CN104924763A - 液体喷射头的制造方法、液体喷射头及液体喷射装置 - Google Patents
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Abstract
液体喷射头(1)的制造方法包括：在促动器基板(2)的上表面(U1)沿基准方向(K)交替形成吐出槽(3)和非吐出槽(4)的槽形成工序(S1)；在盖板(6)的上表面(U2)形成凹部(7)和从凹部(7)的底面贯通到与上表面(U2)相反侧的下表面(L2)的狭缝(9)的盖板加工工序(S2)；将盖板(6)的下表面(L2)接合到促动器基板(2)的上表面(U1)并使狭缝(9)与吐出槽(3)连通的基板接合工序(S3)；以及在吐出槽(3)的两侧面、非吐出槽(4)的两侧面、狭缝(9)及凹部(7)的内表面同时形成导电膜(11)的电极形成工序(S4)。从而，使形成在多个吐出槽(3)的导电膜(11)经由形成在狭缝(9)及凹部(7)的内侧面的导电膜(11)而电连接，使得电极形成工序极为简化。
Description
技术领域
本发明涉及对被记录介质喷射液滴而记录的液体喷射头的制造方法、液体喷射头及液体喷射装置。
背景技术
近年来，使用对记录纸等吐出墨滴而记录字符、图形的、或者对元件基板的表面吐出液体材料而形成功能性薄膜的喷墨方式的液体喷射头。该方式中，经由供给管将墨、液体材料等液体从液体罐引导至通道，对填充在通道中的液体施加压力而作为液滴从与通道连通的喷嘴吐出。在吐出液滴时，移动液体喷射头或被记录介质而记录字符、图形，或者形成既定形状的功能性薄膜或3维构造。
专利文献1中记载有这种液体喷射头。图9是液体喷射头的截面示意图（专利文献1的图2）。液体喷射头具备吐出墨滴的头片110；以及向头片110供给墨的墨歧管构件120。头片110具备通道部115。通道部115被由压电体构成的未图示的两个驱动壁、下部及上部基板111、113、背面板119及喷嘴板118包围。墨歧管构件120具备墨流路121和上表面包持部122a，上表面包持部122a覆盖头片110的上部基板113而与头片110的背面板119接合。流入墨流路121的墨经由背面板119的墨引入口119a而供给通道部115。当通道部115的驱动壁驱动时墨滴会从喷嘴孔118a吐出。
在上部基板113设置有沿板厚方向贯通的导电性构件117b。导电性构件117b与设置在驱动通道部115的驱动壁的驱动电极电连接。上表面包持部122a具备沿板厚方向贯通的电极123，电极123设置在与导电性构件117b对应的位置。电极123经由形成在上部基板113的上表面的电极117c与导电性构件117b电连接。电极123进一步与形成在上表面120a的电极124电连接，并引出到背面120b。因此，用于驱动驱动壁的驱动波形，输入到背面120b的电极124，经由设置在上表面包持部122a的电极123和设置在上部基板113的导电性构件117b，向驱动壁的驱动电极供给。
另外，在专利文献2中，记载了填充有墨的吐出用槽和未填充墨的非吐出用槽交替排列的喷墨装置。喷墨装置具备：在上表面交替形成吐出用槽和非吐出用槽的压电陶瓷板；以及堵住吐出用槽和非吐出用槽这两种槽的上表面开口并接合的盖板。吐出用槽不贯通压电陶瓷板，因而上下方向被堵塞。非吐出用槽从压电陶瓷板的上表面贯通到下表面，因而，上方被盖板堵塞，下方朝压电陶瓷板的下表面开口。在吐出用槽的两侧面，金属电极从上表面形成到槽的一半深度。在非吐出用槽的两侧面、盖板的压电陶瓷板侧的下表面和压电陶瓷板的下表面的整个面形成有金属电极。因此，形成在多个非吐出用槽的金属电极全部电连接。而且，将非吐出用槽的金属电极连接到GND，向吐出用槽的金属电极提供驱动波形，驱动吐出用槽与非吐出用槽之间的隔壁，从与吐出用槽连通的喷嘴吐出墨滴。
专利文献1：日本特开2002－210955号公报
专利文献2：日本特开平7－178903号公报。
发明内容
在专利文献1记载的液体喷射头中，通过非电解镀敷法在通道部115的内部形成驱动电极，在上部基板113开通贯通孔，填充银膏等而填充导电性构件117b，进而在上部基板113的上表面形成电极117c。另外，在上表面包持部122a也开通贯通孔而填充电极123，将电极124的图案从墨歧管构件120的上表面120a形成到背面120b。因此，电极形成变得极为复杂。另外，通道部115沿图9的进纸方向排列多数，当接合头片110和墨歧管构件120时，使多个电极117c和多个电极123高精度对位，同时必须进行电连接，组装变得极为繁杂。
另外，在专利文献2记载的喷墨装置中，不能同时形成吐出用槽的侧面的金属电极和非吐出用槽的侧面及压电陶瓷板的下表面的金属电极。因此，需要多次的电极形成工序。特别是，在吐出用槽的两侧面需要通过斜蒸镀法形成金属电极，电极形成需要较长时间。
本发明的液体喷射头的制造方法，包括：槽形成工序，在促动器基板的上表面沿基准方向交替形成吐出槽和非吐出槽；盖板加工工序，在盖板的上表面形成凹部和从所述凹部的底面贯通到所述盖板的下表面的狭缝；基板接合工序，将所述盖板的下表面接合于所述促动器基板的上表面，使所述狭缝和所述吐出槽连通；以及电极形成工序，在所述吐出槽的侧面、所述非吐出槽的侧面、所述狭缝的内侧面及所述凹部的内表面同时形成导电膜。
另外，所述基板接合工序是使所述促动器基板的上表面的一部分和所述非吐出槽的一部分露出而将所述盖板接合于所述促动器基板的工序，所述电极形成工序是在所述促动器基板露出的上表面同时形成导电膜的工序。
另外，所述电极形成工序是通过镀敷法形成所述导电膜的工序。
另外，所述盖板加工工序包含将所述盖板的上表面加工成镜面，将所述凹部的内表面及所述狭缝的内侧面加工成粗糙面的工序。
另外，所述盖板加工工序包含将所述盖板的下表面加工成镜面的工序。
另外，所述槽形成工序是与所述非吐出槽并排地形成布线用槽的工序，
所述盖板加工工序是在所述盖板的上表面进一步形成与所述凹部连通的附加凹部和从所述附加凹部的底面贯通到所述盖板的与上表面相反侧的下表面的附加狭缝的工序，所述基板接合工序是使所述附加狭缝和所述布线用槽连通的工序，所述电极形成工序是在所述布线用槽的内表面、所述附加凹部的内表面及所述附加狭缝的内侧面同时形成导电膜的工序。
另外，所述盖板为透光性的基板。
本发明的液体喷射头，包括：促动器基板，沿基准方向交替排列吐出槽和非吐出槽；以及盖板，与所述促动器基板接合，在上表面具备凹部和从所述凹部的底面贯通到下表面并与所述吐出槽连通的狭缝，其中，在所述吐出槽的侧面形成有共同驱动电极，在所述非吐出槽的侧面形成有个别驱动电极，在所述狭缝的内侧面及所述凹部的内表面形成有共同布线，形成在多个所述吐出槽的所述共同驱动电极经由所述共同布线电连接。
另外，所述非吐出槽从所述促动器基板的一侧的端部遍及另一侧的端部而形成，所述吐出槽从所述促动器基板的一侧的端部形成到另一侧的端部的跟前，所述盖板以使所述吐出槽与所述狭缝连通的方式接合到促动器基板的上表面，在所述促动器基板的上表面的另一侧的端部附近形成有个别端子，所述个别端子电连接形成在夹着所述吐出槽而邻接的两个所述非吐出槽的两个所述个别驱动电极。
另外，所述凹部的内表面及所述狭缝的内侧面为粗糙面。
另外，所述促动器基板具备：形成在所述基准方向的端部附近的布线用槽；形成在所述布线用槽的内表面的布线用电极；以及形成在所述布线用槽开口的上表面的共同端子，所述盖板具备：与所述凹部连通的附加凹部；从所述附加凹部的底面贯通到下表面并与所述附加凹部连通的附加狭缝；以及形成在所述附加凹部的内表面和所述附加狭缝的内侧面的附加布线，所述共同端子经由所述布线用电极和所述附加布线而与所述共同布线电连接。
另外，所述促动器基板具备与所述个别驱动电极电连接的个别端子和与所述共同布线电连接的共同端子，所述共同端子形成在所述促动器基板的上表面的所述基准方向的端部侧，所述个别端子在所述促动器基板的上表面的所述基准方向上比所述共同端子更靠近内部侧形成。
另外，所述盖板为透光性的基板。
本发明的液体喷射装置，包括：上述液体喷射头；使所述液体喷射头和被记录介质相对移动的移动机构；向所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及向所述液体供给管供给所述液体的液体罐。
本发明的液体喷射头的制造方法，包括：槽形成工序，在促动器基板的上表面沿基准方向交替形成吐出槽和非吐出槽；盖板加工工序，在盖板的上表面形成凹部和从凹部的底面贯通到盖板的下表面的狭缝；基板接合工序，将盖板的下表面接合到促动器基板的上表面，使狭缝和吐出槽连通；以及电极形成工序，在吐出槽的侧面、非吐出槽的侧面、狭缝的内侧面及凹部的内表面同时形成导电膜。其结果，形成在多个吐出槽的导电膜经由形成在狭缝的内侧面及凹部的内表面的导电膜而电连接，从而使得电极形成工序极为简化。
附图说明
图1是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头的说明图；
图2是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头的说明图；
图3是示出本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的工序图；
图4是示出本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的工序图；
图5是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的说明图；
图6是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的说明图；
图7是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头的制造方法的说明图；
图8是本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射装置的示意性的立体图；
图9是现有公知的液体喷射头的截面示意图。
标号说明
1 液体喷射头；2 促动器基板；2a、2b 压电体基板；3 吐出槽；4 非吐出槽；5 布线用槽；6 盖板；7 凹部；8 附加凹部；9 狭缝；10 附加狭缝；11 导电膜；12 共同驱动电极；13 个别驱动电极；14 布线用电极；15 共同布线；16 附加布线；17 个别端子；18 共同端子；19 加强板；20 喷嘴板；21 喷嘴；22 粘接剂；K 基准方向；Ea 一侧的端部；Eb 另一侧的端部；U1、U2 上表面；L1、L2 下表面；B 边界。
具体实施方式
（第一实施方式）
图1及图2是本发明的第一实施方式所涉及的液体喷射头1的说明图。图1是液体喷射头1的示意性的部分分解立体图。图1的点描区域示出形成电极的区域（以后的图中也相同）。图2是图1所示的部分AA的方向的液体喷射头1的纵截面示意图。促动器基板2示出吐出槽3和非吐出槽4成为相同深度的区域，液体喷射头1示出到基准方向K的两端部。
液体喷射头1具备：促动器基板2；与促动器基板2接合的盖板6；设置在促动器基板2的与盖板6相反的一侧的加强板19；以及设置在促动器基板2的端面的喷嘴板20。促动器基板2沿基准方向K交替排列吐出槽3和非吐出槽4。盖板6在上表面U2具备凹部7和从凹部7的底面贯通到与上表面U2相反侧的下表面L2并与吐出槽3连通的狭缝9。在吐出槽3的两侧面形成有共同驱动电极12，在非吐出槽4的两侧面形成有个别驱动电极13，在狭缝9的内侧面及凹部7的内表面形成有共同布线15。而且，形成在多个吐出槽3的共同驱动电极12经由共同布线15电连接。
进行具体说明。促动器基板2采用层叠了沿基板面的法线方向极化的压电体基板2a和沿与压电体基板2a相反方向极化的压电体基板2b的、所谓的人字纹型的基板。压电体基板2a和压电体基板2b的边界B位于吐出槽3或非吐出槽4的深度的大致1/2的深度。非吐出槽4从促动器基板2的一侧的端部Ea遍及另一侧的端部Eb而形成。吐出槽3从促动器基板2的一侧的端部Ea形成到另一侧的端部Eb的跟前。盖板6以使狭缝9与吐出槽3连通的方式接合到促动器基板2的上表面U1。即，盖板6覆盖除了狭缝9外的吐出槽3，并且以使另一侧的端部Eb附近的上表面U1露出的方式接合到促动器基板2。在促动器基板2的另一侧的端部Eb附近的上表面U1形成有个别端子17。个别端子17电连接在夹着吐出槽3而邻接的两个非吐出槽4的吐出槽3侧的侧面形成的两个个别驱动电极13。
促动器基板2还具备：在基准方向K的端部附近与非吐出槽4并列形成的布线用槽5；形成在布线用槽5的内表面的布线用电极14；以及形成在布线用槽5开口的上表面U1的共同端子18。盖板6具备：与凹部7连通的附加凹部8；从附加凹部8的底面贯通到下表面L2并与附加凹部8连通的附加狭缝10；以及在附加凹部8的内表面和附加狭缝10的内侧面形成的附加布线16。共同端子18经由布线用电极14和附加布线16而与共同布线15电连接。此外，布线用槽5也可以仅形成在促动器基板2的基准方向K的一个端部附近。
因此，共同端子18与共同驱动电极12电连接，并且形成在促动器基板2的上表面U1的基准方向K上的两方的端部侧。另外，个别端子17与个别驱动电极13电连接，并且在促动器基板2的上表面U1的基准方向K中比共同端子18更靠近内部侧形成。此外，共同端子18也可以仅在促动器基板2的基准方向K的一个端部侧形成。这样，将共同端子18形成在促动器基板2的端部侧，因此能够不受吐出槽3或非吐出槽4的间距的限制而较宽地形成共同端子18的电极宽度。
喷嘴板20具备与吐出槽3连通的喷嘴21，粘接在促动器基板2的一侧的端部Ea的端面。加强板19设置在促动器基板2的下表面L1，堵塞吐出槽3及非吐出槽4在下表面L1开口的开口部。此外，附加凹部8、附加狭缝10或布线用槽5优选在形成附加布线16及布线用电极14后，如图2所示利用粘接剂22等来密封，防止填充到凹部7的液体泄漏到外部。另外，个别端子17及共同端子18经由未图示的柔性电路基板的布线与驱动电路电连接。
在此，促动器基板2能够使用PZT陶瓷等压电体材料。盖板6能够使用PZT陶瓷材料、其他绝缘体材料、塑料材料、透光性的基板、例如玻璃材料。作为盖板6，如果使用透光性的玻璃材料，则在将盖板6接合到促动器基板2后，能够通过激光加工来对形成在吐出槽3或非吐出槽4的共同驱动电极12或个别驱动电极13的不良部进行修正等。喷嘴板20能够使用聚酰亚胺膜等塑料材料。加强板19根据需要而设置。例如，较厚地形成压电体基板2a，并且将吐出槽3或非吐出槽4形成到压电体基板2a的必要的深度也可。
此外，如果将凹部7的内表面及狭缝9的内侧面加工成粗糙面，并通过非电解镀敷法形成导电膜，就能同时形成共同布线15、共同驱动电极12及个别驱动电极13。另外，如果将凹部7的内表面及狭缝9的内侧面加工成粗糙面，进而，通过喷砂法等来将促动器基板2的另一侧的端部Eb附近的上表面U1加工成粗糙面后，通过非电解镀敷法形成导电膜，就能同时形成共同布线15、共同驱动电极12、个别驱动电极13及个别端子17。而且，如果在盖板6形成与凹部7连通的附加凹部8和从附加凹部8的底面贯通到下表面L2的附加狭缝10后，通过非电解镀敷法形成导电膜，就能与其他电极同时形成与共同布线15电连接的共同端子18。此外，盖板6的上表面U2及端部Eb侧的端面加工成镜面。由此，在通过非电解镀敷法形成导电膜时，在盖板6的上表面U2及端部Eb侧的端面不会形成导电膜。
液体喷射头1如下进行动作。从未图示的液体储存部经由未图示的流路构件向凹部7供给液体。液体经由狭缝9填充到吐出槽3。接着，向共同端子18提供GND电位，向个别端子17提供驱动波形。吐出槽3的共同驱动电极12成为GND电位，驱动波形传递到夹着吐出槽3的两个非吐出槽4的吐出槽3侧的两个个别驱动电极13，使吐出槽3的两侧壁进行厚度滑移变形。例如，使吐出槽3的两侧壁以使吐出槽3的容积增加的方式变形，从而从凹部7导入液体，接着，使两侧壁变形到变形前的原来的位置，或者，以使吐出槽3的容积比原来的位置更加减少的方式变形，从而从喷嘴21吐出液滴。
此外，本实施方式中的液体喷射头1是在促动器基板2的一侧的端部Ea设置喷嘴板20的边缘喷射型，但也可以取而代之为在促动器基板2的下表面L1设置喷嘴板20的侧面喷射型。在该情况下，促动器基板2的吐出槽3从一侧的端部Ea的跟前形成到另一侧的端部Eb的跟前。另外，在盖板6的一侧的端部附近的上表面U2重新形成凹部和从该凹部的底面贯通到下表面L2的狭缝，使该狭缝与吐出槽3的一侧的端部连通。在该凹部的内表面和狭缝的内侧面形成与共同布线15同样的共同电极也可。而且，取代加强板19而在下表面L1设置喷嘴板20。在该情况下，通过使喷嘴板20为例如玻璃等材料，能够将在上述的单一的非吐出槽4对置的个别驱动电极13电分离。
（第二实施方式）
图3是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头1的制造方法的工序图。本实施方式表示本发明所涉及的液体喷射头1的基本制造方法。对于相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。
以下，参照图1，对图3进行说明。本发明的液体喷射头1的制造方法，包括：在促动器基板2形成吐出槽3和非吐出槽4的槽形成工序S1；在盖板6形成凹部7和狭缝9的盖板加工工序S2；接合盖板6与促动器基板2的基板接合工序S3；形成导电膜（相当于图1中的共同驱动电极12、个别驱动电极13、共同布线15。）的电极形成工序S4。在此，槽形成工序S1中，在促动器基板2的上表面U1沿基准方向K交替形成吐出槽3和非吐出槽4。盖板加工工序S2中，在盖板6的上表面U2形成凹部7和从凹部7的底面贯通到盖板6的与上表面U2相反侧的下表面L2的狭缝9。基板接合工序S3中，将盖板6的下表面L2接合到促动器基板2的上表面U1，使狭缝9和吐出槽3连通。
电极形成工序S4中，在吐出槽3的侧面、非吐出槽4的侧面、狭缝9的内侧面及凹部7的内表面同时形成导电膜11。即，在图1中，同时形成吐出槽3的侧面的共同驱动电极12、非吐出槽4的侧面的个别驱动电极13、狭缝9的内侧面及凹部7的内表面的共同布线15。其结果，形成在多个吐出槽3的导电膜11（共同驱动电极12）经由形成在狭缝9的内侧面及凹部7的内表面的导电膜11（共同布线15）而电连接，使得电极形成工序S4极为简化。
（第三实施方式）
图4是示出本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头1的制造方法的工序图。图5～图7是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头1的制造方法的说明图。对于相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。
如图4所示，本发明的液体喷射头1的制造方法，包括：在促动器基板2形成吐出槽3和非吐出槽4的槽形成工序S1；在盖板6形成凹部7和狭缝9的盖板加工工序S2；接合盖板6和促动器基板2的基板接合工序S3；将促动器基板2的与上表面U1相反侧的下表面L1切削的基板切削工序S5；形成导电膜11的电极形成工序S4；以及对促动器基板2的下表面L1接合加强板19的加强板接合工序S6。因此，除了第二实施方式的制造方法以外，还具备基板切削工序S5和加强板接合工序S6。与第二实施方式同样，形成多个吐出槽3的导电膜11会经由形成在狭缝9的内侧面及凹部7的内表面的导电膜11而电连接，使得电极形成工序S4极为简化。进而，引入基板切削工序S5，并在促动器基板2的下表面L1以吐出槽3及非吐出槽4开口的状态进行电极形成工序S4，因此容易在吐出槽3及非吐出槽4的两侧面形成导电膜11。以下，进行具体说明。
如图5（s1）所示，槽形成工序S1中，在促动器基板2的上表面U1沿基准方向K交替形成吐出槽3和非吐出槽4。促动器基板2使用PZT陶瓷等压电体材料，并且使用上下方向上极化方向不同的人字纹基板。即，作为促动器基板2，使用层叠了沿基板面的法线方向极化的压电体基板2a和沿与压电体基板2a相反方向极化的压电体基板2b的层叠基板。吐出槽3及非吐出槽4能够使用向圆盘状刀的外周埋入磨削用打磨粒的切割刀（Dicing Blade）（也称为金刚石刀。）进行切削而形成。吐出槽3从上表面U1的一侧的端部Ea切削到另一侧的端部Eb的跟前。非吐出槽4从上表面U1的一侧的端部Ea笔直切削到另一侧的端部Eb。以使各槽的槽宽度为20μm～200μm、最终槽的深度为150μm～700μm、压电体基板2a与压电体基板2b的边界B成为最终深度的大致1/2的方式切削。
槽形成工序S1进而在促动器基板2的基准方向K的端部附近，并且，在另一侧的端部Eb侧的上表面U1与非吐出槽4并排地形成布线用槽5。布线用槽5比非吐出槽4浅地形成。布线用槽5也可以延长到促动器基板2的另一侧的端部Eb。此外，在形成吐出槽3及非吐出槽4后在吐出槽3及非吐出槽4的下部保留压电体基板2a而确保促动器基板2的强度。
如图5（s2）所示，盖板加工工序S2中，在盖板6的上表面U2形成凹部7和从凹部7的底面贯通到与上表面U2相反侧的下表面L2的狭缝9。盖板6能够使用具有与促动器基板2相同程度的线膨胀系数的PZT陶瓷材料、其他陶瓷材料、绝缘体材料、玻璃材料或者塑料材料。凹部7及狭缝9能够通过喷砂法、蚀刻法等来形成。
盖板加工工序S2包含将盖板6的上表面U2加工成镜面，将凹部7的内表面及狭缝9的内侧面加工成粗糙面的工序。例如，如果用喷砂法来形成凹部7及狭缝9，则凹部7的内表面、狭缝9的内侧面成为粗糙面，以非电解镀敷法进行的导电膜11的沉积容易。另外，如果将盖板6的上表面U2及下表面L2加工成镜面，即便向非电解电镀液浸渍上表面U2或下表面L2，导电膜11也不会析出。盖板加工工序S2还包含在盖板6的上表面U2形成与凹部7连通的附加凹部8、从附加凹部8的底面贯通到与上表面U2相反侧的下表面L2的附加狭缝10的工序。而且，与狭缝9的内侧面及凹部7的内表面同样地将附加狭缝10的内侧面及附加凹部8的内表面加工成粗糙面。
接着，如图6（s3）所示，基板接合工序S3中，经由粘接剂将盖板6的下表面L2接合到促动器基板2的上表面U1，使狭缝9与吐出槽3连通，同时，使附加狭缝10与布线用槽5连通。基板接合工序S3中，使促动器基板2的另一侧的端部Eb附近的上表面U1和另一侧的端部Eb附近的非吐出槽4露出，并将盖板6接合到促动器基板2。此外，盖板6优选将另一侧的端部Eb的侧端面加工成镜面。另外，先将促动器基板2的另一侧的端部Eb附近露出的上表面U1加工成粗糙面。
接着，如图6（s5）所示，在基板切削工序S5中，切削促动器基板2的下表面L1而使吐出槽3及非吐出槽4在下表面L1开口。切削后的下表面L1被精加工为镜面，从而在浸渍到非电解电镀液时导电膜11不会沉积。此外，吐出槽3及非吐出槽4的侧壁的上部被盖板6固定，因此即使底部开口也不会分解。使吐出槽3及非吐出槽4的底部开口，从而使得下一个导电膜11的沉积容易。此外，以使压电体基板2a和压电体基板2b的边界B处于槽深度的大致1/2的位置的方式切削下表面L1。
接着，如图7（s4）所示，在电极形成工序S4中，在吐出槽3的两侧面、非吐出槽4的两侧面、布线用槽5的内表面（侧面及底面）、狭缝9的内侧面、凹部7的内表面、附加凹部8的内表面、附加狭缝10的内侧面及促动器基板2的另一侧的端部Eb附近的上表面U1同时形成导电膜11。具体而言，首先，使催化剂选择性地吸附到盖板6及促动器基板2的外表面。接着，用非电解镀敷法使金属膜在吸附催化剂的区域析出，从而选择性地形成导电膜11。更具体而言，将盖板6和促动器基板2的层叠基板浸渍到分散有钯催化剂的溶液并加以清洗。这样，钯催化剂吸附到表面为粗糙面的区域，钯催化剂从镜面的区域被冲走。而且，将该层叠基板依次浸渍到镍非电解电镀液和金非电解电镀液。由此，镍和金析出到吸附钯催化剂的粗糙面区域，从而形成导电膜11，而未吸附钯催化剂的镜面的区域中镍、金不会析出，不会形成导电膜11。此外，利用非电解镀敷法能够使镍、金之外的铜、银、其他金属或合金析出。
其结果，在吐出槽3的两侧面形成共同驱动电极12（参照图1），在狭缝9的内侧面及凹部7的内表面形成共同布线15，在附加狭缝10的内侧面及附加凹部8的内表面形成附加布线16，在布线用槽5的内表面形成布线用电极14，在促动器基板2的另一侧的端部Eb附近的上表面U1，在基准方向K的端部区域形成共同端子18。而且，这些共同驱动电极12、共同布线15、附加布线16、布线用电极14及共同端子18电连接。而且，在非吐出槽4的两侧面形成个别驱动电极13，在促动器基板2的另一侧的端部Eb附近的上表面U1，在比吐出槽3靠近端部Eb侧形成个别端子17。而且，形成在非吐出槽4的两侧面的个别驱动电极13互相电分离，形成在夹住吐出槽3的两个非吐出槽4的吐出槽3侧的侧面的两个个别驱动电极13与个别端子17电连接。
此外，如上所述，单一的非吐出槽4的对置的个别驱动电极13需要电分离。为了实现该结构，盖板6使用例如玻璃材料，在盖板加工工序S2中，将盖板6的下表面L2加工成镜面。由此，即便下表面L2浸渍到非电解电镀液，导电膜11也不会析出。由此，在非吐出槽4的上表面（盖板6的下表面L2）不会形成导电膜11，能够将在单一的非吐出槽4对置的个别驱动电极13电分离。
另外，在电极形成工序S4中，在进行非电解镀之前对促动器基板2的下表面L1或盖板6的上表面U2粘贴干膜等掩模，进行非电解镀，能够防止在下表面L1或上表面U2析出导电膜11。在该情况下，无需将促动器基板2的下表面L1或盖板6的上表面U2预先加工成镜面。另外，在电极形成工序S4中，在对盖板6的上表面U2或促动器基板2的下表面L1进行非电解镀后，将盖板6的上表面U2或促动器基板2的下表面L1磨削而除去析出的导电膜11也可。
接着，如图7（s6）所示，在加强板接合工序S6中，经由粘接剂将加强板19接合到促动器基板2的下表面L1。加强板19与促动器基板2同样能够使用PZT陶瓷材料、玻璃材料、其他的绝缘材料、塑料材料等。接着，在以处于同一面的方式形成的促动器基板2、加强板19及盖板6的一侧的端面粘接喷嘴板20，使形成在喷嘴板20的喷嘴21和吐出槽3连通。此外，向布线用槽5或附加狭缝10填充粘接剂等而闭塞，以使流入凹部7的液体不会泄漏到外部。
如果这样制造液体喷射头1，那么将共同驱动电极12（参照图1）、共同布线15、附加布线16、布线用电极14及共同端子18电连接，同时将个别驱动电极13及个别端子17电连接。进而，各个别端子17以及个别端子17和共同端子18能够互相电分离地形成。另外，不需要用于电极连接的对位。其结果，使得电极形成工序极为简化。
此外，在本实施方式中，将形成在多个吐出槽3的共同驱动电极12经由共同布线15、附加布线16及布线用电极14而与共同端子18电连接，但是改换为将共同端子18设置在盖板6的上表面U2也可。在该情况下，在槽形成工序S1中不形成布线用槽5，在盖板加工工序S2中不形成附加凹部8及附加狭缝10，取而代之，在盖板6的上表面U2形成从凹部7的开口端连续的粗糙面区域。使钯催化剂吸附到该粗糙面的区域，利用非电解镀敷法形成由镍膜及金膜等构成的共同端子18也可。
另外，在本实施方式中，虽然为边缘喷射型的液体喷射头1，但是能够形成侧面喷射型的液体喷射头1来取代。即，槽形成工序S1中，将吐出槽3从促动器基板2的上表面U1的一侧的端部Ea的跟前形成到另一侧的端部Eb的跟前。盖板加工工序S2中，形成与吐出槽3的一侧的端部连通的凹部及狭缝、和与吐出槽3的另一侧的端部连通的其他凹部及狭缝。而且，取代设置在促动器基板2的下表面L1的加强板19而粘接喷嘴板20，使喷嘴板20的喷嘴21与吐出槽3连通。
另外，作为盖板6或加强板19，能够使用玻璃材料等透光性的基板。如果使用透光性的盖板6，例如，在电极形成工序S4中非吐出槽4的两侧面的导电膜11（个别驱动电极13）短路的情况下等，能够通过盖板6或加强板19向短路部照射激光，使短路部的导电材料飞散从而加以修复。
另外，在本实施方式中，说明加强板接合工序S6是在电极形成工序S4之后实施的工序，但是加强板接合工序S6在电极形成工序S4之前实施也无妨。即，在对促动器基板2与盖板6的接合体接合加强板19后，实施形成导电膜11的电极形成工序S4也无妨。在该情况下，如上所述，单一的非吐出槽4的对置的个别驱动电极13需要电分离。为了实现该结构，加强板19使用例如玻璃材料，加强板19的表面不做粗糙面加工而成为镜面状态。由此，在加强板19的表面不会以非电解镀敷法形成导电膜，因此在非吐出槽4的底面不会形成导电膜，能够将在单一的非吐出槽4对置的个别驱动电极13电分离。
（第四实施方式）
图8是本发明的第四实施方式所涉及的液体喷射装置30的示意性立体图。液体喷射装置30具备：使液体喷射头1、1’往复移动的移动机构40；向液体喷射头1、1’供给液体并从液体喷射头1、1’排出液体的流路部35、35’；与流路部35、35’连通的液体泵33、33’及液体罐34、34’。作为液体泵33、33’，能够设置向流路部35、35’供给液体的供给泵和除此以外排出液体的排出泵的任一个或两个，从而使液体循环。另外，能够设置未图示的压力传感器或流量传感器，控制液体的流量。液体喷射头1、1’能够使用第一实施方式的液体喷射头1或者通过第二或第三实施方式的制造方法来制造的液体喷射头1。
液体喷射装置30具备：将纸等被记录介质44向主扫描方向输送的一对输送单元41、42；向被记录介质44喷射液体的液体喷射头1、1’；承载液体喷射头1、1’的滑架单元43；按压储存在液体罐34、34’的液体而向流路部35、35’供给的液体泵33、33’；以及使液体喷射头1、1’沿与主扫描方向正交的副扫描方向扫描的移动机构40。未图示的控制部控制驱动液体喷射头1、1’、移动机构40、输送单元41、42。
一对输送单元41、42具备沿副扫描方向延伸的、使辊面接触的同时旋转的栅格辊和压紧辊。利用未图示的电动机使栅格辊和压紧辊绕轴旋转，从而将夹入辊间的被记录介质44沿主扫描方向输送。移动机构40具备：沿副扫描方向延伸的一对导轨36、37；能够沿着一对导轨36、37滑动的滑架单元43；连结滑架单元43并向副扫描方向移动的无接头带38；以及使该无接头带38围绕未图示的带轮而旋转的电动机39。
滑架单元43承载多个液体喷射头1、1’，喷射例如黄色、品红色、青色、黑色这4种液滴。液体罐34、34’储存对应颜色的液体，经由液体泵33、33’、流路部35、35’而向液体喷射头1、1’供给。各液体喷射头1、1’响应驱动信号喷射各色的液滴。通过控制从液体喷射头1、1’喷射液体的定时、驱动滑架单元43的电动机39的旋转及被记录介质44的输送速度，能够在被记录介质44上记录任意的图案。
此外，本实施方式是移动机构40使滑架单元43和被记录介质44移动而记录的液体喷射装置30，但是取代此情况而固定滑架单元，移动机构使被记录介质二维移动而记录的液体喷射装置也可。即，移动机构只要使液体喷射头和被记录介质相对移动即可。
Claims (14)
1. 一种液体喷射头的制造方法，其中包括：
槽形成工序，在促动器基板的上表面沿基准方向交替形成吐出槽和非吐出槽；
盖板加工工序，在盖板的上表面形成凹部和从所述凹部的底面贯通到所述盖板的下表面的狭缝；
基板接合工序，将所述盖板的下表面接合于所述促动器基板的上表面，使所述狭缝和所述吐出槽连通；以及
电极形成工序，在所述吐出槽的侧面、所述非吐出槽的侧面、所述狭缝的内侧面及所述凹部的内表面同时形成导电膜。
2. 如权利要求1所述的液体喷射头的制造方法，其中，
所述基板接合工序是使所述促动器基板的上表面的一部分和所述非吐出槽的一部分露出而将所述盖板接合于所述促动器基板的工序，
所述电极形成工序是在所述促动器基板露出的上表面同时形成导电膜的工序。
3. 如权利要求1所述的液体喷射头的制造方法，其中，
所述电极形成工序是通过镀敷法形成所述导电膜的工序。
4. 如权利要求1所述的液体喷射头的制造方法，其中，
所述盖板加工工序包含将所述盖板的上表面加工成镜面，将所述凹部的内表面及所述狭缝的内侧面加工成粗糙面的工序。
5. 如权利要求1所述的液体喷射头的制造方法，其中，
所述盖板加工工序包含将所述盖板的下表面加工成镜面的工序。
6. 如权利要求1所述的液体喷射头的制造方法，其中，
所述槽形成工序是与所述非吐出槽并排地形成布线用槽的工序，
所述盖板加工工序是在所述盖板的上表面进一步形成与所述凹部连通的附加凹部和从所述附加凹部的底面贯通到所述盖板的与上表面相反侧的下表面的附加狭缝的工序，
所述基板接合工序是使所述附加狭缝和所述布线用槽连通的工序，
所述电极形成工序是在所述布线用槽的内表面、所述附加凹部的内表面及所述附加狭缝的内侧面同时形成所述导电膜的工序。
7. 如权利要求1所述的液体喷射头的制造方法，其中，
所述盖板为透光性的基板。
8. 一种液体喷射头，其中包括：
促动器基板，沿基准方向交替排列吐出槽和非吐出槽；以及
盖板，与所述促动器基板接合，在上表面具备凹部和从所述凹部的底面贯通到下表面并与所述吐出槽连通的狭缝，
在所述吐出槽的侧面形成有共同驱动电极，在所述非吐出槽的侧面形成有个别驱动电极，在所述狭缝的内侧面及所述凹部的内表面形成有共同布线，
形成在多个所述吐出槽的所述共同驱动电极经由所述共同布线电连接。
9. 如权利要求8所述的液体喷射头，其中，
所述非吐出槽从所述促动器基板的一侧的端部遍及另一侧的端部而形成，
所述吐出槽从所述促动器基板的一侧的端部形成到另一侧的端部的跟前，
所述盖板以使所述吐出槽与所述狭缝连通的方式接合到所述促动器基板的上表面，
在所述促动器基板的上表面的另一侧的端部附近形成有个别端子，
所述个别端子电连接形成在夹着所述吐出槽而邻接的两个所述非吐出槽的两个所述个别驱动电极。
10. 如权利要求8所述的液体喷射头，其中，
所述凹部的内表面及所述狭缝的内侧面为粗糙面。
11. 如权利要求8所述的液体喷射头，其中，
所述促动器基板具备：形成在所述基准方向的端部附近的布线用槽；形成在所述布线用槽的内表面的布线用电极；以及形成在所述布线用槽开口的上表面的共同端子，
所述盖板具备：与所述凹部连通的附加凹部；从所述附加凹部的底面贯通到下表面并与所述附加凹部连通的附加狭缝；以及形成在所述附加凹部的内表面和所述附加狭缝的内侧面的附加布线，
所述共同端子经由所述布线用电极和所述附加布线而与所述共同布线电连接。
12. 如权利要求8所述的液体喷射头，其中，
所述促动器基板具备与所述个别驱动电极电连接的个别端子和与所述共同布线电连接的共同端子，
所述共同端子形成在所述促动器基板的上表面的所述基准方向的端部侧，所述个别端子在所述促动器基板的上表面的所述基准方向上比所述共同端子更靠近内部侧形成。
13. 如权利要求8所述的液体喷射头，其中，
所述盖板为透光性的基板。
14. 一种液体喷射装置，其中包括：
权利要求8所述的液体喷射头；
使所述液体喷射头和被记录介质相对移动的移动机构；
向所述液体喷射头供给液体的液体供给管；以及
向所述液体供给管供给所述液体的液体罐。
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