夹入辊间的被记录介质44沿主扫描方向输送。移动机构40具备：沿副扫描方向延伸的一对导轨36、37；能够沿着一对导轨36、37滑动的滑架单元43；连结滑架单元43并向副扫描方向移动的无接头带38；以及使该无接头带38围绕未图示的带轮而旋转的电动机39。
滑架单元43承载多个液体喷射头1、1’，吐出例如黄色、品红色、青色，黑色这4种液滴。液体罐34、34’积存对应颜色的液体，经由液体泵33、33’、流路部35、35’而向液体喷射头1、1’供给。各液体喷射头1、1’响应驱动信号吐出各色的液滴。通过控制从液体喷射头1、1’吐出液体的定时、驱动滑架单元43的电动机39的旋转及被记录介质44的输送速度，能够在被记录介质44上记录任意的图案。
此外，本实施方式是移动机构40使滑架单元43和被记录介质44移动而记录的液体喷射装置30，但是取代此情况而固定滑架单元，移动机构使被记录介质二维移动而记录的液体喷射装置也可。即，移动机构只要使液体喷射头和被记录介质相对移动即可。
标号说明
1液体喷射头；2促动器基板；3隔壁；4吐出槽；5非吐出槽；6、6a、6b、6c、6d驱动电极；7树脂膜；8电极；10盖板；11、11a、11b液室；12狭缝；13喷嘴板；14喷嘴；15a共同端子；15b个别端子；16布线；17掩模；C吐出通道；D伪通道；CR通道列；Pa第一基板；Pb第二基板；Rw隔壁区域；MR槽列；UP上表面；LP下表面。

Claims (21)

1.一种液体喷射头，具备：
夹着隔壁交替排列而构成通道列的吐出通道及伪通道；以及
在所述隔壁的侧面从所述隔壁的上端沿深度方向定位的驱动电极，
位于所述吐出通道的对置的侧面的两个所述驱动电极的平均深度Tmc，与位于邻接所述吐出通道的所述伪通道的对置的侧面的两个所述驱动电极的平均深度Tmd不同。
2.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，
所述平均深度Tmc和所述平均深度Tmd满足式（1）的关系：
Tmc＞Tmd（1）。
3.如权利要求2所述的液体喷射头，其中，
所述吐出通道的槽宽度宽于所述伪通道的槽宽度。
4.如权利要求2所述的液体喷射头，其中，
在所述吐出通道与邻接于所述吐出通道的两侧的所述伪通道之间，满足所述式（1）的关系。
5.如权利要求4所述的液体喷射头，其中，
在位于所述通道列的两端侧的所述吐出通道与所述伪通道之间满足所述式（1）的关系。
6.如权利要求5所述的液体喷射头，其中，
在所述通道列的邻接的全部的所述吐出通道与所述伪通道之间满足所述式（1）的关系。
7.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，
所述平均深度Tmc与所述平均深度Tmd满足式（2）的关系：
Tmc＜Tmd（2）。
8.如权利要求7所述的液体喷射头，其中，
所述吐出通道的槽宽度窄于所述伪通道的槽宽度。
9.如权利要求7所述的液体喷射头，其中，
在所述吐出通道与邻接于所述吐出通道的两侧的所述伪通道之间满足所述式（2）的关系。
10.如权利要求9所述的液体喷射头，其中，
在位于所述通道列的两端侧的所述吐出通道与所述伪通道之间满足所述式（2）的关系。
11.如权利要求10所述的液体喷射头，其中，
在所述通道列的邻接的全部的所述吐出通道与所述伪通道之间满足所述式（2）的关系。
12.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，
在所述伪通道的一个侧面具备的所述驱动电极的深度，随着所述伪通道从所述通道列的一端位于另一端逐渐变深，在所述伪通道的另一侧面具备的所述驱动电极的深度，随着所述伪通道从所述通道列的一端位于另一端逐渐变浅。
13.如权利要求1所述的液体喷射头，其中，
在所述吐出通道的一个侧面具备的所述驱动电极的深度，随着所述吐出通道从所述通道列的一端位于另一端逐渐变深，在所述吐出通道的另一侧面具备的所述驱动电极的深度，随着所述吐出通道从所述通道列的一端位于另一端逐渐变浅。
14.一种液体喷射装置，具备：
权利要求1所述的液体喷射头；
使所述液体喷射头和被记录介质相对移动的移动机构；
向所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及
向所述液体供给管供给所述液体的液体罐。
15.一种液体喷射头的制造方法，具备：
在促动器基板的表面形成吐出槽和非吐出槽交替排列的槽列的槽形成工序；
利用斜向蒸镀法在所述促动器基板的表面和所述吐出槽及所述非吐出槽的侧面沉积电极材料的第一电极材料沉积工序；以及
设置遮蔽所述非吐出槽或所述吐出槽的任一个的掩模，利用斜向蒸镀法在所述促动器基板的表面和所述吐出槽或所述非吐出槽的侧面沉积电极材料的第二电极材料沉积工序，
所述第二电极材料沉积工序中的所述电极材料相对于所述促动器基板的表面的法线的入射角，小于所述第一电极材料沉积工序中的所述电极材料相对于所述促动器基板的表面的法线的入射角。
16.一种液体喷射头的制造方法，具备：
在促动器基板的表面形成吐出槽和槽宽度与所述吐出槽不同的非吐出槽交替排列的槽列的槽形成工序；以及
利用斜向蒸镀法在所述促动器基板的表面和所述吐出槽及所述非吐出槽的侧面沉积电极材料的电极材料沉积工序。
17.一种液体喷射头的制造方法，具备：
在促动器基板的表面形成树脂膜的图案的树脂膜图案形成工序；
在所述促动器基板的表面形成吐出槽和非吐出槽交替排列的槽列的槽形成工序；以及
利用斜向蒸镀法在所述促动器基板的表面和所述吐出槽及所述非吐出槽的侧面沉积电极材料的电极材料沉积工序，
所述树脂膜图案形成工序，在所述吐出槽与所述非吐出槽之间的隔壁区域之中，所述非吐出槽或所述吐出槽的任一个的一侧残留所述树脂膜，并从另一侧除去所述树脂膜。
18.如权利要求17所述的液体喷射头的制造方法，其中，
所述槽形成工序是将所述吐出槽从所述促动器基板的一端形成到另一端的跟前的工序，
还具备：
向所述促动器基板的表面接合盖板的盖板接合工序；以及
向所述促动器基板的端面粘接喷嘴板的喷嘴板粘接工序。
19.如权利要求17所述的液体喷射头的制造方法，其中，
还具备向所述促动器基板的背面接合盖板的盖板接合工序和向所述促动器基板的表面粘接喷嘴板的喷嘴板粘接工序的所述槽形成工序，包含：
在所述促动器基板形成所述吐出槽的吐出槽形成工序；以及
在所述促动器基板形成所述非吐出槽的非吐出槽形成工序，
在所述吐出槽形成工序之后进行所述盖板接合工序，在所述树脂膜图案形成工序之后进行所述非吐出槽形成工序。
20.如权利要求17～19的任一项所述的液体喷射头的制造方法，其中，
所述树脂膜图案形成工序，在所述隔壁区域之中，所述非吐出槽的一侧残留所述树脂膜，并从所述吐出槽的一侧除去所述树脂膜。
21.如权利要求20所述的液体喷射头的制造方法，其中，
还包含树脂膜除去工序，从所述促动器基板的表面除去所述树脂膜，在所述吐出槽及所述非吐出槽的侧面形成驱动电极，在所述促动器基板的表面，形成与位于所述吐出槽的两侧面的所述驱动电极电连接的共同端子、和与位于夹着所述吐出槽的两个所述非吐出槽的所述吐出槽一侧的侧面的所述驱动电极电连接的个别端子。
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